JPH0622849U - 差圧調整ダンパー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 クリーンルーム１１と外部１２とを仕切る壁
体１３に設置された差圧調整ダンパーＢであって、壁体
１３を連通する通気孔１５の上方部に水平方向に位置す
る支持軸２１に、通気孔１５を開閉自在とする開閉板１
７を回動自在に支持し、この開閉板１７は、開閉部２２
の下端に形成したフラップ部２３と、支持軸２１の近傍
で開閉部２２の上端から支持軸２１を含む鉛直面に対し
てクリーンルーム１１側に形成した折曲部２４，立ち上
がり部２５，バランスウェイト保持部２６から構成さ
れ、この開閉板１７の外部１２側に調整ウェイト１８を
移動可能に設け、立ち上がり部２５とバランスウェイト
保持部２６のクリーンルーム１１側にバランスウェイト
１９を固定した。 【効果】 クリーンルーム１１内外の差圧を所定の範囲
に保持することができ、かつ、応答性，安定性に優れた
差圧調整ダンパーＢを得ることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えばクリーンルーム等において、開口部を挟んで内側と外側との 間に生ずる圧力差によって、この開口部を開閉してクリーンルーム内の圧力を調 整する差圧調整ダンパーに関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、半導体集積回路を製造する室等のように、その室内に塵埃等の進入を 防止する必要があるクリーンルーム等においては、その室内の空気圧を室外の空 気圧よりも若干高くし、室内と室外とを連通する通気ダクトに内外の空気圧の差 によって自動的に開閉する差圧調整ダンパーを設けることによって、塵埃等が多 く含まれている室外の空気の進入を防ぎながら室内の空気を外部に放出して、ク リーンルーム内の圧力を調整している。

【０００３】 従来、図４および図５に示すように、上記のようなクリーンルームに備えられ る差圧調整ダンパーＡは、クリーンルーム１と、その外部２とを仕切る壁体３に 形成された開口部４内に設けられている。 差圧調整ダンパーＡは、下部に通気孔５ａが形成されたフレーム５と、通気孔 ５ａを開閉する開閉板６と、この開閉板６を適宜回動トルクをもって通気孔５ａ を閉塞する方向に回動させる調整ウェイト７と、開閉板６に上記調整ウェイト７ とは逆方向（通気孔５ａを開放する方向）の回動トルクを与えるバランスウェイ ト８を有してなるものである。

【０００４】 開閉板６は、フレーム５の通気孔５ａの上部のクリーンルーム１側に、水平方 向に沿って設けられた支持軸９を中心にして、回動自在に取付けられた板材で構 成されたものである。この開閉板６を、通気孔５ａを閉塞した状態からクリーン ルーム１の外部２側へ回動して、通気孔５ａを開放するように構成されている。

【０００５】 調整ウェイト７は、開閉板６の外面に上下方向に沿って開閉板６と平行に取付 けられた案内棒１０に移動可能にとりつけられている。この調整ウェイト７は、 案内棒１０の適宜位置に固定することにより開閉板６に所望の回動トルクを与え ることができる構造とされている。 バランスウェイト８は、開閉板６の上端部のクリーンルーム１側に、カラー８ ａを介して固定されている。

【０００６】 上記の構造の差圧調整ダンパーＡは、案内棒１０の適宜位置に固定した調整ウ ェイト７と、バランスウェイト８とによる回転モーメントにより、クリーンルー ム１内外の設定圧力差に対応した回動トルクを開閉板６に与える。そして、クリ ーンルーム１内外の圧力差が設定圧力差を越えた場合にその圧力差により調整ウ ェイト７による回動トルクに抗して開閉板６が開き、クリーンルーム１内の空気 を外部に放出させる。その後、クリーンルーム１内の圧力が低下し、クリーンル ーム１内外の圧力差が設定圧力差内となった時点で、調整ウェイト７によって開 閉板６に回動トルクを与え、開閉板６が閉塞する。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記のような構成の差圧調整ダンパーＡにおいては、以下のよ うな問題が存在していた。 まず、開閉板６が閉塞状態から開き始める寸前に、クリーンルーム１内の圧力 がわずかに高くなる。これは、閉塞状態において、支持軸９を含む鉛直面に対し て外部２側に開閉板６およびカラー８ａがあるため、支持軸９を含む鉛直面に対 してクリーンルーム１側のバランスウェイト８が、前記の開閉板６およびカラー ８ａと同じ重量分だけ相殺されて、回転モーメントに寄与しないために生じる。 すなわち、開閉板６に回転モーメントを生じさせるための有効ウェイト重量が減 少し、発生する回動トルク量が減るため、開閉板６の応答性が低下し、安定した 圧力状態を得ることができないのである。

【０００８】 また、開閉板６の開度が大きくなるにしたがって、調整ウェイト７による回動 トルクが増加するので、圧力に対する開閉板６の開度が不足する。すなわちクリ ーンルーム１内外の圧力差が増加すると、その圧力差に応じた開閉板６の開度を 得ることができなくなり、適切な放出処理空気量を得ることができないため、ク リーンルーム１内の圧力が増加してしまう。これによりクリーンルーム１内の空 気圧の安定性が低下する。

【０００９】 さらには、開閉板６が開放端付近まで開くと、クリーンルーム１内から放出さ れる空気の流れにより生じる開閉板６の浮力が０に近くなり、開閉板６に閉塞す る方向のトルクが生じる。これにより、開閉板６がその回動方向にバタついて、 クリーンルーム１内の圧力が変動し、クリーンルーム１内の空気圧の安定性が低 下してしまう。 本考案は、上記のような問題を考慮し、応答性，安定性に優れた差圧調整ダン パーを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、第１，第２の室を仕切る鉛直面内に位置する壁体に形成された開口 部内に、フレームが嵌着固定され、該フレームには前記壁体の両側方間を連通す る通気孔が形成され、該通気孔の上方部には水平方向に位置させて支持軸が配設 され、該支持軸には前記通気孔を開閉自在とする開閉板が回動自在に支持された 差圧調整ダンパーであって、前記開閉板は、前記支持軸を含む鉛直面を境として 、前記第１の室側かつ前記支持軸の下方において、前記通気孔を開閉自在とする 開閉部と、該開閉部の下端から前記第１の室側方向へ折り曲げられたフラップ部 と、前記支持軸の近傍において前記開閉部の上端から前記鉛直面に対して前記第 １の室方向へ折り曲げられた水平部を有する折曲部と、該折曲部の先端に連続し て前記第１の室側で鉛直上方に立ち上げられた立ち上がり部と、該立ち上がり部 の先端に連続して前記第１の室側の水平方向に折り曲げられたバランスウェイト 保持部と、から構成され、前記開閉板の前記第２の室側に調整ウェイトが前記支 持軸に対して移動可能に設けられ、前記立ち上がり部および前記バランスウェイ ト保持部の前記第１の室側にバランスウェイトが固定され、かつ、前記鉛直面を 境とした前記第１の室側に位置する前記開閉板の上部と該バランスウェイトとの 重心が前記鉛直面を基準として前記第１の室側とされると共に、前記バランスウ ェイトと前記開閉板と前記調整ウェイトとからなる重心が、前記開閉板が閉塞し た状態で均衡していることを特徴としている。

【００１１】

【作用】

開閉板が閉塞している状態では、開閉板により第１の室と第２の室とが仕切ら れ、調整ウェイトによりこの開閉板を閉塞する方向の回転モーメントが与えられ 、一方バランスウェイトにより開閉板を開放する方向の回転モーメントが与えら れ、バランスウェイトと開閉板と調整ウェイトとからなる重心が、開閉板が閉塞 した状態で均衡している状態となっている。第１の室側の圧力が高まると、第１ の室と第２の室との圧力差により、開閉板に第１の室側から圧力がかかって均衡 が崩れ、バランスウェイトによる開閉板を開放する方向の回動トルクにより開閉 板が支持軸周りに回動して開閉板が開放され、第１の室から第２の室へと空気が 放出される。また、開閉板が開放されている時には、開閉板の開閉部の下端から 第１の室側方向へ折り曲げられたフラップ部に、第１の室から第２の室へと放出 される空気が当たり、フラップ部に浮力が発生する。そして、第１の室から第２ の室へと空気が放出されて第１の室と第２の室との圧力差が所定より小さくなる と、調整ウェイトによる開閉板を閉塞する方向の回動トルクにより開閉板が支持 軸周りに回動して開閉板が閉塞し、第１の室と第２の室とが仕切られる。

【００１２】

【実施例】

以下、図面を参照してこの考案の一実施例を詳細に説明する。 図１および図２は、この考案による差圧調整ダンパーＢを示すものである。 差圧調整ダンパーＢは、基本的構造を従来のものと同様とするもので、クリー ンルーム（第１の室）１１とその外部（第２の室）１２を仕切る壁体１３に形成 された開口部１４内に設けられている。

【００１３】 差圧調整ダンパーＢは、下部に通気孔１５を有するフレーム１６と、通気孔１ ５を開閉する開閉板１７と、開閉板１７に移動可能に取付けられた調整ウェイト １８と、開閉板１７に固定されたバランスウェイト１９とからなるものである。

【００１４】 ヒンジ２０が通気孔２０の上部に取付けられ、ヒンジ２０の支持軸２１は、水 平方向に位置するように配設されている。

【００１５】 開閉板１７は、例えば金属板等により形成され、支持軸２１を含む鉛直面に対 して外部１２側に、ヒンジ２０の支持軸２１を中心として回動自在に支持されて いる。 開閉板１７は、支持軸２１より下方の開閉部２２により通気孔１５を開閉自在 とし、通気孔１５を閉塞した状態からクリーンルーム１１の外部１２側へ回動し て通気孔１５を開放する構造とされている。この開閉部２２の下端には、水平な 線に沿ってクリーンルーム１１側に若干折り曲げられたフラップ部２３が形成さ れている。

【００１６】 開閉板１７の上部１７ａには、ヒンジ２０の上方で開閉部２２の上端に連続し て、支持軸２１に平行な線に沿って支持軸２１を含む鉛直面に対してクリーンル ーム１１側に水平方向に折り曲げられた水平部２４ａを有する折曲部２４が形成 されている。 この折曲部２４に連続して、支持軸２１を含む鉛直面に対してクリーンルーム １１側で鉛直上方にむけて立ち上げられた立ち上がり部２５が形成されている。 さらに、この立ち上がり部２５の先端に連続して、クリーンルーム１１側に水 平方向に延ばされたバランスウェイト保持部２６が形成されている。

【００１７】 バランスウェイト１９は、開閉板１７の上部１７ａの、立ち上がり部２５，バ ランスウェイト保持部２６のクリーンルーム１１側に、例えばボルト等により、 固定されている。このバランスウェイト１９により、開閉板１７を通気孔１５を 開放する方向に回動させる回動トルクを与える構造とされている。 これら立ち上がり部２５，バランスウェイト保持部２６，バランスウェイト１ ９の全ては、支持軸２１を含む鉛直面に対してクリーンルーム１１側に配設され 、これらの重心Ｇは支持軸２１を含む鉛直面を基準としてクリーンルーム１１側 に位置している。

【００１８】 開閉板１７の外側面１７ｂ側におけるヒンジ２０の取付け部分には、開閉板１ ７の外側面１７ｂに対して鉛直に突出させた案内棒２７が設けられている。

【００１９】 調整ウェイト１８は、案内棒２７に、案内棒２７の延在する方向に移動可能に 取付けられたものである。この調整ウェイト１８を案内棒２７に沿って移動させ ることにより、開閉板１７に、開閉板１７を通気孔１５を閉塞する方向に回動さ せる適宜な回動トルクを与える構造とされている。

【００２０】 また、ここで、開閉板１７，調整ウェイト１８，バランスウェイト１９は、開 閉板１７が閉塞した状態で均衡している状態とされ、開閉部２２にクリーンルー ム１１側から圧力がかかると、設定圧力差となった時点で容易に回動するように 設定されている。

【００２１】 次に、上記の構成の差圧調整ダンパーＢの作用について図１ないし図３を用い て説明する。 この差圧調整ダンパーＢにおいても従来のものと同様に、開閉板１７がクリー ンルーム１１内外の設定圧力差に対応した回動トルクを得るように調整ウェイト １８を案内棒２７上の所定位置に固定する。 そして、クリーンルーム１１内外の圧力差が設定圧力差を越えた場合に、開閉 板１７には、バランスウェイト９により通気孔１５を開放する方向に与えられて いる回動トルクに加え、クリーンルーム１１側からかかる圧力により、調整ウェ イト１８による回動トルクに抗して開閉板１７が開いて、クリーンルーム１１内 の空気を外部に放出する。

【００２２】 開閉板１７が開き始める際には、バランスウェイト１９により、開閉板１７を 通気孔１５を開放する方向に回動させる回動トルクを与え、開閉板１７を開く。 この時、バランスウェイト１９，立ち上がり部２５，バランスウェイト保持部２ ６の全てが、ヒンジ２０の支持軸２１の上方のクリーンルーム１１側に固定され ており、開閉板１７を回動させるための回動トルクの発生源となり、開閉板１７ が開きやすくなっている。

【００２３】 また、開閉板１７が開くと、開閉板１７のフラップ部２３に、クリーンルーム １１から外部１２へと放出される空気の流れにより、浮力が生じる。この浮力に より開閉板１７がさらに開放する方向に回動して、有効開口面積が大きくなる。

【００２４】 そして、クリーンルーム１１内外の圧力差が設定圧力差よりも小さくなると、 調整ウェイト１８による開閉板１７を閉塞する方向の回動トルクにより、開閉板 １７が支持軸２１周りに回動して開閉板１７が通気孔１５を閉塞し、クリーンル ーム１１内外を仕切る。

【００２５】 次に、図３に示すように、この考案による差圧調整ダンパーＢと従来の差圧調 整ダンパーＡとにおける、クリーンルーム１１内外の圧力差に対する処理空気量 の関係を示す。 図３に示した実線は、この考案による差圧調整ダンパーＢであり、この差圧調 整ダンパーＢは、開口部寸法が２２５ｍｍ＊１５０ｍｍ、圧力調整範囲が１〜４ ｍｍＨ₂Ｏ、標準処理空気量が３００ｍｍ³／ｈである。

【００２６】 以上、上述したように、上記のような圧力調整ダンパーＢを用いた測定によっ ても明らかなように、この考案による差圧調整ダンパーＢは、標準処理空気量を 越えない範囲ではクリーンルーム１１内外の圧力差をほぼ設定圧力差に保持する ことができる。

【００２７】 また、開閉板１７，調整ウェイト１８，バランスウェイト１９が、開閉板１７ が閉塞した状態で均衡しており、かつ、バランスウェイト１９，立ち上がり部２ ５，バランスウェイト保持部２６の全てが、支持軸２を含む鉛直面よりもクリー ンルーム１１側に設けられた構造となっている。これにより、バランスウェイト １９のみならず、金属板等により形成された立ち上がり部２５，バランスウェイ ト保持部２６の重量も、開閉板１７を開く方向への回動トルクの発生源となる有 効ウェイト重量として寄与するので、応答性が向上して開閉板１７が開きやすく なる。これにより、開閉板１７が開く寸前のクリーンルーム１１内の圧力上昇を 防ぐことができると共に、バランスウェイト１９を小型化することができる。ま た開閉板１７も一体成型で形成できるので、加工が容易である。

【００２８】 また、開閉板１７の先端に、フラップ部２３が形成されているので、クリーン ルーム１１内から外部１２へとながれる空気により、開閉板１７が浮力を得て開 度が大きくなり、有効開口面積が大きくなるので、クリーンルーム１１内の空気 圧の差圧調整を安定して、かつ、効率良く行うことができる。これにより、圧力 調整ダンパーＢを、従来より小型化することができ、コストダウン、外観の向上 、スペースの有効利用を実現することができる。

【００２９】 さらに、開閉板１７が開放端付近にまで開いたときには、フラップ部２３に生 じた浮力により、開閉板１７がバタつくことがなく、安定して差圧調整を行うこ とができる。

【００３０】 なお、上記実施例において案内棒２７を開閉板１７に対して垂直に設けたが、 例えば開閉板１７が閉塞状態において垂直方向をなさない場合には、開閉板１７ の閉塞状態において案内棒２７がほぼ水平になるように取付けることが必要であ る。 また、調整ウェイト１８が案内棒２７上をその長手方向に移動自在に構成した が、調整ウェイト１８を案内棒２７に固定し、案内棒を開閉板１７に対して移動 可能に設けてもよい。

【００３１】

【考案の効果】 以上説明したように、本考案の差圧調整ダンパーによれば、第１の室側の圧力 が高まると、第１の室と第２の室との圧力差により、開閉板に第１の室側から圧 力がかかり、開閉板を開放する方向のバランスウェイトによる回動トルクにより 開閉板が支持軸周りに回動して開閉板が開放され、第１の室から第２の室へと空 気が放出される。また、第１の室と第２の室との圧力差が所定より小さくなると 、開閉板を閉塞する方向の調整ウェイトによる回動トルクにより開閉板が支持軸 周りに回動して開閉板が閉塞し、第１の室と第２の室とが仕切られる。これによ り、第１の室と第２の室との圧力差を設定差圧の範囲に保持することができる。 また、開閉板，調整ウェイト，バランスウェイトとが、開閉板が閉塞した状態 で均衡し、かつ、バランスウェイト，立ち上がり部，バランスウェイト保持部の 全てが、支持軸を含む鉛直面よりも第１の室側に設けられた構造となっているの で、バランスウェイトのみならず立ち上がり部，バランスウェイト保持部の重量 も、開閉板を開く方向への回動トルクの発生源として寄与し、応答性が向上して 開閉板が開きやすくなる。これにより、開閉板が開く寸前の第１の室内の圧力上 昇を防ぐことができると共に、バランスウェイトを小型化することができる。 また、開閉板が開放されている時には、開閉板の開閉部の下端から第１の室側 方向へ折り曲げられたフラップ部に、第１の室から第２の室へと放出される空気 が当たり、フラップ部に浮力が発生する。すると、開閉板が浮力を得て開閉板の 開度が大きくなるので有効開口面積が大きくなり、第１の室内の空気圧の差圧調 整を効率良く行うことができる。これにより、差圧調整ダンパーを、従来より小 型化することができ、コストダウン、外観の向上、スペースの有効利用を実現す ることができる。 さらに、開閉板が開放端付近にまで開いたときには、フラップ部に生じた浮力 により、開閉板がバタつくことがないので、安定して第１の室と第２の室との差 圧調整を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る差圧調整ダンパーを示す断面図で
ある。

【図２】本考案に係る差圧調整ダンパーを示す正面図で
ある。

【図３】本考案による差圧調整ダンパーと従来の差圧調
整ダンパーとにおける室内外の圧力差に対する処理空気
量との関係を示す線図である。

【図４】従来の差圧調整ダンパーを示す断面図である。

【図５】従来の差圧調整ダンパーを示す正面図である。

【符号の説明】

１１ クリーンルーム（第１の室） １２ 外部（第２の室） １３ 壁体 １４ 開口部 １５ 通気孔 １６ フレーム １７ 開閉板 １８ 調整ウェイト １９ バランスウェイト ２１ 支持軸 ２２ 開閉部 ２３ フラップ部 ２４ 折曲部 ２５ 立ち上がり部 ２６ バランスウェイト保持部 Ｂ 差圧調整ダンパー Ｇ 重心

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１，第２の室を仕切る鉛直面内に位置
   する壁体に形成された開口部内に、フレームが嵌着固定
   され、該フレームには前記壁体の両側方間を連通する通
   気孔が形成され、該通気孔の上方部には水平方向に位置
   させて支持軸が配設され、該支持軸には前記通気孔を開
   閉自在とする開閉板が回動自在に支持された差圧調整ダ
   ンパーであって、前記開閉板は、前記支持軸を含む鉛直
   面を境として前記第１の室側かつ前記支持軸の下方にお
   いて、前記通気孔を開閉自在とする開閉部と、該開閉部
   の下端から前記第１の室側方向へ折り曲げられたフラッ
   プ部と、前記支持軸の近傍において前記開閉部の上端か
   ら前記鉛直面に対して前記第１の室方向へ折り曲げられ
   た水平部を有する折曲部と、該折曲部の先端に連続して
   前記第１の室側で鉛直上方に立ち上げられた立ち上がり
   部と、該立ち上がり部の先端に連続して前記第１の室側
   の水平方向に折り曲げられたバランスウェイト保持部と
   から構成され、前記開閉板の前記第２の室側に調整ウェ
   イトが前記支持軸に対して移動可能に設けられ、前記立
   ち上がり部および前記バランスウェイト保持部の前記第
   １の室側にバランスウェイトが固定され、かつ、前記鉛
   直面を境とした前記第１の室側に位置する前記開閉板の
   上部と該バランスウェイトとの重心が前記鉛直面を基準
   として前記第１の室側とされると共に、前記バランスウ
   ェイトと前記開閉板と前記調整ウェイトとからなる重心
   が、前記開閉板が閉塞した状態で均衡していることを特
   徴とする差圧調整ダンパー。