JPH06216280A - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 - Google Patents

半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置

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JPH06216280A
JPH06216280A JP808893A JP808893A JPH06216280A JP H06216280 A JPH06216280 A JP H06216280A JP 808893 A JP808893 A JP 808893A JP 808893 A JP808893 A JP 808893A JP H06216280 A JPH06216280 A JP H06216280A
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epoxy resin
epoxy
molecule
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JP808893A
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English (en)
Inventor
Hiromi Ito
浩美 伊藤
Hirofumi Fujioka
弘文 藤岡
Masakazu Murayama
雅一 村山
Yuzo Kanegae
裕三 鐘ケ江
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 ナフタレン環および(または)アントラセン
環をもつエポキシ樹脂(A)、ナフタレン環および(ま
たは)アントラセン環をもつ硬化剤(B)、硬化促進剤
および無機充填剤(C)とからなる半導体封止用エポキ
シ樹脂組成物およびこれを用いて封止した半導体装置。
前記組成物にはさらに可撓化剤(D)として変性シリコ
ーンオイルと前記(A)または(B)との反応生成物を
添加するのが好ましい。また(B)の環には電子吸引性
基を有するものが好ましい。 【効果】 吸水率、熱膨張係数の小さい組成物がえら
れ、該組成物で封止した半導体装置はヒートサイクル故
障率、吸水パッケージラック率が極めて小さい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体封止用エポキシ樹
脂組成物およびその硬化物に関する。さらに詳しくは、
エポキシ樹脂および硬化剤が分子中に1個以上のナフタ
レン環および(または)アントラセン環を有する半導体
封止用エポキシ樹脂組成物に関する。
【0002】本発明はまた、可撓化剤として、変性シリ
コーンオイルと、分子中に1個以上のナフタレン環およ
び(または)アントラセン環を有するエポキシ樹脂、お
よび(または)分子中に1個以上のナフタレン環および
(または)アントラセン環とフェノール性水酸基とを有
する硬化剤との反応生成物を用いた半導体封止用エポキ
シ樹脂組成物に関する。
【0003】本発明はまたエポキシ樹脂の耐湿性と耐熱
性とを有し、かつ低弾性率で低膨張率、高靭性、低吸湿
性の硬化物を提供する半導体封止用エポキシ樹脂組成物
からえられた硬化物を用いた半導体装置に関する。
【0004】
【従来の技術・発明が解決しようとする課題】近年、半
導体素子は、高集積化に伴ってチップ面積が大型化さ
れ、かつ、高密度実装化技術の発展に伴いパッケージが
薄肉化されており、従来用いられているオルトクレゾー
ルノボラック型などのエポキシ樹脂組成物で封止して半
導体素子を製造すると、チップにクラックが生じたり、
ボンディング線の切断、アルミ配線のスライド、封止樹
脂のクラックなどが生じたりしやすいという問題があ
る。さらに、表面実装化の進歩によりパッケージ全体が
瞬時に高温にされされるため、樹脂中の水分の爆発的な
蒸発により樹脂とチップ間の剥離やパッケージ樹脂のク
ラックなどが生じやすいという問題がある。これらは半
導体部品には致命的な故障である。これは、従来の半導
体封止用エポキシ樹脂が、おもに耐熱性を良好にすると
いう観点から開発されており、その硬化物が可撓性に乏
しく、素子に加わる応力が大きく、かつ、吸湿性も大き
いためである。
【0005】一般に半導体封止用エポキシ樹脂の応力を
低減させる方法には、樹脂の熱膨張率を小さくして熱歪
を小さくする方法と、弾性率を小さくして熱歪による応
力を小さくする方法とが知られている。また、耐熱性、
耐湿性を保持しながら熱歪の小さい温度領域を広げるた
めには、ガラス転位温度を高くする必要がある。
【0006】前記低応力化の方法としては、可撓化剤を
添加する方法があるが、従来から使用されている可撓化
剤(たとえば長鎖アルキレンポリアミン、ポリオキシア
ルキレングリコール、長鎖状アルキレンオキサイドを有
するビスフェノールA型ジグリシジルエーテルなど)を
配合して弾性率を低下させる方法には、硬化物のガラス
転移温度が大きく低下し、耐熱性、耐湿性が低下すると
いう欠点がある(特公昭59-8718号公報、特開昭59-3082
0号公報、特開昭59-226066号公報など参照)。
【0007】一方、耐湿性およびガラス転移温度の低下
が小さい可撓化剤としては、両末端にエポキシ樹脂と反
応しうる官能基を有するポリブタジエンや、ブタジエン
とアクリロニトリルとの共重合体などからえられるエラ
ストマー変性可撓化剤も考案されている(特開昭58-174
416号公報、特公昭58-108220号公報、特開昭58-184204
号公報、特公昭62-9248号公報、特開昭59-113021号公
報、特開昭59-58024号公報などを参照)。しかしなが
ら、前記エラストマー変性可撓化剤には、高温時におい
てエラストマー中の不飽和結合が酸化され劣化するため
に、可撓化効果が消失するという問題がある。
【0008】また、高温度下での電気特性、熱安定性に
おいてすぐれた可撓化剤である低弾性率のシリコーン樹
脂やシリコーンゴムを分散させるという方法も知られて
いる(特開昭62-84147号公報、特開昭56-4647、特開昭6
4-29450号公報など参照)。しかし、シリコーン樹脂は
金属との接着性が乏しく、シリコーンゴムはエポキシマ
トリクスとの界面強度が弱いため硬化物の透湿性が大き
くなり、耐湿性が悪く、機械強度も弱いという点で信頼
性にかけるという問題がある。
【0009】本発明者らは、可撓化剤として、エポキシ
基を有する変性シリコーンオイルとフェノールノボラッ
ク樹脂との予備反応物やヒドロキシフェニル基を有する
変性シリコーンオイルとエポキシ樹脂との予備反応物を
用いたエポキシ樹脂組成物が、耐熱性、耐湿性を有し、
かつ低弾性率、低膨張率の硬化物を与えることを見出し
ている(特公昭62-83158号公報、特開平2-11654号公報
および特開平2-28213号公報参照)。
【0010】しかし前記特公昭62-83158号公報、特開平
2-11654号公報および特開平2-28213号公報に記載された
発明は従来品よりも改良されてはいるものの未だ充分な
耐熱性、耐湿性を有するものではなく、それら樹脂組成
物を用いて封止した半導体素子の耐クラック性などに問
題があり、表面実装に対して信頼性が充分でないという
問題がある。
【0011】また可撓化剤を使用せず、シリカ充填剤の
充填率をあげることによって封止剤の吸水率を低下させ
ることも試みられている。この方法は封止剤の線膨張係
数を低下させる効果もあり、耐クラック性の改善効果は
えられるものの成形時の流動性が著しく悪くなるなどの
問題がある。
【0012】本発明は、従来の樹脂組成物がもつ特性に
加えて、低熱膨張率、低吸湿性および高靭性を有する硬
化物を与える半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそ
の硬化物ならびに該硬化物を用いた耐クラック性にすぐ
れ、表面実装に対して信頼性の高い半導体装置を提供す
ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は(A1)1分子
中に1個以上のナフタレン環および(または)アントラ
セン環を有し、かつ1分子中に1個以上のエポキシ基と
を有するエポキシ樹脂、(B1)1分子中に1個以上の
ナフタレン環および(または)アントラセン環を有し、
かつ1分子中に1個以上のフェノール性水酸基を有する
硬化剤、ならびに(C)硬化促進剤および無機充填剤か
らなる半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関する。
【0014】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、エポキシ樹脂(A1)が式(I):
【0015】
【化14】 (式中、Rは2価の有機基、nは正の整数を表す)で
表される化合物であり、硬化剤(B1)が式(II):
【0016】
【化15】 (式中、Rは2価の有機基、mは正の整数を表す)で
表される化合物であるのが好ましい。
【0017】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては硬化剤(B)が式(III):
【0018】
【化16】 (式中、Yは電子吸引性基、R2は2価の有機基を表
し、j、k、mはそれぞれ正の整数(ただし、2≦j+
k≦6)を表す)で表される化合物であるのが好まし
い。
【0019】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては硬化剤(B1)が式(III)においてYが
フッ素原子、フッ素置換アルキル基および臭素原子から
なる群から選ばれたものであるのが好ましい。
【0020】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては硬化剤(B1)が式(IV):
【0021】
【化17】 (式中、R2は2価の有機基を表し、mは正の整数を表
す)で表される化合物であるのが好ましい。
【0022】本発明はまた、(A)エポキシ樹脂(B)
硬化剤(C)硬化促進剤および無機充填剤および(D)
シリコーン可撓化剤とからなり、エポキシ樹脂(A)が
1分子中に1個以上のナフタレン環および(または)ア
ントラセン環を有し、かつ1分子中に1個以上のエポキ
シ基を有するエポキシ樹脂(A1)および(または)1
分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂
(A2)であり、硬化剤(B)が1分子中に1個以上の
ナフタレン環および(または)アントラセン環を有し、
かつ、分子中に1個以上のフェノール性水酸基を有する
硬化剤(B1)および(または)1分子中に1個以上の
フェノール性水酸基を有する硬化剤(B2)であり、シ
リコーン可撓化剤(D)が、(D1):式(V)
【0023】
【化18】 (式中、Aはエポキシ反応性基、R3〜R7はそれぞれ同
じでも異っていてもよい炭素数1〜20のアルキル基、ア
リール基またはアラルキル基またはポリアルキレンオキ
サイド基、R8は2価の有機基、R9は−R8−Aまたは
炭素数1〜20のアルキル基、アリール基またはアラルキ
ル基、ポリアルキレンオキサイド基を表し、aは1〜30
0の整数、bは0〜10の整数で0≦b/(a+b)≦0.3
2なる関係を満足し、aが2以上のばあいは各R3、R4
は同じでも異っていてもよい)で表されるシリコーンオ
イルのエポキシ反応性基の全部または一部を、1分子中
に1個以上のナフタレン環および(または)アントラセ
ン環を有し、かつ1分子中に1個以上のエポキシ基を有
するエポキシ樹脂と反応させてえられる可撓化剤、(D
2):式(VI)
【0024】
【化19】 (式中、Bはフェノール性水酸基反応性基、R10〜R14
はそれぞれ同じでも異っていてもよい炭素数1〜20のア
ルキル基、アリール基またはアラルキル基、ポリアルキ
レンオキサイド基、R15は2価の有機基、R16は−R15
−Bまたは炭素数1〜20のアルキル基、アリール基また
はアラルキル基、ポリアルキレンオキサイド基を表し、
cは1〜300の整数、dは0〜10の整数で0≦d/(c
+d)≦0.32なる関係を満足し、cが2以上のばあいは
各R10、R11は同じでも異っていてもよい)で表される
シリコーンオイルのフェノール性水酸基反応性基の全部
または一部を、1分子中に1個以上のナフタレン環およ
び(または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1
個以上のフェノール性水酸基を有する硬化剤と反応させ
てえられる可撓化剤、(D3):式(V)で表されるエ
ポキシ反応性基を有するシリコーンオイルと式(VI)
で表されるフェノール性水酸基反応性基を有するシリコ
ーンオイルとを付加させてえられる付加反応生成物のエ
ポキシ反応性基の一部または全部を、1分子中に1個以
上のナフタレン環および(または)アントラセン環を有
し、かつ1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポ
キシ樹脂と反応せしめてえられる可撓化剤、(D4):
式(V)で表されるエポキシ反応性基を有するシリコー
ンオイルと式(VI)で表されるフェノール性水酸基反
応性基を有するシリコーンオイルとを付加させてえられ
る付加反応生成物のフェノール性水酸基反応性基の一部
または全部を、1分子中に1個以上のナフタレン環およ
び(または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1
個以上のフェノール性水酸基を有する硬化剤と反応せし
めてえられる可撓化剤、(D5):式(V)で表される
エポキシ反応性基を有するシリコーンオイルと式(VI
I):
【0025】
【化20】 (式中、R17はR18−R18またはR18−R19−R18(R
18はベンゼン環またはナフタレン環、R19は2価の有機
基を表し、R18、R19はそれぞれ同じでも異っていても
よい)、eは0〜100の整数を表す)で表される両末端
にエポキシ基を有するエポキシ化合物との反応生成物
と、1分子中に1個以上のナフタレン環および(また
は)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1個以上の
エポキシ基を有するエポキシ樹脂とを反応せしめてえら
れる可撓化剤、(D6):式(V)で表されるエポキシ
反応性基を有するシリコーンオイルと式(VII)で表
される両末端にエポキシ基を有するエポキシ化合物との
反応生成物と、1分子中に1個以上のナフタレン環およ
び(または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1
個以上のフェノール性水酸基を有する硬化剤とを反応せ
しめてえられる可撓化剤よりなる群から選ばれた少なく
とも1種である半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関す
る。
【0026】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、エポキシ樹脂(A)が式(I)で表される
化合物であり、硬化剤(B)が式(II)で表される化
合物であるものが好ましい。
【0027】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、硬化剤(B)が式(III)で表される化
合物であるものが好ましい。
【0028】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、硬化剤(B)が式(III)においてYが
フッ素原子、フッ素置換アルキル基および臭素原子から
なる群から選ばれたものであるものが好ましい。
【0029】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、硬化剤(B)が式(IV)で表される化合
物であるものが好ましい。
【0030】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、エポキシ樹脂(A)が1分子中に1個以上
のナフタレン環および(または)アントラセン環を有
し、かつ1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポ
キシ樹脂であり、シリコーン可撓化剤(D)が前記(D
1)であるものが好ましい。
【0031】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、硬化剤(B)が1分子中に1個以上のナフ
タレン環および(または)アントラセン環を有し、かつ
1分子中に1個以上のフェノール性水酸基を有する硬化
剤(B1)であり、シリコーン可撓化剤(D)が前記
(D2)であるものが好ましい。
【0032】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、エポキシ樹脂(A)および(または)硬化
剤(B)が1分子中に1個以上のナフタレン環および
(または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1個
以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂および(また
は)1分子中に1個以上のナフタレン環および(また
は)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1個以上の
エポキシ基を有する硬化剤(B1)であり、シリコーン
可撓化剤(D)が前記(D3)であるものが好ましい。
【0033】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
においては、エポキシ樹脂(A)が1分子中に1個以上
のナフタレン環および(または)アントラセン環を有
し、かつ1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポ
キシ樹脂(A1)であり、シリコーン可撓化剤(D)が
前記(D5)であるものが好ましい。
【0034】本発明はまた、前記半導体封止用エポキシ
樹脂組成物を用いて封止した樹脂封止型半導体装置に関
する。
【0035】
【作用】本発明のナフタレン環またはアントラセン環を
含有したエポキシ樹脂組成物の硬化物ではナフタレン環
どうしの相互作用による環の重なりの効果によって、自
由体積が減少し、その結果硬化物の吸水率や線膨張係数
が小さくなる効果がある。
【0036】とくにナフタレン環またはアントラセン環
にグリシジル基または水酸基が1個結合し、分子中には
2個以上の前記グリシジル基または水酸基を有する構造
のものを組み合わせたばあいにとくに著るしい。
【0037】また硬化剤のナフタレン環またはアントラ
セン環に電子吸引性基を導入するとOH基とともに環の
電子密度を低くする方向に作用し、グリシジル基によっ
て環の電子密度が高くなったエポキシ化合物の環との間
で環どうしの相互作用が大きくなり、自由体積の減少に
もとづく低吸水性、低熱膨張性がえられる。
【0038】さらに本発明に用いられる可撓化剤は、変
性シリコーンオイルと、ナフタレン環および(または)
アントラセン環を有するエポキシ化合物、あるいは前記
の環を有する硬化剤とを反応させた可撓化成分なので、
該可撓化剤と主剤であるエポキシ化合物あるいは硬化剤
との相溶性をあげることができ、さらには硬化物の低弾
性率化、強靭化、および可撓化成分中のナフタレン環や
アントラセン環による低吸湿化が可能になる。また、前
記可撓化剤はエポキシ樹脂組成物と反応可能な有機基を
含有するために成形中に反応ができ、耐熱性、耐湿性が
保持され、さらに成形時のしみだしや離型性が改善され
る。したがって、本発明のエポキシ樹脂組成物を用いて
封止した半導体装置は耐クラック性にすぐれている。
【0039】
【実施例】本発明の組成物に用いられるエポキシ樹脂
(A)は1分子中に1個以上のエポキシ基とナフタレン
環および(または)アントラセン環と、1分子中に1個
以上のエポキシ基とを有するものであって、通常の高分
子量の樹脂のほかに、低分子量の化合物も含まれる。以
下、前記低分子量の化合物、高分子量の樹脂すべてを含
めてナフタレン環含有エポキシ樹脂(A1)という。
【0040】また本発明においてはナフタレン環および
(または)アントラセン環を有することを必須とはしな
いエポキシ樹脂(以下、通常のエポキシ樹脂(A2)と
いう)を併用して用いることもできる。
【0041】前記(A1)で表わされるナフタレン環含
有エポキシ樹脂は、樹脂中に少なくとも1個のナフタレ
ン環および(または)アントラセン環構造ならびに少な
くとも1個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であり、
その構造はとくに限定されない。そのなかでも、たとえ
ば1−ナフトール、2−ナフトール、1、2−ジヒドロ
キシナフタレン、1、3−ジヒドロキシナフタレン、
1、4−ジヒドロキシナフタレン、1、5−ジヒドロキ
シナフタレン、1、6−ジヒドロキシナフタレン、1、
7−ジヒドロキシナフタレン、2、3−ジヒドロキシナ
フタレン、2、6−ジヒドロキシナフタレン、2、7−
ジヒドロキシナフタレン、1、5−ジヒドロキシ−7−
メチルナフタレン、1、6−ジヒドロキシ−2−メチル
ナフタレン、1、6−ジヒドロキシ−8−メチルナフタ
レン、1、6−ジヒドロキシ−4、8−ジメチルナフタ
レン、1、3、6−トリヒドロキシナフタレン、1、
3、7−トリヒドロキシナフタレン、1、4、6−トリ
ヒドロキシナフタレン、1、4、7−トリヒドロキシナ
フタレンなどのヒドロキシナフタレンの水酸基の水素原
子がグリシジル基に置換された骨格構造を樹脂中に1個
以上もったエポキシ樹脂がとくに好ましい。その例の一
部としてはたとえば以下のようなものがあげられる。た
だし本発明の組成物に使用される(A1)は以下にあげ
るようなタイプの構造のものに限られるわけではない。
【0042】
【化21】
【0043】
【化22】
【0044】
【化23】 前記エポキシ樹脂は低分子量のものから重合度の大き
な、いわゆる高分子化合物といわれるものまで任意に選
ぶことができる。したがって前記の式中のnはとくに範
囲は示されない正の値を示す。
【0045】前記エポキシ樹脂は単独で使用しても、ま
た2種以上を併用してもよい。
【0046】ナフタレン環および(または)アントラセ
ン環をもたない、通常のエポキシ樹脂(A2)は前記ナ
フタレン環含有エポキシ樹脂(A1)と併用して用いる
ことができるほか、後記の可撓化剤(D)と後記ナフタ
レン環含有硬化剤(B1)とを使用するばあいのエポキ
シ樹脂として用いることができる。
【0047】前記(A2)の例としては、たとえばノボ
ラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、アルキ
ルベンゼン変性ノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化
フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール
Aノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル構造ノボラッ
ク型エポキシ樹脂、トリス(グリシドキシフェニル)メ
タンなどの多官能型エポキシ化合物などがあげられる。
その他、2官能エポキシ化合物を用いてもよく、たとえ
ばビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノール
S型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合
物、ビフェニル型エポキシ化合物など、両末端にエポキ
シ基を有するエピビス型のエポキシ化合物、あるいは前
記エポキシ化合物に種々の置換基をもつ構造のエポキシ
化合物があげられるが、それらのみに限定されるもので
はない。以下、これら(A2)で表されるエポキシ樹
脂、エポキシ化合物すべてを含めてエポキシ樹脂(A
2)という。
【0048】前記通常のエポキシ樹脂(A2)は2種以
上を併用して用いてもよい。
【0049】本発明の組成物に用いられる硬化剤(B)
は、分子中に少なくとも1個のフェノール性水酸基を有
する化合物であって、通常の低分子量の化合物のほか
に、高分子化合物も含まれる。前記低分子量の化合物、
高分子化合物すべてを含めて以下、硬化剤という。前記
フェノール性水酸基とは芳香族環に結合した水酸基を意
味する。これらの硬化剤はナフタレン環および(また
は)アントラセン環を有する硬化剤(以下、ナフタレン
環含有硬化剤(B1)という)ものであるが、その他前
記ナフタレン環および(または)アントラセン環を有す
ることを必須とはしない硬化剤(以下、通常の硬化剤
(B2)という)も後記のようなばあいには用いられう
る。
【0050】前記(B1)で表わされるナフタレン環含
有硬化剤は、1分子中に1個以上のナフタレン環および
(または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1個
以上のフェノール性水酸基を有する化合物であり、その
なかでも、たとえば1−ナフトール、2−ナフトール、
1、2−ジヒドロキシナフタレン、1、3−ジヒドロキ
シナフタレン、1、4−ジヒドロキシナフタレン、1、
5−ジヒドロキシナフタレン、1、6−ジヒドロキシナ
フタレン、1、7−ジヒドロキシナフタレン、2、3−
ジヒドロキシナフタレン、2、6−ジヒドロキシナフタ
レン、2、7−ジヒドロキシナフタレン、1、5−ジヒ
ドロキシ−7−メチルナフタレン、1、6−ジヒドロキ
シ−2−メチルナフタレン、1、6−ジヒドロキシ−8
−メチルナフタレン、1、6−ジヒドロキシ−4、8−
ジメチルナフタレン、1、3、6−トリヒドロキシナフ
タレン、1、3、7−トリヒドロキシナフタレン、1、
4、6−トリヒドロキシナフタレン、1、4、7−トリ
ヒドロキシナフタレンなどのヒドロキシナフタレンの骨
格構造を樹脂中に1個以上もつものがとくに好ましい。
【0051】前記硬化剤のナフタレン環またはアントラ
セン環に電子吸引性基を導入した一般式(III):
【0052】
【化24】 (式中、Yは電子吸引性基、R2は2価の有機基、j、
k、mはそれぞれ正の整数(ただし2≦j+k≦6)を
表す)で表される化合物は、環の電子密度が低くなるの
で、エポキシ基の影響で電子密度が高くなっているエポ
キシ樹脂の環との相互作用が大きくなる結果、自由体積
の減少効果が大きくなる。したがって、このような硬化
剤を用いると低吸湿性、低熱膨張性にすぐれた組成物が
えられやすい。
【0053】前記ナフタレン環含有硬化剤は低分子量も
のから重合度の大きな、いわゆる高分子化合物といわれ
るものまで任意に選ぶことができる。したがって以下に
あげる硬化剤の化合物例中のmはとくに範囲は示されな
い正の値を示す。
【0054】前記硬化剤の具体例としてはたとえば
【0055】
【化25】
【0056】
【化26】
【0057】
【化27】 などがあげられる。もちろん前記の構造の化合物あるい
はそれらに類似の構造のものに限定されるものではな
い。
【0058】前記硬化剤(B1)は単独で使用しても、
また2種以上を併用してもよい。
【0059】ナフタレン環および(または)アントラセ
ン環をもたない、通常の硬化剤(B2)は前記ナフタレ
ン環含有硬化剤(B1)と併用して用いられるほか、後
記可撓化剤(D)と前記ナフタレン環含有エポキシ樹脂
(A1)とを用いるばあいの硬化剤として使用すること
もできる。
【0060】(B2)の例としては、ノボラック型樹脂
たとえばクレゾールノボラック型樹脂、フェノールノボ
ラック型樹脂、アルキルベンゼン変性ノボラック型樹
脂、ハロゲン化フェノールノボラック型樹脂、ビスフェ
ノールAノボラック型樹脂、ビフェニル構造ノボラック
型樹脂、やトリス(ヒドロキシフェニル)メタンなどの
多官能型フェノール性化合物などがあげられるが、これ
らのみに限定されるものではない。
【0061】前記通常の硬化剤(B2)は単独で使用し
ても、また2種以上を併用してもよい。
【0062】本発明の樹脂組成物は前記ナフタレン環含
有エポキシ樹脂(A1)ナフタレン環含有硬化剤(B
1)および硬化促進剤、無機充填剤(C)ならびに必要
に応じて前記組成に着色剤、離型剤、表面処理剤その他
の添加剤を加えてなるものであるが、その際のエポキシ
樹脂(A1)と硬化剤(B1)との組合せとしてはつぎ
のものがとくに好ましい。すなわち、(1)一般式
(I)で表されるエポキシ樹脂と一般式(II)で表さ
れる硬化物、(2)前記ナフタレン環含有エポキシ樹脂
(A1)と一般式(III)で表されるナフタレン環お
よび(または)アントラセン環に1個以上の電子吸引性
基を有する硬化剤、の組合わせである。
【0063】本発明の樹脂組成物は、前記組成に、さら
に可撓化剤(D)を加えるのが好ましい。
【0064】前記可撓化剤は主剤であるナフタレン環含
有エポキシ化合物やナフタレン環含有硬化剤との相溶性
が高く、該可撓化剤を用いた本発明の樹脂組成物は低弾
性率、低熱膨張率に加えて、とくに高い靭性、低吸湿性
を有する樹脂硬化物を与える。
【0065】本発明の組成物に用いられる前記可撓化剤
としては、変性シリコーンオイルと前記ナフタレン環含
有エポキシ樹脂(A1)または前記ナフタレン環含有硬
化剤(B1)との反応生成物が用いられる。
【0066】前記可撓化剤に用いられる変性シリコーン
オイルとしては、以下に記すようなものがあげられる。
すなわち (S1):一般式(V):
【0067】
【化28】 で表わされる変性シリコーンオイル。
【0068】前記一般式(V)中、Aはエポキシ反応性
の基であって、その具体例としては、水酸基、カルボキ
シル基、アルデヒド基、ハロゲン、メルカプト基、シア
ノ基、1、2、3級アミノ基、アシルオキシ基またはア
ルコキシカルボニル基などのエステル基、ビニル基など
があげられる。
【0069】またR3〜R7で表わされる1価の基として
は、たとえばメチル基、エチル基、プロピル基、イソプ
ロピル基、ブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、イソ
ペンチル基、ステアリル基などの炭素数20以下のアルキ
ル基、フェニル基、トリル基、ナフチル基などのアリー
ル基、ベンジル基、フェネチル基などのアラルキル基、
ω−トリフルオロメチルアルキル基やパーフルオロアル
キルメチル基などの炭素数20以下のフッ素置換アルキル
基など、またポリメチレンオキサイド、ポリエチレンオ
キサイド、ポリプロピレンオキサイドなどのポリアルキ
レンオキサイドなどをあげることができる。前記R3
7はそれぞれ同じであっても異なっていてもよく、そ
れぞれが複数個あるばあいには、同一符号であっても同
じであっても異なっていてもよい。
【0070】R8は2価の有機基、R9は前記R3〜R7
あげたのと同様の基または−R8−Aである。
【0071】aは1〜300の整数であって、300を超える
と該シリコーンオイルからえられた可撓化剤を用いた樹
脂硬化物の強度が低下する傾向にある。bは0〜10の整
数であり、b/(a+b)の値は0〜0.32、好ましくは
0〜0.25の範囲から選ばれる。0.32を超えると官能基が
多いためにゲル化が起こったり、エラストマとしての効
果が低下したりする傾向がある。なお、以下において
は、aのかわりにpとqを用いるばあいがある。その際
のpとqとは、a=p+qの関係にある。
【0072】なお、一般式(V)において、繰り返し単
位の配列にはとくに制限はなく、ランダム重合体でもブ
ロック重合体でもよく、あるいは両者が混ざったもので
あってもよい。
【0073】好ましい変性シリコーンオイル(S1)の
例としては、たとえばつぎのものなどが挙げられが、こ
れらに限られるものではない。
【0074】
【化29】
【0075】
【化30】
【0076】
【化31】
【0077】
【化32】
【0078】
【化33】
【0079】
【化34】 (S2):一般式(VI):
【0080】
【化35】 で表わされる変性シリコーンオイル。
【0081】前記一般式(VI)中、Bとしては、フェ
ノール性水酸基と反応性を有する基、たとえばグリシジ
ル基、カルボキシル基などがあげられる。
【0082】R10〜R14については(S1)におけるR
3〜R7と同様のものを表す。R15は2価の有機基、R16
は前記R10〜R14にあげたのと同様の基または−R15
Bを表す。c、dの範囲およびcとdとの関係、cと
r、sとの関係については(S1)におけるa、b、
p、qのばあいと同様である。
【0083】なお、一般式(VI)において、繰り返し
単位の配列にはとくに制限がないことも一般式(V)の
ばあいと同様である。
【0084】好ましい変性シリコーンオイル(S2)の
例としては、たとえばつぎのものなどが挙げられる。
【0085】
【化36】
【0086】
【化37】 (S3):一般式(V)で表わされるシリコーンオイル
と一般式(VI)で表わされるシリコーンオイルとを
(V)過剰で反応せしめてえられた変性シリコーンオイ
ル。
【0087】該(S3)で表される変性シリコーンオイ
ルは、一般式(V)で表わされるシリコーンオイルと一
般式(VI)で表わされるシリコーンオイルとが反応し
うるものでさえあればとくにそれらを限定することなく
使用できる。一般式(V)で表されるシリコーンオイル
の官能基すなわちエポキシ反応性基の当量数と一般式
(VI)で表されるシリコーンオイルの官能基すなわち
フェノール性水酸基反応性基の当量数との差が小さいば
あい、とくに分子の末端以外にも官能基を有するシリコ
ーンオイルを使用するばあいには、ゲル化が起りやすい
ので、エポキシ反応性基を大過剰に使用してゲル化が起
らないようにするのが好ましい。
【0088】反応は通常、溶媒はとくに使用せず、触媒
としてアミン系化合物たとえばトリメチルアミン、テト
ラメチルアンモニウムヒドロキサイドなど、イミダゾー
ル系化合物たとえば2−エチル−4−メチルイミダゾー
ル、2−メチルイミダゾールなどリン系化合物たとえば
トリフェニルホスフィン、トリt−ブチルホスフィンや
その有機塩類、オクチル酸鉛、オクチル酸錫、塩化白金
酸などを用い、チッ素雰囲気下両成分を混合して100〜1
80℃に加熱し反応せしめる。反応時間は使用するエポキ
シ樹脂、硬化剤の種類によって異なり、1〜2時間のば
あいから8〜40時間と広がりは大きい。分子量の小さい
ものほど、また官能基が多いほど反応時間は短くなる傾
向がある。
【0089】反応はフェノール性水酸基反応性基を有す
る変性シリコーンオイル(VI)のフェノール性水酸基
反応性基の70%以上、好ましくは90%以上を反応せしめ
るのが好ましい。 (S4):一般式(VI)で表わされる変性シリコーン
オイル過剰の状態で、(VI)を一般式(V)で表わさ
れる変性シリコーンオイルと反応せしめてえられたシリ
コーンオイル。
【0090】該(S4)で表わされる変性シリコーンオ
イルは、前記(S3)とは逆に一般式(VI)で表わさ
れるシリコーンオイルの官能基すなわちフェノール性水
酸基反応性基の当量数が、ゲル化を起さないように一般
式(V)で表わされるシリコーンオイルの官能基すなわ
ちエポキシ反応性基の当量数より大過剰の状態で反応さ
せてえられたものである。反応は(S3)をうるときと
同様に行われエポキシ反応性基を有する変性シリコーン
オイル(V)のエポキシ反応性基の70%以上、好ましく
は90%以上を反応せしめるのが好ましい。 (S5):一般式(V)(ただし、R9=−R8−A)で
表される変性シリコーンオイルと一般式(VII):
【0091】
【化38】 (式中、R17はR18−R18またはR18−R19−R18(R
18はベンゼン環またはナフタレン環、R19は2価の有機
基を表し、R18、R19はそれぞ同じでも異っていてもよ
い)、eは0〜100の整数を表す)で表される両末端に
エポキシ基を有するエポキシ化合物とを、(V)過剰で
反応せしめてえられた変性シリコーンオイル。
【0092】一般式(VII)で表されるエポキシ化合
物は少なくとも両末端にエポキシ基を有するものであっ
て、R17は2個のベンゼン環および(または)ナフタレ
ン環が直接または2価の有機基を間に挟んで連結した2
価の基を表す。eは0〜100の整数を表わす。したがっ
て、e=0のばあいをはじめ、低分子化合物から、高分
子量のものまで含まれるが本明細書においては一般式
(VII)で表わされる物質はすべてエポキシ化合物と
いう。
【0093】一般式(VII)で表されるエポキシ化合
物の例としてはたとえば
【0094】
【化39】
【0095】
【化40】 などがあげられるがこれらのみに限定されるものではな
い。
【0096】前記(S5)で表される変性シリコーンオ
イルは、一般式(V)で表されるエポキシ反応性基を有
するシリコーンオイルの官能基の当量数過剰の状態で一
般式(VII)で表されるエポキシ化合物と反応させて
えられる。前記シリコーンオイル(V)のエポキシ反応
性基の当量数はエポキシ化合物(VII)のエポキシ基
の当量数より大過剰にすることがゲル化を防止する点か
ら好ましい。
【0097】反応は(S3)をうるときとほぼ同様に行
われ両末端にエポキシ基を有するエポキシ化合物(VI
I)のエポキシ基の70%以上、なかんづく90%以上を反
応せしめるのが好ましい。 (S6):一般式(VII)で表されるエポキシ化合物
過剰の状態で一般式(V)(ただし、R9=−R8−A)
で表される変性シリコーンオイルと反応せしめてえられ
る変性シリコーンオイル。
【0098】該(S6)で表される変性シリコーンオイ
ルは、前記(S5)とは逆に一般式(VII)で表され
るエポキシ化合物の官能基の当量数が一般式(V)で表
されるシリコーンオイルのエポキシ反応性基の当量数よ
り大過剰になるようにしてゲル化を防止して反応させて
えられる。
【0099】反応は(S5)をうるばあいと同様に行わ
れ、エポキシ反応性基の70%以上、好ましくは90%以上
を反応せしめるのが好ましい。
【0100】本発明の組成物に用いられる前記可撓化剤
(D)は、前記変性シリコーンオイル(S1)〜(S
6)と前記ナフタレン環含有エポキシ樹脂(A1)また
は前記ナフタレン環含有硬化剤樹脂(B1)とを反応さ
せてえられる。
【0101】本発明の組成物に用いられうる前記可撓化
剤は、その一成分であるシリコーンオイル(S1)〜
(S6)のタイプによって6種類に分けられる。以下各
種の可撓化剤について説明する。 (D1):前記変性シリコーンオイル(S1)とナフタ
レン環含有エポキシ樹脂(A1)との反応生成物。
【0102】(S1)と(A1)との反応は(S5)を
うるときとほぼ同様にして行われる。
【0103】(A1)は2種以上併用しても(A2)を
併用してもよい。 (D2):変性シリコーンオイル(S2)とナフタレン
環含有硬化剤(B1)との反応生成物。
【0104】(S2)と(B1)との反応に関しては
(S1)と(A1)との反応のばあいと同様である。
【0105】(B1)は2種以上併用しても、また(B
2)を併用してもよい。 (D3):前記変性シリコーンオイル(S3)とナフタ
レン環含有エポキシ樹脂(A1)との反応生成物。
【0106】(S3)と(A1)との反応は、(S1)
と(A1)との反応のばあいに準じて行われる。
【0107】(A1)は2種以上併用しても(A2)を
併用してもよい。 (D4):変性シリコーンオイル(S4)とナフタレン
環含有硬化剤(B1)との反応生成物。
【0108】(S4)と(B1)との反応は(S2)と
(B1)との反応に準じて行われる。
【0109】(B1)は2種以上併用しても(B2)を
併用してもよい。 (D5):前記変性シリコーンオイル(S5)とナフタ
レン環含有エポキシ樹脂(A1)との反応生成物。
【0110】(S5)と(A1)との反応は、(S1)
と(A1)との反応に準じて行われる。
【0111】(A1)は2種以上併用しても(A2)を
併用してもよい。 (D6):変性シリコーンオイル(S6)とナフタレン
環含有硬化剤(B1)との反応生成物。
【0112】(S6)と(B1)との反応は(S2)と
(B1)との反応に準じて行われる。
【0113】(B1)は2種以上併用しても(B2)を
併用してもよい。
【0114】本発明の組成物に用いられる硬化促進剤
(C)としては、一般に硬化促進剤として使用されてい
るものがとくに限定されることなく使用可能である。そ
の具体例としては、たとえばトリフェニルホスフィンな
どのホスフィン類で代表されるリン系化合物、2−メチ
ルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール
などのイミダゾール類、3級アミン類、1、8−ジアザ
ビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、その有機塩類
などがあげられる。また、硬化促進剤を高融点のポリマ
ー(反応性ポリマーでもよい)でコートした潜在性マイ
クロカプセル化触媒と呼ばれる触媒を併用してもかまわ
ない。これらは単独で用いてもよく、2種類以上を併用
してもよい。
【0115】本発明の組成物に用いられる無機充填剤
(C)としてはとくに限定はなく、その具体例として
は、たとえば天然シリカや合成シリカからの粉砕シリ
カ、球状シリカなどの石英粉砕物や、タルク、マイカ、
チッ化珪素アルミナなどがあげられる。これらは単独で
使用してもよく2種類以上を併用してもよい。
【0116】本発明の樹脂組成物は前記エポキシ化合物
(A)、硬化剤(B)、硬化促進剤および無機充填剤
(C)ならびに必要に応じて添加される可撓化剤(D)
を主成分とするものである。
【0117】前記エポキシ樹脂(A)と硬化剤(B)と
の使用割合は、エポキシ樹脂のエポキシ基当量数と、硬
化剤などのエポキシ基との反応に関与する基の当量数と
の比が0.7〜1.3の範囲にあるものが好ましい。
【0118】また可撓化剤(D)を使用するばあい、そ
の使用割合は可撓化剤中のシリコーンオイル成分の重量
が組成物中の有機成分すなわちエポキシ樹脂、硬化剤お
よび可撓化剤の合計重量の3〜40重量%、その中でも5
〜20重量%となるような割合であることが好ましい。こ
の値が40重量%を超えると機械的強度が低下する傾向に
ある。
【0119】硬化促進剤の添加量は本発明の組成物100
部(重量部、以下同様)中0.03〜2部が好ましく、0.05
〜1部がさらに好ましい。該添加量が2部をこえるとゲ
ル化が早すぎて硬化物の成形が困難になる傾向が生じ、
0.03部未満では硬化がおそいため機械強度が不充分にな
る傾向がある。
【0120】無機充填剤の使用量は、本発明の組成物に
使用されるエポキシ樹脂の合計の100部に対して250〜20
00部が好ましく、400〜1700部がさらに好ましい。該使
用量が、250部未満ではえられる硬化物の強度、耐熱
性、耐衝撃性が低下し、2000部をこえると組成物の流動
性が低下して成形しにくくなる傾向がある。
【0121】本発明の組成物においては前記の諸成分に
加えて、必要に応じて他の添加剤、たとえば離型剤、着
色剤、表面処理剤などを配合することができる。
【0122】前記離型剤(内部離型剤)はとくに限定は
なく、その具体例としては脂肪酸やその金属塩、天然ワ
ックス、合成ワックスなどがあげられる。離型剤の使用
量はエポキシ樹脂組成物100部に対して0.5〜3部が好ま
しく、1.5〜2.2部がさらに好ましい。
【0123】前記着色剤はとくに限定はなく、その具体
例としてはたとえばカーボンブラックなどの顔料が用い
られる。着色剤の使用量はエポキシ樹脂組成物100部に
対して0.3〜3.0部が好ましく、0.7〜1.8部がさらに好ま
しい。
【0124】前記表面処理剤にはとくに限定はなく、そ
の具体例としてはたとえばビニルトリメトキシシラン、
グリシジルトリメトキシシランなどがあげられる。表面
処理剤の使用量は、エポキシ樹脂の合計量100部に対し
て0.5〜20部が好ましく、1.2〜16部がさらに好ましい。
【0125】さらに、本発明の組成物には、三酸化アン
チモンなどの難燃剤、酸化防止剤などの所望の添加剤が
適宜配合されていてもよい。
【0126】本発明の組成物は、前記エポキシ樹脂、硬
化剤、可撓化剤、硬化促進剤、充填剤、離型剤、着色
剤、表面処理剤および要すれば使用される成分を通常の
方法(加熱ロールなど)を用いて混練することにより調
製することができ、通常の方法により成形することがで
きる。また、成形後えられる硬化物は吸水率が小さいこ
とが特徴であるため、本発明のエポキシ樹脂組成物はS
OJやSOPなど薄形の表面実装用パッケージやQFP
やTQFPなどの多ピン薄形の表面実装用パッケージや
基板上に多数個の半導体素子や抵抗、コンデンサなどが
搭載されたマルチチップモジュールの封止材としても容
易に用いることができる。
【0127】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
は、1分子中に1個以上のナフタレン環および(また
は)アントラセン環を有するエポキシ樹脂および1分子
中に1個以上のナフタレン環および(または)アントラ
セン環を有する硬化剤を用いるか、あるいはエポキシ樹
脂および硬化剤の少なくとも1方に、1分子中に1個以
上のナフタレン環および(または)アントラセン環を有
するものを使用し、さらに可撓化剤として、エポキシ樹
脂と反応可能な有機基を有する変性シリコーンオイルと
1分子中に1個以上のナフタレン環および(または)ア
ントラセン環を有するエポキシ樹脂との反応生成物かあ
るいはフェノール性水酸基と反応可能な有機基を有する
変性シリコーンオイルと1分子中に1個以上のナフタレ
ン環および(または)アントラセン環を有する硬化剤と
の反応生成物を用いることにより、マトリクス中におけ
る吸水性を改善し硬化物の低弾性率化と低熱膨張率化を
可能にしたものであり、さらに強靭で耐熱性、耐湿性を
向上させ、成形時のしみだしや離型性、マークインク性
も改善できる。
【0128】つぎに、本発明を実施例に基づきさらに具
体的に説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定さ
れるものではない。
【0129】[実験例1]式
【0130】
【化41】 で示されるエポキシ樹脂(VIII)(エポキシ当量:
175)、式
【0131】
【化42】 で示される硬化剤(IX)(水酸基当量:218)、硬化
促進剤(トリフェニルホスフィン)、無機充填剤(溶融
シリカ)、内部離型剤、シランカップリング剤および着
色剤を表1に示す割合で混合したのち、加熱ロールによ
り混練し、樹脂組成物をえた。
【0132】えられた組成物をトランスファ成形して
(175℃、2分間)、硬化試験片およびアルミ配線され
たテスト用28ピンのSOJパッケージを作製した。
【0133】えられた試験片を用いて、曲げ弾性率、曲
げ強度(JIS K 6911)、熱機械分析(TMA測定)によ
るガラス転移温度、熱膨張係数およびプレッシャークッ
カーテスト(121℃、100%RH)による50時間後の吸湿
率を測定した。また、テストパッケージを用いてヒート
サイクル(−196℃×30秒〜260℃×30秒)100回後のパ
ッケージクラック特性(20個)、ならびにプレシャーク
ッカーテスト(121℃、100%RH)に準じて50時間吸湿
させたのち、260℃のハンダ槽に30秒間浸漬したときの
パッケージクラック特性を測定した。結果を表2に示
す。
【0134】[実験例2]式
【0135】
【化43】 で示されるエポキシ樹脂(X)(エポキシ当量:225)
と、式
【0136】
【化44】 で示される硬化剤(XI)(水酸基当量:150)とを用
い、その他の成分を表1に示す割合で配合したほかは、
実験例1と同様にして、半導体封止用エポキシ樹脂組成
物をえた。ついで実験例1と同様にして、諸特性を測定
した。その結果を表2に示す。
【0137】[実験例3]実験例1で用いた材料に加え
て、ブロム化エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、Bre
n−S、エポキシ当量:282g/eq)を用い、表1に示
す割合で配合したほかは実験例1と同様にして樹脂組成
物をえ、ついで実験例1と同様にして諸特性を測定し
た。その結果を表2に示す。
【0138】[実験例4]式
【0139】
【化45】 で示されるエポキシ樹脂(XII)(エポキシ当量:18
7)と、式
【0140】
【化46】 で示される硬化剤(XIII)(水酸基当量:225)と
を用い、その他の成分を表1に示す配合した他は実験例
1と同様にして半導体封止用エポキシ樹脂組成物をえ
た。
【0141】えられた組成物を実施例1と同様にして諸
特性を測定した。その結果を表2に示す。
【0142】[実験例5]式
【0143】
【化47】 で示されるエポキシ樹脂(XIV)(エポキシ当量:23
0)と、式
【0144】
【化48】 で示される硬化剤(XV)(水酸基当量:290)を用
い、その他の成分は実験例1で用いたものを使用し、表
1に示す割合で実験例1と同様にして、樹脂組成物を
え、ついで実験例1と同様にして諸特性を測定した。そ
の結果を表4に示す。
【0145】[実験例6]式
【0146】
【化49】 で示されるエポキシ樹脂(XVI)(エポキシ当量:23
0)、式
【0147】
【化50】 で示される硬化剤(XVII)(水酸基当量:255)を
用い、その他の成分は実験例1で用いたもを使用し、表
1に示す割合で実験例1と同様にして、樹脂組成物を
え、ついで実験例1と同様にして諸特性を測定した。そ
の結果を表2に示す。
【0148】[比較実験例1]エポキシ樹脂として、ク
レゾールノボラックエポキシ樹脂(日本化薬(株)製E
OCN1020、エポキシ当量:200g/eq)、硬化剤
として、フェノールノボラック樹脂(群栄化学(株)製
PSF4261、水酸基当量:106g/eq)を用い、そ
の他の成分は表1に示す割合で実験例1と同様にして樹
脂組成物をえ、ついで実験例1と同様にして諸特性を測
定した。その結果を表2に示す。
【0149】
【表1】
【0150】
【表2】 [合成例1]
【0151】
【化51】 で示され、平均分子量1200、フェノール性水酸基当量65
0の変性シリコーンオイル(XVIII)100部と、
【0152】
【化52】 で示され、エポキシ当量230g/eqのナフタレン環含有
エポキシ樹脂(XIX)(日本化薬(株)製、EOCN
7000)100部とトリフェニルホスフィン0.4部とをチ
ッ素を吹き込みながら、120℃で20時間反応させて可撓
化剤Aをえた(フェノール性水酸基反応率92%)。
【0153】[実験例7]主剤であるエポキシ樹脂(X
IX)(EOCN7000)、硬化剤であるフェノール
ノボラック樹脂(PSF4261)、合成例1でえられ
た可撓化剤A、硬化促進剤(トリフェニルホスフィ
ン)、無機充填剤(溶融シリカ(龍森社製のRD−
8))、内部離型剤(カルナバワックス)、シランカッ
プリング剤(信越化学工業(株)製のKBM403)、
着色剤(カーボンブラック)を表2に示す割合で混合し
たのち、加熱ロールにより混練して、半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物をえた。
【0154】えられた樹脂組成物について実験例1と同
様にして諸特性を測定した。その結果を表4に示す。
【0155】[合成例2]
【0156】
【化53】 で示され、平均分子量2000でエポキシ当量1050の変性シ
リコーンオイル(C≒75)(XX)100部と一般式
【0157】
【化54】 で示され、水酸基当量218g/eqのナフタレン環含有硬
化剤(αNX−S、三井東圧化学(株)製)100部とト
リフェニルホスフィン0.4部とをチッ素を吹き込みなが
ら、120℃、24時間反応させて可撓化剤Bをえた(エポ
キシ基反応率90%)。
【0158】[合成例3]
【0159】
【化55】 で示される構造で、平均分子量7000、水酸基当量2300で
分子鎖の内部に水酸基を有する変性シリコーンオイル
(a≒90、b≒1)100部と、合成例1で用いたエポキ
シ樹脂EOCN7000とを100部とトリフェニルホス
フィン0.3部とを、チッ素を吹きこみながら150℃、16時
間反応させて可撓化剤Cをえた(エポキシ基反応率85
%)。
【0160】[合成例4]合成例1で用いた変性シリコ
ーンオイル(XVIII)70部と、合成例2で用いた変
性シリコーンオイル(XX)30部とトリフェニルホスフ
ィン0.2部とを120℃、7時間反応させ変性シリコーンオ
イルの付加反応物をえたのち、実験例7で用いたエポキ
シ樹脂EOCN7000を100部添加し、150℃、15時間
反応させて可撓化剤Dをえた(フェノール性水酸基反応
率89%)。
【0161】[合成例5]合成例1で用いた変性シリコ
ーンオイル(XVIII)70部と、
【0162】
【化56】 で示され、エポキシ当量197のビフェニル骨格をもった
両末端エポキシ樹脂(YX−4000、油化シェルエポ
キシ(株)製)30部と、トリフェニルホスフィン0.5部
とを、チッ素を吹き込みながら、150℃、20時間反応さ
せ、予備反応物をえたのち(エポキシ基反応率90%)、
合成例1で用いたエポキシ樹脂EOCN7000を100
部添加し、150℃、15時間反応させて可撓化剤Eをえた
(フェノール性水酸基反応率85%)。
【0163】[合成例6]
【0164】
【化57】 で示され、平均分子量3000(p≒25、q≒5)でフェノ
ール性水酸基当量1500の変性シリコーンオイル100部
と、合成例1で用いたエポキシ樹脂EOCN7000を
100部とトリフェニルホスフィン0.4部を添加し、150
℃、15時間反応させて可撓化剤Fをえた(フェノール性
水酸基反応率93%)。
【0165】[実験例8〜14]主剤のエポキシ樹脂に
実験例8ではクレゾールノボラックエポキシ樹脂(EO
CN1020)を、その他の実験例では実験例7と同じ
エポキシ樹脂(EOCN7000)を使用し、可撓化剤
B、C、D、E、Fおよびその他の成分を表3に示す割
合で配合したほかは実験例7と同様にして、半導体封止
用エポキシ樹脂組成物をえた。ついで実験例1と同様に
して諸特性を調べた。結果を表4に示す。
【0166】[合成例7]
【0167】
【化58】 で示され、平均分子量650でフェノール性水酸基当量660
(a≒6)の変性シリコーンオイル(XXI)100部
と、一般式:
【0168】
【化59】 で示されるナフタレン環含有エポキシ樹脂(EOCN7
000)100部とトリフェニルホスフィン0.4部とを窒素
を吹き込みながら、120℃、20時間反応させて可撓化剤
Gをえた(フェノール性水酸基反応率92%)。
【0169】[実験例15]合成例7でえられた可撓化
剤Gに、主剤であるエポキシ樹脂(EOCN700
0)、硬化剤であるフェノールノボラック樹脂(PSF
4261)、その他の添加剤を表3に示す割合で混合
し、実施例7と同様にして、半導体封止用エポキシ樹脂
組成物をえた。
【0170】えられた樹脂組成物について実験例1と同
様にして諸特性を測定した。その結果を表4に示す。
【0171】[合成例8]
【0172】
【化60】 で示され、平均分子量1000でエポキシ当量930の変性シ
リコーンオイル(c≒11)100部と、一般式:
【0173】
【化61】 で示され、水酸基当量218g/eqのナフタレン環含有硬
化剤樹脂(α−NX−S)100部とトリフェニルホスフ
ィン0.4部とを窒素を吹き込みながら、120℃、24時間反
応させて可撓化剤Hをえた(エポキシ基反応率90%)。
【0174】[合成例9]
【0175】
【化62】 で示される構造で、平均分子量1300で水酸基当量1260で
側鎖にフェニル基を有する変性シリコーンオイル(p≒
7、q≒4)100部と、エポキシ樹脂(EOCN700
0)100部とトリフェニルホスフィン0.3部とを、チッ素
を吹き込みながら150℃、16時間反応させて可撓化剤J
をえた(フェノール性水酸基反応率95%)。
【0176】[合成例10]合成例7で用いた変性シリ
コーンオイル(XXI)と同じ構造で、平均分子量4000
で水酸基当量3850の変性シリコーンオイル(a≒50)10
0部と、エポキシ樹脂(EOCN7000)100部とトリ
フェニルスルホスフィン0.3部とを、チッ素を吹き込み
ながら150℃、24時間反応させて可撓化剤Kをえた(フ
ェノール性水酸基反応率80%)。
【0177】[合成例11]
【0178】
【化63】 で示される構造で、平均分子量1000、アミノ基当量980
で分子鎖の内部に水酸基を有する変性シリコーンオイル
(a≒12)50部と、エポキシ樹脂EOCN7000を10
0部とトリフェニルホスフィン0.2部とを、チッ素を吹き
込みながら150℃、10時間反応させ可撓化剤Lをえた
(アミノ基反応率81%)。
【0179】[実験例16〜21]可撓化剤G、H、
J、KおよびLをそれぞれ使用し、表3に示す成分とそ
の配合割合で実験例15と同様にして半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物をえた。えられた半導体封止用エポキシ
樹脂組成物を用いて実験例1と同様にして諸特性を測定
した。結果を表4に示す。
【0180】[比較実験例2]可撓化剤として合成例1
に用いた変性シリコーンオイル(XVIII)を100部
とEOCN1020の100部とにトリフェニルホスフィ
ン0.3部を加えて120℃、15時間反応させて可撓化剤Xを
えた(フェノール性水酸基反応率95%)。この可撓化剤
Xを使用しその他の成分を表3に示す割合で配合したほ
かは実験例7と同様にして、半導体封止用エポキシ樹脂
組成物をえた。
【0181】ついで実験例1と同様にして硬化試験片と
テストパッケージを作製し、諸特性を測定した。結果を
表4に示す。
【0182】[比較実験例3および4]可撓化剤を用い
ないで、エポキシ樹脂(EOCN1020)を硬化剤樹
脂(PSM4261)を用いて、実験例1と同様にして
表2に示す配合比のエポキシ樹脂組成物をえた(比較例
3)。また、EOCN7000とαNX−Sを使用し実
験例7と同様にして表3に示す配合組成のエポキシ樹脂
組成物をえた(比較例4)。
【0183】ついで実験例1と同様にして硬化試験片と
テストパッケージを作製し、諸特性を調べた。結果を表
4に示す。
【0184】[比較実験例5]可撓化剤として合成例7
に用いた変性シリコーンオイル(XXI)100部とEOCN1
020 100部とにトリフェニルホスフィン0.3部を加えて1
20℃、15時間反応させて可撓化剤Yをえた(フェノール
性水酸基反応率95%)。この可撓化剤Yを使用し、その
他の成分を表3に示す割合で配合したほかは実験例15と
同様にして、半導体封止用エポキシ樹脂組成物をえた。
【0185】ついで実験例1と同様にして硬化試験片と
テストパッケージを作製し、諸特性を調べた。結果を表
5に示す。
【0186】
【表3】
【0187】
【表4】
【0188】
【表5】 [合成例12]式
【0189】
【化64】 で示される平均分子量2000でフェノール性水酸基当量10
50の反応性シリコーンオイル100部と式
【0190】
【化65】 で表わされるエポキシ樹脂100部とトリフェニルホスフ
ィン0.4部とをチッ素を吹き込みながら、120℃で20時間
反応させて可撓化剤Mをえた。このときの反応率は91%
であった。
【0191】[実験例22〜24]合成例12でえられた
可撓化剤Mを用い、表5に示すその他の材料とともに表
5に示す割合で配合し実験例7と同様にして樹脂組成物
をえた。ついで実験例1と同様にして諸特性を調べた。
その結果を表6に示す。
【0192】[合成例13]合成例12で用いた変性シリ
コーンオイル100部と、式
【0193】
【化66】 で示されるエポキシ樹脂(エポキシ当量:187)100部と
トリフェイルホスフィン0.4部とをチッ素を吹き込みな
がら、120℃、20時間反応にさせて可撓化剤Nをえた。
このときの反応率は92%であった。
【0194】[実験例25]合成例13でえられた可撓化
剤Nと表5に示す材料を表5に示す割合で実験例1と同
様にして樹脂組成物をえた。ついで実験例1と同様にし
て諸特性を測定した。その結果を表6に示す。
【0195】[合成例14]式
【0196】
【化67】 で示される変性シリコーンオイル(平均分子量:2000、
エポキシ当量:1050)100部と式
【0197】
【化68】 で示される硬化剤100部とトリフェニルホスフィン0.4部
とをチッ素を吹き込みながら、120℃、24時間反応させ
て可撓化剤Pをえた。このときの反応率は90%であっ
た。
【0198】[実験例26]合成例14でえられた可撓化
剤Pを用いて表5に示す割合で実験例1と同様にして、
樹脂組成物をえた。ついで実験例1と同様にして諸特性
を測定した。その結果を表6に示す。
【0199】[比較実験例6]合成例13で用いた変性シ
リコーンオイル(XXII)100部とEOCN1020 100部と
トリフェニルフォスフィン0.3部を加えてチッ素気流中1
20℃で15時間反応させて可撓化剤Zをえた。この可撓化
剤を用いてその他の成分を表5に示す割合で配合し、実
施例22と同様にして樹脂組成物をえた。ついで、実施例
1と同様にして諸特性を測定した。その結果を表6に示
す。
【0200】
【表6】
【0201】
【表7】 表2、4および6から、本発明の組成物の硬化物は吸水
率、熱膨張係数がともに小さく、なかでも可撓化剤を使
用しないときの吸水率はとくに小さいことが分る。また
可撓化剤を使用すると曲げ弾性率が大きく低下し、吸水
率の上昇はさほど大きくないことが分る。さらに本発明
の組成物を用いて封止した樹脂封止型半導体装置は、ヒ
ートサイクル故障率および吸水パッケージラック率はご
く小さく、信頼性の極めて高いものであることが分る。
【0202】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の半導体封
止用エポキシ樹脂組成物の硬化物は、すぐれた耐湿性と
耐熱性とを有し、かつ低弾性率で低膨張率、さらに従来
のものに比べてより低吸湿性の半導体封止用エポキシ樹
脂を提供することができ、この組成物およびその硬化物
を用いることにより、より信頼性の高い半導体装置をえ
ることが可能である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C08L 63/00 NJS 8830−4J NKB 8830−4J (72)発明者 鐘ケ江 裕三 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機 株式会社生産技術研究所内

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A1)1分子中に1個以上のナフタレ
    ン環および(または)アントラセン環を有し、かつ1分
    子中に1個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、 (B1)1分子中に1個以上のナフタレン環および(ま
    たは)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1個以上
    のフェノール性水酸基を有する硬化剤、ならびに (C)硬化促進剤および無機充填剤 からなる半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  2. 【請求項2】 エポキシ樹脂(A1)が式(I): 【化1】 (式中、R0は2価の有機基、nは正の整数を表す)で
    表される化合物であり、硬化剤(B1)が式(II): 【化2】 (式中、R1は2価の有機基、mは正の整数を表す)で
    表される化合物である請求項1記載の半導体封止用エポ
    キシ樹脂組成物。
  3. 【請求項3】 硬化剤(B1)が式(III): 【化3】 (式中、Yは電子吸引性基、R2は2価の有機基を表
    し、j、k、mはそれぞれ正の整数(ただし、2≦j+
    k≦6)を表す)で表される化合物である請求項1記載
    の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  4. 【請求項4】 硬化剤(B1)が式(III): 【化4】 においてYがフッ素原子、フッ素置換アルキル基および
    臭素原子からなる群から選ばれたものであり、j、k、
    nはそれぞれ正の整数(ただし2≦j+k≦6)で表さ
    れるものである請求項1または3記載の半導体封止用エ
    ポキシ樹脂組成物。
  5. 【請求項5】 硬化剤(B1)が式(IV): 【化5】 (式中、R2は2価の有機基を表し、mは正の整数を表
    す)で表される化合物である請求項1、3または4記載
    の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  6. 【請求項6】 (A)エポキシ化合物 (B)硬化剤 (C)硬化促進剤および無機充填剤および (D)シリコーン可撓化剤 とからなり、 エポキシ樹脂(A)が1分子中に1個以上のナフタレン
    環および(または)アントラセン環を有し、かつ1分子
    中に1個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂(A
    1)および(または)1分子中に1個以上のエポキシ基
    を有するエポキシ樹脂(A2)であり、 硬化剤(B)が1分子中に1個以上のナフタレン環およ
    び(または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1
    個以上のフェノール性水酸基を有する硬化剤(B1)お
    よび(または)1分子中に1個以上のフェノール性水酸
    基を有する硬化剤(B2)であり、 シリコーン可撓化剤(D)が、 (D1):式(V) 【化6】 (式中、Aはエポキシ反応性基、R3〜R7はそれぞれ同
    じでも異っていてもよい炭素数1〜20のアルキル基、ア
    リール基またはアラルキル基またはポリアルキレンオキ
    サイド基、R8は2価の有機基、R9は−R8−Aまたは
    炭素数1〜20のアルキル基、アリール基またはアラルキ
    ル基、ポリアルキレンオキサイド基を表し、aは1〜30
    0の整数、bは0〜10の整数で0≦b/(a+b)≦0.3
    2なる関係を満足し、aが2以上のばあいは各R3、R4
    は同じでも異っていてもよい)で表されるシリコーンオ
    イルのエポキシ反応性基の全部または一部を、1分子中
    に1個以上のナフタレン環および(または)アントラセ
    ン環を有し、かつ1分子中に1個以上のエポキシ基を有
    するエポキシ樹脂と反応させてえられる可撓化剤、 (D2):式(VI) 【化7】 (式中、Bはフェノール性水酸基反応性基、R10〜R14
    はそれぞれ同じでも異っていてもよい炭素数1〜20のア
    ルキル基、アリール基またはアラルキル基、ポリアルキ
    レンオキサイド基、R15は2価の有機基、R16は−R15
    −Bまたは炭素数1〜20のアルキル基、アリール基また
    はアラルキル基、ポリアルキレンオキサイド基を表し、
    cは1〜300の整数、dは0〜10の整数で0≦d/(c
    +d)≦0.32なる関係を満足し、cが2以上のばあいは
    各R10、R11は同じでも異っていてもよい)で表される
    シリコーンオイルのフェノール性水酸基反応性基の全部
    または一部を、1分子中に1個以上のナフタレン環およ
    び(または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1
    個以上のフェノール性水酸基を有する硬化剤と反応させ
    てえられる可撓化剤、 (D3):式(V)で表されるエポキシ反応性基を有す
    るシリコーンオイルと式(VI)で表されるフェノール
    性水酸基反応性基を有するシリコーンオイルとを付加さ
    せてえられる付加反応生成物のエポキシ反応性基の一部
    または全部を、1分子中に1個以上のナフタレン環およ
    び(または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1
    個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂と反応せしめ
    てえられる可撓化剤、 (D4):式(V)で表されるエポキシ反応性基を有す
    るシリコーンオイルと式(VI)で表されるフェノール
    性水酸基反応性基を有するシリコーンオイルとを付加さ
    せてえられる付加反応生成物のフェノール性水酸基反応
    性基の一部または全部を、1分子中に1個以上のナフタ
    レン環および(または)アントラセン環を有し、かつ1
    分子中に1個以上のフェノール性水酸基を有する硬化剤
    と反応せしめてえられる可撓化剤、 (D5):式(V)で表されるエポキシ反応性基を有す
    るシリコーンオイルと式(VII): 【化8】 (式中、R17はR18−R18またはR18−R19−R18(R
    18はベンゼン環またはナフタレン環、R19は2価の有機
    基を表し、R18、R19はそれぞれ同じでも異っていても
    よい)、eは0〜100の整数を表す)で表される両末端
    にエポキシ基を有するエポキシ化合物との反応生成物
    と、1分子中に1個以上のナフタレン環および(また
    は)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1個以上の
    エポキシ基を有するエポキシ樹脂とを反応せしめてえら
    れる可撓化剤、 (D6):式(V)で表されるエポキシ反応性基を有す
    るシリコーンオイルと式(VII)で表される両末端に
    エポキシ基を有するエポキシ化合物との反応生成物と、
    1分子中に1個以上のナフタレン環および(または)ア
    ントラセン環を有し、かつ1分子中に1個以上のフェノ
    ール性水酸基を有する硬化剤とを反応せしめてえられる
    可撓化剤よりなる群から選ばれた少なくとも1種である
    半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  7. 【請求項7】 エポキシ樹脂(A)が式(I): 【化9】 (式中、R0は2価の有機基、nは正の整数を表す)で
    表される化合物であり、硬化剤(B)が式(II): 【化10】 (式中、R1は2価の有機基、mは正の整数を表す)で
    表される化合物である請求項6記載の半導体封止用エポ
    キシ樹脂組成物。
  8. 【請求項8】 硬化剤樹脂(B)が式(III): 【化11】 (式中、Yは電子吸引性基、R2は2価の有機基を表
    し、j、k、mはそれぞれ正の整数(ただし、2≦j+
    k≦6)を表す)で表される化合物である請求項6記載
    の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  9. 【請求項9】 硬化剤(B)が式(III): 【化12】 においてYがフッ素原子、フッ素置換アルキル基および
    臭素原子からなる群から選ばれたものである請求項6、
    または8記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  10. 【請求項10】 硬化剤(B)が式(IV): 【化13】 (式中、R2は2価の有機基を表し、mは正の整数を表
    す)で表される化合物である請求項6、8または9記載
    の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  11. 【請求項11】 エポキシ樹脂(A)が1分子中に1個
    以上のナフタレン環および(または)アントラセン環を
    有し、かつ1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエ
    ポキシ樹脂(A1)であり、シリコーン可撓化剤(D)
    が前記(D1)である請求項6記載の半導体封止用エポ
    キシ樹脂組成物。
  12. 【請求項12】 硬化剤(B)が1分子中に1個以上の
    ナフタレン環および(または)アントラセン環を有し、
    かつ1分子中に1個以上のフェノール性水酸基を有する
    硬化剤(B1)であり、シリコーン可撓化剤(D)が前
    記(D2)である請求項6記載の半導体封止用エポキシ
    樹脂組成物。
  13. 【請求項13】 エポキシ樹脂(A)および(または)
    硬化剤(B)が1分子中に1個以上のナフタレン環およ
    び(または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1
    個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂(A1)およ
    び(または)1分子中に1個以上のナフタレン環および
    (または)アントラセン環を有し、かつ1分子中に1個
    以上のエポキシ基を有する硬化剤(B1)であり、シリ
    コーン可撓化剤(D)が前記(D3)である請求項6記
    載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  14. 【請求項14】 エポキシ樹脂(A)が1分子中に1個
    以上のナフタレン環および(または)アントラセン環を
    有し、かつ1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエ
    ポキシ樹脂(A1)であり、シリコーン可撓化剤(D)
    が前記(D5)である請求項6記載の半導体封止用エポ
    キシ樹脂組成物。
  15. 【請求項15】 前記半導体封止用エポキシ樹脂組成物
    を用いて封止した請求項1、2、3、4、5、6、7、
    8、9、10、11、12、13または14記載の樹脂封止型半導
    体装置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0810249A3 (en) * 1996-05-30 1998-05-20 Hitachi, Ltd. Thermosetting resin composition, electrically insulated coil, electric rotating machine and method for producing same
JPH10292032A (ja) * 1997-04-18 1998-11-04 Nippon Steel Chem Co Ltd エポキシ樹脂組成物及びその硬化物
JP2002060591A (ja) * 2000-08-23 2002-02-26 Sumitomo Bakelite Co Ltd エポキシ樹脂組成物及び半導体装置
JP2008031344A (ja) * 2006-07-31 2008-02-14 Dainippon Ink & Chem Inc エポキシ樹脂組成物及びその硬化物
JP2008127577A (ja) * 2006-11-24 2008-06-05 Cheil Industries Inc マルチチップパッケージ封止用エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いたマルチチップパッケージ
US8502399B2 (en) 2009-06-22 2013-08-06 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. Resin composition for encapsulating semiconductor and semiconductor device
JP2013544912A (ja) * 2010-10-11 2013-12-19 ベーイプシロンカー ヘミー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクター ハフトゥング エポキシ/アミン骨格構造を有するポリシロキサン基含有共重合体およびその使用

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0810249A3 (en) * 1996-05-30 1998-05-20 Hitachi, Ltd. Thermosetting resin composition, electrically insulated coil, electric rotating machine and method for producing same
JPH10292032A (ja) * 1997-04-18 1998-11-04 Nippon Steel Chem Co Ltd エポキシ樹脂組成物及びその硬化物
JP2002060591A (ja) * 2000-08-23 2002-02-26 Sumitomo Bakelite Co Ltd エポキシ樹脂組成物及び半導体装置
JP2008031344A (ja) * 2006-07-31 2008-02-14 Dainippon Ink & Chem Inc エポキシ樹脂組成物及びその硬化物
JP2008127577A (ja) * 2006-11-24 2008-06-05 Cheil Industries Inc マルチチップパッケージ封止用エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いたマルチチップパッケージ
US8502399B2 (en) 2009-06-22 2013-08-06 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. Resin composition for encapsulating semiconductor and semiconductor device
JP2013544912A (ja) * 2010-10-11 2013-12-19 ベーイプシロンカー ヘミー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクター ハフトゥング エポキシ/アミン骨格構造を有するポリシロキサン基含有共重合体およびその使用
US9217083B2 (en) 2010-10-11 2015-12-22 Byk-Chemie Gmbh Copolymers containing polysiloxane groups and having an epoxy/amine skeletal structure, and use thereof

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