JPH0611607A - Production of diffraction grating - Google Patents

Production of diffraction grating

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JPH0611607A
JPH0611607A JP17083692A JP17083692A JPH0611607A JP H0611607 A JPH0611607 A JP H0611607A JP 17083692 A JP17083692 A JP 17083692A JP 17083692 A JP17083692 A JP 17083692A JP H0611607 A JPH0611607 A JP H0611607A
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Kenji Ueda
植田健治
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Dainippon Printing Co Ltd
大日本印刷株式会社
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Abstract

PURPOSE:To produce a diffraction grating capable of diffracting the light in the wide range of wavelength by laminating >=2 kinds of polymer layers having a different refractive index so that the thicknesses of the layers are varied. CONSTITUTION:High-refractive-index polymer layers 1, 3 and 5 and low- refractive-index polymer layers 2, 4 and 6 are alternately laminated by coating to form a layer consisting of >=2 kinds of polymers having a different refractive index. The wavelength of the diffracted light is controlled to 800-2000nm by varying the thicknesses of the layers, and a heat reflecting film transmitting visible light and reflecting heat rays is obtained in this case. The laminate is applicable to a color filter for reflecting a light of specified wavelength in the visible region, a UV cutoff film, etc.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、回折格子の製造方法に関し、特に、熱線反射膜のように広い波長範囲の回折をする回折格子の製造方法に関するものである。 The present invention relates relates to a method of manufacturing a diffraction grating, in particular, to a method for manufacturing a diffraction grating of the diffraction in a wide wavelength range as the heat ray reflective film.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来の回折格子としては、フォトポリマー、重クロム酸ゼラチン、銀塩等の膜に光の干渉縞を記録して形成したブラッグ回折格子がよく知られている。 As a conventional diffraction grating, photopolymer, dichromated gelatin, Bragg gratings formed by recording interference fringes of light on the film such as silver salts are well known.
しかし、これらは何れも回折波長の範囲が狭く、広い波長範囲の回折が可能なものは得られていない。 However, it also has a range of the diffraction wavelength any narrow, capable diffraction in a wide wavelength range can not be obtained.

【0003】このようなブラッグ回折格子を熱線反射膜等の用途に用いるには、回折波長が数百nm以上の範囲にわたる必要がある。 [0003] Use of such Bragg gratings for applications such as heat-reflecting film, the diffracted wavelength needs ranging several hundreds nm.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、屈折率差のある2種類以上のポリマー層を一部の層間で厚みが異なるように積層することにより、広い波長範囲の回折が可能なブラッグ回折格子を製造する方法を提供することである。 [0008] The present invention has been made in view of such circumstances, and its object is different such that the thickness of two or more polymer layers with a refractive index difference in part of the interlayer by laminating the is to provide a method of manufacturing a Bragg grating capable diffraction in a wide wavelength range.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発明の回折格子の製造方法においては、少なくとも一部の層間で厚さを異ならせて積層された屈折率差のあるポリマー層の作製方法において、塗布手段としてスピンコート法を用い、膜厚の制御を、塗布溶液の粘度やスピンコートの回転数を変化させることにより行うものである。 In the production method of a diffraction grating of the present invention to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The method for manufacturing a polymer layer having a refractive index difference that is layered with different thickness at least part of the interlayer in, by spin coating as the coating means, the control of film thickness, is performed by changing the rotational speed of the viscosity and spin coating of the coating solution.
そのため、回折効率及び回折波長を、ポリマー膜の膜厚、積層数、屈折率差を変えることにより、任意に設定することができ、極めて簡便で、応用範囲の広い回折格子作製方法である。 Therefore, the diffraction efficiency and the diffraction wavelength, the thickness of the polymer film, the number of layers, by varying the refractive index difference can be arbitrarily set, it is extremely simple and a wide range of applications diffraction grating producing method.

【0006】一般に、回折格子の格子間ピッチdと回折波長λは、入射角をθ、屈折率をnとすると、 2ndsinθ=mλ(m=1,2,3・・・) で与えられる。 [0006] Generally, the grating pitch d and the diffraction wavelength λ of the diffraction grating and the incident angle theta, a refractive index of n, is given by 2ndsinθ = mλ (m = 1,2,3 ···). したがって、屈折率の高い層と低い層を交互に積層して回折格子を構成し、その際、格子間ピッチdの異なる層を数種類作製することにより、種々の波長の光を回折できるようにすることができ、1つの回折格子の回折波長範囲を広げることができる。 Therefore, a higher layer and lower layer of refractive index are laminated alternately to constitute the diffraction grating, where, by several produce different layers of the grating pitch d, to be able to diffract light of different wavelengths it can, it is possible to widen the diffraction wavelength range of one diffraction grating.

【0007】具体的な例について説明すると、平均屈折率が1.5の場合、図1に断面図を示すように、例えば、0.13μmの高屈折率ポリマー層1(n d =1. [0007] Referring to a specific example, if the average refractive index of 1.5, as shown in the sectional view of FIG. 1, for example, 0.13 [mu] m of the high refractive index polymer layer 1 (n d = 1.
59)に同じ厚みの低屈折率ポリマー層2(n d =1. A low refractive index of the same thickness 59) the polymer layer 2 (n d = 1.
41)を5組積層後、0.14μmの高屈折率ポリマー層3(n d =1.59)に同じ厚みの低屈折率ポリマー層4(n d =1.41)を5組積層し、厚みを順次大きくして同様に繰り返し積層し、0.67μmの高屈折率ポリマー層5(n d =1.59)と同じ厚みの低屈折率ポリマー層6(n d =1.41)を5組積層して回折格子10を作製する。 41) After five sets stacked high refractive index polymer layer 3 of 0.14μm (n d = 1.59) in the low refractive index polymer layers of the same thickness 4 (n d = 1.41) were laminated five sets, sequentially increasing the thickness similarly repeatedly laminated, high refractive index polymeric layer 5 of 0.67μm (n d = 1.59) and the low-refractive index polymer layers of the same thickness 6 (n d = 1.41) 5 and pairs stacked to produce a diffraction grating 10. このフィルム10の膜厚は、次の計算から70μmとなる。 The thickness of the film 10 is a 70μm from the following calculation.

【0008】 0.13×2×5+0.14×2×5+・・・・+0.67×2×5 =70μm この回折格子10により、図2に示すように、第1の厚さの層の組1、2により、800nmの波長の光を回折し、順次増加される厚さの層の組により、840nm、 [0008] The 0.13 × 2 × 5 + 0.14 × 2 × 5 + ···· + 0.67 × 2 × 5 = 70μm The diffraction grating 10, as shown in FIG. 2, the first thickness of the layer the pair 1,2, diffracts light having a wavelength of 800 nm, by a set of thickness of the layers is sequentially increased, 840 nm,
・・・・・、2000nmの幅広い光を回折するようになる。 ..., I would like to diffract the broad light of 2000nm. ここで、ポリマー層の膜厚、積層数、屈折率差を変えることにより、回折波長範囲、回折効率を任意に設定することができる。 The thickness of the polymer layer, number of layers, by varying the refractive index difference, it is possible to arbitrarily set the diffraction wavelength range, the diffraction efficiency.

【0009】このような層構成を得る手段としては、ロールコーティング、グラビアコーティング、ダイコーティング、スプレーコーティング、ブレードコーティング、スピンコーティング等種々のコーティング法が考えられるが、何れのコーティング法も本発明に適用できる。 [0009] applied as a means for obtaining such a layer structure, roll coating, gravure coating, die coating, spray coating, the blade coating, although spin coating or the like Various coating methods can be considered, but the present invention any of the coating it can. これらの中、特に好ましいコーティング方法は、膜厚の制御が0.01μmの単位でも厳密に行うことができるスピンコーティング法である。 Among these, particularly preferred coating method is a spin coating method controlling the thickness can be strictly performed in units of 0.01 [mu] m.

【0010】また、本発明においてポリマー層となるポリマーは、ポリマー溶液として、又は、電離放射線硬化型材料溶液として、スピンコーティング法で塗布するのが望ましい。 [0010] The polymer comprising a polymer layer in the present invention, as the polymer solution, or, as the ionizing radiation curable material solution, it is desirable to apply a spin coating method.

【0011】まず、ポリマー溶液として塗布する場合について以下に述べる。 [0011] First, it described below for the case of applying the polymer solution. ポリマー溶液として塗布する場合は、次に示すいくつかの条件を満たすことが必要となってくる。 When applied as a polymer solution, it becomes necessary that some conditions are satisfied as shown below. ポリマーは、スピンコート後、加熱乾燥できる溶媒に可溶である。 Polymer, spin coated, is soluble in the solvent that can be heated and dried. 2つのポリマーの屈折率が相互に異なる。 Refractive index of the two polymers are different from each other. 1つのポリマーが溶けている溶媒が、他のポリマー膜を溶解しない。 The solvent one polymer is melted, it does not dissolve the other polymer film. これらの条件を満たすポリマーの組み合わせは、ポリマーハンドブック等を用いて、屈折率、溶媒、非溶媒を調べることにより決定できる。 The combination of these conditions are satisfied polymers with a polymer handbooks, it can be determined by examining refractive index, solvent, non-solvent.

【0012】本発明の製造方法に使用できるポリマーとしては、例えば、 ポリビニリデンフルオライド 1.42 ポリジメチルシリレン(ポリジメチルシロキサン) 1.43 ポリトリフルオロエチルメタクリレート 1.437 ポリオキシプロピレン 1.4495 ポリビニルイソブチルエーテル 1.4507 ポリビニルエチルエーテル 1.4540 ポリオキシエチレン 1.4563 ポリビニルブチルエーテル 1.4563 ポリビニルペンチルエーテル 1.4581 ポリビニルヘキシルエーテル 1.4591 ポリ(4−メチル−1−ペンテン) 1.459 -1.465 セルロースアセテートブチレート 1.46 -1.49 ポリ(4−フルオロ−2−トリフルオロメチルスチレン) 1.46 ポリビニルオクチルエーテル 1.4613 ポリ(ビニル2−エチルヘキシルエーテル) 1.4626 ポリビニルデシルエーテル 1.4628 ポリ(2−メトキシエチルアクリレー [0012] As polymers that may be used in the production method of the present invention, for example, polyvinylidene fluoride 1.42 poly dimethylsilylene (polydimethylsiloxane) 1.43 Poly-trifluoroethyl methacrylate 1.437 polyoxypropylene 1.4495 polyvinyl isobutyl ether 1.4507 polyvinyl ether 1.4540 poly polyoxyethylene 1.4563 polyvinyl ether 1.4563 polyvinyl pentyl ether 1.4581 polyvinyl hexyl ether 1.4591 poly (4-methyl-1-pentene) 1.459 -1.465 cellulose acetate butyrate 1.46 -1.49 poly (4-fluoro-2-trifluoromethyl styrene) 1.46 polyvinyl octyl ether 1.4613 poly (vinyl 2-ethylhexyl ether) 1.4626 polyvinyl decyl ether 1.4628 poly (2-methoxyethyl acrylated ) 1.463 ポリブチルアクリレート 1.4631 ポリブチルアクリレート 1.466 ポリ(t−ブチルメタクリレート) 1.4638 ポリビニルドデシルエーテル 1.4640 ポリ(3−エトキシプロピルアクリレート) 1.465 ポリオキシカルボニルテトラメチレン 1.465 ポリビニルプロピオネート 1.4665 ポリビニルアセテート 1.4665 ポリビニルメチルエーテル 1.467 ポリエチルアクリレート 1.4685 エチレン−ビニルアセテート共重合体 1.47 -1.50 (80%−20%ビニルアセテート) セルロースプロピオネート 1.47 -1.49 セルロースアセテートプロピオネート 1.47 ベンジルセルロース 1.47 -1.58 フェノール−フォルムアルデヒド樹脂 1.47 -1.70 セルローストリアセテート 1.47 -1.48 ポリビニルメチルエーテル(アイソタクティック) 1.4700 ポリ(3−メトキシプロピルアクリレート) 1.471 ) 1.463 polybutyl acrylate 1.4631 polybutyl acrylate 1.466 Poly (t-butyl methacrylate) 1.4638 polyvinyl dodecyl ether 1.4640 Poly (3-ethoxypropyl acrylate) 1.465 poly oxycarbonyl polytetramethylene 1.465 polyvinyl propionate 1.4665 polyvinyl acetate 1.4665 polyvinyl methyl ether 1.467 Poly ethylacrylate 1.4685 ethylene - vinyl acetate copolymer 1.47 -1.50 (80% -20% vinyl acetate) cellulose propionate 1.47 -1.49 cellulose acetate propionate 1.47 benzyl cellulose 1.47 -1.58 phenol - formaldehyde resin 1.47 -1.70 cellulose triacetate 1.47 -1.48 polyvinyl methyl ether (isotactic) 1.4700 poly (3-methoxypropyl acrylate) 1.471 ポリ(2−エトキシエチルアクリレート) 1.471 ポリメチルアクリレート 1.472 -1.480 ポリイソプロピルメタクリレート 1.4728 ポリ(1−デセン) 1.4730 ポリプロピレン(アタクティック,密度0.8575g/cm 3 ) 1.4735 ポリ(ビニルsec−ブチルエーテル)(アイソタクティック) 1.4740 ポリドデシルメタクリレート 1.4740 ポリオキシエチレンオキシスクシノイル 1.4744 (ポリエチレンスクシネート) ポリテトラデシルメタクリレート 1.4746 エチレン−プロピレン共重合体(EPR−ゴム) 1.4748-1.48 ポリヘキサデシルメタクリレート 1.4750 ポリビニルフォルメート 1.4757 ポリ(2−フルオロエチルメタクリレート) 1.4768 ポリイソブチルメタクリレート 1.477 エチルセルロース 1.479 ポリビニルアセタール 1.48 -1.50 セルロースアセテート 1.48 -1.50 セルロ Poly (2-ethoxyethyl acrylate) 1.471 poly (methyl acrylate) 1.472 -1.480 poly isopropyl methacrylate 1.4728 poly (1-decene) 1.4730 polypropylene (atactic, density of 0.8575g / cm 3) 1.4735 Poly (vinyl sec- butyl ether) (isotactic ) 1.4740 poly dodecyl methacrylate 1.4740 poly oxyethylene succinoyl 1.4744 (polyethylene succinate) poly tetradecyl methacrylate 1.4746 ethylene - propylene copolymer (EPR-rubber) 1.4748-1.48 poly hexadecyl methacrylate 1.4750 polyvinyl formate 1.4757 poly ( 2-fluoroethyl methacrylate) 1.4768 polyisobutyl methacrylate 1.477 cellulose 1.479 polyvinyl acetal 1.48 -1.50 cellulose acetate 1.48 -1.50 cellulose ーストリプロピオネート 1.48 -1.49 ポリオキシメチレン 1.48 ポリビニルブチラール 1.48 -1.49 ポリ(n−ヘキシルメタクリレート) 1.4813 ポリ(n−ブチルメタクリレート) 1.483 ポリエチリデンジメタクリレート 1.4831 ポリ(2−エトキシエチルメタクリレート) 1.4833 ポリオキシエチレンオキシマレオイル 1.4840 (ポリエチレンマレート) ポリ(n−プロピルメタクリレート) 1.484 ポリ(3,3,5−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート) 1.485 ポリエチルメタクリレート 1.485 ポリ(2−ニトロ−2−メチルプロピルメタクリレート) 1.4868 ポリトリエチルカルビニルメタクリレート 1.4889 ポリ(1,1−ジエチルプロピルメタクリレート) 1.4889 ポリメチルメタクリレート 1.4893 1.490 ポリ(2−デシル−1,3−ブタジエン) 1.4899 ポリビ Over string propionate 1.48 -1.49 polyoxymethylene 1.48 polyvinyl butyral 1.48 -1.49 poly (n- hexyl methacrylate) 1.4813 Poly (n- butyl methacrylate) 1.483 poly ethylidene dimethacrylate 1.4831 Poly (2-ethoxyethyl methacrylate) 1.4833 Polyoxyethylene oxy maleoyl 1.4840 (polyethylene maleate) poly (n- propyl methacrylate) 1.484 poly (3,3,5-trimethylcyclohexyl methacrylate) 1.485 polyethyl methacrylate 1.485 poly (2-nitro-2-methylpropyl methacrylate) 1.4868 poly triethylcarbyl vinyl methacrylate 1.4889 poly (1,1-diethyl propyl methacrylate) 1.4889 polymethyl methacrylate 1.4893 1.490 poly (2-decyl-1,3-butadiene) 1.4899 polyvinyl ルアルコール 1.49 -1.53 ポリエチルグリコレートメタクリレート 1.4903 ポリ(3−メチルシクロヘキシルメタクリレート) 1.4947 ポリ(シクロヘキシルα−エトキシアクリレート) 1.4969 メチルセルロース(低粘度) 1.497 ポリ(4−メチルシクロヘキシルメタクリレート) 1.4975 ポリデカメチレングリコールジメタクリレート 1.4990 ポリウレタン 1.5 -1.6 ポリ(1,2−ブタジエン) 1.5000 ポリビニルフォルマール 1.50 ポリ(2−ブロモ−4−トリフルオロメチルスチレン) 1.5 セルロースニトレート 1.50 -1.514 ポリ(sec−ブチルα−クロロアクリレート) 1.500 ポリ(2−ヘプチル−1,3−ブタジエン) 1.5000 ポリ(エチルα−クロロアクリレート) 1.502 ポリ(2−イソプロピル−1,3ブタジエン) 1.5028 ポリ(2−メチルシクロヘキシルメタ Alcohol 1.49 -1.53 ​​poly ethyl glycolate methacrylate 1.4903 poly (3-methylcyclohexyl methacrylate) 1.4947 Poly (cyclohexyl α- ethoxyacrylate) 1.4969 cellulose (low viscosity) 1.497 Poly (4-methylcyclohexyl methacrylate) 1.4975 Poly decamethylene glycol dimethacrylate 1.4990 polyurethane 1.5 -1.6 poly (1,2-butadiene) 1.5000 polyvinyl formal 1.50 poly (2-bromo-4-trifluoromethyl styrene) 1.5 cellulose nitrate 1.50 -1.514 poly (sec-butyl α- chloro acrylate) 1.500 poly (2-heptyl-1,3-butadiene) 1.5000 poly (ethyl α- chloro acrylate) 1.502 poly (2-isopropyl-1,3-butadiene) 1.5028 poly (2-methyl cyclohexyl methacrylate リレート) 1.5028 ポリプロピレン(密度0.9075g/cm 3 ) 1.5030 ポリイソブテン 1.505 -1.51 ポリボルニルメタクリレート 1.5059 ポリ(2−t−ブチル−1,3−ブタジエン) 1.5060 ポリエチレングリコールジメタクリレート 1.5063 ポリシクロヘキシルメタクリレート 1.5066 ポリ(シクロヘキサンジオール−1,4−ジメタクリレート) 1.5067 ブチルゴム(未加硫) 1.508 ポリテトラハイドロフルフリルメタクリレート) 1.5096 グッタペルカ(β) 1.509 ポリエチレンアイオノマー 1.51 ポリオキシエチレン(高分子量) 1.51 -1.54 ポリエチレン(密度0.914 g/cm 3 ) 1.51 (密度0.94-0.945g/cm 3 ) 1.52 -1.53 (密度0.965 g/cm 3 ) 1.545 ポリ(1−メチルシクロヘキシルメタクリレート) 1.5111 ポリ(2−ヒドロキシエチルメタクリレート) 1.5119 ポリビ Relate) 1.5028 polypropylene (density 0.9075g / cm 3) 1.5030 polyisobutene 1.505 -1.51 poly isobornyl methacrylate 1.5059 poly (2-t-butyl-1,3-butadiene) 1.5060 Polyethylene glycol dimethacrylate 1.5063 poly cyclohexyl methacrylate 1.5066 poly (cyclohexanediol 1,4-dimethacrylate) 1.5067 butyl rubber (unvulcanized) 1.508 poly tetrahydrofurfuryl methacrylate) 1.5096 gutta percha (beta) 1.509 polyethylene ionomers 1.51 polyoxyethylene (high molecular weight) 1.51 -1.54 polyethylene (density 0.914 g / cm 3 ) 1.51 (density of 0.94-0.945g / cm 3) 1.52 -1.53 (density 0.965 g / cm 3) 1.545 poly (1-methylcyclohexyl methacrylate) 1.5111 poly (2-hydroxyethyl methacrylate) 1.5119 polyvinyl ルクロロアセテート 1.512 ポリブテン(アイソタクティック) 1.5125 ポリビニルメタクリレート 1.5129 ポリ(N−ブチル−メタクリルアミド) 1.5135 グッタペルカ(α) 1.514 テルペン樹脂 1.515 ポリ(1,3−ブタジエン) 1.5154 セラック 1.51 -1.53 ポリ(メチルα−クロロアクリレート) 1.517 ポリ(2−クロロエチルメタクリレート) 1.517 ポリ(2−ジエチルアミノエチルメタクリレート) 1.5174 ポリ(2−クロロシクロヘキシルメタクリレート) 1.5179 ポリ(1,3−ブタジエン)(35%cis;56%trans 1.5180 ;7%1,2−contet) 天然ゴム 1.519 -1.52 ポリアリルメタクリレート 1.5196 ポリビニルクロライド+40%ジオクチルフタテート 1.52 ポリアクリロニトリル 1.52 1.5187 ポリメタクリロニトリル 1.52 ポリ(1,3−ブタ Le chloroacetate 1.512 polybutene (isotactic) 1.5125 polyvinyl methacrylate 1.5129 poly (N- butyl - methacrylamide) 1.5135 gutta percha (alpha) 1.514 Terpene resin 1.515 Poly (1,3-butadiene) 1.5154 shellac 1.51 -1.53 ​​poly (methyl α- chloro acrylate) 1.517 poly (2-chloroethyl methacrylate) 1.517 poly (2-diethylaminoethyl methacrylate) 1.5174 poly (2-chlorocyclohexyl methacrylate) 1.5179 poly (1,3-butadiene) (35% cis; 56% trans 1.5180; 7 % 1,2-contet) natural rubber 1.519 -1.52 polyallyl methacrylate 1.5196 polyvinylchloride + 40% dioctyl phthalate Tate 1.52 polyacrylonitrile 1.52 1.5187 polymethacrylonitrile polyacrylonitrile 1.52 poly (1,3 porcine エン)(sic型リッチ) 1.52 ブタジエン−アクリロニトリル共重合体 1.52 ポリメチルイソプロペニルケトン 1.5200 ポリイソプレン 1.521 ポリエステル樹脂 リジッド(約50%スチレン) 1.523 -1.54 ポリ(N−(2−メトキシエチル)メタクリルアミド) 1.5246 ポリ(2,3−ジメチルブタジエン)(メチルゴム) 1.525 ビニルクロライド−ビニルアセテート共重合体(95/5-90/10) 1.525 -1.535 ポリアクリックアシド 1.527 ポリ(1,3−ジクロロプロピルメタクリレート) 1.5270 ポリ(2−クロロ−1−(クロロメチル)エチルメタクリレート) 1.5270 ポリアクロレイン 1.529 ポリ(1−ビニル−2−ピロリドン) 1.53 塩酸化ゴム 1.53 -1.55 ナイロン6;ナイロン6,6;ナイロン6,10(成型体) 1.53 (ナイロン−6−ファイバ:1.515 横断方向 1.565 フ Ene) (sic type rich) 1.52 butadiene - acrylonitrile copolymer 1.52 polymethyl isopropenyl ketone 1.5200 polyisoprene 1.521 polyester resin rigid (about 50% styrene) 1.523 -1.54 poly (N-(2-methoxyethyl) methacrylamide) 1.5246 poly (2,3-dimethyl-butadiene) (Mechirugomu) 1.525 vinyl chloride - vinyl acetate copolymer (95 / 5-90 / 10) 1.525 -1.535 Poria click A Sid 1.527 poly (1,3-dichloro-propyl methacrylate) 1.5270 poly ( 2-chloro-1- (chloromethyl) ethyl methacrylate) 1.5270 polyacrolein 1.529 poly (1-vinyl-2-pyrrolidone) 1.53 HCl rubber 1.53 -1.55 nylon 6; nylon 6,6; nylon 6,10 (molded) 1.53 (nylon-6 fiber: 1.515 transversely 1.565 off ァイバ方向) ブタジエン−スチレン共重合体(約30%スチレン) 1.53 ブロック共重合体 ポリ(シクロヘキシルα−クロロアクリレート) 1.532 ポリ(2−クロロエチルα−クロロアクリレート) 1.533 ブタジエン−スチレン共重合体(約75/25) 1.535 ポリ(2−アミノエチルメタクリレート) 1.537 ポリフルフリルメタクリレート 1.5381 プロテイン 1.539 -1.541 ポリブチルメルカプチルメタクリレート 1.5390 ポリ(1−フェニル−n−アミルメタクリレート) 1.5396 ポリ(N−メチル−メタクリルアミド) 1.5398 セルロース 1.54 ポリビニルクロライド 1.54 -1.55 ウレアフォルムアルデヒド樹脂 1.54 -1.56 ポリ(sec−ブチルα−ブロモアクリレート) 1.542 ポリ(シクロヘキシルα−ブロモアクリレート) 1.542 ポリ(2−ブロモエチルメタクリレー Aiba direction) butadiene - styrene copolymer (about 30% styrene) 1.53 block copolymer poly (cyclohexyl α- chloro acrylate) 1.532 poly (2-chloroethyl α- chloro acrylate) 1.533 butadiene - styrene copolymer (about 75 / 25) 1.535 poly (2-aminoethyl methacrylate) 1.537 polyfurfuryl methacrylate 1.5381 protein 1.539 -1.541 polybutyl Melka heptyl methacrylate 1.5390 poly (1-phenyl -n- amyl methacrylate) 1.5396 poly (N- methyl - methacrylamide) 1.5398 cellulose 1.54 polyvinyl chloride 1.54 -1.55 urea-formaldehyde resin 1.54 -1.56 poly (sec-butyl α- bromo acrylate) 1.542 poly (cyclohexyl α- bromo acrylate) 1.542 poly (2-bromoethyl meth click relay ) 1.5426 ポリジヒドロアビエチックアシド 1.544 ポリアビエチックアシド 1.546 ポリエチルメルカプチルメタクリレート 1.547 ポリ(N−アリルメタクリルアミド) 1.5476 ポリ(1−フェニルエチルメタクリレート) 1.5487 ポリビニルフラン 1.55 ポリ(2−ビニルテトラヒドロフラン) 1.55 ポリ(ビニルクロライド)+40%トリクレジルフォスフェート 1.55 エポキシ樹脂 1.55 -1.60 ポリ(p−メトキシベンジルメタクリレート) 1.552 ポリイソプロピルメタクリレート 1.552 ポリ(p−イソプロピルスチレン) 1.554 ポリクロロプレン 1.554 -1.558 ポリ(オキシエチレン−α−ベンゾエート−ω−メタクリレート) 1.555 ポリ(p,p'−キシリレニルジメタクリレート) 1.5559 ポリ(1−フェニルアリルメタクリレート) 1.5573 ポリ(p−シクロヘキシルフェ ) 1.5426 Poly dihydroabietic Chick A glucoside 1.544 poly Aviation Chick A glucoside 1.546 polyethyl Melka heptyl methacrylate 1.547 poly (N- allyl methacrylamide) 1.5476 Poly (1-phenylethyl methacrylate) 1.5487 polyvinyl furan 1.55 Poly (2-vinyl tetrahydrofuran) 1.55 poly ( vinyl chloride) + 40% tricresyl phosphate 1.55 epoxy resin 1.55 -1.60 poly (p- methoxybenzyl methacrylate) 1.552 poly isopropyl methacrylate 1.552 poly (p- isopropyl styrene) 1.554 polychloroprene 1.554 -1.558 poly (oxyethylene -α- benzoate -ω- methacrylate) 1.555 poly (p, p'-xylylene Leni dimethacrylate) 1.5559 poly (1-phenyl-allyl methacrylate) 1.5573 poly (p- cyclohexyl Fe ニルメタクリレート) 1.5575 ポリ(2−フェニルエチルメタクリレート) 1.5592 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレン−1−プロピル 1.5602 −ブチリデン−1,4−フェニレン) ポリ(1−(o−クロロフェニル)エチルメタクリレート) 1.5624 スチレン−無水マレイン酸共重合体 1.564 ポリ(1−フェニルシクロヘキシルメタクリレート) 1.5645 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレン−1,3 1.5671 −ジメチル−ブチリデン−1,4−フェニレン) ポリ(メチルα−ブロモアクリレート) 1.5672 ポリベンジルメタクリレート 1.5680 ポリ(2−(フェニルスルフォニル)エチルメタクリレート) 1.5682 ポリ(m−クレジルメタクリレート) 1.5683 スチレン−アクリロニトリル共重合体(約75/25) 1.57 ポリ(オキシカル Sulfonyl methacrylate) 1.5575 Poly (2-phenylethyl methacrylate) 1.5592 Poly (oxycarboxin Niro carboxy-1,4-phenylene-1-propyl 1.5602 - butylidene-1,4-phenylene) poly (1-(o-chlorophenyl) ethyl methacrylate ) 1.5624 styrene - maleic anhydride copolymer 1.564 poly (1-phenylcyclohexyl methacrylate) 1.5645 poly (oxycarboxin Niro carboxymethyl-1,4-phenylene-1,3 1.5671 - dimethyl - butylidene-1,4-phenylene) poly ( methyl α- bromo acrylate) 1.5672 polybenzylmethacrylate 1.5680 poly (2- (phenylsulfonyl) ethyl methacrylate) 1.5682 poly (m-cresyl methacrylate) 1.5683 styrene - acrylonitrile copolymer (about 75/25) 1.57 poly (Okishikaru ボニロキシ−1,4−フェニレンイソブチリデン 1.5702 −1,4−フェニレン) ポリ(o−メトキシフェニルメタクリレート) 1.5705 ポリフェニルメタクリレート 1.5706 ポリ(o−クレジルメタクリレート) 1.5707 ポリジアリルフタレート 1.572 ポリ(2,3−ジブロモプロピルメタクリレート) 1.5739 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレン−1−メチル 1.5745 −ブチリデン−1,4−フェニレン) ポリ(オキシ−2,6−ジメチルフェニレン) 1.575 ポリオキシエチレンオキシテレフタロイル(アモルファス) 1.5750 (ポリエチレンテレフタレート) (結晶性ファイバ:1.51横断方向 1.64ファイバ方向) ポリビニルベンゾエート 1.5775 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレンブチリデン 1.5792 −1,4−フェニレン) ポリ( Bonirokishi 1,4-phenylene iso butylidene 1.5702 1,4-phenylene) poly (o-methoxyphenyl methacrylate) 1.5705 polyphenyl methacrylate 1.5706 poly (o-cresyl methacrylate) 1.5707 polydiallyl phthalate 1.572 Poly (2,3 dibromopropyl methacrylate) 1.5739 poly (oxycarboxin Niro carboxy-1,4-phenylene-1-methyl 1.5745 - butylidene-1,4-phenylene) poly (oxy-2,6-dimethyl-phenylene) 1.575 poly oxyethylene terephthaloyl (amorphous) 1.5750 (polyethylene terephthalate) (crystalline fiber: 1.51 transversely 1.64 fiber direction) polyvinyl benzoate 1.5775 poly (oxycarboxin Niro carboxy-1,4-phenylene butylidene 1.5792 1,4-phenylene) poly ( 1,2−ジフェニルエチルメタクリレート) 1.5816 ポリ(o−クロロベンジルメタクリレート) 1.5823 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレン−sec− 1.5827 ブチリデン−1,4−フェニレン) ポリオキシペンタエリスリトロキシフタロイル) 1.584 ポリ(m−ニトロベンジルメタクリレート) 1.5845 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレンイソプロピリデン 1.5850 −1,4−フェニレン) ポリ(N−(2−フェニルエチル)メタクリルアミド) 1.5857 ポリ(4−メトキシ−2−メチルスチレン) 1.5868 ポリ(o−メチルスチレン) 1.5874 ポリスチレン 1.59 -1.592 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレンシクロヘキシリデン 1.5900 −1,4−フェニレン) ポリ(o−メトキシスチレン) 1.5932 ポリジフェニルメチル 1,2-diphenylethyl methacrylate) 1.5816 Poly (o-chlorobenzyl methacrylate) 1.5823 Poly (oxycarboxin Niro carboxymethyl-1,4-phenylene-sec-1.5827 butylidene-1,4-phenylene) polyoxypropylene pentaerythritol retro carboxymethyl phthaloyl ) 1.584 poly (m-nitrobenzyl methacrylate) 1.5845 poly (oxycarboxin Niro carboxy-1,4-phenylene-isopropylidene-1.5850-1,4-phenylene) poly (N-(2-phenylethyl) methacrylamide) 1.5857 poly (4 - methoxy-2-methyl styrene) 1.5868 poly (o-methyl styrene) 1.5874 polystyrene 1.59 -1.592 poly (oxycarboxin Niro carboxy-1,4-phenylene cyclohexylidene 1.5900 1,4-phenylene) poly (o-methoxystyrene ) 1.5932 poly diphenylmethyl メタクリレート 1.5933 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレンエチリデン 1.5937 −1,4−フェニレン) ポリ(p−ブロモフェニルメタクリレート) 1.5964 ポリ(N−ベンジルメタクリルアミド) 1.5965 ポリ(p−メトキシスチレン) 1.5967 硬化ゴム(32%S) 1.6 ポリビニリデンクロライド 1.60 -1.63 ポリスルフィド(“Thiokol”) 1.6 -1.7 ポリ(o−クロロジフェニルメチルメタクリレート) 1.6040 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−(2,6−ジクロロ) 1.6056 フェニレン−イソプロピリデン−1,4− (2,6−ジクロロ)フェニレン) ポリ(オキシカルボニロキシビス(1,4−(3,5− 1.6056 ジクロロフェニレン))) ポリペンタクロロフェニルメタクリレート 1.608 ポリ(o−クロロスチレン) 1.6098 ポリ Methacrylate 1.5933 poly (oxycarboxin Niro carboxy-1,4-phenylene ethylidene 1.5937 1,4-phenylene) poly (p- bromophenyl methacrylate) 1.5964 Poly (N- benzyl methacrylamide) 1.5965 Poly (p- methoxystyrene) 1.5967 cured rubber (32% S) 1.6 polyvinylidene chloride 1.60 -1.63 polysulfide ( "Thiokol") 1.6 -1.7 poly (o-chloro-diphenylmethyl methacrylate) 1.6040 poly (oxycarboxin Niro carboxy-1,4 (2,6-dichloro) 1.6056 phenylene - isopropylidene-1,4 (2,6-dichloro) phenylene) poly (oxy-carbo Niro carboxy bis (1,4- (3,5 1.6056 dichloro-phenylene))) poly pentachlorophenyl methacrylate 1.608 poly (o - chlorostyrene) 1.6098 poly フェニルα−ブロモアクリレート) 1.612 ポリ(p−ジビニルベンゼン) 1.6150 ポリ(N−ビニルフタルイミド) 1.6200 ポリ(2,6−ジクロロスチレン) 1.6248 ポリ(β−ナフチルメタクリレート) 1.6298 ポリ(α−ナフチルカルビニルメタクリレート) 1.63 ポリサルホン 1.633 ポリ(2−ビニルチオフェン) 1.6376 ポリ(α−ナフチルメタクリレート) 1.6410 ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレンジフェニル 1.6539 −メチレン−1,4−フェニレン) ポリビニルフェニルスルフィド 1.6568 ブチルフェノールフォルムアルデヒド樹脂 1.66 ウレア−チオウレア−フォルムアルデヒド樹脂 1.660 ポリビニルナフタレン 1.6818 ポリビニルカルバゾール 1.683 ナフタレン−フォルムアルデヒド樹脂 1.696 フェノール−フォルムアルデヒド樹脂 1.70 ポリ Phenyl alpha-bromo acrylate) 1.612 poly (p- divinylbenzene) 1.6150 Poly (N- vinyl phthalimide) 1.6200 Poly (2,6-dichloro-styrene) 1.6248 Poly (beta-naphthyl methacrylate) 1.6298 Poly (alpha-naphthyl carbinyl methacrylate) 1.63 polysulfone 1.633 poly (2-vinyl thiophene) 1.6376 poly (alpha-naphthyl methacrylate) 1.6410 poly (oxycarboxin Niro carboxymethyl-1,4-phenylene phenyl 1.6539 - methylene-1,4-phenylene) polyvinyl phenyl sulfide 1.6568 butylphenol formaldehyde resin 1.66 urea - thiourea - formaldehyde resin 1.660 polyvinylnaphthalene 1.6818 polyvinylcarbazole 1.683 naphthalene - formaldehyde resin 1.696 phenol - formaldehyde resin 1.70 poly ンタブロモフェニルメタクリレート 1.71 等があげられる。 Printer-bromophenyl methacrylate 1.71, and the like. なお、以上には、d線の屈折率(n d )も併せて示してある。 Incidentally, in the above, the refractive index of the d-line (n d) is also shown together.

【0013】また、代表的溶媒としては、メタノール、 [0013] In addition, as a typical solvent, methanol,
エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、アミルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、エチレンクロライド、クロロホルム、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、等の比較的沸点の低い有機溶媒や水があげられる。 Ethanol, n- propanol, isopropanol, amyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethylene chloride, chloroform, benzene, toluene, xylene, hexane, heptane, cyclohexane, relatively low organic solvent or water boiling point equal like .

【0014】電離放射線硬化型材料溶液として塗布する場合については、以下のようである。 [0014] For the case of applying as the ionizing radiation-curable material solution is as follows. 電離放射線硬化型材料としては、電子線硬化型樹脂及び紫外線硬化型樹脂が有用であり、電子線硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂とは、後者が光重合開始剤と増感剤を含有することを除いて、成分的に同様なものであり、一般的には、皮膜形成成分としてその構造中にラジカル重合性の活性基を有するポリマー、オリゴマー、モノマーを主成分とするもので、粘度では、2000cps以下であることが望ましい。 As the ionizing radiation-curable materials, electron beam curable resins and ultraviolet curable resins are useful, and the electron beam curing resin and ultraviolet curable resin, the latter contains a photopolymerization initiator and a sensitizer except for are those ingredients equivalent to that, in general, a polymer having a radical polymerizable active groups in its structure as a film-forming component, an oligomer, a monomer as a main component, the viscosity, it is desirable 2000cps is less than or equal to. このようなポリマー、オリゴマーとして、ウレタンアクリレートやポリエステルアクリレートのような市販品から容易に入手可能なものが本発明に適用可能である。 Such polymers, as an oligomer, readily those available from commercial products such as urethane acrylates or polyester acrylates are applicable to the present invention. モノマーとしては、市販のアクリル酸又はメタクリル酸誘導体等の電離放射線硬化型モノマーが本発明に適用可能である。 The monomer, commercially available ionizing radiation curable monomers such as acrylic acid or methacrylic acid derivative is applicable to the present invention. 上記の硬化樹脂を紫外線硬化性樹脂とするためには、この中に光重合開始剤として、アセトフェノン類、ベンゾフェノン、ミヒラーベンゾイルベンゾエート、α−アミノキシムエステル、テトラメチルチウラムモノサルファイド、チオキサントン類や、光増感剤として、n−ブチルアミン、トリエチルアミン、トリ−n To the above curable resin and ultraviolet curable resin, photopolymerization initiator therein, acetophenones, benzophenones, Michler's benzoyl benzoate, alpha-amino oxime esters, tetramethylthiuram monosulfide, thioxanthones and, as photosensitizers, n- butylamine, triethylamine, tri -n
−ブチルホスフィン等を混合して用いることができる。 - it can be used as a mixture of butyl phosphine.

【0015】この場合、スピンコートにより上記材料を所定の厚さに塗布した後、電離放射線を照射することにより、ポリマー層を生成する。 [0015] In this case, after applying the material to a predetermined thickness by spin coating, by irradiating ionizing radiation, to produce a polymer layer. 電離放射線照射方法としては、従来の技術がそのまま適用でき、例えば電子線照射の場合は、コックロフトワルトン型、バンデグラフ型、共振変圧型、絶縁コア変圧器型、直線型、ダイナミトロン型、高周波型等の各種電子線加速機から放出される50〜1,000KeV、好ましくは、100〜30 As the ionizing radiation irradiation method, the prior art can be directly applied, for example, in the case of electron beam irradiation, Cockroft Walton type, Van de Graaff type, resonance transformer type, insulated core transformer type, linear type, Dynamitron type, high frequency type 50~1,000KeV emitted from various electron beam acceleration apparatus etc., preferably, 100 to 30
0KeVのエネルギーを有する電子線を、0.1〜10 An electron beam having an energy of 0KeV, 0.1~10
0Mrad. 0Mrad. 、好ましくは、1〜10Mrad. , Preferably, 1~10Mrad. 照射すことにより硬化させることができ、また、紫外線照射の場合は、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、カーボンアーク、 Can be cured by be irradiated, In the case of ultraviolet irradiation, ultra-high pressure mercury lamp, high pressure mercury lamp, carbon arc,
キセノンアーク、メタルハライドランプ等の光源から発せられる紫外線を、0.1〜10,000mJ/c Xenon arc, ultraviolet light emitted from a light source such as a metal halide lamp, 0.1~10,000mJ / c
2 、好ましくは、10〜1,000mJ/cm 2照射することにより硬化させることができる。 m 2, preferably, can be cured by irradiating 10~1,000mJ / cm 2.

【0016】一般に、スピンコーティング法では、コーティング膜厚hは、 h=Kμ 0.36 ω -0.50 (Eλ/C p0.60で与えられる。 [0016] In general, in the spin coating method, a coating film thickness h is given by h = Kμ 0.36 ω -0.50 (Eλ / C p) 0.60. ここで、K:定数、μ:塗工剤粘度、 Here, K: constant, mu: coating agent viscosity,
ω:スピンナーの角速度、E:相対蒸発速度、λ:蒸発潜熱、C p :熱容量である。 omega: spinner angular velocity, E: relative evaporation rate, lambda: latent heat of vaporization, C p: is the heat capacity.

【0017】したがって、ポリマー膜を所定の厚さに塗布する条件は、予め、ポリマー溶液を所定の粘度と回転数で塗布することにより膜厚と回転数の関係を求めておくことにより、決定することができる。 [0017] Therefore, the conditions for applying the polymer film to a predetermined thickness is previously by previously seeking the rotational speed of the relationship between the film thickness by applying a polymer solution at a rotation speed and a predetermined viscosity, determined be able to.

【0018】以上の説明から明らかなように、本発明の回折格子の製造方法は、屈折率の異なる2種以上のポリマーからなる層を屈折率が相対的に高・低と繰り返すように、高屈折率ポリマー層と低屈折率ポリマー層を順にコーティング法により積層して作製することを特徴とする製造方法である。 [0018] As apparent from the above description, a manufacturing method of a diffraction grating of the present invention, a layer made of a refractive index of two or more different polymers so that the refractive index is repeated with relatively high and low, high it is a manufacturing method characterized by preparing laminated with a refractive index polymer layer and the low refractive index polymer layers sequentially coating.

【0019】この場合、ポリマー層の厚さを少なくとも一部の層間で異なるように作製することが、広い波長範囲の回折を行わせるために必要である。 [0019] In this case, it is necessary to effect the diffraction wide wavelength range be made to differ in at least part of the interlayer thickness of the polymer layer.

【0020】また、ポリマー層は、加熱乾燥可能で隣接するポリマー層を溶解しない溶媒に溶解されたポリマー溶液をコーティングすることにより作製するか、又は、 Further, the polymer layer, or prepared by coating the dissolved polymer solution in a solvent which does not dissolve the adjacent polymer layer heatable drying, or,
電離放射線の照射によりポリマー膜を形成できる電離放射線硬化型の液体をコーティングすることにより作製する。 Produced by coating the ionizing radiation-curable liquid capable of forming a polymer film by irradiation of ionizing radiation.

【0021】ポリマー溶液がはじき等により均一に塗布し難い場合は、コロナ処理、オゾン処理等の表面処理を行うことにより解決できる。 [0021] If it is difficult to uniformly coated by the polymer solution is repelled and the like, corona treatment, can be solved by performing the surface treatment of an ozone treatment or the like.

【0022】なお、コーティング法としてスピンコーティングを用いるのが望ましい。 [0022] In addition, it is desirable to use the spin coating as a coating method.

【0023】 [0023]

【作用】本発明においては、屈折率の異なる2種以上のポリマーからなる層を屈折率が相対的に高・低と繰り返すように、高屈折率ポリマー層と低屈折率ポリマー層を順にコーティング法により積層して作製するので、層間の厚さを異ならせて積層することにより、回折波長の広い回折格子を容易に作製することができる。 According to the present invention, a layer made of a refractive index of two or more different polymers so that the refractive index is repeated with relatively high and low turn-coating a high refractive index polymer layer and the low refractive index polymer layer since making laminated by, by laminating with different thicknesses of the layers, it is possible to easily produce a broad diffraction grating of the diffraction wavelength.

【0024】 [0024]

【実施例】以下、本発明の回折格子の製造方法の実施例について説明する。 EXAMPLES Hereinafter, a description will be given of an embodiment of a method for manufacturing a diffraction grating of the present invention. 実施例1 高屈折率ポリマー層としてポリスチレン(PSt,n d Polystyrene Example 1 the high refractive index polymer layer (PSt, n d
=1.592)を、低屈折率ポリマー層としてポリヒドロキシエチルメタクリレート(PHEMA,n d =1. = A 1.592), polyhydroxyethyl methacrylate as a low refractive index polymer layer (PHEMA, n d = 1.
46)を用いて、800nm〜2000nmの波長の光を回折するように、0.129μm〜0.327μmの間で0.033のピッチの膜厚で、各膜厚につき20組の屈折率高、低の層からなる多層ポリマー層を作製した。 46) using, to diffract light of wavelengths 800Nm~2000nm, a thickness of pitch 0.033 between 0.129Myuemu~0.327Myuemu, 20 pairs of refractive index and high per each film thickness, to prepare a multilayer polymer layer composed of a low layer.

【0025】ここで、PStは分子量10万の市販品(デンカ社製)を5%のジオキサン溶液(粘度:10. [0025] Here, PSt molecular weight of 100,000 commercially available (Denka Co., Ltd.) 5% dioxane solution (viscosity: 10.
0cps)として、PHEMAは分子量10万の合成品を7%のメタノール溶液(粘度:12.3cps)として塗布した。 As cps), PHEMA is synthetic 7% methanol solution of a molecular weight of 100,000 (viscosity: 12.3cps) was applied as. なお、PHEMAは、メタノール中モノマー濃度30%で、開始剤(V−65:和光純薬工業社製)を0.1%用いて、ラジカル重合することにより合成した。 Incidentally, PHEMA is a 30% monomer concentration in methanol, initiator (V-65: manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) with 0.1%, were synthesized by radical polymerization.

【0026】各膜厚に対するPSt、PHEMAのスピンコートの条件を下表に示す。 [0026] PSt for each film thickness, the conditions of the spin coating of PHEMA shown in the table below.

【0027】 [0027] 得られた回折格子の回折効率を、分光光度計(UV−3 The diffraction efficiency of the resulting diffraction grating, a spectrophotometer (UV-3
65:島津製作所社製)で測定したところ、800nm 65: was measured in manufactured by Shimadzu Corporation), 800nm
〜2000nmの範囲で平均で48%の回折効率を持つことが分かった。 It was found to have 48% of the diffraction efficiency on average in the range of ~2000Nm.

【0028】実施例2 高屈折率ポリマー層、低屈折率ポリマー層として、以下に示す電離放射線硬化型組成物を使用した。 [0028] Example 2 high-refractive-index polymer layers, as a low refractive index polymer layer, using an ionizing radiation-curable composition shown below.

【0029】 高屈折率ポリマー層 ウレタンアクリレート(PR−202:三菱化成社製)・・・ 50重量部 2,4,5−トリブロモフェノールメタクリレート ・・・150重量部 (和光純薬工業社製) ジペンタエリスリトールペンタアクリレート ・・・ 5重量部 (サートマー399:サートマー社製) 粘度:10cps,屈折率:1.58 低屈折率ポリマー層 ウレタンアクリレート(PR−202:三菱化成社製)・・・ 50重量部 2,2,3,3−テトラフルオロプロピルアクリレート・・・150重量部 (ダイキン化成品販売社製) ジペンタエリスリトールペンタアクリレート ・・・ 5重量部 (サートマー399:サートマー社製) 粘度: 8cps,屈折率:1.47 各膜厚に対する高屈折率、低屈折率材のスピンコー The high refractive index polymer layers urethane acrylate (PR-202: manufactured by Mitsubishi Chemical Industries, Ltd.) ..... 50 parts by weight of 2,4,5-tribromophenol methacrylate ... 150 parts by weight (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) dipentaerythritol pentaacrylate ... 5 parts by weight (Sartomer 399: Sartomer) viscosity: 10 cps, the refractive index: 1.58 low refractive index polymer layer urethane acrylate (PR-202: manufactured by Mitsubishi Chemical Industries, Ltd.) ..... 50 parts tetrafluoropropyl acrylate ... 150 parts by weight (manufactured by Daikin Chemical sales Co., Ltd.) of dipentaerythritol pentaacrylate ... 5 parts by weight (Sartomer 399, manufactured by Sartomer Company Inc.) viscosity: 8 cps , refractive index: high refractive index of 1.47 with respect to each film thickness, of the low refractive index material Supinko の条件を下表に示す。 It shows the conditions in the table below.

【0030】 [0030] 各層は、スピンコーティング後、電子線を5Mrad. Each layer 5Mrad is, after the spin coating, the electron beam.
照射する(ESI社製)ことにより硬化させ、ポリマー層とした。 Cured by irradiation (ESI Co., Ltd.) to a polymer layer. 各膜厚について、高屈折率層、低屈折率層を交互に10組ずつ積層し、回折格子を作製した。 For each film thickness, the high refractive index layer, laminated ten pairs alternately a low refractive index layer, to produce a diffraction grating.

【0031】得られた回折格子の回折効率を、分光光度計(UV−365:島津製作所社製)で測定したところ、800nm〜2000nmの範囲で平均で52%の回折効率を持つことが分かった。 [0031] The diffraction efficiency of the resulting diffraction grating, spectrophotometer was measured by (UV-365 manufactured by Shimadzu Corporation) and found to contain 52% of the diffraction efficiency on average in the range of 800nm~2000nm .

【0032】 [0032]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明の回折格子の製造方法によると、屈折率の異なる2種以上のポリマーからなる層を屈折率が相対的に高・低と繰り返すように、高屈折率ポリマー層と低屈折率ポリマー層を順にコーティング法により積層して作製するので、 As apparent from the above description, according to the method of manufacturing the diffraction grating of the present invention, to repeat a layer made of a refractive index of two or more different polymers with a refractive index relatively high and low , since making laminated by sequentially coating a high refractive index polymer layer and the low refractive index polymer layer,
層間の厚さを異ならせて積層することにより、回折波長の広い回折格子を容易に作製することができる。 By stacking with different thicknesses of the layers, it is possible to easily produce a broad diffraction grating of the diffraction wavelength.

【0033】具体的には、回折波長範囲を例えば800 [0033] Specifically, the diffraction wavelength range, for example 800
nm〜2000nmにすることができ、この場合は、可視光を透過し熱線を反射する良好な熱線反射膜となる。 Can be Nm~2000nm, this case is a good heat ray reflective film which reflects heat rays and transmits visible light.
この熱線反射膜を自動車や建物の窓に用いることにより、車内及び室内の温度の上昇を低減することができる。 By using this heat ray reflective film on windows of automobiles and buildings, it is possible to reduce the increase in the vehicle and room temperature.

【0034】また、このような熱線反射フィルム以外の用途として、可視領域の特定波長の光を反射する液晶ディスプレー等用のカラーフィルターや、紫外線カットフィルム等にも応用可能である。 Further, as the application of such non-heat reflecting films, and color filters for liquid crystal displays or the like that reflects light of a specific wavelength in the visible region, is also applicable to ultraviolet cut film.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の製造方法により製作された回折格子の1つの具体例の積層断面図である。 1 is a laminated cross-sectional view of one embodiment of a diffraction grating that is fabricated by the manufacturing method of the present invention.

【図2】図1の回折格子の回折特性を示す図である。 2 is a diagram illustrating the diffraction characteristics of the diffraction grating of FIG.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1…膜厚0.13μmの高屈折率ポリマー層(n d 1 ... film thickness 0.13μm of the high refractive index polymer layer (n d =
1.59) 2…膜厚0.13μmの低屈折率ポリマー層(n d 1.59) 2 ... thickness 0.13μm of the low refractive index polymer layer (n d =
1.41) 3…膜厚0.14μmの高屈折率ポリマー層(n d 1.41) 3 ... high refractive index polymeric layer having a thickness of 0.14 .mu.m (n d =
1.59) 4…膜厚0.14μmの低屈折率ポリマー層(n d 1.59) 4 ... low-refractive index polymer layers having a thickness of 0.14 .mu.m (n d =
1.41) 5…膜厚0.67μmの高屈折率ポリマー層(n d 1.41) 5 ... high refractive index polymeric layer having a thickness of 0.67 .mu.m (n d =
1.59) 6…膜厚0.67μmの低屈折率ポリマー層(n d 1.59) 6 ... low-refractive index polymer layers having a thickness of 0.67 .mu.m (n d =
1.41) 10…回折格子(膜厚70μm) 1.41) 10 ... diffraction grating (with a thickness of 70μm)

Claims (5)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 屈折率の異なる2種以上のポリマーからなる層を屈折率が相対的に高・低と繰り返すように、高屈折率ポリマー層と低屈折率ポリマー層を順にコーティング法により積層して作製することを特徴とする回折格子の製造方法。 1. A so that the refractive index of the layer composed of two or more polymers having different refractive indices are repeated with relatively high and low, sequentially laminated by coating a high refractive index polymer layer and the low refractive index polymer layer production method of a diffraction grating, characterized in that to produce Te.
  2. 【請求項2】 ポリマー層の厚さを少なくとも一部の層間で異なるように作製し、広い波長範囲の回折ができることを特徴とする請求項1記載の回折格子の製造方法。 Wherein the thickness of the polymer layer was prepared differently in at least part of the interlayer, the production method of a diffraction grating according to claim 1, wherein the can diffraction wide wavelength range.
  3. 【請求項3】 ポリマー層を、加熱乾燥可能で隣接するポリマー層を溶解しない溶媒に溶解されたポリマー溶液をコーティングすることにより作製することを特徴とする請求項1又は2記載の回折格子の製造方法。 The 3. A polymeric layer, manufacture of the diffraction grating according to claim 1 or 2, characterized in that to produce by coating the dissolved polymer solution into a solvent which does not dissolve the adjacent polymer layers can be heated and dried Method.
  4. 【請求項4】 ポリマー層を、電離放射線の照射によりポリマー膜を形成できる電離放射線硬化型の液体をコーティングすることにより作製することを特徴とする請求項1又は2記載の回折格子の製造方法。 Wherein the polymeric layer, the production method of a diffraction grating according to claim 1 or 2, characterized in that to produce by coating an ionizing radiation curable liquid capable of forming a polymer film by irradiation of ionizing radiation.
  5. 【請求項5】 コーティング法としてスピンコーティングを用いることを特徴とする請求項1から4の何れか1 5. any of claims 1 to 4, which comprises using a spin coating as the coating method 1
    項記載の回折格子の製造方法。 Method for manufacturing a diffraction grating of claim wherein.
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