JPH0611607A - Production of diffraction grating - Google Patents
Production of diffraction gratingInfo
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- JPH0611607A JPH0611607A JP17083692A JP17083692A JPH0611607A JP H0611607 A JPH0611607 A JP H0611607A JP 17083692 A JP17083692 A JP 17083692A JP 17083692 A JP17083692 A JP 17083692A JP H0611607 A JPH0611607 A JP H0611607A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、回折格子の製造方法に
関し、特に、熱線反射膜のように広い波長範囲の回折を
する回折格子の製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a diffraction grating, and more particularly, to a method for manufacturing a diffraction grating that diffracts a wide wavelength range such as a heat ray reflective film.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の回折格子としては、フォトポリマ
ー、重クロム酸ゼラチン、銀塩等の膜に光の干渉縞を記
録して形成したブラッグ回折格子がよく知られている。
しかし、これらは何れも回折波長の範囲が狭く、広い波
長範囲の回折が可能なものは得られていない。2. Description of the Related Art As a conventional diffraction grating, a Bragg diffraction grating formed by recording light interference fringes on a film of photopolymer, dichromated gelatin, silver salt or the like is well known.
However, all of these have a narrow range of diffraction wavelengths, and no one capable of diffracting a wide wavelength range has been obtained.
【０００３】このようなブラッグ回折格子を熱線反射膜
等の用途に用いるには、回折波長が数百ｎｍ以上の範囲
にわたる必要がある。In order to use such a Bragg diffraction grating for applications such as a heat ray reflective film, it is necessary for the diffraction wavelength to be in the range of several hundred nm or more.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような状
況に鑑みてなされたものであり、その目的は、屈折率差
のある２種類以上のポリマー層を一部の層間で厚みが異
なるように積層することにより、広い波長範囲の回折が
可能なブラッグ回折格子を製造する方法を提供すること
である。The present invention has been made in view of such a situation, and an object thereof is to make two or more kinds of polymer layers having a difference in refractive index different in thickness between some layers. It is to provide a method of manufacturing a Bragg diffraction grating capable of diffracting a wide wavelength range by stacking the layers on the Bragg diffraction grating.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の回折格子の製造方法においては、少なくとも一部の
層間で厚さを異ならせて積層された屈折率差のあるポリ
マー層の作製方法において、塗布手段としてスピンコー
ト法を用い、膜厚の制御を、塗布溶液の粘度やスピンコ
ートの回転数を変化させることにより行うものである。
そのため、回折効率及び回折波長を、ポリマー膜の膜
厚、積層数、屈折率差を変えることにより、任意に設定
することができ、極めて簡便で、応用範囲の広い回折格
子作製方法である。In the method of manufacturing a diffraction grating of the present invention for solving the above problems, there is provided a method of manufacturing a polymer layer having a difference in refractive index, which is laminated with at least some layers having different thicknesses. In the above, the spin coating method is used as the coating means, and the film thickness is controlled by changing the viscosity of the coating solution and the rotation speed of the spin coating.
Therefore, the diffraction efficiency and the diffraction wavelength can be arbitrarily set by changing the film thickness of the polymer film, the number of laminated layers, and the difference in the refractive index. This is a very simple and wide-ranging diffraction grating manufacturing method.
【０００６】一般に、回折格子の格子間ピッチｄと回折
波長λは、入射角をθ、屈折率をｎとすると、 ２ｎｄｓｉｎθ＝ｍλ（ｍ＝１，２，３・・・） で与えられる。したがって、屈折率の高い層と低い層を
交互に積層して回折格子を構成し、その際、格子間ピッ
チｄの異なる層を数種類作製することにより、種々の波
長の光を回折できるようにすることができ、１つの回折
格子の回折波長範囲を広げることができる。Generally, the inter-grating pitch d of the diffraction grating and the diffraction wavelength λ are given by 2ndsin θ = mλ (m = 1, 2, 3 ...) When the incident angle is θ and the refractive index is n. Therefore, a layer having a high refractive index and a layer having a low refractive index are alternately laminated to form a diffraction grating, and at this time, by producing several types of layers having different inter-grating pitches d, it is possible to diffract light of various wavelengths. It is possible to widen the diffraction wavelength range of one diffraction grating.
【０００７】具体的な例について説明すると、平均屈折
率が１．５の場合、図１に断面図を示すように、例え
ば、０．１３μｍの高屈折率ポリマー層１（ｎd ＝１．
５９）に同じ厚みの低屈折率ポリマー層２（ｎd ＝１．
４１）を５組積層後、０．１４μｍの高屈折率ポリマー
層３（ｎd ＝１．５９）に同じ厚みの低屈折率ポリマー
層４（ｎd ＝１．４１）を５組積層し、厚みを順次大き
くして同様に繰り返し積層し、０．６７μｍの高屈折率
ポリマー層５（ｎd ＝１．５９）と同じ厚みの低屈折率
ポリマー層６（ｎd ＝１．４１）を５組積層して回折格
子１０を作製する。このフィルム１０の膜厚は、次の計
算から７０μｍとなる。Explaining a concrete example, when the average refractive index is 1.5, as shown in the sectional view of FIG. 1, for example, a high refractive index polymer layer 1 (n d = 1.
59) with a low refractive index polymer layer 2 (n d = 1.
41), 5 layers of 0.14 μm high refractive index polymer layer 3 (n d = 1.59) and 5 layers of low refractive index polymer layer 4 (n d = 1.41) having the same thickness are laminated. The thickness is sequentially increased, and the layers are repeatedly laminated in the same manner, and a high refractive index polymer layer 5 (n d = 1.59) having a thickness of 0.67 μm and a low refractive index polymer layer 6 (n d = 1.41) having the same thickness 5 are formed. The diffraction grating 10 is manufactured by stacking and stacking. The film thickness of this film 10 is 70 μm from the following calculation.
【０００８】 ０．１３×２×５＋０．１４×２×５＋・・・・＋０．６７×２×５ ＝７０μｍ この回折格子１０により、図２に示すように、第１の厚
さの層の組１、２により、８００ｎｍの波長の光を回折
し、順次増加される厚さの層の組により、８４０ｎｍ、
・・・・・、２０００ｎｍの幅広い光を回折するように
なる。ここで、ポリマー層の膜厚、積層数、屈折率差を
変えることにより、回折波長範囲、回折効率を任意に設
定することができる。0.13 × 2 × 5 + 0.14 × 2 × 5 + ... + 0.67 × 2 × 5 = 70 μm This diffraction grating 10 allows the layer of the first thickness to be formed as shown in FIG. Set 1, 2 diffracts light with a wavelength of 800 nm, and sets of successively increasing thicknesses provide 840 nm,
・ ・ ・ Diffracts a wide range of light of 2000 nm. Here, the diffraction wavelength range and the diffraction efficiency can be arbitrarily set by changing the film thickness of the polymer layer, the number of laminated layers, and the refractive index difference.
【０００９】このような層構成を得る手段としては、ロ
ールコーティング、グラビアコーティング、ダイコーテ
ィング、スプレーコーティング、ブレードコーティン
グ、スピンコーティング等種々のコーティング法が考え
られるが、何れのコーティング法も本発明に適用でき
る。これらの中、特に好ましいコーティング方法は、膜
厚の制御が０．０１μｍの単位でも厳密に行うことがで
きるスピンコーティング法である。Various coating methods such as roll coating, gravure coating, die coating, spray coating, blade coating and spin coating are conceivable as means for obtaining such a layer structure, and any coating method is applicable to the present invention. it can. Among these, a particularly preferable coating method is a spin coating method which can strictly control the film thickness even in the unit of 0.01 μm.
【００１０】また、本発明においてポリマー層となるポ
リマーは、ポリマー溶液として、又は、電離放射線硬化
型材料溶液として、スピンコーティング法で塗布するの
が望ましい。In the present invention, the polymer to be the polymer layer is preferably applied by spin coating as a polymer solution or an ionizing radiation curable material solution.
【００１１】まず、ポリマー溶液として塗布する場合に
ついて以下に述べる。ポリマー溶液として塗布する場合
は、次に示すいくつかの条件を満たすことが必要となっ
てくる。 ポリマーは、スピンコート後、加熱乾燥できる溶媒に
可溶である。 ２つのポリマーの屈折率が相互に異なる。 １つのポリマーが溶けている溶媒が、他のポリマー膜
を溶解しない。 これらの条件を満たすポリマーの組み合わせは、ポリマ
ーハンドブック等を用いて、屈折率、溶媒、非溶媒を調
べることにより決定できる。First, the case of coating as a polymer solution will be described below. When applying as a polymer solution, it becomes necessary to satisfy the following several conditions. The polymer is soluble in a solvent that can be dried by heating after spin coating. The refractive indices of the two polymers are different from each other. A solvent in which one polymer is dissolved does not dissolve the other polymer film. The combination of polymers satisfying these conditions can be determined by examining the refractive index, the solvent, and the non-solvent using a polymer handbook or the like.
【００１２】本発明の製造方法に使用できるポリマーと
しては、例えば、 ポリビニリデンフルオライド 1.42 ポリジメチルシリレン（ポリジメチルシロキサン） 1.43 ポリトリフルオロエチルメタクリレート 1.437 ポリオキシプロピレン 1.4495 ポリビニルイソブチルエーテル 1.4507 ポリビニルエチルエーテル 1.4540 ポリオキシエチレン 1.4563 ポリビニルブチルエーテル 1.4563 ポリビニルペンチルエーテル 1.4581 ポリビニルヘキシルエーテル 1.4591 ポリ（４−メチル−１−ペンテン） 1.459 -1.465 セルロースアセテートブチレート 1.46 -1.49 ポリ（４−フルオロ−２−トリフルオロメチルスチレン） 1.46 ポリビニルオクチルエーテル 1.4613 ポリ（ビニル２−エチルヘキシルエーテル） 1.4626 ポリビニルデシルエーテル 1.4628 ポリ（２−メトキシエチルアクリレート） 1.463 ポリブチルアクリレート 1.4631 ポリブチルアクリレート 1.466 ポリ（ｔ−ブチルメタクリレート） 1.4638 ポリビニルドデシルエーテル 1.4640 ポリ（３−エトキシプロピルアクリレート） 1.465 ポリオキシカルボニルテトラメチレン 1.465 ポリビニルプロピオネート 1.4665 ポリビニルアセテート 1.4665 ポリビニルメチルエーテル 1.467 ポリエチルアクリレート 1.4685 エチレン−ビニルアセテート共重合体 1.47 -1.50 （８０％−２０％ビニルアセテート） セルロースプロピオネート 1.47 -1.49 セルロースアセテートプロピオネート 1.47 ベンジルセルロース 1.47 -1.58 フェノール−フォルムアルデヒド樹脂 1.47 -1.70 セルローストリアセテート 1.47 -1.48 ポリビニルメチルエーテル（アイソタクティック） 1.4700 ポリ（３−メトキシプロピルアクリレート） 1.471 ポリ（２−エトキシエチルアクリレート） 1.471 ポリメチルアクリレート 1.472 -1.480 ポリイソプロピルメタクリレート 1.4728 ポリ（１−デセン） 1.4730 ポリプロピレン（アタクティック，密度0.8575ｇ／ｃｍ3 ） 1.4735 ポリ（ビニルｓｅｃ−ブチルエーテル）（アイソタクティック） 1.4740 ポリドデシルメタクリレート 1.4740 ポリオキシエチレンオキシスクシノイル 1.4744 （ポリエチレンスクシネート） ポリテトラデシルメタクリレート 1.4746 エチレン−プロピレン共重合体（ＥＰＲ−ゴム） 1.4748-1.48 ポリヘキサデシルメタクリレート 1.4750 ポリビニルフォルメート 1.4757 ポリ（２−フルオロエチルメタクリレート） 1.4768 ポリイソブチルメタクリレート 1.477 エチルセルロース 1.479 ポリビニルアセタール 1.48 -1.50 セルロースアセテート 1.48 -1.50 セルローストリプロピオネート 1.48 -1.49 ポリオキシメチレン 1.48 ポリビニルブチラール 1.48 -1.49 ポリ（ｎ−ヘキシルメタクリレート） 1.4813 ポリ（ｎ−ブチルメタクリレート） 1.483 ポリエチリデンジメタクリレート 1.4831 ポリ（２−エトキシエチルメタクリレート） 1.4833 ポリオキシエチレンオキシマレオイル 1.4840 （ポリエチレンマレート） ポリ（ｎ−プロピルメタクリレート） 1.484 ポリ（３，３，５−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート） 1.485 ポリエチルメタクリレート 1.485 ポリ（２−ニトロ−２−メチルプロピルメタクリレート） 1.4868 ポリトリエチルカルビニルメタクリレート 1.4889 ポリ（１，１−ジエチルプロピルメタクリレート） 1.4889 ポリメチルメタクリレート 1.4893 1.490 ポリ（２−デシル−１，３−ブタジエン） 1.4899 ポリビニルアルコール 1.49 -1.53 ポリエチルグリコレートメタクリレート 1.4903 ポリ（３−メチルシクロヘキシルメタクリレート） 1.4947 ポリ（シクロヘキシルα−エトキシアクリレート） 1.4969 メチルセルロース（低粘度） 1.497 ポリ（４−メチルシクロヘキシルメタクリレート） 1.4975 ポリデカメチレングリコールジメタクリレート 1.4990 ポリウレタン 1.5 -1.6 ポリ（１，２−ブタジエン） 1.5000 ポリビニルフォルマール 1.50 ポリ（２−ブロモ−４−トリフルオロメチルスチレン） 1.5 セルロースニトレート 1.50 -1.514 ポリ（ｓｅｃ−ブチルα−クロロアクリレート） 1.500 ポリ（２−ヘプチル−１，３−ブタジエン） 1.5000 ポリ（エチルα−クロロアクリレート） 1.502 ポリ（２−イソプロピル−１，３ブタジエン） 1.5028 ポリ（２−メチルシクロヘキシルメタクリレート） 1.5028 ポリプロピレン（密度0.9075ｇ／ｃｍ3 ） 1.5030 ポリイソブテン 1.505 -1.51 ポリボルニルメタクリレート 1.5059 ポリ（２−ｔ−ブチル−１，３−ブタジエン） 1.5060 ポリエチレングリコールジメタクリレート 1.5063 ポリシクロヘキシルメタクリレート 1.5066 ポリ（シクロヘキサンジオール−１，４−ジメタクリレート） 1.5067 ブチルゴム（未加硫） 1.508 ポリテトラハイドロフルフリルメタクリレート） 1.5096 グッタペルカ（β） 1.509 ポリエチレンアイオノマー 1.51 ポリオキシエチレン（高分子量） 1.51 -1.54 ポリエチレン（密度0.914 ｇ／ｃｍ3 ） 1.51 （密度0.94-0.945ｇ／ｃｍ3 ） 1.52 -1.53 （密度0.965 ｇ／ｃｍ3 ） 1.545 ポリ（１−メチルシクロヘキシルメタクリレート） 1.5111 ポリ（２−ヒドロキシエチルメタクリレート） 1.5119 ポリビニルクロロアセテート 1.512 ポリブテン（アイソタクティック） 1.5125 ポリビニルメタクリレート 1.5129 ポリ（Ｎ−ブチル−メタクリルアミド） 1.5135 グッタペルカ（α） 1.514 テルペン樹脂 1.515 ポリ（１，３−ブタジエン） 1.5154 セラック 1.51 -1.53 ポリ（メチルα−クロロアクリレート） 1.517 ポリ（２−クロロエチルメタクリレート） 1.517 ポリ（２−ジエチルアミノエチルメタクリレート） 1.5174 ポリ（２−クロロシクロヘキシルメタクリレート） 1.5179 ポリ（１，３−ブタジエン）（３５％ｃｉｓ；５６％ｔｒａｎｓ 1.5180 ；７％１，２−ｃｏｎｔｅｔ） 天然ゴム 1.519 -1.52 ポリアリルメタクリレート 1.5196 ポリビニルクロライド＋４０％ジオクチルフタテート 1.52 ポリアクリロニトリル 1.52 1.5187 ポリメタクリロニトリル 1.52 ポリ（１，３−ブタジエン）（ｓｉｃ型リッチ） 1.52 ブタジエン−アクリロニトリル共重合体 1.52 ポリメチルイソプロペニルケトン 1.5200 ポリイソプレン 1.521 ポリエステル樹脂 リジッド（約５０％スチレン） 1.523 -1.54 ポリ（Ｎ−（２−メトキシエチル）メタクリルアミド） 1.5246 ポリ（２，３−ジメチルブタジエン）（メチルゴム） 1.525 ビニルクロライド−ビニルアセテート共重合体（95/5-90/10） 1.525 -1.535 ポリアクリックアシド 1.527 ポリ（１，３−ジクロロプロピルメタクリレート） 1.5270 ポリ（２−クロロ−１−（クロロメチル）エチルメタクリレート） 1.5270 ポリアクロレイン 1.529 ポリ（１−ビニル−２−ピロリドン） 1.53 塩酸化ゴム 1.53 -1.55 ナイロン６；ナイロン６，６；ナイロン６，１０（成型体） 1.53 （ナイロン−６−ファイバ：1.515 横断方向 1.565 ファイバ方向） ブタジエン−スチレン共重合体（約３０％スチレン） 1.53 ブロック共重合体 ポリ（シクロヘキシルα−クロロアクリレート） 1.532 ポリ（２−クロロエチルα−クロロアクリレート） 1.533 ブタジエン−スチレン共重合体（約７５／２５） 1.535 ポリ（２−アミノエチルメタクリレート） 1.537 ポリフルフリルメタクリレート 1.5381 プロテイン 1.539 -1.541 ポリブチルメルカプチルメタクリレート 1.5390 ポリ（１−フェニル−ｎ−アミルメタクリレート） 1.5396 ポリ（Ｎ−メチル−メタクリルアミド） 1.5398 セルロース 1.54 ポリビニルクロライド 1.54 -1.55 ウレアフォルムアルデヒド樹脂 1.54 -1.56 ポリ（ｓｅｃ−ブチルα−ブロモアクリレート） 1.542 ポリ（シクロヘキシルα−ブロモアクリレート） 1.542 ポリ（２−ブロモエチルメタクリレート） 1.5426 ポリジヒドロアビエチックアシド 1.544 ポリアビエチックアシド 1.546 ポリエチルメルカプチルメタクリレート 1.547 ポリ（Ｎ−アリルメタクリルアミド） 1.5476 ポリ（１−フェニルエチルメタクリレート） 1.5487 ポリビニルフラン 1.55 ポリ（２−ビニルテトラヒドロフラン） 1.55 ポリ（ビニルクロライド）＋４０％トリクレジルフォスフェート 1.55 エポキシ樹脂 1.55 -1.60 ポリ（ｐ−メトキシベンジルメタクリレート） 1.552 ポリイソプロピルメタクリレート 1.552 ポリ（ｐ−イソプロピルスチレン） 1.554 ポリクロロプレン 1.554 -1.558 ポリ（オキシエチレン−α−ベンゾエート−ω−メタクリレート） 1.555 ポリ（ｐ，ｐ’−キシリレニルジメタクリレート） 1.5559 ポリ（１−フェニルアリルメタクリレート） 1.5573 ポリ（ｐ−シクロヘキシルフェニルメタクリレート） 1.5575 ポリ（２−フェニルエチルメタクリレート） 1.5592 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレン−１−プロピル 1.5602 −ブチリデン−１，４−フェニレン） ポリ（１−（ｏ−クロロフェニル）エチルメタクリレート） 1.5624 スチレン−無水マレイン酸共重合体 1.564 ポリ（１−フェニルシクロヘキシルメタクリレート） 1.5645 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレン−１，３ 1.5671 −ジメチル−ブチリデン−１，４−フェニレン） ポリ（メチルα−ブロモアクリレート） 1.5672 ポリベンジルメタクリレート 1.5680 ポリ（２−（フェニルスルフォニル）エチルメタクリレート） 1.5682 ポリ（ｍ−クレジルメタクリレート） 1.5683 スチレン−アクリロニトリル共重合体（約７５／２５） 1.57 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレンイソブチリデン 1.5702 −１，４−フェニレン） ポリ（ｏ−メトキシフェニルメタクリレート） 1.5705 ポリフェニルメタクリレート 1.5706 ポリ（ｏ−クレジルメタクリレート） 1.5707 ポリジアリルフタレート 1.572 ポリ（２，３−ジブロモプロピルメタクリレート） 1.5739 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレン−１−メチル 1.5745 −ブチリデン−１，４−フェニレン） ポリ（オキシ−２，６−ジメチルフェニレン） 1.575 ポリオキシエチレンオキシテレフタロイル（アモルファス） 1.5750 （ポリエチレンテレフタレート） （結晶性ファイバ：1.51横断方向 1.64ファイバ方向） ポリビニルベンゾエート 1.5775 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレンブチリデン 1.5792 −１，４−フェニレン） ポリ（１，２−ジフェニルエチルメタクリレート） 1.5816 ポリ（ｏ−クロロベンジルメタクリレート） 1.5823 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレン−ｓｅｃ− 1.5827 ブチリデン−１，４−フェニレン） ポリオキシペンタエリスリトロキシフタロイル） 1.584 ポリ（ｍ−ニトロベンジルメタクリレート） 1.5845 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレンイソプロピリデン 1.5850 −１，４−フェニレン） ポリ（Ｎ−（２−フェニルエチル）メタクリルアミド） 1.5857 ポリ（４−メトキシ−２−メチルスチレン） 1.5868 ポリ（ｏ−メチルスチレン） 1.5874 ポリスチレン 1.59 -1.592 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレンシクロヘキシリデン 1.5900 −１，４−フェニレン） ポリ（ｏ−メトキシスチレン） 1.5932 ポリジフェニルメチルメタクリレート 1.5933 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレンエチリデン 1.5937 −１，４−フェニレン） ポリ（ｐ−ブロモフェニルメタクリレート） 1.5964 ポリ（Ｎ−ベンジルメタクリルアミド） 1.5965 ポリ（ｐ−メトキシスチレン） 1.5967 硬化ゴム（３２％Ｓ） 1.6 ポリビニリデンクロライド 1.60 -1.63 ポリスルフィド（“Ｔｈｉｏｋｏｌ”） 1.6 -1.7 ポリ（ｏ−クロロジフェニルメチルメタクリレート） 1.6040 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−（２，６−ジクロロ） 1.6056 フェニレン−イソプロピリデン−１，４− （２，６−ジクロロ）フェニレン） ポリ（オキシカルボニロキシビス（１，４−（３，５− 1.6056 ジクロロフェニレン））） ポリペンタクロロフェニルメタクリレート 1.608 ポリ（ｏ−クロロスチレン） 1.6098 ポリ（フェニルα−ブロモアクリレート） 1.612 ポリ（ｐ−ジビニルベンゼン） 1.6150 ポリ（Ｎ−ビニルフタルイミド） 1.6200 ポリ（２，６−ジクロロスチレン） 1.6248 ポリ（β−ナフチルメタクリレート） 1.6298 ポリ（α−ナフチルカルビニルメタクリレート） 1.63 ポリサルホン 1.633 ポリ（２−ビニルチオフェン） 1.6376 ポリ（α−ナフチルメタクリレート） 1.6410 ポリ（オキシカルボニロキシ−１，４−フェニレンジフェニル 1.6539 −メチレン−１，４−フェニレン） ポリビニルフェニルスルフィド 1.6568 ブチルフェノールフォルムアルデヒド樹脂 1.66 ウレア−チオウレア−フォルムアルデヒド樹脂 1.660 ポリビニルナフタレン 1.6818 ポリビニルカルバゾール 1.683 ナフタレン−フォルムアルデヒド樹脂 1.696 フェノール−フォルムアルデヒド樹脂 1.70 ポリペンタブロモフェニルメタクリレート 1.71 等があげられる。なお、以上には、ｄ線の屈折率
（ｎd ）も併せて示してある。Examples of the polymer which can be used in the production method of the present invention include polyvinylidene fluoride 1.42 polydimethylsilylene (polydimethylsiloxane) 1.43 polytrifluoroethyl methacrylate 1.437 polyoxypropylene 1.4495 polyvinyl isobutyl ether 1.4507 polyvinyl ethyl ether 1.4540 poly. Oxyethylene 1.4563 Polyvinyl butyl ether 1.4563 Polyvinyl pentyl ether 1.4581 Polyvinyl hexyl ether 1.4591 Poly (4-methyl-1-pentene) 1.459 -1.465 Cellulose acetate butyrate 1.46 -1.49 Poly (4-fluoro-2-trifluoromethylstyrene) 1.46 Polyvinyl octyl Ether 1.4613 Poly (vinyl 2-ethylhexyl ether) 1.4626 Polyvinyl decyl ether 1.4628 Poly (2-methoxyethyl acrylate) ) 1.463 Polybutyl acrylate 1.4631 Polybutyl acrylate 1.466 Poly (t-butyl methacrylate) 1.4638 Polyvinyl dodecyl ether 1.4640 Poly (3-ethoxypropyl acrylate) 1.465 Polyoxycarbonyltetramethylene 1.465 Polyvinyl propionate 1.4665 Polyvinyl acetate 1.4665 Polyvinyl methyl ether 1.467 Poly Ethyl acrylate 1.4685 Ethylene-vinyl acetate copolymer 1.47 -1.50 (80% -20% vinyl acetate) Cellulose propionate 1.47 -1.49 Cellulose acetate propionate 1.47 Benzyl cellulose 1.47 -1.58 Phenol-formaldehyde resin 1.47 -1.70 Cellulose triacetate 1.47 -1.48 Polyvinyl methyl ether (isotactic) 1.4700 Poly (3-methoxypropyl acrylate) 1.471 Poly (2-ethoxyethyl acrylate) 1.471 Polymethyl acrylate 1.472 -1.480 Polyisopropyl methacrylate 1.4728 Poly (1-decene) 1.4730 Polypropylene (atactic, density 0.8575 g / cm 3 ) 1.4735 Poly (vinyl sec-butyl ether) (isotactic) ) 1.4740 Polydodecyl methacrylate 1.4740 Polyoxyethylene oxysuccinoyl 1.4744 (Polyethylene succinate) Polytetradecyl methacrylate 1.4746 Ethylene-propylene copolymer (EPR-rubber) 1.4748-1.48 Polyhexadecyl methacrylate 1.4750 Polyvinyl formate 1.4757 Poly ( 2-Fluoroethylmethacrylate) 1.4768 Polyisobutylmethacrylate 1.477 Ethylcellulose 1.479 Polyvinyl acetal 1.48 -1.50 Cellulose acetate 1.48 -1.50 Cellulos Sodium propionate 1.48 -1.49 Polyoxymethylene 1.48 Polyvinyl butyral 1.48 -1.49 Poly (n-hexyl methacrylate) 1.4813 Poly (n-butyl methacrylate) 1.483 Polyethylidene dimethacrylate 1.4831 Poly (2-ethoxyethyl methacrylate) 1.4833 Polyoxyethylene Oxymale oil 1.4840 (Polyethylene maleate) Poly (n-propyl methacrylate) 1.484 Poly (3,3,5-trimethylcyclohexyl methacrylate) 1.485 Polyethyl methacrylate 1.485 Poly (2-nitro-2-methylpropyl methacrylate) 1.4868 Polytriethylcarb Vinyl methacrylate 1.4889 Poly (1,1-diethylpropyl methacrylate) 1.4889 Polymethyl methacrylate 1.4893 1.490 Poly (2-decyl-1,3-butadiene) 1.4899 Polyvinyl Alcohol 1.49 -1.53 Polyethyl glycolate methacrylate 1.4903 Poly (3-methylcyclohexyl methacrylate) 1.4947 Poly (cyclohexyl α-ethoxy acrylate) 1.4969 Methyl cellulose (low viscosity) 1.497 Poly (4-methylcyclohexyl methacrylate) 1.4975 Polydecamethylene glycol dimethacrylate 1.4990 Polyurethane 1.5 -1.6 Poly (1,2-butadiene) 1.5000 Polyvinyl formal 1.50 Poly (2-bromo-4-trifluoromethylstyrene) 1.5 Cellulose nitrate 1.50 -1.514 Poly (sec-butyl α-chloroacrylate) 1.500 Poly (2-heptyl-1,3-butadiene) 1.5000 poly (ethyl α-chloroacrylate) 1.502 poly (2-isopropyl-1,3 butadiene) 1.5028 poly (2-methylcyclohexyl meta) Relate) 1.5028 polypropylene (density 0.9075g / cm 3) 1.5030 polyisobutene 1.505 -1.51 poly isobornyl methacrylate 1.5059 poly (2-t-butyl-1,3-butadiene) 1.5060 Polyethylene glycol dimethacrylate 1.5063 poly cyclohexyl methacrylate 1.5066 poly (cyclohexanediol -1,4-Dimethacrylate) 1.5067 Butyl rubber (unvulcanized) 1.508 Polytetrahydrofurfuryl methacrylate) 1.5096 Guttapercha (β) 1.509 Polyethylene ionomer 1.51 Polyoxyethylene (high molecular weight) 1.51 -1.54 Polyethylene (density 0.914 g / cm 3 ) 1.51 (density of 0.94-0.945g / cm 3) 1.52 -1.53 (density 0.965 g / cm 3) 1.545 poly (1-methylcyclohexyl methacrylate) 1.5111 poly (2-hydroxyethyl methacrylate) 1.5119 polyvinyl Luchloroacetate 1.512 Polybutene (isotactic) 1.5125 Polyvinyl methacrylate 1.5129 Poly (N-butyl-methacrylamide) 1.5135 Guttaperca (α) 1.514 Terpene resin 1.515 Poly (1,3-butadiene) 1.5154 Shellac 1.51 -1.53 Poly (methyl α-) Chloroacrylate) 1.517 Poly (2-chloroethylmethacrylate) 1.517 Poly (2-diethylaminoethylmethacrylate) 1.5174 Poly (2-chlorocyclohexylmethacrylate) 1.5179 Poly (1,3-butadiene) (35% cis; 56% trans 1.5180; 7 % 1,2-contet) Natural rubber 1.519 -1.52 Polyallyl methacrylate 1.5196 Polyvinyl chloride + 40% Dioctyl phthalate 1.52 Polyacrylonitrile 1.52 1.5187 Polymethacrylonitrile 1.52 Poly (1,3-butane) En) (sic type rich) 1.52 butadiene-acrylonitrile copolymer 1.52 polymethylisopropenyl ketone 1.5200 polyisoprene 1.521 polyester resin rigid (about 50% styrene) 1.523 -1.54 poly (N- (2-methoxyethyl) methacrylamide) 1.5246 Poly (2,3-dimethylbutadiene) (methyl rubber) 1.525 Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer (95 / 5-90 / 10) 1.525 -1.535 Polyacyl acid 1.527 Poly (1,3-dichloropropyl methacrylate) 1.5270 Poly ( 2-chloro-1- (chloromethyl) ethylmethacrylate) 1.5270 polyacrolein 1.529 poly (1-vinyl-2-pyrrolidone) 1.53 chlorinated rubber 1.53-1.55 nylon 6; nylon 6,6; nylon 6,10 (molded body) 1.53 (nylon-6-fiber: 1.515 transverse direction 1.565 fiber Fiber direction) Butadiene-styrene copolymer (about 30% styrene) 1.53 Block copolymer Poly (cyclohexyl α-chloroacrylate) 1.532 Poly (2-chloroethyl α-chloroacrylate) 1.533 Butadiene-styrene copolymer (about 75 / 25) 1.535 Poly (2-aminoethyl methacrylate) 1.537 Polyfurfuryl methacrylate 1.5381 Protein 1.539 -1.541 Polybutyl mercaptyl methacrylate 1.5390 Poly (1-phenyl-n-amyl methacrylate) 1.5396 Poly (N-methyl-methacrylamide) 1.5398 Cellulose 1.54 Polyvinyl chloride 1.54-1.55 Ureaformaldehyde resin 1.54-1.56 Poly (sec-butyl α-bromoacrylate) 1.542 Poly (cyclohexyl α-bromoacrylate) 1.542 Poly (2-bromoethylmethacrylate) ) 1.5426 Polydihydroabietic acid 1.544 Polyabietic acid 1.546 Polyethyl mercaptyl methacrylate 1.547 Poly (N-allyl methacrylamide) 1.5476 Poly (1-phenylethyl methacrylate) 1.5487 Polyvinylfuran 1.55 Poly (2-vinyltetrahydrofuran) 1.55 Poly ( Vinyl chloride) + 40% tricresyl phosphate 1.55 Epoxy resin 1.55 -1.60 Poly (p-methoxybenzyl methacrylate) 1.552 Polyisopropyl methacrylate 1.552 Poly (p-isopropylstyrene) 1.554 Polychloroprene 1.554 -1.558 Poly (oxyethylene-α-benzoate -Ω-methacrylate) 1.555 poly (p, p'-xylylenyl dimethacrylate) 1.5559 poly (1-phenylallyl methacrylate) 1.5573 poly (p-cyclohexylphene) Nyl methacrylate) 1.5575 Poly (2-phenylethyl methacrylate) 1.5592 Poly (oxycarbonyloxy-1,4-phenylene-1-propyl 1.5602-butylidene-1,4-phenylene) poly (1- (o-chlorophenyl) ethyl methacrylate ) 1.5624 Styrene-maleic anhydride copolymer 1.564 Poly (1-phenylcyclohexyl methacrylate) 1.5645 Poly (oxycarbonyloxy-1,4-phenylene-1,3 1.5671-dimethyl-butylidene-1,4-phenylene) poly ( Methyl α-bromo acrylate) 1.5672 Polybenzyl methacrylate 1.5680 Poly (2- (phenylsulfonyl) ethyl methacrylate) 1.5682 Poly (m-cresyl methacrylate) 1.5683 Styrene-acrylonitrile copolymer (about 75/25) 1.57 Poly (oxycal) Bonyloxy-1,4-phenylene isobutylidene 1.5702-1,4-phenylene) poly (o-methoxyphenylmethacrylate) 1.5705 polyphenylmethacrylate 1.5706 poly (o-cresylmethacrylate) 1.5707 polydiallylphthalate 1.572 poly (2,3-) Dibromopropyl methacrylate) 1.5739 Poly (oxycarbonyloxy-1,4-phenylene-1-methyl 1.5745-Butylidene-1,4-phenylene) Poly (oxy-2,6-dimethylphenylene) 1.575 Polyoxyethylene oxyterephthaloyl (Amorphous) 1.5750 (Polyethylene terephthalate) (Crystalline fiber: 1.51 Transverse direction 1.64 Fiber direction) Polyvinyl benzoate 1.5775 Poly (oxycarbonyloxy-1,4-phenylene butylidene 1.5792-1,4-phenylene) Poly ( 1,2-diphenylethylmethacrylate) 1.5816 poly (o-chlorobenzylmethacrylate) 1.5823 poly (oxycarbonyloxy-1,4-phenylene-sec-1.5827 butylidene-1,4-phenylene) polyoxypentaerythritoloxyphthaloyl ) 1.584 Poly (m-nitrobenzyl methacrylate) 1.5845 Poly (oxycarbonyloxy-1,4-phenylene isopropylidene 1.5850-1,4-phenylene) Poly (N- (2-phenylethyl) methacrylamide) 1.5857 Poly (4 -Methoxy-2-methylstyrene) 1.5868 Poly (o-methylstyrene) 1.5874 Polystyrene 1.59 -1.592 Poly (oxycarbonyloxy-1,4-phenylenecyclohexylidene 1.5900-1,4-phenylene) Poly (o-methoxystyrene) ) 1.5932 polydiphenylmethyl Methacrylate 1.5933 Poly (oxycarbonyloxy-1,4-phenylene ethylidene 1.5937-1,4-phenylene) Poly (p-bromophenyl methacrylate) 1.5964 Poly (N-benzylmethacrylamide) 1.5965 Poly (p-methoxystyrene) 1.5967 Curing Rubber (32% S) 1.6 Polyvinylidene chloride 1.60 -1.63 Polysulfide ("Thiokol") 1.6 -1.7 Poly (o-chlorodiphenylmethylmethacrylate) 1.6040 Poly (oxycarbonyloxy-1,4- (2,6-dichloro) 1.6056 phenylene-isopropylidene-1,4- (2,6-dichloro) phenylene) poly (oxycarbonyloxybis (1,4- (3,5-1.6056 dichlorophenylene))) polypentachlorophenyl methacrylate 1.608 poly (o -Chlorostyrene) 1.6098 poly Phenyl α-bromoacrylate) 1.612 Poly (p-divinylbenzene) 1.6150 Poly (N-vinylphthalimide) 1.6200 Poly (2,6-dichlorostyrene) 1.6248 Poly (β-naphthylmethacrylate) 1.6298 Poly (α-naphthylcarbylmethacrylate) 1.63 Polysulfone 1.633 Poly (2-vinylthiophene) 1.6376 Poly (α-naphthylmethacrylate) 1.6410 Poly (oxycarbonyloxy-1,4-phenylenediphenyl) 1.6539-Methylene-1,4-phenylene) Polyvinylphenyl sulfide 1.6568 Butylphenolformaldehyde resin 1.66 Urea-thiourea-formaldehyde resin 1.660 Polyvinylnaphthalene 1.6818 Polyvinylcarbazole 1.683 Naphthalene-formaldehyde resin 1.696 Phenol-formaldehyde resin 1.70 Poly Printer-bromophenyl methacrylate 1.71, and the like. The refractive index (n d ) of the d-line is also shown above.
【００１３】また、代表的溶媒としては、メタノール、
エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ア
ミルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチ
ルイソブチルケトン、エチレンクロライド、クロロホル
ム、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキサン、ヘプタ
ン、シクロヘキサン、等の比較的沸点の低い有機溶媒や
水があげられる。Further, as a typical solvent, methanol,
Examples include organic solvents having relatively low boiling points such as ethanol, n-propanol, isopropanol, amyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethylene chloride, chloroform, benzene, toluene, xylene, hexane, heptane, and cyclohexane, and water. .
【００１４】電離放射線硬化型材料溶液として塗布する
場合については、以下のようである。電離放射線硬化型
材料としては、電子線硬化型樹脂及び紫外線硬化型樹脂
が有用であり、電子線硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂と
は、後者が光重合開始剤と増感剤を含有することを除い
て、成分的に同様なものであり、一般的には、皮膜形成
成分としてその構造中にラジカル重合性の活性基を有す
るポリマー、オリゴマー、モノマーを主成分とするもの
で、粘度では、２０００ｃｐｓ以下であることが望まし
い。このようなポリマー、オリゴマーとして、ウレタン
アクリレートやポリエステルアクリレートのような市販
品から容易に入手可能なものが本発明に適用可能であ
る。モノマーとしては、市販のアクリル酸又はメタクリ
ル酸誘導体等の電離放射線硬化型モノマーが本発明に適
用可能である。上記の硬化樹脂を紫外線硬化性樹脂とす
るためには、この中に光重合開始剤として、アセトフェ
ノン類、ベンゾフェノン、ミヒラーベンゾイルベンゾエ
ート、α−アミノキシムエステル、テトラメチルチウラ
ムモノサルファイド、チオキサントン類や、光増感剤と
して、ｎ−ブチルアミン、トリエチルアミン、トリ−ｎ
−ブチルホスフィン等を混合して用いることができる。The case of applying as an ionizing radiation curable material solution is as follows. As the ionizing radiation curable material, an electron beam curable resin and an ultraviolet curable resin are useful, and the electron beam curable resin and the ultraviolet curable resin are that the latter contains a photopolymerization initiator and a sensitizer. Except for, the composition is similar, generally, as a film-forming component, a polymer having a radically polymerizable active group in its structure, an oligomer, a monomer as a main component, in terms of viscosity, It is preferably 2000 cps or less. As such polymers and oligomers, those easily available from commercial products such as urethane acrylate and polyester acrylate are applicable to the present invention. As the monomer, an ionizing radiation curable monomer such as a commercially available acrylic acid or methacrylic acid derivative can be applied to the present invention. In order to make the curable resin an ultraviolet curable resin, as a photopolymerization initiator therein, acetophenones, benzophenone, Michler benzoyl benzoate, α-aminoxime ester, tetramethyl thiuram monosulfide, thioxanthones, or As a photosensitizer, n-butylamine, triethylamine, tri-n
-Butylphosphine etc. can be mixed and used.
【００１５】この場合、スピンコートにより上記材料を
所定の厚さに塗布した後、電離放射線を照射することに
より、ポリマー層を生成する。電離放射線照射方法とし
ては、従来の技術がそのまま適用でき、例えば電子線照
射の場合は、コックロフトワルトン型、バンデグラフ
型、共振変圧型、絶縁コア変圧器型、直線型、ダイナミ
トロン型、高周波型等の各種電子線加速機から放出され
る５０〜１，０００ＫｅＶ、好ましくは、１００〜３０
０ＫｅＶのエネルギーを有する電子線を、０．１〜１０
０Ｍｒａｄ．、好ましくは、１〜１０Ｍｒａｄ．照射す
ことにより硬化させることができ、また、紫外線照射の
場合は、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、カーボンアーク、
キセノンアーク、メタルハライドランプ等の光源から発
せられる紫外線を、０．１〜１０，０００ｍＪ／ｃ
ｍ2 、好ましくは、１０〜１，０００ｍＪ／ｃｍ2 照射
することにより硬化させることができる。In this case, the above material is applied to a predetermined thickness by spin coating and then irradiated with ionizing radiation to form a polymer layer. As the ionizing radiation irradiation method, the conventional technique can be applied as it is. For example, in the case of electron beam irradiation, Cockloft-Walton type, Van de Graaff type, resonance transformation type, insulating core transformer type, linear type, dynamitron type, high frequency type 50-1,000 KeV, preferably 100-30, emitted from various electron beam accelerators such as
An electron beam having an energy of 0 KeV is emitted from 0.1 to 10
0 Mrad. , Preferably 1-10 Mrad. It can be cured by irradiation, and in the case of ultraviolet irradiation, ultra high pressure mercury lamp, high pressure mercury lamp, carbon arc,
Ultraviolet rays emitted from a light source such as a xenon arc or metal halide lamp is 0.1 to 10,000 mJ / c.
It can be cured by irradiation with m 2 , preferably 10 to 1,000 mJ / cm 2 .
【００１６】一般に、スピンコーティング法では、コー
ティング膜厚ｈは、 ｈ＝Ｋμ0.36ω-0.50 （Ｅλ／Ｃp ）0.60 で与えられる。ここで、Ｋ：定数、μ：塗工剤粘度、
ω：スピンナーの角速度、Ｅ：相対蒸発速度、λ：蒸発
潜熱、Ｃp ：熱容量である。In general, in the spin coating method, the coating film thickness h is given by h = Kμ 0.36 ω -0.50 (Eλ / C p ) 0.60 . Here, K: constant, μ: coating agent viscosity,
ω: angular velocity of spinner, E: relative evaporation rate, λ: latent heat of vaporization, C p : heat capacity.
【００１７】したがって、ポリマー膜を所定の厚さに塗
布する条件は、予め、ポリマー溶液を所定の粘度と回転
数で塗布することにより膜厚と回転数の関係を求めてお
くことにより、決定することができる。Therefore, the conditions for applying the polymer film to a predetermined thickness are determined by previously applying the polymer solution at a predetermined viscosity and a predetermined number of revolutions to obtain the relationship between the film thickness and the number of revolutions. be able to.
【００１８】以上の説明から明らかなように、本発明の
回折格子の製造方法は、屈折率の異なる２種以上のポリ
マーからなる層を屈折率が相対的に高・低と繰り返すよ
うに、高屈折率ポリマー層と低屈折率ポリマー層を順に
コーティング法により積層して作製することを特徴とす
る製造方法である。As is clear from the above description, according to the method of manufacturing a diffraction grating of the present invention, a layer formed of two or more kinds of polymers having different refractive indexes has a high refractive index and a high refractive index is repeated. It is a manufacturing method characterized by producing by laminating a refractive index polymer layer and a low refractive index polymer layer in order by a coating method.
【００１９】この場合、ポリマー層の厚さを少なくとも
一部の層間で異なるように作製することが、広い波長範
囲の回折を行わせるために必要である。In this case, it is necessary to make the thicknesses of the polymer layers different in at least some of the layers in order to perform diffraction in a wide wavelength range.
【００２０】また、ポリマー層は、加熱乾燥可能で隣接
するポリマー層を溶解しない溶媒に溶解されたポリマー
溶液をコーティングすることにより作製するか、又は、
電離放射線の照射によりポリマー膜を形成できる電離放
射線硬化型の液体をコーティングすることにより作製す
る。Further, the polymer layer is prepared by coating a polymer solution dissolved in a solvent which can be dried by heating and does not dissolve the adjacent polymer layer, or
It is prepared by coating an ionizing radiation-curable liquid capable of forming a polymer film by irradiation with ionizing radiation.
【００２１】ポリマー溶液がはじき等により均一に塗布
し難い場合は、コロナ処理、オゾン処理等の表面処理を
行うことにより解決できる。When it is difficult to apply the polymer solution uniformly due to repellency or the like, it can be solved by surface treatment such as corona treatment and ozone treatment.
【００２２】なお、コーティング法としてスピンコーテ
ィングを用いるのが望ましい。It is desirable to use spin coating as the coating method.
【００２３】[0023]
【作用】本発明においては、屈折率の異なる２種以上の
ポリマーからなる層を屈折率が相対的に高・低と繰り返
すように、高屈折率ポリマー層と低屈折率ポリマー層を
順にコーティング法により積層して作製するので、層間
の厚さを異ならせて積層することにより、回折波長の広
い回折格子を容易に作製することができる。In the present invention, a high refractive index polymer layer and a low refractive index polymer layer are sequentially coated so that a layer composed of two or more kinds of polymers having different refractive indexes is repeated with relatively high and low refractive indexes. Since the layers are manufactured by laminating, the diffraction grating having a wide diffraction wavelength can be easily manufactured by laminating the layers with different thicknesses.
【００２４】[0024]
【実施例】以下、本発明の回折格子の製造方法の実施例
について説明する。 実施例１ 高屈折率ポリマー層としてポリスチレン（ＰＳｔ，ｎd
＝１．５９２）を、低屈折率ポリマー層としてポリヒド
ロキシエチルメタクリレート（ＰＨＥＭＡ，ｎd ＝１．
４６）を用いて、８００ｎｍ〜２０００ｎｍの波長の光
を回折するように、０．１２９μｍ〜０．３２７μｍの
間で０．０３３のピッチの膜厚で、各膜厚につき２０組
の屈折率高、低の層からなる多層ポリマー層を作製し
た。EXAMPLES Examples of the method for manufacturing a diffraction grating of the present invention will be described below. Example 1 Polystyrene (PSt, n d
= 1.592) as a low refractive index polymer layer and polyhydroxyethyl methacrylate (PHEMA, n d = 1.
46) is used to diffract light having a wavelength of 800 nm to 2000 nm, with a thickness of 0.033 pitch between 0.129 μm and 0.327 μm, and 20 sets of high refractive index for each thickness. A multi-layer polymer layer consisting of lower layers was prepared.
【００２５】ここで、ＰＳｔは分子量１０万の市販品
（デンカ社製）を５％のジオキサン溶液（粘度：１０．
０ｃｐｓ）として、ＰＨＥＭＡは分子量１０万の合成品
を７％のメタノール溶液（粘度：１２．３ｃｐｓ）とし
て塗布した。なお、ＰＨＥＭＡは、メタノール中モノマ
ー濃度３０％で、開始剤（Ｖ−６５：和光純薬工業社
製）を０．１％用いて、ラジカル重合することにより合
成した。Here, PSt is a commercially available product having a molecular weight of 100,000 (manufactured by Denka Corporation) in a 5% dioxane solution (viscosity: 10.
0 cps), PHEMA was prepared by applying a synthetic product having a molecular weight of 100,000 as a 7% methanol solution (viscosity: 12.3 cps). PHEMA was synthesized by radical polymerization with a monomer concentration of 30% in methanol and 0.1% of an initiator (V-65: manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.).
【００２６】各膜厚に対するＰＳｔ、ＰＨＥＭＡのスピ
ンコートの条件を下表に示す。The following table shows the spin coating conditions of PSt and PHEMA for each film thickness.
【００２７】 得られた回折格子の回折効率を、分光光度計（ＵＶ−３
６５：島津製作所社製）で測定したところ、８００ｎｍ
〜２０００ｎｍの範囲で平均で４８％の回折効率を持つ
ことが分かった。[0027] The diffraction efficiency of the obtained diffraction grating was measured by a spectrophotometer (UV-3
65: manufactured by Shimadzu Corporation), 800 nm
It was found that the average diffraction efficiency was 48% in the range of up to 2000 nm.
【００２８】実施例２ 高屈折率ポリマー層、低屈折率ポリマー層として、以下
に示す電離放射線硬化型組成物を使用した。Example 2 As the high refractive index polymer layer and the low refractive index polymer layer, the following ionizing radiation curable compositions were used.
【００２９】 高屈折率ポリマー層 ウレタンアクリレート（ＰＲ−２０２：三菱化成社製）・・・ ５０重量部 ２，４，５−トリブロモフェノールメタクリレート ・・・１５０重量部 （和光純薬工業社製） ジペンタエリスリトールペンタアクリレート ・・・ ５重量部 （サートマー３９９：サートマー社製） 粘度：１０ｃｐｓ，屈折率：１．５８ 低屈折率ポリマー層 ウレタンアクリレート（ＰＲ−２０２：三菱化成社製）・・・ ５０重量部 ２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリレート・・・１５０重量部 （ダイキン化成品販売社製） ジペンタエリスリトールペンタアクリレート ・・・ ５重量部 （サートマー３９９：サートマー社製） 粘度： ８ｃｐｓ，屈折率：１．４７ 各膜厚に対する高屈折率、低屈折率材のスピンコートの
条件を下表に示す。High Refractive Index Polymer Layer Urethane Acrylate (PR-202: Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 50 parts by weight 2,4,5-Tribromophenol methacrylate 150 parts by weight (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) Dipentaerythritol pentaacrylate: 5 parts by weight (Sartomer 399: manufactured by Sartomer) Viscosity: 10 cps, refractive index: 1.58 Low refractive index polymer layer Urethane acrylate (PR-202: manufactured by Mitsubishi Kasei) ... 50 Parts by weight 2,2,3,3-tetrafluoropropyl acrylate ... 150 parts by weight (manufactured by Daikin Chemicals Co., Ltd.) Dipentaerythritol pentaacrylate ... 5 parts by weight (Sartomer 399: manufactured by Sartomer) , Refractive index: 1.47 Spin coat of high and low refractive index materials for each film thickness Shows the conditions in the table below.
【００３０】 各層は、スピンコーティング後、電子線を５Ｍｒａｄ．
照射する（ＥＳＩ社製）ことにより硬化させ、ポリマー
層とした。各膜厚について、高屈折率層、低屈折率層を
交互に１０組ずつ積層し、回折格子を作製した。[0030] After spin coating, each layer was exposed to an electron beam of 5 Mrad.
Irradiation (manufactured by ESI Co., Ltd.) was carried out to cure and form a polymer layer. For each film thickness, 10 pairs of high refractive index layers and 10 low refractive index layers were alternately laminated to form a diffraction grating.
【００３１】得られた回折格子の回折効率を、分光光度
計（ＵＶ−３６５：島津製作所社製）で測定したとこ
ろ、８００ｎｍ〜２０００ｎｍの範囲で平均で５２％の
回折効率を持つことが分かった。The diffraction efficiency of the obtained diffraction grating was measured with a spectrophotometer (UV-365: manufactured by Shimadzu Corporation), and it was found that the diffraction efficiency was 52% on average in the range of 800 nm to 2000 nm. .
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の回折格子の製造方法によると、屈折率の異なる２種以
上のポリマーからなる層を屈折率が相対的に高・低と繰
り返すように、高屈折率ポリマー層と低屈折率ポリマー
層を順にコーティング法により積層して作製するので、
層間の厚さを異ならせて積層することにより、回折波長
の広い回折格子を容易に作製することができる。As is apparent from the above description, according to the method of manufacturing a diffraction grating of the present invention, a layer made of two or more kinds of polymers having different refractive indexes is repeated with relatively high and low refractive indexes. In addition, since a high refractive index polymer layer and a low refractive index polymer layer are laminated by a coating method in order,
By stacking layers with different thicknesses, it is possible to easily manufacture a diffraction grating having a wide diffraction wavelength.
【００３３】具体的には、回折波長範囲を例えば８００
ｎｍ〜２０００ｎｍにすることができ、この場合は、可
視光を透過し熱線を反射する良好な熱線反射膜となる。
この熱線反射膜を自動車や建物の窓に用いることによ
り、車内及び室内の温度の上昇を低減することができ
る。Specifically, the diffraction wavelength range is set to 800, for example.
The thickness can be set to nm to 2000 nm, and in this case, a good heat ray reflective film that transmits visible light and reflects heat rays is obtained.
By using this heat ray reflective film for a window of an automobile or a building, it is possible to reduce an increase in temperature inside the vehicle and in the room.
【００３４】また、このような熱線反射フィルム以外の
用途として、可視領域の特定波長の光を反射する液晶デ
ィスプレー等用のカラーフィルターや、紫外線カットフ
ィルム等にも応用可能である。As a use other than such a heat ray reflective film, the present invention can be applied to a color filter for a liquid crystal display or the like which reflects light of a specific wavelength in the visible region, an ultraviolet cut film and the like.
【図１】本発明の製造方法により製作された回折格子の
１つの具体例の積層断面図である。FIG. 1 is a laminated sectional view of one specific example of a diffraction grating manufactured by a manufacturing method of the present invention.
【図２】図１の回折格子の回折特性を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing diffraction characteristics of the diffraction grating of FIG.
１…膜厚０．１３μｍの高屈折率ポリマー層（ｎd ＝
１．５９） ２…膜厚０．１３μｍの低屈折率ポリマー層（ｎd ＝
１．４１） ３…膜厚０．１４μｍの高屈折率ポリマー層（ｎd ＝
１．５９） ４…膜厚０．１４μｍの低屈折率ポリマー層（ｎd ＝
１．４１） ５…膜厚０．６７μｍの高屈折率ポリマー層（ｎd ＝
１．５９） ６…膜厚０．６７μｍの低屈折率ポリマー層（ｎd ＝
１．４１） １０…回折格子（膜厚７０μｍ）1 ... High refractive index polymer layer (n d = 0.13 μm)
1.59) 2 ... Low refractive index polymer layer (n d = 0.13 μm)
1.41) 3 ... High refractive index polymer layer (n d = 0.14 μm)
1.59) 4 ... Low refractive index polymer layer (n d = 0.14 μm)
1.41) 5 ... High refractive index polymer layer (n d = 0.67 μm)
1.59) 6 ... low-refractive index polymer layers having a thickness of 0.67 .mu.m (n d =
1.41) 10 ... Diffraction grating (film thickness 70 μm)
Claims (5)
なる層を屈折率が相対的に高・低と繰り返すように、高
屈折率ポリマー層と低屈折率ポリマー層を順にコーティ
ング法により積層して作製することを特徴とする回折格
子の製造方法。1. A high-refractive-index polymer layer and a low-refractive-index polymer layer are sequentially laminated by a coating method so that a layer composed of two or more kinds of polymers having different refractive indexes is repeated with relatively high and low refractive indexes. A method of manufacturing a diffraction grating, which comprises:
間で異なるように作製し、広い波長範囲の回折ができる
ことを特徴とする請求項１記載の回折格子の製造方法。2. The method for producing a diffraction grating according to claim 1, wherein the polymer layers are made to have different thicknesses among at least some of the layers to enable diffraction in a wide wavelength range.
ポリマー層を溶解しない溶媒に溶解されたポリマー溶液
をコーティングすることにより作製することを特徴とす
る請求項１又は２記載の回折格子の製造方法。3. The production of a diffraction grating according to claim 1, wherein the polymer layer is produced by coating a polymer solution dissolved in a solvent which can be dried by heating and does not dissolve the adjacent polymer layer. Method.
ポリマー膜を形成できる電離放射線硬化型の液体をコー
ティングすることにより作製することを特徴とする請求
項１又は２記載の回折格子の製造方法。4. The method for producing a diffraction grating according to claim 1, wherein the polymer layer is produced by coating an ionizing radiation curable liquid capable of forming a polymer film by irradiation with ionizing radiation.
グを用いることを特徴とする請求項１から４の何れか１
項記載の回折格子の製造方法。5. The coating method according to claim 1, wherein spin coating is used.
A method of manufacturing a diffraction grating according to the item.
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