JPH06247722A - Production of porous glass base material - Google Patents
Production of porous glass base materialInfo
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- JPH06247722A JPH06247722A JP6105793A JP6105793A JPH06247722A JP H06247722 A JPH06247722 A JP H06247722A JP 6105793 A JP6105793 A JP 6105793A JP 6105793 A JP6105793 A JP 6105793A JP H06247722 A JPH06247722 A JP H06247722A
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ターゲットの外周に火
炎中で生成したガラス微粒子を堆積させることにより、
光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造する多孔質ガラス
母材の製造方法に関する。The present invention is directed to depositing glass particles produced in a flame on the outer periphery of a target.
The present invention relates to a method for producing a porous glass preform for producing a porous glass preform for optical fibers.
【０００２】[0002]
【従来技術】光ファイバ母材の製造方法の一つとして、
ガラス原料ガス、酸素ガスおよび水素ガスをバーナーか
ら噴出させて形成される火炎中で、ガラス原料を火炎加
水分解させてガラス微粒子を形成し、このガラス微粒子
をターゲットの表面に堆積させてガラス微粒子堆積体を
形成した後、ガラス微粒子堆積体からなる多孔質ガラス
母材を加熱により透明化する方法がある。上述の多孔質
ガラス母材を形成する方法では、ガラス原料ガス、酸素
ガスおよび水素ガスを投入するバーナーは、例えば図５
に示すような構造をしている。図中、１、２、３、４、
５は同心円状に配置されたノズル、６はノズル２と３の
間に配置されたノズルである。ノズル１内からは原料ガ
スとして例えばＳｉＣｌ4ガスを用いた（原料ガス＋酸
素ガス）の混合ガスを供給し、ノズル１とノズル２の間
からはアルゴンからなるシールガス、ノズル２とノズル
３の間からは水素ガス、ノズル３とノズル４の間からは
アルゴンからなるシールガス、ノズル４とノズル５の間
からは酸素ガスをそれぞれ供給する。また、小径のノズ
ル６からは酸素ガスを供給する。このように、酸素ガス
と水素ガスの間にアルゴンのような不活性ガスをシール
ガスとして供給することが一般的に行われている。その
理由は、バーナーノズルが酸水素炎により高温になる
と、バーナーノズルが変形したり、バーナー成分が蒸発
して不純物として飛散し、多孔質ガラス母材の純度を下
げたりするので、シールガスによりノズル出口における
酸水素炎の発生を防ぐためである。2. Description of the Related Art As one of methods for manufacturing an optical fiber preform,
In a flame formed by ejecting glass raw material gas, oxygen gas and hydrogen gas from a burner, glass raw material is subjected to flame hydrolysis to form glass fine particles, and these glass fine particles are deposited on the surface of the target to deposit glass fine particles. After forming the body, there is a method of making a porous glass base material composed of a glass particulate deposit body transparent by heating. In the method for forming the porous glass base material described above, the burner for introducing the glass raw material gas, the oxygen gas and the hydrogen gas has, for example, FIG.
It has a structure as shown in. 1, 2, 3, 4,
Reference numeral 5 is a nozzle arranged concentrically, and 6 is a nozzle arranged between the nozzles 2 and 3. A mixed gas of (raw material gas + oxygen gas) using, for example, SiCl 4 gas as a raw material gas is supplied from the inside of the nozzle 1, and a seal gas made of argon is supplied between the nozzle 1 and the nozzle 2 and a mixed gas of the nozzle 2 and the nozzle 3 is supplied. A hydrogen gas is supplied from between the nozzles, a seal gas made of argon is supplied from between the nozzles 3 and 4, and an oxygen gas is supplied from between the nozzles 4 and 5. Further, oxygen gas is supplied from the nozzle 6 having a small diameter. In this way, it is common practice to supply an inert gas such as argon as a seal gas between the oxygen gas and the hydrogen gas. The reason is that when the burner nozzle becomes hot due to the oxyhydrogen flame, the burner nozzle deforms, the burner component evaporates and scatters as impurities, and the purity of the porous glass preform is lowered, so the nozzle is sealed by the seal gas. This is to prevent the generation of oxyhydrogen flame at the outlet.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ようにバーナーノズルの保護のためにシールガスを流す
と次のような問題を生じた。即ち、 １）火炎の反応効率が低下する。 ２）バーナーにシールガス用ノズルを設けるため、バー
ナーがそれだけ複雑になり、バーナーのコストが上昇
し、また、シールガス用配管コストおよびシールガス消
費コストがかかり、多孔質ガラス母材のコストを増加さ
せる。However, when the seal gas is supplied to protect the burner nozzle as described above, the following problems occur. That is: 1) The reaction efficiency of the flame decreases. 2) Since the burner is provided with the seal gas nozzle, the burner becomes more complicated, the burner cost rises, and the seal gas piping cost and seal gas consumption cost increase, and the cost of the porous glass preform increases. Let
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決した多孔質ガラス母材の製造方法を提供するもので、
酸素ガスおよび水素ガスをバーナーの異なるノズルから
供給して酸水素火炎を生じさせ、この酸水素火炎中に
（原料ガス＋酸素ガス）の混合ガスを前記バーナーの他
のノズルから供給してガラス微粒子を生成させ、このガ
ラス微粒子を回転するターゲットに堆積させて多孔質ガ
ラス母材を製造する多孔質ガラス母材の製造方法におい
て、（原料ガス＋酸素ガス）の混合ガスと水素ガスをノ
ズル出口において１ｍｍ以下の間隔で隣接して供給し、
また、水素ガスと酸素ガスもノズル出口において１ｍｍ
以下の間隔で隣接して供給し、（原料ガス＋酸素ガス）
の混合ガスおよび酸素ガスのノズル出口における平均流
速を２０ｍ／ｓｅｃ以上、５０ｍ／ｓｅｃ以下とし、水
素ガスのノズル出口における平均流速を５ｍ／ｓｅｃ以
上、１０ｍ／ｓｅｃ以下にすることを特徴とするもので
ある。The present invention provides a method for producing a porous glass preform which solves the above problems.
Oxygen gas and hydrogen gas are supplied from different nozzles of a burner to generate an oxyhydrogen flame, and a mixed gas of (raw material gas + oxygen gas) is supplied from another nozzle of the burner into the oxyhydrogen flame to produce glass fine particles. In the method for producing a porous glass base material, in which the glass fine particles are generated and deposited on a rotating target to produce a porous glass base material, a mixed gas of (raw material gas + oxygen gas) and hydrogen gas are discharged at a nozzle outlet. Supplied adjacently at intervals of 1 mm or less,
Also, hydrogen gas and oxygen gas are 1 mm at the nozzle outlet.
Supply them adjacent to each other at the following intervals (source gas + oxygen gas)
The average flow velocity of the mixed gas and oxygen gas at the nozzle outlet is 20 m / sec or more and 50 m / sec or less, and the average flow velocity of the hydrogen gas at the nozzle outlet is 5 m / sec or more and 10 m / sec or less. Is.
【０００５】[0005]
【作用】本発明は、バーナーにおいてシールガスを用い
ずに、多孔質ガラスの合成速度を向上させるのに適した
ガス供給条件を提供するものである。ところで、２種類
のガスを隣接する異なるノズルから供給する場合、これ
らのガスのノズル出口における流れの状態は、ノズル出
口における間隔、換言すると、ノズルの厚さで異なって
くる。図６（ａ）、（ｂ）はこの状態を示したものであ
る。図６（ａ）は、ガスＡとガスＢを間隔ｄ1 （ノズル
の厚さに相当）で供給した場合を示し、図６（ｂ）は、
ガスＡとガスＢを間隔ｄ2 （ｄ1 ＞ｄ2 ）で供給し、し
かも図６（ａ）と同一速度で供給した場合を示してい
る。これらの図からわかるように、この間隔が大きい
と、ノズルの出口で２種類のガス流が乱れて混合する。
そこで、本発明では、実験的知見に基づいて、（原料ガ
ス＋酸素ガス）の混合ガスと水素ガスをノズル出口にお
いて１ｍｍ以下の間隔で隣接して供給し、また、水素ガ
スと酸素ガスもノズル出口において１ｍｍ以下の間隔で
隣接して供給する。そうすると、シールガスを流さなく
ても、ノズル出口においてガスの混合が少なく、酸水素
炎の発生を防ぐことができるので、バーナーの寿命は長
くなる。The present invention provides gas supply conditions suitable for improving the synthesis rate of porous glass without using a seal gas in a burner. By the way, when two kinds of gas are supplied from different nozzles adjacent to each other, the flow state of these gases at the nozzle outlet differs depending on the interval at the nozzle outlet, in other words, the thickness of the nozzle. FIGS. 6A and 6B show this state. FIG. 6A shows a case where the gas A and the gas B are supplied at a distance d 1 (corresponding to the thickness of the nozzle), and FIG. 6B shows
It shows a case where the gas A and the gas B are supplied at a distance d 2 (d 1 > d 2 ), and are supplied at the same speed as in FIG. 6A. As can be seen from these figures, if this distance is large, the two gas streams are turbulently mixed at the outlet of the nozzle.
Therefore, in the present invention, based on experimental knowledge, a mixed gas of (source gas + oxygen gas) and hydrogen gas are adjacently supplied at an interval of 1 mm or less at the nozzle outlet, and hydrogen gas and oxygen gas are also supplied to the nozzle. At the outlet, they are adjacently supplied at intervals of 1 mm or less. Then, even if the seal gas is not supplied, the gas is less mixed at the nozzle outlet and the generation of the oxyhydrogen flame can be prevented, so that the life of the burner is extended.
【０００６】次に、ガス流速とバーナー寿命およびター
ゲットへのガラス微粒子の堆積効率について述べる。。
ガス流速を速くすると、燃焼の生ずる位置がバーナーか
ら遠ざかり、シールガスなしでもバーナー寿命を長くす
ることができるが、反応不十分でターゲットに到達し、
また、火炎が乱れ、ガラス微粒子のターゲットへの堆積
効率が低下するので、ガス流速には上限がある。一方、
ガス流速を遅くすると、バーナー寿命は短くなり、原料
ガスの供給量も低下して、ガラス微粒子の合成速度が低
下する。このように、多孔質ガラスを合成するのに適し
たガス流速には、上限と下限があることがわかる。本発
明は、このガス流速条件を実験的に求め、その条件を
（原料ガス＋酸素ガス）の混合ガスおよび酸素ガスのノ
ズル出口における平均流速を２０ｍ／ｓｅｃ以上、５０
ｍ／ｓｅｃ以下とし、水素ガスのノズル出口における平
均流速を５ｍ／ｓｅｃ以上、１０ｍ／ｓｅｃ以下とする
ものである。Next, the gas flow rate, burner life, and deposition efficiency of glass particles on the target will be described. .
When the gas flow velocity is increased, the position where combustion occurs moves away from the burner, and the burner life can be extended without using the seal gas, but the reaction is insufficient and reaches the target,
Further, since the flame is disturbed and the deposition efficiency of the glass particles on the target is reduced, the gas flow velocity has an upper limit. on the other hand,
When the gas flow velocity is slowed, the burner life is shortened, the supply amount of the raw material gas is also reduced, and the synthesis rate of glass fine particles is reduced. Thus, it can be seen that the gas flow velocity suitable for synthesizing the porous glass has an upper limit and a lower limit. In the present invention, the gas flow velocity condition is experimentally obtained, and the average flow velocity at the nozzle outlet of the mixed gas of (source gas + oxygen gas) and oxygen gas is 20 m / sec or more, 50
The average flow velocity at the nozzle outlet of hydrogen gas is set to 5 m / sec or more and 10 m / sec or less.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明を詳細に説明
する。図１は本発明にかかる多孔質ガラス母材の製造方
法に用いたバーナーの一実施例のバーナー出口説明図で
ある。図中、１１、１２、１３は同心円状に配置された
ノズル、１４はノズル１１と１２の間に配置されたノズ
ルである。ノズル１１内からは原料ガスとして例えばＳ
ｉＣｌ4 ガスを用いた（原料ガス＋酸素ガス）の混合ガ
スを供給し、ノズル１１とノズル１２の間からは水素ガ
ス、ノズル１２とノズル１３の間からは酸素ガスがそれ
ぞれ供給される。また、小径のノズル１４からは酸素ガ
スを供給する。上述のバーナーを用いて、以下の条件で
ガラス微粒子を合成した。即ち、コアを含む２５ｍｍφ
のターゲットを用意し、このターゲットを１００ｒｐｍ
で回転させ、バーナー距離１５０ｍｍ、トラバース速度
２０００ｍｍ／ｍｉｎ、トラバース長１０００ｍｍでバ
ーナーを移動させながらガラス微粒子を合成し、ターゲ
ット上に堆積させた。EXAMPLES The present invention will be described in detail below based on examples. FIG. 1 is an explanatory view of a burner outlet of an embodiment of a burner used in the method for producing a porous glass preform according to the present invention. In the figure, 11, 12, and 13 are nozzles arranged concentrically, and 14 is a nozzle arranged between the nozzles 11 and 12. From the inside of the nozzle 11, as a raw material gas, for example, S
A mixed gas of (source gas + oxygen gas) using iCl 4 gas is supplied, hydrogen gas is supplied between the nozzles 11 and 12, and oxygen gas is supplied between the nozzles 12 and 13. Further, oxygen gas is supplied from the nozzle 14 having a small diameter. Glass fine particles were synthesized under the following conditions using the above-mentioned burner. That is, 25mmφ including the core
Prepare the target of 100rpm
The fine glass particles were synthesized while moving the burner at a burner distance of 150 mm, a traverse speed of 2000 mm / min, and a traverse length of 1000 mm, and deposited on a target.
【０００８】図２は、図１に示したバーナーのノズル１
１、１２、１４の厚さとバーナー寿命の関係を示したも
のである。ここで、バーナー寿命とは、ガラス微粒子合
成中にバーナーの先端が赤くなるまでの時間を指してい
る。バーナー先端が赤くなった状態で使用すると、バー
ナー先端形状が変形するので、この状態になるまでの時
間を寿命とした。図２においては、図５に示した従来技
術の説明に用いたバーナーにシールガスを流した場合の
寿命に対する相対的な寿命を示している。ここで、流し
た各ガスのノズル出口の平均流速を表１に示す。Ａｒ以
外のガス流速は本実施例と比較の従来方式において同一
にした。また、（原料ガス＋酸素ガス）の混合ガスにお
いては、原料ガスの流量割合を６２％とした。なお、１
０ｋｇのガラス微粒子を合成するのに要した時間を測定
し、その結果も表１に示した。図２からわかるように、
ノズル１１、１２、１４の厚さを変化させていくと、厚
さが１ｍｍを越えたところで、バーナー寿命が急激に低
下することがわかる。FIG. 2 shows the nozzle 1 of the burner shown in FIG.
The relationship between the thickness of 1, 12, and 14 and the burner life is shown. Here, the burner life refers to the time until the tip of the burner becomes red during the synthesis of glass particles. When the burner tip is used in a reddish state, the shape of the burner tip is deformed, so the time taken to reach this state was defined as the life. FIG. 2 shows the life relative to the life when the seal gas is passed through the burner used in the description of the conventional technique shown in FIG. Here, Table 1 shows the average flow velocities of the flown gases at the nozzle outlets. The gas flow rates other than Ar were the same in the conventional method as compared with this example. Further, in the mixed gas of (source gas + oxygen gas), the flow rate ratio of the source gas was 62%. 1
The time required to synthesize 0 kg of glass particles was measured, and the results are also shown in Table 1. As you can see from Figure 2,
It can be seen that when the thickness of the nozzles 11, 12, 14 is changed, the burner life is drastically reduced when the thickness exceeds 1 mm.
【０００９】[0009]
【表１】 [Table 1]
【００１０】図３は水素ガスのみ流速を変え、他のガス
流速は表１に示した通りにした場合、および、酸素ガス
のみ流速を変え、他のガス流速は表１に通りにした場合
の流速とガラス微粒子合成速度の関係を示す図である。
図３からわかるように、水素ガスのノズル出口における
平均流速（ガス流量／流路断面積）が１０ｍ／ｓを越え
ると、あるいは５ｍ／ｓを下回ると、合成速度は急激に
低下する。また、酸素ガスのノズル出口における平均流
速が５０ｍ／ｓを越えると、あるいは２０ｍ／ｓを下回
ると、合成速度は急激に低下する。図４は、（原料ガス
＋酸素ガス）の混合ガスの流速を変え、他のガス流速は
表１に示した通りにした場合の流速とガラス微粒子合成
速度の関係を示す図である。図４からわかるように、ノ
ズル出口における平均流速が５０ｍ／ｓを越えると、あ
るいは２０ｍ／ｓを下回ると、合成速度は急激に低下す
る。なお、この場合、原料ガスの流量は一定に保ち、酸
素ガスの流量を変えて混合ガスの流速を変化させた。な
お、バーナーの出口の構造は上記実施例に限定されるも
のでないことはいうまでもない。FIG. 3 shows the case where the flow rate of only hydrogen gas is changed and the flow rates of other gases are as shown in Table 1, and the flow rate of only oxygen gas is changed and the flow rates of other gases are as shown in Table 1. It is a figure which shows the relationship between a flow velocity and a glass-particles synthesis rate.
As can be seen from FIG. 3, when the average flow velocity (gas flow rate / flow passage cross-sectional area) of the hydrogen gas at the nozzle exit exceeds 10 m / s or falls below 5 m / s, the synthesis speed drops sharply. Further, when the average flow velocity of oxygen gas at the nozzle outlet exceeds 50 m / s or falls below 20 m / s, the synthesis speed sharply decreases. FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the flow rate and the glass fine particle synthesis rate when the flow rate of the mixed gas of (source gas + oxygen gas) is changed and the other gas flow rates are as shown in Table 1. As can be seen from FIG. 4, when the average flow velocity at the nozzle outlet exceeds 50 m / s or falls below 20 m / s, the synthetic velocity drops sharply. In this case, the flow rate of the raw material gas was kept constant, and the flow rate of the oxygen gas was changed to change the flow rate of the mixed gas. Needless to say, the structure of the outlet of the burner is not limited to the above embodiment.
【００１１】[0011]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、酸
素ガスおよび水素ガスをバーナーの異なるノズルから供
給して酸水素火炎を生じさせ、この酸水素火炎中に（原
料ガス＋酸素ガス）の混合ガスを前記バーナーの他のノ
ズルから供給してガラス微粒子を生成させ、このガラス
微粒子を回転するターゲットに堆積させて多孔質ガラス
母材を製造する多孔質ガラス母材の製造方法において、
（原料ガス＋酸素ガス）の混合ガスと水素ガスをノズル
出口において１ｍｍ以下の間隔で隣接して供給し、ま
た、水素ガスと酸素ガスもノズル出口において１ｍｍ以
下の間隔で隣接して供給し、（原料ガス＋酸素ガス）の
混合ガスおよび酸素ガスのノズル出口における平均流速
を２０ｍ／ｓｅｃ以上、５０ｍ／ｓｅｃ以下とし、水素
ガスのノズル出口における平均流速を５ｍ／ｓｅｃ以
上、１０ｍ／ｓｅｃ以下にするため、シールガスを用い
ることなくバーナー寿命を長くすることができるので、
多孔質ガラス母材の製造コストを低減することができ、
また、ガラス微粒子の合成速度を大きくすることができ
るという優れた効果がある。As described above, according to the present invention, oxygen gas and hydrogen gas are supplied from different nozzles of a burner to generate an oxyhydrogen flame, and during this oxyhydrogen flame (source gas + oxygen gas). In the method for producing a porous glass preform for producing a porous glass preform by supplying the mixed gas of from the other nozzle of the burner to generate glass fine particles, depositing the glass fine particles on a rotating target,
A mixed gas of (raw material gas + oxygen gas) and hydrogen gas are adjacently supplied at an interval of 1 mm or less at the nozzle outlet, and hydrogen gas and oxygen gas are also adjacently supplied at an interval of 1 mm or less at the nozzle outlet, The average flow velocity of the mixed gas of (source gas + oxygen gas) and oxygen gas at the nozzle outlet is set to 20 m / sec or more and 50 m / sec or less, and the average flow velocity of the hydrogen gas nozzle outlet is set to 5 m / sec or more and 10 m / sec or less. Therefore, since the burner life can be extended without using a seal gas,
It is possible to reduce the manufacturing cost of the porous glass base material,
Further, there is an excellent effect that the synthesis rate of the glass particles can be increased.
【図１】本発明にかかる多孔質ガラス母材の製造方法に
用いたバーナーの一実施例のバーナー出口説明図であ
る。FIG. 1 is an explanatory view of a burner outlet of an embodiment of a burner used in a method for producing a porous glass preform according to the present invention.
【図２】前記バーナーのノズルの厚さとバーナー寿命の
関係を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the thickness of the burner nozzle and the burner life.
【図３】前記バーナーを用いた、水素ガスの流速と合成
速度の関係を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a relationship between a flow rate of hydrogen gas and a synthesis rate using the burner.
【図４】前記バーナーを用いた、（原料ガス＋酸素ガ
ス）の混合ガスの流速と合成速度の関係を示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a flow rate of a mixed gas of (source gas + oxygen gas) and a synthesis rate using the burner.
【図５】従来のバーナー出口説明図である。FIG. 5 is an explanatory view of a conventional burner outlet.
【図６】（ａ）および（ｂ）は、２種類のガスを隣接し
て流した場合のノズル出口における流れの状態を示す図
である。6 (a) and 6 (b) are diagrams showing a flow state at a nozzle outlet when two kinds of gases are caused to flow adjacently.
１１、１２、１３、１４ ノズル 11, 12, 13, 14 nozzles
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ０２Ｂ 6/00 ３５６ Ａ 7036−2Ｋ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 5 Identification number Office reference number FI technical display location // G02B 6/00 356 A 7036-2K
Claims (1)
なるノズルから供給して酸水素火炎を生じさせ、この酸
水素火炎中に（原料ガス＋酸素ガス）の混合ガスを前記
バーナーの他のノズルから供給してガラス微粒子を生成
させ、このガラス微粒子を回転するターゲットに堆積さ
せて多孔質ガラス母材を製造する多孔質ガラス母材の製
造方法において、（原料ガス＋酸素ガス）の混合ガスと
水素ガスをノズル出口において１ｍｍ以下の間隔で隣接
して供給し、また、水素ガスと酸素ガスもノズル出口に
おいて１ｍｍ以下の間隔で隣接して供給し、（原料ガス
＋酸素ガス）の混合ガスおよび酸素ガスのノズル出口に
おける平均流速を２０ｍ／ｓｅｃ以上、５０ｍ／ｓｅｃ
以下とし、水素ガスのノズル出口における平均流速を５
ｍ／ｓｅｃ以上、１０ｍ／ｓｅｃ以下にすることを特徴
とする多孔質ガラス母材の製造方法。1. An oxygen gas and a hydrogen gas are supplied from different nozzles of a burner to generate an oxyhydrogen flame, and a mixed gas of (source gas + oxygen gas) is supplied from another nozzle of the burner into the oxyhydrogen flame. In a method for producing a porous glass base material, in which glass fine particles are supplied to generate glass fine particles, and the glass fine particles are deposited on a rotating target to produce a porous glass base material, a mixed gas of (raw material gas + oxygen gas) and hydrogen are used. Gas is supplied adjacent to the nozzle outlet at an interval of 1 mm or less, and hydrogen gas and oxygen gas are also adjacently supplied to the nozzle outlet at an interval of 1 mm or less. Average velocity of gas at the nozzle outlet is 20 m / sec or more, 50 m / sec
The average flow velocity of hydrogen gas at the nozzle outlet is set to 5 below.
A method for producing a porous glass base material, characterized in that the rate is not less than m / sec and not more than 10 m / sec.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6105793A JPH06247722A (en) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | Production of porous glass base material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6105793A JPH06247722A (en) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | Production of porous glass base material |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06247722A true JPH06247722A (en) | 1994-09-06 |
Family
ID=13160185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6105793A Pending JPH06247722A (en) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | Production of porous glass base material |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06247722A (en) |
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