JPH06251944A - ノイズフィルター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【構成】 環状のコイル用導体パターン膜13、誘電性フ
ィルム14、環状のコンデンサー用導体パターン膜16およ
び絶縁性フィルム11を、順次、複数層重ねるとともに、
これら積層された各コイル用導体パターン膜同士および
各コンデンサー用導体パターン膜16同士を、それぞれ電
気的に接続してコイル回路部およびコンデンサー回路部
を形成し、かつ各導体パターン13,16 の中央部に高透磁
性膜22を配置してコア部を形成したものである。 【効果】 ２つの膜状の導体パターン膜を２重にかつ螺
旋状に積層させて、コイル部とコンデンサー部とを形成
したので、非常に薄いノイズフィルターを形成すること
ができ、したがってノイズフィルターの小型化を図るこ
とができ、また各導体パターンの中央部に円形のコア部
を形成したので、高いインダクタンスを有するコイルを
効率よく製作することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ノイズフィルターに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】現在、電子機器のさらなる小型化、軽量
化の要求に応えるべく、使用周波数の高周波化や共振の
採用など、さまざまな技術開発が検討されている。この
ような背景の中で、機器の精度や誤動作頻度を現状のま
ま保持するには、他の機器からのノイズの侵入を完全に
遮断するノイズフィルターの使用が不可欠である。

【０００３】ところで、従来、この種のノイズフィルタ
ーは、図５（ａ）に示すように、まず誘電性フィルム
（カプトンなどが使用されている）５１と、金属性電極
フィルム（Ｃｕなどが使用されている）５２を貼り合わ
せた後、巻き取り（または折畳み）、そして図５（ｂ）
に示すように、所定厚さに切断することによりノイズフ
ィルター５３が製造されていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、ノイズフィル
ターのさらなる小型化が望まれているが、上記従来の製
造方法によれば、誘電性フィルムの厚みに制限（十数μ
m ）があることから、どうしてもノイズフィルターの小
型化にも限度があった。

【０００５】そこで、本発明は上記問題を解消し得るノ
イズフィルターを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のノイズフィルターは、環状のインダクタン
ス形成用の第１導体パターン膜、誘電性膜、環状のキャ
パシタ形成用の第２導体パターン膜および絶縁性膜を、
順次、複数層重ねるとともに、これら積層された各第１
導体パターン膜同士および積層された各第２導体パター
ン膜同士を、それぞれ電気的に接続して螺旋形状のイン
ダクタンス形成用のコイル回路部およびキャパシタ形成
用のコンデンサー回路部を形成し、かつ上記各螺旋形状
に形成された第１および第２導体パターン膜の中央部に
コア形成用の高透磁性体を配置したものである。

【０００７】

【作用】上記の構成によると、環状の第１導体パターン
膜と環状の第２導体パターン膜とを互いに重ねるととも
に、両導体パターン膜間に誘電性膜を挿入して、ノイズ
フィルターを構成したので、非常に薄いノイズフィルタ
ーを得ることができる。

【０００８】また、各導体パターンの中央部にコア部を
形成したので、高いインダクタンスを有するコイルを得
ることができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図３に基づ
き説明する。図１は本発明に係るノイズフィルターの導
体部分の構成を示す斜視図である。

【００１０】図１に示すように、本発明に係るノイズフ
ィルター１は、螺旋状に形成されたインダクタンス形成
用のコイル回路部２と、同じくこのコイル回路部２に対
応して螺旋状に形成されたキャパシタ形成用のコンデン
サ回路部３と、これら各螺旋状の各回路部２，３の中央
部に配置されたコア部４とから構成されており、また図
１には示していないが、コイル回路部２とコンデンサ回
路部３との間にはキャパシタ形成用の誘電性膜が挿入さ
れるとともに、絶縁性膜も挿入されている。

【００１１】次に、図２および図３に基づき、上記ノイ
ズフィルター１の具体的構成およびその製造方法につい
て説明する。まず、図２（ａ）に示すように、絶縁性膜
の一例としてカプトンなどの絶縁性フィルム１１（１１
Ａ）の表面に、一部が不連続とされた矩形状のパターン
１２ａを有するコイル用マスク１２（１２Ａ）を重ねて
アルミニュウムなどの導電性材料（電極材料）を蒸着さ
せて、第１導体パターン膜としてコイル用導体パターン
膜１３（１３Ａ）を形成する。次に、この絶縁性フィル
ム１１Ａの表面中央に、円形パターン２１ａを有するコ
ア形成用マスク２１を重ね、ニッケル、鉄などを蒸着さ
せて高透磁性体の一例である所定径の高透磁性膜２２
（２２Ａ）を形成する。

【００１２】次に、図２（ｂ）に示すように、上記絶縁
性フィルム１１Ａの表面に、カプトンなどの誘電性フィ
ルム１４（１４Ａ）を重ねて配置し、そしてこの上に、
一部が不連続とされた矩形状のパターン１５ａを有する
コンデンサー用マスク１５（１５Ａ）を重ね、アルミニ
ュウムなどの導電性材料（電極材料）を蒸着させ、誘電
性フィルム１４Ａの表面に第２導体パターン膜としてコ
ンデンサー用導体パターン膜１６（１６Ａ）を形成し、
さらにこの上に、図示しないが上記と同様に、コア形成
用マスクにより、その表面中央に高透磁性膜２２Ｂを蒸
着により形成する。

【００１３】そして、さらに上記と同様の手順により、
図２の（ｃ）〜（ｆ）および図３の（ｇ）〜（ｌ）に示
すように、絶縁性フィルム１１Ｂ〜１１Ｆおよび誘電性
フィルム１４Ｂ〜１４Ｆの表面に、円形の高透磁性膜２
２Ｂ〜２２Ｆを形成するとともに、コイル用導体パター
ン膜１３Ｂ〜１３Ｆおよびコンデンサー用導体パターン
膜１６Ｂ〜１６Ｆを、順次、形成していく。

【００１４】ところで、上記の各積層膜を形成する際
に、上下におけるコイル用積層膜同士およびコンデンサ
ー用積層膜同士は、それぞれ順番に、電気的に接続され
る必要があるため、各積層膜を重ねた際に、それぞれ下
側の導体パターン膜の一方の端部と上側の導体パターン
膜の一方の端部とが、互いに電気的に導通し得るよう
に、絶縁性フィルム１１および誘電性フィルム１４の所
定の部分には、接続用の挿通穴３１が形成されている。

【００１５】すなわち、まずコイル回路部２について説
明すると、図２および図３に示すように、第１層に形成
されたコイル用導体パターン膜１３Ａの端部Ａに対応す
る第２層の誘電性フィルム１４Ａおよび第３層の絶縁性
フィルム１１Ｂには、挿通穴３１Ａ，３１Ａ′がそれぞ
れ形成されており、これら挿通穴３１Ａ，３１Ａ′を介
して第１コイル用導体パターン膜１３Ａの一端部Ａと第
２コイル用導体パターン膜１３Ｂの一端部Ａ′とが接続
される。

【００１６】また、第３層に形成された第２コイル用導
体パターン膜１３Ｂの他端部Ｂに対応する第４層の誘電
性フィルム１４Ｂおよび第５層の絶縁性フィルム１１Ｃ
には、挿通穴３１Ｂ，３１Ｂ′がそれぞれ形成され、こ
れら挿通穴３１Ｂ，３１Ｂ′を介して第２コイル用導体
パターン膜１３Ｂの他端部Ｂと第３コイル用導体パター
ン膜１３Ｃの一端部Ｂ′とが接続される。

【００１７】このように、上下の層におけるコイル用導
体パターン膜の端部同士（Ａ→Ａ′→Ｂ→Ｂ′→Ｃ→
Ｃ′→Ｄ→Ｄ′→Ｅ→Ｅ′）が、各誘電性フィルム１４
および各絶縁性フィルム１１にそれぞれ形成された挿通
穴（３１Ａ→３１Ａ′→３１Ｂ→３１Ｂ′→３１Ｃ→３
１Ｃ′→３１Ｄ→３１Ｄ′→３１Ｅ→３１Ｅ′）を介し
て順次接続されることになる。

【００１８】次に、コンデンサー回路部３について説明
すると、第２層に形成された第１コンデンサー用導体パ
ターン膜１６Ａの端部Ｆに対応する第３層の絶縁性フィ
ルム１１Ｂおよび第４層の誘電性フィルム１４Ｂには、
挿通穴３１Ｆ，３１Ｆ′がそれぞれ形成されており、こ
れら挿通穴３１Ｆ，３１Ｆ′を介して第１コンデンサー
用導体パターン膜１６Ａの一端部Ｆと第２コンデンサー
用導体パターン膜１６Ｂの一端部Ｆ′とが接続される。

【００１９】また、第４層に形成された第２コンデンサ
ー用導体パターン膜１６Ｂの他端部Ｇに対応する第５層
の絶縁性フィルム１１Ｃおよび第６層の誘電性フィルム
１４Ｃには、挿通穴３１Ｇ，３１Ｇ′がそれぞれ形成さ
れ、これら挿通穴３１Ｇ，３１Ｇ′を介して第２コンデ
ンサー用導体パターン膜１６Ｂの他端部Ｇと第３コンデ
ンサー用導体パターン膜１６Ｃの一端部Ｇ′とが接続さ
れる。

【００２０】このように、上下の層におけるコンデンサ
ー用導体パターン膜の端部同士（Ｆ→Ｆ′→Ｇ→Ｇ′→
Ｈ→Ｈ′→Ｉ→Ｉ′→Ｊ→Ｊ′）が、各絶縁性フィルム
１１および各誘電性フィルム１４にそれぞれ形成された
挿通穴（３１Ｆ→３１Ｆ′→３１Ｇ→３１Ｇ′→３１Ｉ
→３１Ｉ′→３１Ｊ→３１Ｊ′）を介して順次接続され
ることになる。

【００２１】そして、上述したように各層が積層される
と、コイル回路部２とコンデンサー回路部３とが並行に
かつコイル状に形成されたことになる。すなわち、コイ
ル回路部２の最上層のコイル用導体パターン膜１３Ｆの
端部Ｙと最下層のコイル用導体パターン膜１３Ａの端部
Ｘとを電極端子とすることにより、この部分にコイル部
が形成されることになり、またコンデンサー回路部３の
最上層のコンデンサー用導体パターン膜１６Ｆの端部Ｚ
と最上層のコイル用導体パターン膜１３Ｆの端部Ｙ（最
下層の端部Ｘでもよい）とを電極端子とすることによ
り、両導体パターン膜１６，１３間において、コンデン
サー部が形成成されることになる。

【００２２】このように、２つの膜状の導体パターン膜
を２重にかつ螺旋状に積層させて、コイル部とコンデン
サー部とを形成したので、非常に薄いノイズフィルター
を形成することができ、したがってノイズフィルターの
小型化を図ることができる。

【００２３】また、各導体パターン膜の中央部に円形の
高透磁性膜２２Ａ〜２２Ｌを形成して、コア部を設けた
ので、高いインダクタンスを有するコイルを効率よく製
作することができる。

【００２４】例えば、フィルターの外形を１mm角、フィ
ルターの周波数を４０ＭＨｚとすると、約３０回の巻数
が必要となるが、従来の構成によると、約１．２mmの厚
みが必要となるのに対して、本実施例の構成によると、
４回の巻数で良く、したがって１／10〜１／70の厚みで
所定の特性が得られることになる。

【００２５】ところで、上記実施例の他に、図４に示す
ように、パッケージなどの基板４１上に、インダクタン
ス電極膜（Ａｌなどが使用される）４２→高透磁性膜
（Ｎｉ，Ｆｅなどが使用される）４３→誘電性膜（カプ
トンなどの高分子よりＳｉＯ₂などのセラミックスを用
いるとより効果的である）４４→コンデンサー電極膜
（Ａｌなどが使用される）４５→高透磁性膜４６→絶縁
性膜（ＳｉＯ₂ などが使用される）４７を順次蒸着する
ことによっても、製作することができる。

【００２６】

【発明の効果】以上のように本発明の構成によると、２
つの膜状の導体パターン膜を２重にかつ螺旋状に積層さ
せて、コイル部とコンデンサー部とを形成したので、非
常に薄いノイズフィルターを形成することができ、した
がってノイズフィルターの小型化を図ることができる。

【００２７】また、各導体パターン膜の中央部に円形の
コア部を形成したので、高いインダクタンスを有するコ
イルを効率よく製作することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるノイズフィルターの
導体部分を示す斜視図である。

【図２】同実施例におけるノイズフィルターの製造工程
を示す平面図である。

【図３】同実施例におけるノイズフィルターの製造工程
を示す平面図である。

【図４】本発明の他の実施例を示すノイズフィルターの
分解斜視図である。

【図５】従来例のノイズフィルターの製造方法を説明す
る概略工程図である。

【符号の説明】 １ ノイズフィルター ２ コイル回路部 ３ コンデンサー回路部 ４ コア部 １１ 絶縁性フィルム １２ コイル用マスク １３ コイル用導体パターン膜 １４ 誘電性フィルム １５ コンデンサー用マスク １６ コンデンサー用導体パターン膜 ２１ コア形成用マスク ２２ 高透磁性膜 ３１ 挿通穴

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大工 博之 大阪府大阪市此花区西九条５丁目３番28号 日立造船株式会社内 (72)発明者 塚原 正徳 大阪府大阪市此花区西九条５丁目３番28号 日立造船株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】環状のインダクタンス形成用の第１導体パ
   ターン膜、誘電性膜、環状のキャパシタ形成用の第２導
   体パターン膜および絶縁性膜を、順次、複数層重ねると
   ともに、これら積層された各第１導体パターン膜同士お
   よび積層された各第２導体パターン膜同士を、それぞれ
   電気的に接続して螺旋形状のインダクタンス形成用のコ
   イル回路部およびキャパシタ形成用のコンデンサー回路
   部を形成し、かつ上記各螺旋形状に形成された第１およ
   び第２導体パターン膜の中央部にコア形成用の高透磁性
   体を配置したことを特徴とするノイズフィルター