JPH06242024A - Defect inspection system for sheet material - Google Patents
Defect inspection system for sheet materialInfo
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- JPH06242024A JPH06242024A JP5024408A JP2440893A JPH06242024A JP H06242024 A JPH06242024 A JP H06242024A JP 5024408 A JP5024408 A JP 5024408A JP 2440893 A JP2440893 A JP 2440893A JP H06242024 A JPH06242024 A JP H06242024A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、画像入力装置の焦点深
度よりも上下動範囲が大である状態で走行するシート状
物の欠陥の状態を検査するための検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection device for inspecting a defect state of a sheet-like object which is traveling with a vertical movement range larger than a depth of focus of an image input device.
【0002】[0002]
【従来の技術】シート状物の欠陥を検査する装置とし
て、例えば、走行するシート状物の画像を入力する画像
入力装置(CCDカメラ)と、ストロボ発光やライトガ
イドなどの照明装置と、画像処理装置からなるシート状
物の欠陥検査装置などが提案されている。2. Description of the Related Art As an apparatus for inspecting defects of a sheet-like object, for example, an image input device (CCD camera) for inputting an image of a traveling sheet-like object, an illuminating device such as stroboscopic light emission or a light guide, and image processing. There has been proposed a defect inspection device for a sheet-like object composed of the device.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、画像入
力装置の焦点深度よりも上下動範囲が大である状態で走
行するシート状物の欠陥の状態を検査することは、画像
入力装置の焦点深度よりも上下動範囲が大であるため
に、検査は実質上、不可能であった。In the prior art, inspecting the state of defects of a sheet-like object traveling in a state where the vertical movement range is larger than the depth of focus of the image input device is the focus of the image input device. Due to the greater up and down range than depth, inspection was virtually impossible.
【0004】この発明は、上述の背景に基づきなされた
ものであり、その目的とするところは、画像入力装置の
焦点深度よりも上下動範囲が大である状態で走行するシ
ート状物の欠陥を検査できるシート状物の欠陥検査装置
を提供することである。The present invention has been made on the basis of the above background, and an object of the present invention is to eliminate defects of a sheet-like object which is traveling in a state where the vertical movement range is larger than the depth of focus of the image input device. An object of the present invention is to provide a defect inspection device for a sheet-like object that can be inspected.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明では、画像入力装
置を上下動させ、合焦点位置になった時点で検査するこ
とで、従来の問題点を解決した。すなわち、この発明の
シート状物の欠陥検査装置は、走行するシート状物の、
上下動範囲よりも大きな範囲で上下動させる画像入力装
置と、前記シート状物と画像入力装置間の距離が、合焦
点位置±焦点深度のとき、画像処理装置に対して検査開
始信号を出力する変位センサと、前記検査開始信号の出
力時にストロボ発光を行うストロボ照明装置と、画像入
力装置と前記シート状物の間に設置して反射照明を行う
リング状光ファイバライトガイドと、画像処理装置から
なるものである。According to the present invention, the conventional problems have been solved by moving the image input device up and down and inspecting the image at the in-focus position. That is, the defect inspection device for a sheet-like object according to the present invention,
When the distance between the image input device that moves up and down in a range larger than the vertical movement range and the sheet and the image input device is the in-focus position ± focal depth, an inspection start signal is output to the image processing device. A displacement sensor, a strobe lighting device that emits strobe light when the inspection start signal is output, a ring-shaped optical fiber light guide that is installed between the image input device and the sheet-like object to perform reflection illumination, and an image processing device. It will be.
【0006】この発明の好ましい態様において、2系列
の変位センサを使用することで、透明なシート状物の表
面と裏面の欠陥を1台の画像入力装置で検査することを
可能とする。In a preferred embodiment of the present invention, the use of two series of displacement sensors makes it possible to inspect defects on the front and back surfaces of a transparent sheet-like object with a single image input device.
【0007】画像入力条件は、下記の通りである。 画像入力装置の上下動範囲は、次式の条件を満足さ
せる。 D>(L+t) D:画像入力装置の上下動範囲 H:合焦点位置(画像入力装置からシート状物までの距
離) L:シート状物の上下動範囲 t:シート状物の板厚 f:画像入力装置の焦点深度 表裏を別々に検査する場合は、次式の条件を満足さ
せる。満足していないと、両面の 欠陥を同時に検出す
る可能性がでてくる。 t>2f 変位センサの条件 表面検査用: H±fのときON 裏面検査用: H+t±fのときONThe image input conditions are as follows. The vertical movement range of the image input device satisfies the following condition. D> (L + t) D: Vertical movement range of image input device H: Focusing position (distance from image input device to sheet-like object) L: Vertical movement range of sheet-like object t: Thickness of sheet-like object f: When the front and back of the image input device are inspected separately, the condition of the following formula is satisfied. If not satisfied, there is a possibility that defects on both sides will be detected at the same time. t> 2f Displacement sensor condition For surface inspection: ON when H ± f For back surface inspection: ON when H + t ± f
【0008】[0008]
【作用】上記構成を有するこの発明による装置は、以下
のように動作する。シート状物は透明であり、厚さはt
であり、上下動範囲Lで走行している。変位センサは、
シート状物との変位を測定し、変位センサは、シート状
物の表面が、画像入力装置の合焦点位置±焦点深度とな
ったときON、第2の変位センサは、シート状物の裏面
が、画像入力装置の合焦点位置±焦点深度となったとき
ONとなる。The device according to the present invention having the above construction operates as follows. The sheet is transparent and has a thickness of t
Therefore, the vehicle is traveling in the vertical movement range L. The displacement sensor is
The displacement sensor measures the displacement with the sheet-like object, and the displacement sensor turns on when the front surface of the sheet-like object reaches the focus position ± depth of focus of the image input device, and the second displacement sensor detects the rear surface of the sheet-like object. , ON when the in-focus position of the image input device ± focus depth is reached.
【0009】画像入力装置の上下動範囲は、シート状物
の上下動範囲+シート状物の板厚より大である。変位セ
ンサの信号が画像処理装置に入力されたとき、画像処理
装置から、ストロボを発光させるための信号がストロボ
照明に出力され、光ファイバライトガイドを通して、光
が出射され、ストロボ照明が発光したとき、シート状物
の画像が、画像入力装置から入力される。この画像から
欠陥の数、および、サイズなどを、画像処理装置で測定
する。The vertical movement range of the image input device is larger than the vertical movement range of the sheet-like material + the sheet thickness of the sheet-like material. When the signal from the displacement sensor is input to the image processing device, the image processing device outputs a signal to the strobe lighting to the strobe lighting, and light is emitted through the optical fiber light guide and the strobe lighting emits light. An image of the sheet-like material is input from the image input device. From this image, the number and size of defects are measured by the image processing device.
【0010】[0010]
【実施例】第1図は、本発明の装置構成の1例を示す図
である。この実施例の装置は、走行するシート状物3
の、上下動範囲よりも大きな範囲で上下動させる画像入
力装置4と、シート状物と画像入力装置間の距離が、合
焦点位置±焦点深度のとき、画像処理装置に対して検査
開始信号を出力する変位センサ1、2と、検査開始信号
の出力時にストロボ発光を行うストロボ照明装置7と、
画像入力装置とシート状物の間に設置して反射照明を行
うリング状光ファイバライトガイド8と、画像処理装置
5からなり、この態様では、シート状物と画像入力装置
間の距離が、合焦点位置±焦点深度、および、合焦点位
置+板厚±焦点深度のとき、画像処理装置に対して検査
開始信号を出力する2系列の変位センサ1、2を使用す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a diagram showing an example of the apparatus configuration of the present invention. The apparatus according to this embodiment includes a traveling sheet-like material 3
When the distance between the image input device 4 that moves up and down in a range larger than the vertical movement range and the sheet-like object and the image input device is the in-focus position ± focal depth, an inspection start signal is sent to the image processing device. Displacement sensors 1 and 2 that output, and a strobe lighting device 7 that emits strobe light when an inspection start signal is output,
It is composed of a ring-shaped optical fiber light guide 8 which is installed between the image input device and the sheet-like object to perform reflection illumination, and the image processing device 5. In this aspect, the distance between the sheet-like object and the image input device is equal to each other. When the focus position is ± focal depth and the in-focus position + plate thickness ± focal depth, two series of displacement sensors 1 and 2 that output an inspection start signal to the image processing apparatus are used.
【0011】この装置のよる検査は、次の手順で行われ
る。シート状物3は、透明であり、厚さは数mmであり、
上下動範囲数mm、走行速度数m/分で走行している。変
位センサ1、2は、シート状物3との変位を測定してい
る。変位センサ1は、シート状物3の表面が、画像入力
装置4の合焦点位置±焦点深度となったときON、変位
センサ2は、シート状物3の裏面が、画像入力装置4の
合焦点位置±焦点深度となったときONとなる。The inspection by this device is performed in the following procedure. The sheet 3 is transparent and has a thickness of several mm,
It runs at a vertical range of several mm and a running speed of several m / min. The displacement sensors 1 and 2 measure the displacement with respect to the sheet-like material 3. The displacement sensor 1 is turned on when the front surface of the sheet-shaped object 3 is at the focus position ± the depth of focus of the image input device 4, and the displacement sensor 2 is the rear surface of the sheet-shaped object 3 when the image input device 4 is focused. It is turned ON when the position ± depth of focus is reached.
【0012】画像入力装置4は、CCDカメラを使用し
ており、レンズは長焦点マクロレンズ(f=110mm、
F=16)を使用している。画像入力条件は、分解能が
10μm/画素、焦点深度が±0.2mmとなっている。
また、画像入力装置4の上下動範囲は、(シート状物の
上下動範囲+シート状物の板厚)より大であることが必
要であるため、20mmの範囲で上下動を繰り返してい
る。従って、シート状物3の品種の変更、および、上下
動があっても、画像入力装置4の上下動範囲中に合焦点
位置となる状態を含んでいる。変位センサ1、2の信号
が画像処理装置5に入力されたとき、画像処理装置5か
ら、ストロボを発光させるための信号がストロボ照明7
に出力され、光ファイバライトガイド8を通して、約1
2μsの期間、光が出射される。ストロボ照明7が発光
したとき、シート状物3の画像が、ほとんど静止画像と
して、画像入力装置4から入力される。例えば、走行速
度が3m/分の場合、分解能である10μm分移動する
のに0.2 を要している。従って、発光時間が12
では0.6μm移動するのみである。この画像から欠陥
の数、および、サイズなどを、画像処理装置5で測定す
る。このときの入力画像、および、測定値などは、ディ
スプレイ6に表示される。The image input device 4 uses a CCD camera, and the lens is a long focus macro lens (f = 110 mm,
F = 16) is used. The image input conditions are a resolution of 10 μm / pixel and a depth of focus of ± 0.2 mm.
Further, since the vertical movement range of the image input device 4 needs to be larger than (the vertical movement range of the sheet-shaped material + the plate thickness of the sheet-shaped material), the vertical movement is repeated within the range of 20 mm. Therefore, even if the type of the sheet-like material 3 is changed and the sheet 3 is moved up and down, the state in which the in-focus position is within the vertical movement range of the image input device 4 is included. When the signals from the displacement sensors 1 and 2 are input to the image processing apparatus 5, the image processing apparatus 5 outputs a signal for causing the strobe to emit light.
Output to the optical fiber light guide 8
Light is emitted for a period of 2 μs. When the strobe illumination 7 emits light, the image of the sheet-like material 3 is input from the image input device 4 as a still image. For example, when the traveling speed is 3 m / min, 0.2 is required to move by 10 μm which is the resolution. Therefore, the emission time is 12
Then, it moves only by 0.6 μm. From this image, the number and size of defects are measured by the image processing device 5. The input image at this time, the measured value, and the like are displayed on the display 6.
【0013】[0013]
【発明の効果】本発明は、画像入力装置の焦点深度より
も上下動範囲が大である状態で走行するシート状物の欠
陥を検査できるものであり、シート状物の欠陥検査装置
としての効果は大である。INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is capable of inspecting a defect of a sheet-like object traveling in a state where the vertical movement range is larger than the depth of focus of the image input apparatus, and is an effect as a sheet-like defect inspection apparatus. Is large.
【図1】図1は、本発明の装置構成の一実施例を示す概
略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the apparatus configuration of the present invention.
1、2 変位センサ 3 シート状物 4 画像入力装置 5 画像処理装置 6 ディスプレイ 7 ストロボ照明 8 リング状ライトガイド 1, 2 Displacement sensor 3 Sheet material 4 Image input device 5 Image processing device 6 Display 7 Strobe illumination 8 Ring light guide
Claims (2)
も大きな範囲で上下動させる画像入力装置と、前記シー
ト状物と画像入力装置間の距離が、合焦点位置±焦点深
度のとき、画像処理装置に対して検査開始信号を出力す
る変位センサと、前記検査開始信号の出力時にストロボ
発光を行うストロボ照明装置と、画像入力装置と前記シ
ート状物の間に設置して反射照明を行うリング状光ファ
イバライトガイドと、画像処理装置からなることを特徴
とするシート状物の欠陥検査装置。1. An image input device for moving a moving sheet-like object up and down within a range larger than a vertical movement range, and a distance between the sheet-like object and the image input device is a focus position ± focus depth. A displacement sensor that outputs an inspection start signal to an image processing device, a strobe lighting device that emits strobe light when the inspection start signal is output, and a reflection illumination that is installed between the image input device and the sheet-like object A defect inspection device for a sheet-like object, comprising a ring-shaped optical fiber light guide and an image processing device.
合焦点位置±焦点深度、および、合焦点位置+板厚±焦
点深度のとき、画像処理装置に対して検査開始信号を出
力する2系列の変位センサを使用する特許請求の範囲第
1項記載のシート状物の欠陥検査装置。2. The distance between the sheet and the image input device is
The two series of displacement sensors that output an inspection start signal to the image processing device at the in-focus position ± focal depth and the in-focus position + plate thickness ± focal depth are used. Defect inspection system for sheet materials.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02440893A JP3288103B2 (en) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | Sheet inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02440893A JP3288103B2 (en) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | Sheet inspection system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06242024A true JPH06242024A (en) | 1994-09-02 |
JP3288103B2 JP3288103B2 (en) | 2002-06-04 |
Family
ID=12137347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02440893A Expired - Fee Related JP3288103B2 (en) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | Sheet inspection system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3288103B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006022014A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Tsukuba Seiko Ltd. | Conveying/inspecting apparatus and conveying apparatus |
JP2006510031A (en) * | 2002-12-16 | 2006-03-23 | ベルトロニクス,インコーポレイテッド | A method for optimizing inspection speed without sacrificing signal-to-noise ratio, resolution, or focus quality in low light and fluorescent light applications |
-
1993
- 1993-02-12 JP JP02440893A patent/JP3288103B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006510031A (en) * | 2002-12-16 | 2006-03-23 | ベルトロニクス,インコーポレイテッド | A method for optimizing inspection speed without sacrificing signal-to-noise ratio, resolution, or focus quality in low light and fluorescent light applications |
WO2006022014A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Tsukuba Seiko Ltd. | Conveying/inspecting apparatus and conveying apparatus |
US7692778B2 (en) | 2004-08-27 | 2010-04-06 | Tsukuba Seiko Ltd. | Transfer/inspection apparatus and transfer apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3288103B2 (en) | 2002-06-04 |
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