JPH0613052A - 無電極放電ランプおよび無電極放電ランプ発光装置 - Google Patents
無電極放電ランプおよび無電極放電ランプ発光装置Info
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- JPH0613052A JPH0613052A JP4192768A JP19276892A JPH0613052A JP H0613052 A JPH0613052 A JP H0613052A JP 4192768 A JP4192768 A JP 4192768A JP 19276892 A JP19276892 A JP 19276892A JP H0613052 A JPH0613052 A JP H0613052A
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- lamp
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Abstract
(57)【要約】
【目的】所望の時間良好に点灯することができる無電極
放電ランプおよびその発光装置を提供する。 【構成】内部に、始動用のアルゴンガスと、水銀を封入
して作ってマイクロ波電磁界に内で点灯される棒状の無
電極放電ランプにおいて、内部にランプ内容積１cc当た
り、3.0 ×10-9ないし6.0 ×10-7グラム分子のヨウ化水
銀を封入して作ったことを特徴とする。また、水銀に加
えて内部に鉄などの金属を封入して作った前記無電極放
電ランプは、同じくランプ内容積１cc当たり、3.0 ×10
-8ないし2.0 ×10-6グラム分子のヨウ化水銀を封入して
作ったことを特徴とする。さらに上記無電極放電ランプ
を使った発光装置を提供する。
放電ランプおよびその発光装置を提供する。 【構成】内部に、始動用のアルゴンガスと、水銀を封入
して作ってマイクロ波電磁界に内で点灯される棒状の無
電極放電ランプにおいて、内部にランプ内容積１cc当た
り、3.0 ×10-9ないし6.0 ×10-7グラム分子のヨウ化水
銀を封入して作ったことを特徴とする。また、水銀に加
えて内部に鉄などの金属を封入して作った前記無電極放
電ランプは、同じくランプ内容積１cc当たり、3.0 ×10
-8ないし2.0 ×10-6グラム分子のヨウ化水銀を封入して
作ったことを特徴とする。さらに上記無電極放電ランプ
を使った発光装置を提供する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、マイクロ波で励起さ
せて紫外線を発生させる無電極放電ランプ、及びその発
光装置に関する。
せて紫外線を発生させる無電極放電ランプ、及びその発
光装置に関する。
【０００２】
【従来技術】近年、紫外線が、紫外線硬化型の接着剤や
インキ、あるいは紫外線硬化型の塗料の硬化に使われた
り、その他の塗料の処理プロセスや化学物質の化学反応
などにも広くに使われている。この紫外線の発光源とし
て、従来は有電極の高圧水銀ランプが使われていたが、
最近は電極を持たない、所謂、無電極放電ランプが使わ
れている。このランプは、水銀などの発光材料を封入し
ており、外部からマイクロ波を照射すると、発光材料が
励起して発光する。
インキ、あるいは紫外線硬化型の塗料の硬化に使われた
り、その他の塗料の処理プロセスや化学物質の化学反応
などにも広くに使われている。この紫外線の発光源とし
て、従来は有電極の高圧水銀ランプが使われていたが、
最近は電極を持たない、所謂、無電極放電ランプが使わ
れている。このランプは、水銀などの発光材料を封入し
ており、外部からマイクロ波を照射すると、発光材料が
励起して発光する。
【０００３】このようなマイクロ波無電極発光装置を説
明したものに、例えば、特公平２─３１４５９号があ
る。この公報では、ランプ内に封入する水銀やヨウ素や
ハロゲンの量が規定されている。そして、この規定した
封入量によって、被照射物を処理をするための紫外線の
出力を増大させることが書かれている。
明したものに、例えば、特公平２─３１４５９号があ
る。この公報では、ランプ内に封入する水銀やヨウ素や
ハロゲンの量が規定されている。そして、この規定した
封入量によって、被照射物を処理をするための紫外線の
出力を増大させることが書かれている。
【０００４】一方、無電極放電ランプは、その内部に水
銀やアルゴンガスを入れ、鉄などの金属を入れない、所
謂、高圧水銀ランプとしてのものと、鉄などの金属も入
れる、所謂、メタルハライドランプとしてのものがあ
る。これらの違いは発光波長にあり、被照射物によって
好適な方が選ばれる。尚、メタルハライドランプとして
使う時は、鉄以外に、マグネシウム、錫、タリウムなど
を封入することもできる。例えば、メタルハライドラン
プと比較して、高圧水銀ランプは、紫外線波長２００〜
４５０ｎｍのうち、２００〜３００ｎｍの紫外線強度が
高いことに特徴があり、紫外線硬化型の接着剤やワニス
の硬化乾燥といった処理に適している。一方、鉄を入れ
たメタルハライドランプは、紫外線波長２００〜４５０
ｎｍのうち、３５０〜４５０ｎｍの紫外線強度が高いこ
とに特徴があり、紫外線硬化型インキなど、顔料の入っ
た樹脂の乾燥処理をするのに適している。
銀やアルゴンガスを入れ、鉄などの金属を入れない、所
謂、高圧水銀ランプとしてのものと、鉄などの金属も入
れる、所謂、メタルハライドランプとしてのものがあ
る。これらの違いは発光波長にあり、被照射物によって
好適な方が選ばれる。尚、メタルハライドランプとして
使う時は、鉄以外に、マグネシウム、錫、タリウムなど
を封入することもできる。例えば、メタルハライドラン
プと比較して、高圧水銀ランプは、紫外線波長２００〜
４５０ｎｍのうち、２００〜３００ｎｍの紫外線強度が
高いことに特徴があり、紫外線硬化型の接着剤やワニス
の硬化乾燥といった処理に適している。一方、鉄を入れ
たメタルハライドランプは、紫外線波長２００〜４５０
ｎｍのうち、３５０〜４５０ｎｍの紫外線強度が高いこ
とに特徴があり、紫外線硬化型インキなど、顔料の入っ
た樹脂の乾燥処理をするのに適している。
【０００５】ところで、上記公報には、ランプ形状が球
形のものについて書かれているが、紫外線を発光する無
電極放電ランプは、球形に限らず棒状のものもある。例
えば、被照射物が、搬送ベルトによって搬送されて、順
次に照射処理されていくようなものに適用され、搬送ベ
ルトの幅方向に、ランプの長手方向を配置すれば、搬送
ベルトの幅方向では、ほぼ均一に照射処理できるという
利点がある。このような棒状のランプについて開示した
ものには、例えば、特開平２─１８９８０５号がある。
形のものについて書かれているが、紫外線を発光する無
電極放電ランプは、球形に限らず棒状のものもある。例
えば、被照射物が、搬送ベルトによって搬送されて、順
次に照射処理されていくようなものに適用され、搬送ベ
ルトの幅方向に、ランプの長手方向を配置すれば、搬送
ベルトの幅方向では、ほぼ均一に照射処理できるという
利点がある。このような棒状のランプについて開示した
ものには、例えば、特開平２─１８９８０５号がある。
【０００６】ところで、このような棒状のランプは、長
時間使用していると、ランプの管壁が白濁したり、封入
ガスが外部にリークしたり、あるいは、発光管内でスネ
ーク状の異常な発光をすることがある。一般に、上記に
示したような被照射物の処理する装置としては、高圧水
銀ランプの場合３０００時間、メタルハライドランプの
場合１０００時間、使用しても点灯初期の７０％の光出
力を維持できれば良いとされている。しかし、現実に
は、上記の原因でこの時間を点灯できないことがある。
時間使用していると、ランプの管壁が白濁したり、封入
ガスが外部にリークしたり、あるいは、発光管内でスネ
ーク状の異常な発光をすることがある。一般に、上記に
示したような被照射物の処理する装置としては、高圧水
銀ランプの場合３０００時間、メタルハライドランプの
場合１０００時間、使用しても点灯初期の７０％の光出
力を維持できれば良いとされている。しかし、現実に
は、上記の原因でこの時間を点灯できないことがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、所望の時間良好に点灯することができる
無電極放電ランプおよびその発光装置を提供することに
ある。
とする課題は、所望の時間良好に点灯することができる
無電極放電ランプおよびその発光装置を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】課題を解決するために、
この発明の無電極放電ランプは、内部に、始動用のアル
ゴンガスと、水銀を封入して、さらに、ランプ内容積１
cc当たり、 3.0×10-9ないし6.0 ×10-7グラム分子のヨ
ウ化水銀を封入して作ったことを特徴とする。この無電
極放電ランプは高圧水銀ランプとして働く。また、メタ
ルハライドランプとして働くためには、内部に、始動用
のアルゴンガスと、水銀と、鉄などの金属を封入して、
さらに、ランプ内容積１cc当たり、3.0×10-8ないし2.0
×10-6グラム分子のヨウ化水銀を封入して作ったもの
が提供される。一方、これら無電極放電ランプを点灯さ
せる発光装置としては、棒状の無電極放電ランプと、こ
の無電極放電ランプが配置されるマイクロ波空洞を構成
する空洞壁と、この無電極放電ランプから発生する紫外
線を被照射物の方向に反射させる反射ミラーと、マイク
ロ波発生手段と、このマイクロ波発生手段で発生したマ
イクロ波を伝送する導波管と、この導波管内のマイクロ
波を空洞壁および反射ミラーを貫通して、無電極放電ラ
ンプに結合するアンテナと、を具備する無電極放電ラン
プ発光装置において、前記無電極放電ランプが高圧水銀
ランプの場合は、内部に、始動用のアルゴンガスと、水
銀を封入して作り、さらに、ランプ内容積１cc当たり、
3.0×10-9ないし6.0 ×10-7グラム分子のヨウ化水銀を
封入して作ったことを特徴とする。前記無電極放電ラン
プがメタルハライドランプの場合は、内部に、始動用の
アルゴンガスと、水銀と、鉄などの金属を封入して作
り、さらに、ランプ内容積１cc当たり、 3.0×10-8ない
し2.0 ×10-6グラム分子のヨウ化水銀を封入して作った
ことを特徴とする。
この発明の無電極放電ランプは、内部に、始動用のアル
ゴンガスと、水銀を封入して、さらに、ランプ内容積１
cc当たり、 3.0×10-9ないし6.0 ×10-7グラム分子のヨ
ウ化水銀を封入して作ったことを特徴とする。この無電
極放電ランプは高圧水銀ランプとして働く。また、メタ
ルハライドランプとして働くためには、内部に、始動用
のアルゴンガスと、水銀と、鉄などの金属を封入して、
さらに、ランプ内容積１cc当たり、3.0×10-8ないし2.0
×10-6グラム分子のヨウ化水銀を封入して作ったもの
が提供される。一方、これら無電極放電ランプを点灯さ
せる発光装置としては、棒状の無電極放電ランプと、こ
の無電極放電ランプが配置されるマイクロ波空洞を構成
する空洞壁と、この無電極放電ランプから発生する紫外
線を被照射物の方向に反射させる反射ミラーと、マイク
ロ波発生手段と、このマイクロ波発生手段で発生したマ
イクロ波を伝送する導波管と、この導波管内のマイクロ
波を空洞壁および反射ミラーを貫通して、無電極放電ラ
ンプに結合するアンテナと、を具備する無電極放電ラン
プ発光装置において、前記無電極放電ランプが高圧水銀
ランプの場合は、内部に、始動用のアルゴンガスと、水
銀を封入して作り、さらに、ランプ内容積１cc当たり、
3.0×10-9ないし6.0 ×10-7グラム分子のヨウ化水銀を
封入して作ったことを特徴とする。前記無電極放電ラン
プがメタルハライドランプの場合は、内部に、始動用の
アルゴンガスと、水銀と、鉄などの金属を封入して作
り、さらに、ランプ内容積１cc当たり、 3.0×10-8ない
し2.0 ×10-6グラム分子のヨウ化水銀を封入して作った
ことを特徴とする。
【０００９】
【作用】このような構成により、高圧水銀ランプおよび
メタルハライドランプの各々に対して、所定量のヨウ化
水銀を封入して作ったランプを使うことにより、所望の
時間良好に点灯させることができる。
メタルハライドランプの各々に対して、所定量のヨウ化
水銀を封入して作ったランプを使うことにより、所望の
時間良好に点灯させることができる。
【００１０】
【実施例】以下、図を用いて、この発明を具体的に説明
する。図１は、この発明の無電極放電ランプを示す。図
２、図３は、この発明の無電極放電ランプ発光装置を示
す。
する。図１は、この発明の無電極放電ランプを示す。図
２、図３は、この発明の無電極放電ランプ発光装置を示
す。
【００１１】無電極発光放電ランプ１（以下、単にラン
プと言う）は、石英ガラスよりなり、発光部１ａとラン
プ支持部１ｂより構成される。このランプ支持部１ｂで
ランプを装置に保持している。ランプ１の中には、発光
材料としての水銀と始動用希ガスとしてのアルゴンが封
入してある。また、ランプ１をメタルハライドランプと
して使う時は、さらに鉄などの金属を封入する。ランプ
１は、例えば、発光長２４０ｍｍ、外径８mmのものが適
用される。そして、ランプ１の中には、後述するが、ラ
ンプ寿命を長くするために、ヨウ化水銀も封入されてい
る。
プと言う）は、石英ガラスよりなり、発光部１ａとラン
プ支持部１ｂより構成される。このランプ支持部１ｂで
ランプを装置に保持している。ランプ１の中には、発光
材料としての水銀と始動用希ガスとしてのアルゴンが封
入してある。また、ランプ１をメタルハライドランプと
して使う時は、さらに鉄などの金属を封入する。ランプ
１は、例えば、発光長２４０ｍｍ、外径８mmのものが適
用される。そして、ランプ１の中には、後述するが、ラ
ンプ寿命を長くするために、ヨウ化水銀も封入されてい
る。
【００１２】次に、ランプ１の製造方法について簡単に
説明する。まず、石英ガラス管の両端部を封止し、封止
部にランプ支持部となる石英棒を熔融して取り付ける。
次に、石英ガラス管の略中央部にガス導入用のチップ管
を取り付ける。このチップ管は通常外形４mm程度の細管
であり、ここから石英ガラス管の内部に充填器によって
液体状の水銀及び粒状のヨウ化水銀を入れる。また、メ
タルハライドランプの場合は、この時、ワイヤ状の小さ
な鉄も入れる。次にチップ管より真空引きを行い、希ガ
スを封入して、その後、チップ管を封止する。
説明する。まず、石英ガラス管の両端部を封止し、封止
部にランプ支持部となる石英棒を熔融して取り付ける。
次に、石英ガラス管の略中央部にガス導入用のチップ管
を取り付ける。このチップ管は通常外形４mm程度の細管
であり、ここから石英ガラス管の内部に充填器によって
液体状の水銀及び粒状のヨウ化水銀を入れる。また、メ
タルハライドランプの場合は、この時、ワイヤ状の小さ
な鉄も入れる。次にチップ管より真空引きを行い、希ガ
スを封入して、その後、チップ管を封止する。
【００１３】次に、無電極放電ランプ発光装置を説明す
る。１０は照射部を示し、その内部にランプ１、金属材
料で形成され、ランプ１を取り囲むマイクロ波空胴壁１
１、ランプ１からの放射光を被照射物の方向に反射する
反射ミラー１２、マイクロ波が良好にランプ１に結合す
るためのアンテナ１３、及びマイクロ波空胴壁の一壁を
構成するとともにマイクロ波は透過せず発生した紫外線
のみを透過するメッシュ１４を有する。
る。１０は照射部を示し、その内部にランプ１、金属材
料で形成され、ランプ１を取り囲むマイクロ波空胴壁１
１、ランプ１からの放射光を被照射物の方向に反射する
反射ミラー１２、マイクロ波が良好にランプ１に結合す
るためのアンテナ１３、及びマイクロ波空胴壁の一壁を
構成するとともにマイクロ波は透過せず発生した紫外線
のみを透過するメッシュ１４を有する。
【００１４】２０はマイクロ波発生部を示し、マグネト
ロン２１と導波管２２より構成される。マグネトロン２
１からは２４５０ＭHzのマイクロ波が発生して、マイク
ロ波空胴壁内を電磁界としている。そして、マイクロ波
を導波管２２、アンテナ１３を介して、ランプ１に結合
する。３０は搬送部を示し、搬送ベルト３１と搬送台３
２よりなる。４０は制御部を示し、搬送ベルト３１の駆
動やマグネトロン２１の発振を制御することができる。
また、図示略ではあるが、ランプ１を冷却するための冷
却ファンも設けられており、このファンの駆動も制御す
ることができる。５０はランプ１からの放射光が照射さ
れ、所望の処理が施される被照射物を示す。
ロン２１と導波管２２より構成される。マグネトロン２
１からは２４５０ＭHzのマイクロ波が発生して、マイク
ロ波空胴壁内を電磁界としている。そして、マイクロ波
を導波管２２、アンテナ１３を介して、ランプ１に結合
する。３０は搬送部を示し、搬送ベルト３１と搬送台３
２よりなる。４０は制御部を示し、搬送ベルト３１の駆
動やマグネトロン２１の発振を制御することができる。
また、図示略ではあるが、ランプ１を冷却するための冷
却ファンも設けられており、このファンの駆動も制御す
ることができる。５０はランプ１からの放射光が照射さ
れ、所望の処理が施される被照射物を示す。
【００１５】この発明のランプは、前述の如く、内部に
ヨウ化水銀を封入して作っている。図４は、高圧水銀ラ
ンプとしての棒状の無電極放電ランプにおいて、ヨウ化
水銀の封入量とランプの寿命の関係を示したものであ
る。ここで、この場合の寿命とは、光出力が初期の７０
％になった時間と定義している。ランプ管壁が白濁した
り、発光管内でスネーク状の異常な発光をした場合は、
光出力が初期の７０％になった時点で寿命とする。ま
た、封入ガスが外部にリークしたときは、通常、その時
点で不点灯となるため、結局、光出力は初期の７０％以
下となり寿命ということになる。ランプの内径は８mm、
発光長２４０mm、内容積１２cm3 の棒状のもので、水銀
は５０mg、アルゴンガスは１００Torr封入している。
ヨウ化水銀を封入して作っている。図４は、高圧水銀ラ
ンプとしての棒状の無電極放電ランプにおいて、ヨウ化
水銀の封入量とランプの寿命の関係を示したものであ
る。ここで、この場合の寿命とは、光出力が初期の７０
％になった時間と定義している。ランプ管壁が白濁した
り、発光管内でスネーク状の異常な発光をした場合は、
光出力が初期の７０％になった時点で寿命とする。ま
た、封入ガスが外部にリークしたときは、通常、その時
点で不点灯となるため、結局、光出力は初期の７０％以
下となり寿命ということになる。ランプの内径は８mm、
発光長２４０mm、内容積１２cm3 の棒状のもので、水銀
は５０mg、アルゴンガスは１００Torr封入している。
【００１６】図４より、ヨウ化水銀の封入量が、ランプ
内容積１ccあたり、 3.0×10-9ないし6.0 ×10-7グラム
分子の範囲であれば、ランプ寿命が３０００時間を達成
することができる。そして、特に好ましい封入量として
は、ランプ内容積１ccあたり、２×１０-8ないし１×１
０-7グラム分子の範囲である。
内容積１ccあたり、 3.0×10-9ないし6.0 ×10-7グラム
分子の範囲であれば、ランプ寿命が３０００時間を達成
することができる。そして、特に好ましい封入量として
は、ランプ内容積１ccあたり、２×１０-8ないし１×１
０-7グラム分子の範囲である。
【００１７】水銀についての封入量は、従来より、ラン
プ内容積１cc当たり0.7 ×10-5グラム原子ないし7.0 ×
10-5グラム原子が所望の紫外線出力を得るために良いこ
とが知られているが、この範囲より小さい場合は光出力
が小さくなり、一方、この範囲より大きい場合は、ラン
プはスネーク状の発光をするので好ましくない。また、
アルゴンガスの封入量について、水銀の封入量がランプ
内容積１ccあたり2.1 ×１０-5グラム原子、ヨウ化水銀
がランプ内容積１ccあたり9.2 ×１０-8グラム分子、１
０、５０、１００、１５０、２００Torrの各々で実験を
行った。アルゴンガスを１０Torr封入したときは、ラン
プの点灯始動に１０秒以上かかり、実用上使いものにな
らないことがわかった。また、２００Torr封入したとき
には、ランプは点灯しなかった。この結果、適切な封入
量としては５０〜１５０Torrといえる。
プ内容積１cc当たり0.7 ×10-5グラム原子ないし7.0 ×
10-5グラム原子が所望の紫外線出力を得るために良いこ
とが知られているが、この範囲より小さい場合は光出力
が小さくなり、一方、この範囲より大きい場合は、ラン
プはスネーク状の発光をするので好ましくない。また、
アルゴンガスの封入量について、水銀の封入量がランプ
内容積１ccあたり2.1 ×１０-5グラム原子、ヨウ化水銀
がランプ内容積１ccあたり9.2 ×１０-8グラム分子、１
０、５０、１００、１５０、２００Torrの各々で実験を
行った。アルゴンガスを１０Torr封入したときは、ラン
プの点灯始動に１０秒以上かかり、実用上使いものにな
らないことがわかった。また、２００Torr封入したとき
には、ランプは点灯しなかった。この結果、適切な封入
量としては５０〜１５０Torrといえる。
【００１８】図５は、鉄を含んだメタルハライドランプ
としての無電極放電ランプにおいて、ヨウ化水銀の封入
量とランプの寿命の関係を示したものである。ランプの
寸法形状や水銀、アルゴンガスの封入量、さらには寿命
の定義は図４と同一である。図５より、ヨウ化水銀の封
入量が、ランプ内容積１ccあたり、 3.0×10-8ないし2.
0 ×10-6グラム分子の範囲であれば、ランプ寿命が１０
００時間を達成することができる。そして、特に好まし
い封入量としては、ランプ内容積１ccあたり、3.5 ×１
０-7ないし7.0 ×１０ -7 グラム分子の範囲であること
がわかる。尚、この実験では鉄の封入量を7.3 ×10-5な
いし6.0 ×10-4ｇ／CC封入しているが、マグネシウム、
錫、タリウムなどのその他の金属を使っても、ほぼ同じ
封入量で同様の効果が得られる。
としての無電極放電ランプにおいて、ヨウ化水銀の封入
量とランプの寿命の関係を示したものである。ランプの
寸法形状や水銀、アルゴンガスの封入量、さらには寿命
の定義は図４と同一である。図５より、ヨウ化水銀の封
入量が、ランプ内容積１ccあたり、 3.0×10-8ないし2.
0 ×10-6グラム分子の範囲であれば、ランプ寿命が１０
００時間を達成することができる。そして、特に好まし
い封入量としては、ランプ内容積１ccあたり、3.5 ×１
０-7ないし7.0 ×１０ -7 グラム分子の範囲であること
がわかる。尚、この実験では鉄の封入量を7.3 ×10-5な
いし6.0 ×10-4ｇ／CC封入しているが、マグネシウム、
錫、タリウムなどのその他の金属を使っても、ほぼ同じ
封入量で同様の効果が得られる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、高圧水銀ランプおよびメタルハライドランプの各々
に対して、所定量のヨウ化水銀を封入して作ったランプ
を使うことにより、所望の時間良好に点灯させることが
できる。
ば、高圧水銀ランプおよびメタルハライドランプの各々
に対して、所定量のヨウ化水銀を封入して作ったランプ
を使うことにより、所望の時間良好に点灯させることが
できる。
【図１】この発明の無電極放電ランプを示した図であ
る。
る。
【図２】この発明の無電極放電ランプ発光装置を示した
図である。
図である。
【図３】この発明の無電極放電ランプ発光装置を示した
図である。
図である。
【図４】この発明の無電極放電ランプのヨウ化水銀とラ
ンプの点灯時間の関係を示した図である。
ンプの点灯時間の関係を示した図である。
【図５】この発明の無電極放電ランプのヨウ化水銀とラ
ンプの点灯時間の関係を示した図である。
ンプの点灯時間の関係を示した図である。
１ 無電極放電ランプ １０ 照射部 １１ マイクロ波空胴壁 １２ 反射ミラー １３ アンテナ ２０ マイクロ波発生部 ２１ マグネトロン ２２ 導波管 ３０ 搬送部 ４０ 制御部 ５０ 被照射物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鶴崎 秦司 兵庫県姫路市別所町佐土1194 ウシオ電機 株式会社内 (72)発明者 三塚 薫 埼玉県上福岡市福岡二丁目１番１号 新日 本無線株式会社川越製作所内
Claims (4)
- 【請求項１】 内部に、始動用のアルゴンガスと、水銀
を封入して作ったマイクロ波電磁界内で点灯される棒状
の無電極放電ランプにおいて、 内部に、ランプ内容積１cc当たり、 3.0×10-9ないし6.
0 ×10-7グラム分子のヨウ化水銀を封入して作ったこと
を特徴とする無電極放電ランプ。 - 【請求項２】 内部に、始動用のアルゴンガスと、水銀
と、鉄などの金属を封入して作ったマイクロ波電磁界内
で点灯される棒状の無電極放電ランプにおいて、 内部に、ランプ内容積１cc当たり、 3.0×10-8ないし2.
0 ×10-6グラム分子のヨウ化水銀を封入して作ったこと
を特徴とする無電極放電ランプ。 - 【請求項３】 棒状の無電極放電ランプと、 この無電極放電ランプが配置されるマイクロ波空洞を構
成する空洞壁と、 この無電極放電ランプから発生する紫外線を被照射物の
方向に反射させる反射ミラーと、 マイクロ波発生手段と、 このマイクロ波発生手段で発生したマイクロ波を伝送す
る導波管と、 この導波管内のマイクロ波を空洞壁および反射ミラーを
貫通して、無電極放電ランプに結合するアンテナと、 を具備する無電極放電ランプ発光装置において、 前記無電極放電ランプは、 内部に、始動用のアルゴンガスと、水銀を封入して作
り、さらに、ランプ内容積１cc当たり、 3.0×10-9ない
し6.0 ×10-7グラム分子のヨウ化水銀を封入して作った
ことを特徴とする無電極放電ランプ発光装置。 - 【請求項４】 棒状の無電極放電ランプと、 この無電極放電ランプが配置されるマイクロ波空洞を構
成する空洞壁と、 この無電極放電ランプから発生する紫外線を被照射物の
方向に反射させる反射ミラーと、 マイクロ波発生手段と、 このマイクロ波発生手段で発生したマイクロ波を伝送す
る導波管と、 この導波管内のマイクロ波を空洞壁および反射ミラーを
貫通して、無電極放電ランプに結合するアンテナと、 を具備する無電極放電ランプ発光装置において、 前記無電極放電ランプは、 内部に、始動用のアルゴンガスと、水銀と、鉄などの金
属を封入して作り、さらに、ランプ内容積１cc当たり、
3.0×10-8ないし2.0 ×10-6グラム分子のヨウ化水銀を
封入して作ったことを特徴とする無電極放電ランプ発光
装置。
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- 1992-06-29 JP JP19276892A patent/JP3496033B2/ja not_active Expired - Fee Related
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