JPH06132067A - Ceramic coat electrode - Google Patents

Ceramic coat electrode

Info

Publication number
JPH06132067A
JPH06132067A JP30291092A JP30291092A JPH06132067A JP H06132067 A JPH06132067 A JP H06132067A JP 30291092 A JP30291092 A JP 30291092A JP 30291092 A JP30291092 A JP 30291092A JP H06132067 A JPH06132067 A JP H06132067A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
ceramic
thin film
sol
ceramic coat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP30291092A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiro Itoi
Rihei Kimura
Kunichi Miyazawa
Taketo Sakuma
Masao Sakurai
健人 佐久間
薫一 宮沢
理平 木村
正夫 桜井
一博 糸井
Original Assignee
Rihei Kimura
Masao Sakurai
理平 木村
正夫 桜井
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rihei Kimura, Masao Sakurai, 理平 木村, 正夫 桜井 filed Critical Rihei Kimura
Priority to JP30291092A priority Critical patent/JPH06132067A/en
Publication of JPH06132067A publication Critical patent/JPH06132067A/en
Application status is Pending legal-status Critical

Links

Abstract

PURPOSE: To provide an electrode wherein corrosion resistance is improved while holding sufficient conductivity.
CONSTITUTION: In a ceramic coat electrode, a metal-made electrode base unit 8 is coated with a thin film 10 of oxidized ceramic by a sol-gel method. In thin film coating thus applied to ceramic, no influence is given to the conductivity of the electrode. Even when a corona discharge or the like is performed for a long time by using this ceramic coat electrode, its surface is prevented from corroding.
COPYRIGHT: (C)1994,JPO&Japio

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、コロナ処理装置等に使用されている電極に関するものであり、特に表面にセラミックの薄膜コーティングを施したものに関する。 The present invention relates generally relates to electrodes used in a corona treatment device, more particularly those subjected to ceramic thin film coating on the surface.

【0002】 [0002]

【従来の技術】一般的なコロナ処理装置は、図3に示すように、接地され且つシリコーン等の耐電体がコーティングされた金属の耐電ロール2に電極4を近接配置し、 BACKGROUND ART General corona treatment apparatus, as shown in FIG. 3, an electrode 4 close arranged withstand roll 2 of metal withstanding member such as the ground and a silicone-coated,
この電極4と耐電ロール2との間に高周波電圧を印加することによりその間の空気を絶縁破壊してイオン化し、 Therebetween air by applying a high frequency voltage between the electrode 4 and the power handling roll 2 and the dielectric breakdown ionized,
コロナ放電を発生させるものであり、その中を通過するフィルム6等に表面処理を施すものである。 It is intended to generate a corona discharge, in which a surface treatment to the film 6 or the like passing therethrough. このようなコロナ処理装置等に使用されている電極4の材料には、 The material of the electrodes 4 that are used in such corona treatment device,
その導電性と耐腐食性を考慮してアルミニウムやステンレス鋼が使用されていた。 Aluminum or stainless steel has been used in view of its conductivity and corrosion resistance.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】従来のこの種の装置に使用されていた電極は、長期間の使用には耐腐食性の面で問題があり、長時間の使用には耐えられないという課題があった。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the conventional electrode had been used for this type of device, the long-term use has a problem in terms of corrosion resistance, a problem that a long time does not stand the use was there.

【0004】本発明は、上記課題に鑑みなされたもので、その目的は、充分な導電性を保ちつつ耐腐食性を向上させた電極を提供することにある。 [0004] The present invention has been made in view of the above problems, its object is to provide an electrode having improved corrosion resistance while maintaining sufficient conductivity.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】本発明のセラミックコート電極は、金属製電極基体にゾルゲル法により酸化物セラミックの薄膜コーティングを施すことにより、導電性を保ちつつ耐腐食性を向上させるものである。 Means for Solving the Problems] ceramic coated electrode of the present invention, by applying a thin coating of oxide ceramic by the sol-gel method to a metal electrode substrate, thereby improving the corrosion resistance while maintaining conductivity .

【0006】 [0006]

【作用】本発明においては、金属アルコキシドの加水分解反応と縮重合反応を利用して、金属水酸化物のゾルを作り、そのゾル化、乾燥、熱処理によって酸化物セラミックを得るゾルゲル法を用いて、金属表面にセラミックの薄膜コーティングを施している。 According to the present invention, by using a metal alkoxide hydrolysis and condensation polymerization reaction, making a sol of a metal hydroxide, the sol, drying, using a sol-gel method to obtain an oxide ceramic by heat treatment , it is subjected to ceramic thin film coating on the metal surface.

【0007】このようにセラミックの薄膜コーティングを施した金属製の電極は、その導電性に影響はなく、また長時間コロナ放電を行なってもその表面が腐食することがない。 [0007] Thus the metal of the electrode which has been subjected to a ceramic thin film coating, no effect on its conductivity, also not be corroded even its surface subjected to prolonged corona discharge.

【0008】 [0008]

【実施例】以下本発明の一実施例について説明する。 EXAMPLES An embodiment of the following invention will be described. 本実施例においては、図1に示すステンレス鋼からなる略円柱形をなすものを電極の基体8として用いている。 In the present embodiment uses the one having a substantially cylindrical shape made of stainless steel shown in FIG. 1 as a substrate 8 of the electrodes.

【0009】また、本実施例においては、図2に示すように、基体8の表面にアルミナの薄膜10をゾルゲル法により形成している。 [0009] In the present embodiment, as shown in FIG. 2, it is formed by a sol-gel method a thin film 10 of alumina on the surface of the substrate 8.

【0010】以下ゾルゲル法による薄膜10のコーティングについて説明する。 [0010] The following by a sol-gel method for the coating of thin film 10 will be described. はじめに、コーティング液を調製する。 First, to prepare a coating liquid. 即ち、本実施例においては、アルミニウムのアルコキシドとして、アルミニウムイソプロポキシド That is, in this embodiment, as an aluminum alkoxide, aluminum isopropoxide

【0011】 [0011]

【化1】 [Formula 1]

【0012】を使用しており、0.1Kmol/ 立法メートルのアルミニウムイソプロポハシドのイソプロピルアルコール溶液(以下「A液」と略称する)を調整する。 [0012] use to adjust the 0.1 kmol / cubic meter of aluminum isopropoxycarbonyl chopsticks de isopropyl alcohol solution (hereinafter abbreviated as "A solution"). また、加水分解反応のための触媒として0.01Kmol/ 立法メートルの硝酸を含む水の15Kmol/ 立法メートルのイソプロピルアルコール溶液(以下「B液」と略称する)を調整する。 Further, to adjust the isopropyl alcohol solution of 15Kmol / cubic meter catalyst as water containing nitric acid 0.01Kmol / cubic meter for the hydrolysis reaction (hereinafter abbreviated as "liquid B"). 次に、上記A液とB液を混合、攪拌する。 Then, mixing the liquids A and B, and stirred. このときに、硝酸水溶液を滴下することにより、p At this time, by dropwise addition of aqueous nitric acid solution, p
Hと粘度を調整し、コーティング液を調製する。 Adjust the H and viscosity, to prepare a coating solution.

【0013】一方、本実施例におけるステンレス鋼からなる基体8には、機械研磨、バフ研磨及び洗浄が施され、予め表面が整えられている。 Meanwhile, the substrate 8 made of stainless steel in this embodiment, mechanical polishing, buffing and cleaning is performed, in advance surface furnished.

【0014】本実施例におけるコーティングは、上記基体8をコーティング液に浸漬し、引き上げることを数回繰り返し、その後室温で乾燥させ、更に383Kで乾燥させてから真空中にて773K〜1123Kで熱処理することにより行なわれる。 [0014] The coating in this embodiment, by immersing the substrate 8 in the coating solution, repeated several times to raise, then dried at room temperature, heat treated at 773K~1123K in vacuum after dried further 383K It is carried out by.

【0015】上記のように、基体8の表面に形成されるアルミナの薄膜10は、その厚さを約50nmに設定した場合、基体8の導電性には影響を及ぼさず、また10 [0015] As described above, a thin film 10 of alumina is formed on the surface of the substrate 8, if you set the thickness to about 50 nm, no effect on the conductivity of the substrate 8, also 10
時間この電極を用いて放電した場合にも全く腐食することがなかった。 It never is totally corrosion when discharged with time the electrode.

【0016】尚、本発明のセラミックコート電極は、コロナ処理装置だけでなく、図4に示すような静電除去用の放電電極12にも使用することができる。 [0016] Incidentally, the ceramic-coated electrode of the present invention, not only a corona treatment device, may also be used for the discharge electrode 12 for electrostatic removal, as shown in FIG. この放電電極12は、図に示すように先端が尖った針状の形状をなすように形成されており、その先端から弱放電して、その先端付近を通過するフィルム14等の静電気を除去するものである。 The discharge electrode 12 is formed so as to form a needle-like shape whose tip pointed as shown in FIG, and weak discharge from the tip to ground the film 14 and the like passing through the vicinity of the front end it is intended.

【0017】 [0017]

【発明の効果】本発明によれば、金属製の電極基体に酸化物セラミックの薄膜をコーティングすることにより、 According to the present invention, by coating a thin film of oxide ceramic to a metal electrode substrate,
充分な導電性を保ちつつ放電時の耐腐食性を向上させることができる。 It is possible to improve the corrosion resistance during discharge while maintaining sufficient conductivity.

【0018】特に、ゾルゲル法を用いてコーティングすることにより、大面積で複雑な形状の電極基体にも均一にコーティングすることができる。 [0018] In particular, by coating with a sol-gel method, it can be uniformly coated to the electrode substrate having a complicated shape with a large area.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の一実施例における電極の基体を示す斜視図である。 1 is a perspective view showing a substrate of an electrode in an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例における電極の断面拡大部分図である。 2 is a sectional enlarged partial view of electrodes in an embodiment of the present invention.

【図3】コロナ処理装置の原理を示す図である。 3 is a diagram showing the principle of a corona treatment apparatus.

【図4】静電除去用の放電電極の原理を示す図である。 4 is a diagram showing the principle of a discharge electrode for electrostatic removal.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

4 電極 8 基体 10 薄膜 12 放電電極 4 the electrode 8 base 10 thin film 12 discharge electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桜井 正夫 東京都品川区東大井2−8−4 (72)発明者 木村 理平 東京都江戸川区南葛西7−2−2−1211 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) invention's Masao Sakurai Shinagawa-ku, Tokyo Higashioi 2-8-4 (72) inventor Rihei Kimura Edogawa-ku, Tokyo Minamikasai 7-2-2-1211

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 金属製電極基体にゾルゲル法により酸化物セラミックの薄膜コーティングを施すことにより、導電性を保ちつつ耐腐食性を向上させることを特徴とするセラミックコート電極。 1. A metal by applying a thin coating of oxide ceramic by the electrode substrate in the sol-gel method, a ceramic coated electrode, characterized in that to improve the corrosion resistance while maintaining conductivity.
JP30291092A 1992-10-15 1992-10-15 Ceramic coat electrode Pending JPH06132067A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30291092A JPH06132067A (en) 1992-10-15 1992-10-15 Ceramic coat electrode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30291092A JPH06132067A (en) 1992-10-15 1992-10-15 Ceramic coat electrode

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06132067A true JPH06132067A (en) 1994-05-13

Family

ID=17914587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30291092A Pending JPH06132067A (en) 1992-10-15 1992-10-15 Ceramic coat electrode

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06132067A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0864338A (en) * 1994-08-26 1996-03-08 Agency Of Ind Science & Technol Discharge electrode, discharge device, exciting device utilizing discharge, and chemical reaction device
EP0947353A1 (en) * 1998-03-31 1999-10-06 AGFA-GEVAERT naamloze vennootschap A method for preparing an aluminum foil for use as a support in lithographic printing plates
US6027851A (en) * 1998-03-31 2000-02-22 Agfa-Gevaert, N.V. Method for preparing an aluminum foil for use as a support in lithographic printing plates
JP2002076445A (en) * 2000-09-01 2002-03-15 Sanken Electric Co Ltd Semiconductor light emitting device
US8486240B2 (en) 2007-10-24 2013-07-16 National University Corporation Nagoya Institute Of Technology Ceramic electrode material and manufacturing method thereof

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0864338A (en) * 1994-08-26 1996-03-08 Agency Of Ind Science & Technol Discharge electrode, discharge device, exciting device utilizing discharge, and chemical reaction device
EP0947353A1 (en) * 1998-03-31 1999-10-06 AGFA-GEVAERT naamloze vennootschap A method for preparing an aluminum foil for use as a support in lithographic printing plates
US6027851A (en) * 1998-03-31 2000-02-22 Agfa-Gevaert, N.V. Method for preparing an aluminum foil for use as a support in lithographic printing plates
JP2002076445A (en) * 2000-09-01 2002-03-15 Sanken Electric Co Ltd Semiconductor light emitting device
US8486240B2 (en) 2007-10-24 2013-07-16 National University Corporation Nagoya Institute Of Technology Ceramic electrode material and manufacturing method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Yeo et al. A new ac electrospray mechanism by Maxwell-Wagner polarization and capillary resonance
US20020092616A1 (en) Apparatus for plasma treatment using capillary electrode discharge plasma shower
EP2120044A1 (en) Granular substance detector and granular substance detecting method
JP2745438B2 (en) Heating heat transfer material and the heating element and the heating device using the same
Hiraoka et al. Development of probe electrospray using a solid needle
US8323985B2 (en) Mixing device and mixing method for mixing small amounts of liquid
JP2561917B2 (en) Corona generating device
CN1196531C (en) Device for cleaning air from dust and aerosols
KR100271116B1 (en) Electrospray coating apparatus and process
BR0211639A (en) Non-electric method for treating a substrate, aqueous medium for use in a non-electric process for treating a conductive surface and article comprising an electrically conductive substrate
JP2004530130A (en) Concentration and purification of an analyte using an electric field
Temmerman et al. Surface modification with a remote atmospheric pressure plasma: dc glow discharge and surface streamer regime
GB9506573D0 (en) Microcapsule-containing oil-based coating liquid,ink,coated sheet,and method of prepring the same
CA2222620A1 (en) Method and apparatus for cleaning surfaces with a glow discharge plasma at one atmosphere of pressure
JPH02160339A (en) Field ionizing device using microelectronic technique
JP2007270649A (en) Plasma reactor
JP2002237480A (en) Method of treating base material with discharge plasma
JPH02268814A (en) Electrochemical dehydration and re-alkalization treatment of porous building material or the like
US6620224B1 (en) Air purification device with a needle-shaped electrode having a protective cover thereon
JP2004085185A (en) Air cleaner
JPH07224400A (en) Electrochemical surface roughening
JP3190275B2 (en) A method of forming a printing area in the erasable printing plate
WO2008051393A2 (en) Removing residues from substrate processing components
JPH06201641A (en) Oxygen sensor
CA2362275A1 (en) Charged droplet gas scrubber apparatus and method