JPH06143073A - Vacuum chuck plate - Google Patents

Vacuum chuck plate

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JPH06143073A
JPH06143073A JP4311501A JP31150192A JPH06143073A JP H06143073 A JPH06143073 A JP H06143073A JP 4311501 A JP4311501 A JP 4311501A JP 31150192 A JP31150192 A JP 31150192A JP H06143073 A JPH06143073 A JP H06143073A
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JP
Japan
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plate
vacuum chuck
work
ceramic layer
chuck plate
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JP4311501A
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Japanese (ja)
Inventor
Shuzo Sato
修三 佐藤
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide a vacuum chuck plate which does not require any mask at the time of change in tooling for a work, can surely chuck the work, and thereby allows the work to be stably machined with high accuracy. CONSTITUTION:A porous ceramic layer 3 is formed over the chuck surface 6 of a plate 1, a sealing section 5 is provided with the ceramic layer 3 impregnated with resin in an epoxy series at a specified position in order to cut off intake air, and intake air ports 8a through 8c which connect adsorbing sections 4a through 4c at a gap between the sealing sections to an external vacuum sources, are formed in the inside of the base section 2 of the plate 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、平面研削盤などの工作
機械において、被加工物(以下ワークと称する)を真空
吸着により保持するバキュームチャックプレートに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum chuck plate for holding a workpiece (hereinafter referred to as a work) by vacuum suction in a machine tool such as a surface grinder.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のバキュームチャックプレートとし
ては、図4乃至図6に示すものが知られている。図4に
示すものは、バキュームチャックプレート11のチャッ
ク面11aに、吸気用の溝12または孔13を形成し、
溝12または孔13をプレート11内に形成された図示
しない吸気孔を介して外部の真空源に接続したものであ
る。
2. Description of the Related Art As a conventional vacuum chuck plate, those shown in FIGS. 4 to 6 are known. As shown in FIG. 4, a suction surface groove 12 or hole 13 is formed on the chuck surface 11a of the vacuum chuck plate 11,
The groove 12 or the hole 13 is connected to an external vacuum source via an intake hole (not shown) formed in the plate 11.

【0003】また、図5に示すものは、プレート21の
チャック面21aを多孔質材料で形成し、ワーク22の
下面に対応する開口部を有するマスク23でチャック面
21aを被覆して、ワーク22の吸着を行なうものであ
る。
In the structure shown in FIG. 5, the chuck surface 21a of the plate 21 is made of a porous material, and the chuck surface 21a is covered with a mask 23 having an opening corresponding to the lower surface of the work 22. Is to be absorbed.

【0004】また、図6に示すものは、図4に示すよう
な溝12または孔13に多孔質金属31を埋め込み、表
面を平面加工したものである。
Further, the structure shown in FIG. 6 is obtained by embedding a porous metal 31 in the groove 12 or the hole 13 as shown in FIG. 4 and flattening the surface.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図4に
示すバキュームチャックプレート11によると、図7に
示すように薄板状のワーク41を真空吸着するときに、
ワーク41が溝12または孔13内に引き込まれて変形
し、平面加工を行なうときの加工精度が悪くなるという
問題があった。
However, according to the vacuum chuck plate 11 shown in FIG. 4, when the thin plate-like work 41 is vacuum-sucked as shown in FIG.
There is a problem that the work 41 is drawn into the groove 12 or the hole 13 and is deformed, so that the machining accuracy at the time of performing the plane machining is deteriorated.

【0006】また、図5に示すバキュームチャックプレ
ート21によると、チャック面21aが多孔質材料で形
成され平面状であるため、上記のような問題はないが、
ワーク22が対向するチャック面以外の部分をマスク2
3で被覆して吸気もれを防止する必要があり、寸法の異
なるワーク41を吸着するときはマスク23を交換しな
ければならず、作業性が悪かった。
Further, according to the vacuum chuck plate 21 shown in FIG. 5, since the chuck surface 21a is made of a porous material and has a flat shape, there is no problem as described above.
The mask 2 is formed on the portion other than the chuck surface facing the work 22.
It is necessary to cover the same with No. 3 to prevent the intake from leaking, and the mask 23 must be replaced when adsorbing the workpieces 41 having different sizes, and the workability was poor.

【0007】また、図6に示すバキュームチャックプレ
ート11は、必要部分にのみ、溝12または孔13を形
成したのでマスクを使用する必要がなく、しかもチャッ
ク面11aが平面状となっているため、図7に示すよう
な問題は発生しない。しかしながら、チャック面11a
を平面加工するときに、プレート11と多孔質金属との
材質が異なるため、高精度の平面加工を行なうことが困
難であった。
In the vacuum chuck plate 11 shown in FIG. 6, since the groove 12 or the hole 13 is formed only in a necessary portion, it is not necessary to use a mask, and the chuck surface 11a has a flat surface. The problem as shown in FIG. 7 does not occur. However, the chuck surface 11a
Since the plate 11 and the porous metal are made of different materials when performing the flat processing, it is difficult to perform the high-precision flat processing.

【0008】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
もので、ワークの段取替時にマスクを必要とせず、チャ
ック面が安定して高精度の加工を行なうことのできるバ
キュームチャックプレートを提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of such a situation, and provides a vacuum chuck plate which does not require a mask at the time of changeover of a work and which has a stable chuck surface and can perform highly accurate processing. The purpose is to do.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載のバキュ
ームチャックプレートは、工作機械で被加工物としての
ワークを真空吸着により保持するバキュームチャックプ
レートにおいて、プレート1のチャック面6に形成され
た多孔質セラミックス層3と、外部の真空源とを連結す
る吸気孔8と、多孔質セラミックス層3の所定の位置に
設けられ、吸気を遮断する封印部5とを備えることを特
徴とする。
A vacuum chuck plate according to claim 1 is formed on a chuck surface 6 of a plate 1 in a vacuum chuck plate for holding a work as a workpiece by vacuum suction in a machine tool. The porous ceramic layer 3 is provided with an intake hole 8 for connecting an external vacuum source, and a sealing portion 5 provided at a predetermined position of the porous ceramic layer 3 for blocking intake air.

【0010】請求項2に記載のバキュームチャックプレ
ートは、吸気孔8を複数個設けたことを特徴とする。
A vacuum chuck plate according to a second aspect of the invention is characterized in that a plurality of suction holes 8 are provided.

【0011】請求項3に記載のバキュームチャックプレ
ートは、封印部5はエポキシ系樹脂を多孔質セラミック
ス層3に含浸させて形成したことを特徴とする。
The vacuum chuck plate according to a third aspect of the invention is characterized in that the sealing portion 5 is formed by impregnating the porous ceramic layer 3 with an epoxy resin.

【0012】[0012]

【作用】請求項1に記載のバキュームチャックプレート
においては、プレート1のチャック面6に多孔質セラミ
ックス層3を設けたので、チャック面6を精度よく加工
することができ、長寿命化、安定化を図ることができ
る。また、多孔質セラミックス層3は通気性がよいの
で、ワークを強固に吸着することができる。さらに、多
孔質セラミックス層3に部分的に封印部5を設けて吸気
を遮断するようにしたので、ワークの形状に応じて必要
部分のみ吸着することができ、マスクを使用することな
くワークを強固に安定して保持することができる。
In the vacuum chuck plate according to claim 1, since the porous ceramic layer 3 is provided on the chuck surface 6 of the plate 1, the chuck surface 6 can be processed with high accuracy, and the life is extended and stabilized. Can be achieved. Further, since the porous ceramics layer 3 has good air permeability, it can firmly adsorb the work. Further, since the sealing portion 5 is partially provided on the porous ceramics layer 3 to block the intake air, only a necessary portion can be adsorbed according to the shape of the work, and the work can be firmly fixed without using a mask. Can be held stably.

【0013】請求項2に記載のバキュームチャックプレ
ートにおいては、多孔質セラミックス層3に連通する吸
気孔8を複数個設けたので、必要な部分のみを選択的に
吸気することができ、ワークをさらに強固に確実に保持
することができる。
In the vacuum chuck plate according to the second aspect, since the plurality of suction holes 8 communicating with the porous ceramic layer 3 are provided, only the necessary portion can be selectively sucked, and the workpiece can be further sucked. It can be firmly and securely held.

【0014】請求項3に記載のバキュームチャックプレ
ートにおいては、封印材としてエポキシ系樹脂を用いた
ので、樹脂を容易に部分的に含浸させることができ、容
易に封印することができる。しかもチャック面を精度よ
く平面仕上げすることができる。
In the vacuum chuck plate according to the third aspect, since the epoxy resin is used as the sealing material, the resin can be easily partially impregnated and can be easily sealed. In addition, the chuck surface can be accurately flat-finished.

【0015】[0015]

【実施例】以下、本発明のバキュームチャックプレート
の一実施例を図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the vacuum chuck plate of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0016】図1及び図2に本発明の一実施例の構成を
示す。図1、2において、プレート1の台金部2の上面
に板状の多孔質セラミックス層3が一体に設けられてお
り、セラミックス層3には3個の矩形環状の吸着部4
a、4b、4cが形成されている。また、吸着部4以外
の部分には、エポキシ系樹脂が厚さ方向に貫通して含浸
された封印部5が形成されている。セラミックス層3及
び樹脂5の表面は、精密に平面研磨されており、チャッ
ク面6を形成している。
1 and 2 show the configuration of an embodiment of the present invention. 1 and 2, a plate-shaped porous ceramics layer 3 is integrally provided on the upper surface of a base metal part 2 of a plate 1, and three rectangular annular adsorption parts 4 are provided on the ceramics layer 3.
a, 4b, and 4c are formed. In addition, a sealing portion 5 is formed in a portion other than the suction portion 4 so that the sealing portion 5 is penetrated and impregnated with an epoxy resin in the thickness direction. The surfaces of the ceramic layer 3 and the resin 5 are precisely flat-polished to form a chuck surface 6.

【0017】台金部2の外周には、3個の吸気口7a、
7b、7cが設けられており、内部には吸着部4a、4
b、4cと、吸気口7a、7b、7cとをそれぞれ連結
する通気孔8a、8b、8cが形成されている。また、
吸気口7は、それぞれ図示しない真空源に接続されてい
る。
On the outer periphery of the base metal part 2, three intake ports 7a,
7b and 7c are provided, and the suction portions 4a and 4 are provided inside.
Vent holes 8a, 8b, 8c are formed to connect b, 4c and the intake ports 7a, 7b, 7c, respectively. Also,
The intake ports 7 are each connected to a vacuum source (not shown).

【0018】次に本実施例の作用を説明する。吸着部4
a、4b、4cは封印部5によって3箇所に区画されて
おり、それぞれ吸気孔8a、8b、8cを介して独立し
て吸気されるので、チャック面6に装着されるワークの
大きさ形状によって必要な吸着部4のみでワークを吸着
することができる。また、多孔質セラミックス層3にエ
ポキシ系樹脂5を部分的に含浸させたものであるので、
チャック面の平面研磨は容易であり、高精度のチャック
面6を縛ることができる。
Next, the operation of this embodiment will be described. Adsorption part 4
Since a, 4b, and 4c are divided into three locations by the sealing portion 5 and are respectively independently sucked through the suction holes 8a, 8b, and 8c, depending on the size and shape of the workpiece mounted on the chuck surface 6. The work can be sucked only by the necessary suction unit 4. Moreover, since the porous ceramic layer 3 is partially impregnated with the epoxy resin 5,
Planar polishing of the chuck surface is easy, and the highly accurate chuck surface 6 can be bound.

【0019】本実施例によれば、マスクを必要とせずに
必要部分のみにおいてワークを吸着することができ、段
取替えが簡単となり強固にワークを保持することができ
る。また、チャック面6の表面精度を向上させることが
でき、チャック面の長寿命化、安定化を図ることができ
る。
According to the present embodiment, the work can be adsorbed only in the necessary portion without the need for a mask, and the setup change can be simplified and the work can be firmly held. Further, the surface accuracy of the chuck surface 6 can be improved, and the chuck surface can have a long life and can be stabilized.

【0020】上記実施例で示した吸着部4の形状及び数
は一例を示したものであり、例えば図3に示すように円
環状であってもよい。これに対応して吸気口7及び吸気
孔8の数も3個に限定されない。
The shape and number of the suction portions 4 shown in the above embodiment are examples, and may be annular, for example, as shown in FIG. Correspondingly, the number of intake ports 7 and intake holes 8 is not limited to three.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
バキュームチャックプレートによれば、チャック面に多
孔質セラミックス層を設け、部分的に封印部を設けて吸
気を遮断するようにしたので、ワークを強固に安定して
保持することができる。
As described above, according to the vacuum chuck plate of the first aspect, the porous ceramic layer is provided on the chuck surface and the sealing portion is partially provided to block the intake air. The work can be firmly and stably held.

【0022】請求項2に記載のバキュームチャックプレ
ートによれば、通気孔を複数個設けたので、必要な部分
のみを選択的に吸気することができ、ワークをさらに強
固に確実に保持することができる。
According to the vacuum chuck plate of the second aspect, since the plurality of ventilation holes are provided, only the necessary portion can be selectively sucked, and the work can be more firmly and surely held. it can.

【0023】請求項3に記載のバキュームチャックプレ
ートによれば、封印材としてエポキシ系樹脂を用いたの
で、樹脂を容易に部分的に含浸させることができ、容易
に封印することができる。しかもチャック面を精度よく
平面仕上げすることができる。
According to the vacuum chuck plate of the third aspect, since the epoxy resin is used as the sealing material, the resin can be easily partially impregnated and the sealing can be easily performed. In addition, the chuck surface can be accurately flat-finished.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のバキュームチャックプレートの一実施
例の構成を示す縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical sectional view showing the configuration of an embodiment of a vacuum chuck plate of the present invention.

【図2】図1の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of FIG.

【図3】本発明の他の実施例の構成を示す斜視図であ
る。
FIG. 3 is a perspective view showing the configuration of another embodiment of the present invention.

【図4】従来のバキュームチャックプレートの一例の構
成を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a configuration of an example of a conventional vacuum chuck plate.

【図5】従来のバキュームチャックプレートの他の一例
の構成を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing the configuration of another example of a conventional vacuum chuck plate.

【図6】従来のバキュームチャックプレートの別の一例
の構成を示す縦断面図である。
FIG. 6 is a vertical sectional view showing the configuration of another example of a conventional vacuum chuck plate.

【図7】図4に示す従来例の問題点を示す説明図であ
る。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a problem of the conventional example shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プレート 3 多孔質セラミックス層 5 封印部 6 チャック面 8 吸気孔 1 Plate 3 Porous Ceramic Layer 5 Sealing Part 6 Chuck Surface 8 Intake Hole

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 工作機械で被加工物を真空吸着により保
持するバキュームチャックプレートにおいて、 前記プレートのチャック面に形成された多孔質セラミッ
クス層と、 前記プレート内に設けられ、前記多孔質セラミックス層
と外部の真空源とを連通する吸気孔と、 前記多孔質セラミックス層の所定の位置に設けられ、吸
気を遮断する封印部とを備えることを特徴とするバキュ
ームチャックプレート。
1. A vacuum chuck plate for holding a workpiece by vacuum suction with a machine tool, comprising: a porous ceramic layer formed on a chuck surface of the plate; and a porous ceramic layer provided in the plate. A vacuum chuck plate, comprising: an intake hole communicating with an external vacuum source; and a sealing portion provided at a predetermined position of the porous ceramic layer to block intake air.
【請求項2】 前記吸気孔を複数個設けたことを特徴と
する請求項1記載のバキュームチャックプレート。
2. The vacuum chuck plate according to claim 1, wherein a plurality of the suction holes are provided.
【請求項3】 封印部はエポキシ系樹脂を前記多孔質セ
ラミックス層に含浸させて形成したことを特徴とする請
求項1または2記載のバキュームチャックプレート。
3. The vacuum chuck plate according to claim 1, wherein the sealing portion is formed by impregnating the porous ceramic layer with an epoxy resin.
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