JPH06193989A - 冷凍機の運転方法 - Google Patents
冷凍機の運転方法Info
- Publication number
- JPH06193989A JPH06193989A JP23989693A JP23989693A JPH06193989A JP H06193989 A JPH06193989 A JP H06193989A JP 23989693 A JP23989693 A JP 23989693A JP 23989693 A JP23989693 A JP 23989693A JP H06193989 A JPH06193989 A JP H06193989A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- refrigerator
- displacer
- operating frequency
- regenerator
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、冷凍能力に優れ且つ最低温度を低
くし得る冷凍機の運転方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 圧縮した冷媒ガスを蓄冷器を用いて冷却した
後、低温部で膨脹させることによって寒冷を発生させる
冷凍機の運転方法であって、定常運転時にあって、前記
低温部においてより低い温度を得るために、冷凍機のデ
ィスプレ―サの運転周波数を下げるように制御すること
を特徴とする。
くし得る冷凍機の運転方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 圧縮した冷媒ガスを蓄冷器を用いて冷却した
後、低温部で膨脹させることによって寒冷を発生させる
冷凍機の運転方法であって、定常運転時にあって、前記
低温部においてより低い温度を得るために、冷凍機のデ
ィスプレ―サの運転周波数を下げるように制御すること
を特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、冷凍機の運転方法に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】極低温冷凍機のうち、蓄冷器を有する蓄
冷式冷凍機にはギフォ―ド・マクマホン（以下、単にＧ
Ｍと略記）冷凍機、スタ―リン冷凍機等の種々のタイプ
があり、超電導マグネットの冷却や赤外線センサの冷
却、あるいは、クライオポンプの冷却源として使用され
ている。これらの中で、ＧＭ冷凍機の構成を図４に示
す。この図４に示すＧＭ冷凍機は、大きく分けてコ―ル
ドヘッド１と冷媒ガス導排出系２とで構成され、コ―ル
ドヘッド１に設けられ、一定速度で運転するディスプレ
―サ１２が、冷媒ガス導排出系２と連動して冷媒ガスの
膨張冷却を繰返し極低温に到る冷凍機である。
冷式冷凍機にはギフォ―ド・マクマホン（以下、単にＧ
Ｍと略記）冷凍機、スタ―リン冷凍機等の種々のタイプ
があり、超電導マグネットの冷却や赤外線センサの冷
却、あるいは、クライオポンプの冷却源として使用され
ている。これらの中で、ＧＭ冷凍機の構成を図４に示
す。この図４に示すＧＭ冷凍機は、大きく分けてコ―ル
ドヘッド１と冷媒ガス導排出系２とで構成され、コ―ル
ドヘッド１に設けられ、一定速度で運転するディスプレ
―サ１２が、冷媒ガス導排出系２と連動して冷媒ガスの
膨張冷却を繰返し極低温に到る冷凍機である。
【０００３】即ち、コ―ルドヘッド１は閉じられたシリ
ンダ１１とこのシリンダ内に往復動自在に収容されたデ
ィスプレ―サ１２とシリンダ１１に通じる部屋内に配置
されて上記ディスプレ―サ１２に往復動に必要な動力を
与えるモ―タ１３とで構成されている。
ンダ１１とこのシリンダ内に往復動自在に収容されたデ
ィスプレ―サ１２とシリンダ１１に通じる部屋内に配置
されて上記ディスプレ―サ１２に往復動に必要な動力を
与えるモ―タ１３とで構成されている。
【０００４】シリンダ１１は大径の第１シリンダ１４と
この第１シリンダ１４に同軸的に接続された小径の第２
シリンダ１５とで構成されている。そして、第１シリン
ダ１４と第２シリンダ１５との境界壁部分で冷却面とし
ての第１ステ―ジ１６を構成し、またシリンダ１５の先
端壁部分で第１ステ―ジ１６より低温の第２ステ―ジ１
７を構成している。ディスプレ―サ１２は、第１シリン
ダ１４内を往復動する第１ディスプレ―サ１８と第２シ
リンダ１５内を往復動する第２ディスプレ―サ１９とで
構成されている。第１ディスプレ―サ１８と第２ディス
プレ―サ１９とは、連結部材２０によって軸方向に連結
されている。
この第１シリンダ１４に同軸的に接続された小径の第２
シリンダ１５とで構成されている。そして、第１シリン
ダ１４と第２シリンダ１５との境界壁部分で冷却面とし
ての第１ステ―ジ１６を構成し、またシリンダ１５の先
端壁部分で第１ステ―ジ１６より低温の第２ステ―ジ１
７を構成している。ディスプレ―サ１２は、第１シリン
ダ１４内を往復動する第１ディスプレ―サ１８と第２シ
リンダ１５内を往復動する第２ディスプレ―サ１９とで
構成されている。第１ディスプレ―サ１８と第２ディス
プレ―サ１９とは、連結部材２０によって軸方向に連結
されている。
【０００５】第１ディスプレ―サ１８の内側には、軸方
向に延びる流体通路２１が形成されて第１蓄冷器３５を
構成しており、第１蓄冷器３５内には銅メッシュ等で形
成された蓄冷材２２が収容されている。同様に、第２デ
ィスプレ―サ１９の内側にも軸方向に延びる流体通路２
３が形成されており、第２蓄冷器３６を構成している。
第２蓄冷器３６内には鉛やその他の金属、金属間化合物
等の球あるいは粉等で構成された蓄冷材２４が収容され
ている。第１ディスプレ―サ１８の外周面と第１シリン
ダ１４の内周面との間および第２ディスプレ―サ１９の
外周面と第２シリンダ１５の内周面との間には、それぞ
れシ―ル機構２５，２６が装着されている。
向に延びる流体通路２１が形成されて第１蓄冷器３５を
構成しており、第１蓄冷器３５内には銅メッシュ等で形
成された蓄冷材２２が収容されている。同様に、第２デ
ィスプレ―サ１９の内側にも軸方向に延びる流体通路２
３が形成されており、第２蓄冷器３６を構成している。
第２蓄冷器３６内には鉛やその他の金属、金属間化合物
等の球あるいは粉等で構成された蓄冷材２４が収容され
ている。第１ディスプレ―サ１８の外周面と第１シリン
ダ１４の内周面との間および第２ディスプレ―サ１９の
外周面と第２シリンダ１５の内周面との間には、それぞ
れシ―ル機構２５，２６が装着されている。
【０００６】第１ディスプレ―サ１８の図中上端は、連
結ロッド２７、スコッチヨ―クあるいはクランク軸２８
を介してモ―タ１３の回転軸に連結されている。従っ
て、モ―タ１３の回転軸が回転するとこの回転に同期し
てディスプレ―サ１２が図中実線矢印２９で示すように
往復動する。
結ロッド２７、スコッチヨ―クあるいはクランク軸２８
を介してモ―タ１３の回転軸に連結されている。従っ
て、モ―タ１３の回転軸が回転するとこの回転に同期し
てディスプレ―サ１２が図中実線矢印２９で示すように
往復動する。
【０００７】第１シリンダ１４の側壁上部には冷媒ガス
の導入口３０と排出口３１とが設けてあり、これら導入
口３０と排出口３１は冷媒ガス導排出系２に接続されて
いる。
の導入口３０と排出口３１とが設けてあり、これら導入
口３０と排出口３１は冷媒ガス導排出系２に接続されて
いる。
【０００８】この冷媒ガス導排出系２は、シリンダ１１
を経由したヘリウムガス循環系を構成するもので、排出
口３１を低圧弁３２、コンプレッサ３３、高圧弁３４を
介して導入口３０に接続したものとなっている。即ち、
この冷媒ガス導排出系２は、低圧（約６atm ）ヘリウム
ガスをコンプレッサ３３で高圧（約１８atm ）に圧縮し
てシリンダ１１内に送りこむものである。そして、低圧
弁３２、高圧弁３４の開閉はディスプレ―サ１２の往復
動との関連において後述する関係に制御される。
を経由したヘリウムガス循環系を構成するもので、排出
口３１を低圧弁３２、コンプレッサ３３、高圧弁３４を
介して導入口３０に接続したものとなっている。即ち、
この冷媒ガス導排出系２は、低圧（約６atm ）ヘリウム
ガスをコンプレッサ３３で高圧（約１８atm ）に圧縮し
てシリンダ１１内に送りこむものである。そして、低圧
弁３２、高圧弁３４の開閉はディスプレ―サ１２の往復
動との関連において後述する関係に制御される。
【０００９】このように構成された冷凍機の動作を簡単
に説明すると以下の通りである。この冷凍機では寒冷の
発生する部分、つまり冷却面に供される部分は第１ステ
―ジ１６と第２ステ―ジ１７とである。これらは熱負荷
のない場合にそれぞれ３０Ｋと８Ｋ程度まで冷える。こ
のため、第１蓄冷器３５の上下端間には常温（３００
Ｋ）から３０Ｋまでの温度勾配がつき、また第２蓄冷器
３６の図中上下端間には３０Ｋから８Ｋまでの温度勾配
がつく。ただし、この温度は各段の熱負荷によって変化
し、通常第１ステ―ジ１６では３０〜８０Ｋ、第２ステ
―ジ１７では８〜２０Ｋ程度となる。
に説明すると以下の通りである。この冷凍機では寒冷の
発生する部分、つまり冷却面に供される部分は第１ステ
―ジ１６と第２ステ―ジ１７とである。これらは熱負荷
のない場合にそれぞれ３０Ｋと８Ｋ程度まで冷える。こ
のため、第１蓄冷器３５の上下端間には常温（３００
Ｋ）から３０Ｋまでの温度勾配がつき、また第２蓄冷器
３６の図中上下端間には３０Ｋから８Ｋまでの温度勾配
がつく。ただし、この温度は各段の熱負荷によって変化
し、通常第１ステ―ジ１６では３０〜８０Ｋ、第２ステ
―ジ１７では８〜２０Ｋ程度となる。
【００１０】モ―タ１３が回転を開始すると、ディスプ
レ―サ１２は上死点と下死点の間を往復動する。ディス
プレ―サ１２が下死点にあるとき、高圧弁３４が開いて
高圧のヘリウムガスがコ―ルドヘッド１内に流入する。
次に、ディスプレ―サ１２が上死点へと移動する。前述
の如く、第１ディスプレ―サ１８の外周面と第１シリン
ダ１４の内周面との間および第２ディスプレ―サ１９の
外周面と第２シリンダ１５の内周面との間にそれぞれシ
―ル機構２５，２６が装着されている。このため、ディ
スプレ―サ１２が上死点へと向かうと、高圧ヘリウムガ
スは第１蓄冷器３５および第２蓄冷器３６を通って、第
１ディスプレ―サ１８と第２ディスプレ―サ１９との間
に形成された第１膨張室３９および第２ディスプレ―サ
１９と第２シリンダ１５の先端壁との間に形成された第
２膨張室４０へと流れる。
レ―サ１２は上死点と下死点の間を往復動する。ディス
プレ―サ１２が下死点にあるとき、高圧弁３４が開いて
高圧のヘリウムガスがコ―ルドヘッド１内に流入する。
次に、ディスプレ―サ１２が上死点へと移動する。前述
の如く、第１ディスプレ―サ１８の外周面と第１シリン
ダ１４の内周面との間および第２ディスプレ―サ１９の
外周面と第２シリンダ１５の内周面との間にそれぞれシ
―ル機構２５，２６が装着されている。このため、ディ
スプレ―サ１２が上死点へと向かうと、高圧ヘリウムガ
スは第１蓄冷器３５および第２蓄冷器３６を通って、第
１ディスプレ―サ１８と第２ディスプレ―サ１９との間
に形成された第１膨張室３９および第２ディスプレ―サ
１９と第２シリンダ１５の先端壁との間に形成された第
２膨張室４０へと流れる。
【００１１】この流れに伴って、高圧ヘリウムは蓄冷材
２２，２４によって冷却され、結局、１段膨張室３９に
流れ込んだ高圧ヘリウムガスは３０Ｋ程度に、また第２
膨張室４０に流れ込んだ高圧ヘリウムガスは８０Ｋ程度
に冷却される。ここで、高圧弁３４が閉じ、低圧弁３２
が開く。このように低圧弁３２が開くと、第１膨張室３
９内および第２膨張室４０内の高圧ヘリウムガスが膨脹
して寒冷を発生する。この寒冷によって第１ステ―ジ１
６および第２ステ―ジ１７が冷却され。
２２，２４によって冷却され、結局、１段膨張室３９に
流れ込んだ高圧ヘリウムガスは３０Ｋ程度に、また第２
膨張室４０に流れ込んだ高圧ヘリウムガスは８０Ｋ程度
に冷却される。ここで、高圧弁３４が閉じ、低圧弁３２
が開く。このように低圧弁３２が開くと、第１膨張室３
９内および第２膨張室４０内の高圧ヘリウムガスが膨脹
して寒冷を発生する。この寒冷によって第１ステ―ジ１
６および第２ステ―ジ１７が冷却され。
【００１２】そして、ディスプレ―サ１２が再び下死点
へと移動し、これに伴って第１膨張室３９内および第２
膨張室４０内のヘリウムガスが排除される。膨脹したヘ
リウムガスは第１蓄冷器３５、第２蓄冷器３６を通る間
に蓄冷材２２，２４によって暖められ、常温となって排
出口３１を経て排出される。以下、上述したサイクルが
繰返されて冷凍運転が行われる。
へと移動し、これに伴って第１膨張室３９内および第２
膨張室４０内のヘリウムガスが排除される。膨脹したヘ
リウムガスは第１蓄冷器３５、第２蓄冷器３６を通る間
に蓄冷材２２，２４によって暖められ、常温となって排
出口３１を経て排出される。以下、上述したサイクルが
繰返されて冷凍運転が行われる。
【００１３】なお、これらの冷凍機において運転時のデ
ィスプレ―サ運転周波数は常に一定であり、冷凍機によ
って作り出される最低温度は約８Ｋ程度である。また、
冷凍機として冷凍能力を期待できるのは１０Ｋ程度以上
であった。これは、第２蓄冷器３６に用いられている蓄
冷材２４の熱容量が温度の低下と共に下ってくるため、
熱を蓄える能力が衰え、蓄冷器としての熱交換効率が大
幅に下がるためである。
ィスプレ―サ運転周波数は常に一定であり、冷凍機によ
って作り出される最低温度は約８Ｋ程度である。また、
冷凍機として冷凍能力を期待できるのは１０Ｋ程度以上
であった。これは、第２蓄冷器３６に用いられている蓄
冷材２４の熱容量が温度の低下と共に下ってくるため、
熱を蓄える能力が衰え、蓄冷器としての熱交換効率が大
幅に下がるためである。
【００１４】一方、最低温度を下げ、低温での冷凍能力
向上のために、第２蓄冷器３６内の蓄冷材２４に比熱の
大きい磁性体等の材料を用いたり、２段の膨張ステ―ジ
を更に多段にする等のことが行われているが、１０Ｋ以
下で高い冷凍能力が得られていない。
向上のために、第２蓄冷器３６内の蓄冷材２４に比熱の
大きい磁性体等の材料を用いたり、２段の膨張ステ―ジ
を更に多段にする等のことが行われているが、１０Ｋ以
下で高い冷凍能力が得られていない。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の蓄冷式極低温冷凍機にあっては、温度レベルによらず
ディスプレ―サの運転周波数は一定であり、極低温での
冷凍能力の向上は望めなかった。
の蓄冷式極低温冷凍機にあっては、温度レベルによらず
ディスプレ―サの運転周波数は一定であり、極低温での
冷凍能力の向上は望めなかった。
【００１６】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、ディスプレ―サの運転周波数を温度レベルによって
変化させ、冷凍能力増加と最低温度の低い極低温冷凍機
を提供することのできる冷凍機の運転方法を提供するこ
とを目的とする。
で、ディスプレ―サの運転周波数を温度レベルによって
変化させ、冷凍能力増加と最低温度の低い極低温冷凍機
を提供することのできる冷凍機の運転方法を提供するこ
とを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、圧縮した冷媒ガスを蓄冷器を用いて冷却した
後、低温部で膨脹させることによって寒冷を発生させる
冷凍機の運転方法であって、定常運転時にあって、前記
低温部においてより低い温度を得るために、冷凍機のデ
ィスプレ―サの運転周波数を下げるように制御すること
を要旨とする。
本発明は、圧縮した冷媒ガスを蓄冷器を用いて冷却した
後、低温部で膨脹させることによって寒冷を発生させる
冷凍機の運転方法であって、定常運転時にあって、前記
低温部においてより低い温度を得るために、冷凍機のデ
ィスプレ―サの運転周波数を下げるように制御すること
を要旨とする。
【００１８】
【作用】本発明の冷凍機の運転方法は、本願発明者が鋭
意研究の結果、極低温下にあっては温度が低下するに従
って冷凍機のディスプレーサの運転周波数を下げること
により、さらに冷凍能力が向上するという特異な現象を
発見したことに基づくものであり、これにより極低温冷
凍機の大幅な変更を要することなく冷凍能力の格段の増
加を実現し得るようにしたものである。すなわち、冷凍
機のディスプレ―サの運転周波数を温度の低下と共に低
くなるように制御し冷凍能力を向上するものである。
意研究の結果、極低温下にあっては温度が低下するに従
って冷凍機のディスプレーサの運転周波数を下げること
により、さらに冷凍能力が向上するという特異な現象を
発見したことに基づくものであり、これにより極低温冷
凍機の大幅な変更を要することなく冷凍能力の格段の増
加を実現し得るようにしたものである。すなわち、冷凍
機のディスプレ―サの運転周波数を温度の低下と共に低
くなるように制御し冷凍能力を向上するものである。
【００１９】
【実施例】以下、本発明に係る一実施例を図面を参照し
て説明する。図１は本発明に係る冷凍機の運転方法が適
用される極低温冷凍機の構成を示す断面図である。
て説明する。図１は本発明に係る冷凍機の運転方法が適
用される極低温冷凍機の構成を示す断面図である。
【００２０】図１は、図４に示したＧＭ冷凍機に、温度
センサ４１、コントロ―ラ４２及びインバ―タ４３を設
けた例である。従って、図４のものと同一構成要素には
同符号を付して説明は省略する。
センサ４１、コントロ―ラ４２及びインバ―タ４３を設
けた例である。従って、図４のものと同一構成要素には
同符号を付して説明は省略する。
【００２１】温度センサ４１は、低温部である第２ステ
―ジ１７に隣接して設け、この個所の温度を検知し、コ
ントロ―ラ（制御手段）４２へその検出信号を送る。コ
ントロ―ラ４２は、電源４４とモ―タ１３との中間に設
けたインバ―タ４３を介して、温度の変化に応じてモ―
タ１３の回転数を制御する。従って、これと連動する冷
凍機の冷媒圧縮部材であるディスプレ―サ１２の運転周
波数を検知温度に応じ変化させることができるようにし
た。
―ジ１７に隣接して設け、この個所の温度を検知し、コ
ントロ―ラ（制御手段）４２へその検出信号を送る。コ
ントロ―ラ４２は、電源４４とモ―タ１３との中間に設
けたインバ―タ４３を介して、温度の変化に応じてモ―
タ１３の回転数を制御する。従って、これと連動する冷
凍機の冷媒圧縮部材であるディスプレ―サ１２の運転周
波数を検知温度に応じ変化させることができるようにし
た。
【００２２】図３には運転周波数を変化させた時の冷凍
機の冷凍能力曲線を示す。代表的な運転周波数として６
０rpm ，３６rpm ，１８rpm を示す。通常の冷凍機では
６０rpm 程度の運転周波数である。図３からわかるよう
に、運転周波数を遅くする程、最低温度（冷凍量がＯＷ
の時の温度）が低くなり、低温での冷凍量も大きい。し
かしながら、温度が高くなると周波数が遅い程冷凍量は
小さい。従って、各温度レベルで運転周波数を変化させ
ることによって、低温まで下がり、冷凍能力の大きな冷
凍機を実現できる。図２は、本発明実施例による冷凍能
力を示している。８．５Ｋ以上では６０rpm 、６．３Ｋ
〜８．５Ｋでは３６rpm 、６．３以下では１８rpm で運
転させた結果である。破線は従来の冷凍機の冷凍能力で
６０rpmのみの運転である。本発明実施例により、従来
に比べより低温まで下がり、低温での冷凍能力が大きい
冷凍機が実現されていることがわかる。
機の冷凍能力曲線を示す。代表的な運転周波数として６
０rpm ，３６rpm ，１８rpm を示す。通常の冷凍機では
６０rpm 程度の運転周波数である。図３からわかるよう
に、運転周波数を遅くする程、最低温度（冷凍量がＯＷ
の時の温度）が低くなり、低温での冷凍量も大きい。し
かしながら、温度が高くなると周波数が遅い程冷凍量は
小さい。従って、各温度レベルで運転周波数を変化させ
ることによって、低温まで下がり、冷凍能力の大きな冷
凍機を実現できる。図２は、本発明実施例による冷凍能
力を示している。８．５Ｋ以上では６０rpm 、６．３Ｋ
〜８．５Ｋでは３６rpm 、６．３以下では１８rpm で運
転させた結果である。破線は従来の冷凍機の冷凍能力で
６０rpmのみの運転である。本発明実施例により、従来
に比べより低温まで下がり、低温での冷凍能力が大きい
冷凍機が実現されていることがわかる。
【００２３】なお、上述した実施例では、ＧＭ冷凍機に
て本発明を構成したが、スタ―リングサイクル、ビルミ
ヤサイクル等の蓄冷式冷凍機に構成することができる。
また、詳述した実施例ではディスプレ―サの運転周波数
を変化させるためにインバ―タを使用していたが、他の
方法によって運転周波数を変化させても良い。また、上
述した実施例では、運転周波数を６０rpm ，３６rpm ，
１８rpm に限っており、その温度範囲も８．５Ｋ，６．
３Ｋに限っていたが、他の周波数・温度レベルでも良
い。
て本発明を構成したが、スタ―リングサイクル、ビルミ
ヤサイクル等の蓄冷式冷凍機に構成することができる。
また、詳述した実施例ではディスプレ―サの運転周波数
を変化させるためにインバ―タを使用していたが、他の
方法によって運転周波数を変化させても良い。また、上
述した実施例では、運転周波数を６０rpm ，３６rpm ，
１８rpm に限っており、その温度範囲も８．５Ｋ，６．
３Ｋに限っていたが、他の周波数・温度レベルでも良
い。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、極低
温下にあっては、温度の低下と共に冷凍機のディスプレ
―サの運転周波数を遅くすることにより、冷凍機の到達
可能な最低温度を下げ、低温での冷凍能力の格段の増加
を実現できる。
温下にあっては、温度の低下と共に冷凍機のディスプレ
―サの運転周波数を遅くすることにより、冷凍機の到達
可能な最低温度を下げ、低温での冷凍能力の格段の増加
を実現できる。
【図１】本発明の一実施例に係る冷凍機の一部を切欠い
た構成図である。
た構成図である。
【図２】図１に示した冷凍機の特性を従来の冷凍機のそ
れと比較して示す図である。
れと比較して示す図である。
【図３】ディスプレ―サの運転周波数を変化させた時の
冷凍機の冷凍能力を示す図である。
冷凍機の冷凍能力を示す図である。
【図４】従来の冷凍機の概略の構成を示す構成図であ
る。
る。
１ コールドヘッド ２ 冷媒ガス導排出系 １１ シリンダ １２ ディスプレ―サ １３ モータ １４ 第１シリンダ １５ 第２シリンダ １６ 第１ステージ １７ 第２ステージ １８ 第１ディスプレ―サ １９ 第２ディスプレ―サ ２０ 連結部材 ２１ 流体通路 ２２ 蓄冷材 ２３ 流体通路 ２４ 蓄冷材 ２５ シール ２６ シール ２７ 連結ロッド ２８ クランク軸 ３０ 導入口 ３１ 排出口 ３２ 低圧弁 ３３ コンプレッサ ３４ 高圧弁 ３５ 第１蓄冷器 ３６ 第２蓄冷器 ３９ 第１膨脹室 ４０ 第２膨脹室 ４１ 温度センサ ４２ コントロ―ラ（制御手段） ４３ インバ―タ ４４ 電源
Claims (1)
- 【請求項１】 圧縮した冷媒ガスを蓄冷器を用いて冷却
した後、低温部で膨脹させることによって寒冷を発生さ
せる冷凍機の運転方法であって、 定常運転時にあって、前記低温部においてより低い温度
を得るために、冷凍機のディスプレ―サの運転周波数を
下げるように制御することを特徴とする冷凍機の運転方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5239896A JP2567196B2 (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 極低温冷凍機の運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5239896A JP2567196B2 (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 極低温冷凍機の運転方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1122851A Division JPH0678857B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 極低温冷凍機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06193989A true JPH06193989A (ja) | 1994-07-15 |
| JP2567196B2 JP2567196B2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=17051472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5239896A Expired - Fee Related JP2567196B2 (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 極低温冷凍機の運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2567196B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011521201A (ja) * | 2008-05-21 | 2011-07-21 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | リニア駆動を利用した極低温冷凍機 |
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|---|---|---|---|---|
| JPS63306361A (ja) * | 1987-06-05 | 1988-12-14 | 株式会社日立製作所 | 蓄冷器式冷凍装置 |
-
1993
- 1993-09-27 JP JP5239896A patent/JP2567196B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
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| JP2011521201A (ja) * | 2008-05-21 | 2011-07-21 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | リニア駆動を利用した極低温冷凍機 |
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| KR101496666B1 (ko) * | 2008-05-21 | 2015-02-27 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 선형 구동 극저온 냉동기 |
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