JPH0596816U - Confocal optical scanner - Google Patents

Confocal optical scanner

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JPH0596816U
JPH0596816U JP3640592U JP3640592U JPH0596816U JP H0596816 U JPH0596816 U JP H0596816U JP 3640592 U JP3640592 U JP 3640592U JP 3640592 U JP3640592 U JP 3640592U JP H0596816 U JPH0596816 U JP H0596816U
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由美子 又野
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 共焦点蛍光顕微鏡において,回転するピンホ
ール基板や調整用NDフィルタを着脱しなくても試料の
位置探しや合焦を可能にし,また微弱蛍光試料でも,半
共焦点の画像を得ることが可能な共焦点用光スキャナを
提供する。 【構成】 渦巻き状に多数のピンホールを配置したピン
ホールディスク112,各ピンホールにレーザ光を集束
するレンズアレイをもった集光ディスク112,試料3
からの反射光をフィルタ4,接眼レンズ5へ導くビーム
スプリッタ12,駆動モータ13から成る通常の共焦点
用光スキャナ10に対して,ビームスプリッタ141,
ミラー142,ミラー143から成る第2の分岐光学系
14を取り付け取り外し自在にしたもので,これを取り
付けると半共焦点の非スライス像を,また取り外すと共
焦点のスライス像が得られる。
(57) [Summary] (Modified) [Purpose] In a confocal fluorescence microscope, it is possible to search the position and focus of a sample without attaching or detaching a rotating pinhole substrate or an ND filter for adjustment, and a weak fluorescent sample. However, the confocal optical scanner that can obtain a semi-confocal image is provided. [Structure] Pinhole disk 112 having a large number of spirally arranged pinholes, condensing disk 112 having a lens array for focusing laser light on each pinhole, sample 3
The beam splitter 141 for the normal confocal optical scanner 10 including the filter 4, the beam splitter 12 that guides the reflected light to the eyepiece 5, and the drive motor 13.
The second branching optical system 14 including the mirror 142 and the mirror 143 is attached and detached so that a semi-confocal non-slice image can be obtained by attaching it and a confocal slice image can be obtained by detaching it.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、共焦点蛍光顕微鏡などに用いるピンホ−ル基板を走査する共焦点用 光スキャナに関し、特に試料の位置探しやピント合わせを容易にし、微弱蛍光測 定を可能とするものである。 The present invention relates to a confocal optical scanner that scans a pinhole substrate used for a confocal fluorescence microscope, etc., and particularly makes it easy to find the position of a sample and to focus on it, and enables weak fluorescence measurement.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior Art]

図2は本願出願人による共焦点用光スキャナの先行例であり、共焦点蛍光顕微 鏡に用いたものである。 図2において、1は共焦点用光スキャナであり、この共焦点用光スキャナ1は 、例えば、図3(イ)に示すガラス基板の片面に形成された複数のフレネルレン ズが、焦点位置を一画面分づつ半径方向にPr だけ順次ずらされて形成された集 光ディスク111と、図3(ロ)に示す基板に形成された複数のピンホ−ルが、 半径方向にPr(周方向にPθ)だけ順次ずらされて形成されたピンホ−ルディ スク112と、集光ディスク111とピンホ−ルディスク112をフレネルレン ズの焦点位置にそれぞれピンホ−ルが配置されるように連結するドラム113か ら成るピンホ−ル基板11と、集光ディスク111とピンホ−ルディスク112 の間に設置されたビ−ムスプリッタ12と、ピンホ−ル基板11を一定速度で回 転するモ−タ13で構成される。2は対物レンズであり、ピンホ−ルからの出射 光を試料3に照射すると共に、試料3からの戻り光が、再びピンホ−ルに入射す る位置に設置されている。4はフィルタ、5は接眼レンズである。FIG. 2 is a prior art example of a confocal optical scanner by the applicant of the present application, which is used for a confocal fluorescence microscope. In FIG. 2, reference numeral 1 denotes a confocal optical scanner. In this confocal optical scanner 1, for example, a plurality of Fresnel lenses formed on one surface of a glass substrate shown in FIG. A plurality of pinholes formed on the substrate shown in FIG. 3B and a collecting optical disk 111 formed by sequentially shifting the screen in the radial direction by Pr and P r in the radial direction (Pθ in the circumferential direction). A pinhole disk 112, which is formed by sequentially shifting the pinhole disk, and a drum 113, which connects the condensing disk 111 and the pinhole disk 112 so that the pinholes are arranged at the focal positions of the Fresnel lens. Hole substrate 11, beam splitter 12 installed between condensing disk 111 and pinhole disk 112, and motor 13 for rotating pinhole board 11 at a constant speed. Composed of. Reference numeral 2 denotes an objective lens, which is installed at a position where the light emitted from the pinhole is applied to the sample 3 and the return light from the sample 3 is incident on the pinhole again. Reference numeral 4 is a filter, and 5 is an eyepiece.

【0003】 このような構成において、図示しないレ−ザ光源からの出射光は、共焦点用光 スキャナ1に入射される。共焦点用光スキャナ1に入射された光は、ピンホ−ル 基板11の集光ディスク111上に形成されたフレネルレンズにより集光され、 ビ−ムスプリッタ12を透過して、ピンホ−ルディスク112上に形成されたピ ンホ−ルに集光する。ピンホ−ルを通った光は、対物レンズ2により、試料3上 に照射される。試料3からの戻り光は、再び対物レンズ2、ピンホールディスク 112を通って、ビ−ムスプリッタ12で反射され(入射光の光軸方向と直角方 向に曲げられ)、フィルタ4および接眼レンズ5を介して試料3の像を観察でき る。この例では、ピンホ−ル基板11がモ−タ13により一定速度で回転してお り、ピンホール基板11の回転により、ピンホ−ルの像が試料3上を走査してい る。また、ピンホ−ルディスク112上のピンホ−ルと試料3上の光スポット( ピンホ−ルの像)が共焦点関係にあり、図示しないレ−ザ光源からの入射光と試 料3からの戻り光共に、ピンホ−ルを通過するため、共焦点効果による高い分解 能を得られると共に、試料3からの戻り光は、集光ディスク111を通過しない ため、ピンホ−ルの径によって得られる共焦点の分解能を保持できる。In such a configuration, light emitted from a laser light source (not shown) is incident on the confocal optical scanner 1. The light incident on the confocal optical scanner 1 is condensed by a Fresnel lens formed on the condensing disk 111 of the pinhole substrate 11, passes through the beam splitter 12, and then on the pinhole disk 112. The light is focused on the pinhole formed on. The light passing through the pinhole is projected onto the sample 3 by the objective lens 2. The return light from the sample 3 passes through the objective lens 2 and the pinhole disk 112 again, and is reflected by the beam splitter 12 (bent in the direction orthogonal to the optical axis direction of the incident light), and the filter 4 and the eyepiece lens. The image of Sample 3 can be observed through 5. In this example, the pinhole substrate 11 is rotated at a constant speed by the motor 13, and the image of the pinhole scans the sample 3 by the rotation of the pinhole substrate 11. Further, the pinhole on the pinhole disk 112 and the light spot (image of the pinhole) on the sample 3 are in a confocal relationship, and the incident light from a laser light source (not shown) and the return from the sample 3 are returned. Since both the light pass through the pinhole, a high resolving power due to the confocal effect can be obtained, and since the return light from the sample 3 does not pass through the condensing disk 111, the confocal light obtained by the diameter of the pinhole is obtained. The resolution can be retained.

【0004】[0004]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

このような上記従来技術に示す共焦点用光スキャナを用いた共焦点蛍光顕微鏡 において、試料の位置探しやピント合わせ時には、回転しているピンホール基板 11を図中の右方向へずらして、レーザ光は蛍光が褪色しないように、NDフィ ルタを用いて減衰させ、通常の落射蛍光顕微鏡の光学系としていた。その状態で 、ピンホール基板11を図中の左方向へずらして挿入し、NDフィルタを取り外 し、光量を増加させ、共焦点蛍光像を得ていた。なお、ピンホール基板を入れる と、共焦点のスライス像が得られる代わりに光量が減少してしまうため、光量を 増加させる必要がある。 In such a confocal fluorescence microscope using the confocal optical scanner shown in the above-mentioned prior art, when the position of the sample is searched or the focus is adjusted, the rotating pinhole substrate 11 is shifted to the right in the drawing to move the laser. The light was attenuated using an ND filter to prevent the fluorescence from fading, and was used as the optical system of a normal epifluorescence microscope. In that state, the pinhole substrate 11 was inserted by shifting it to the left in the figure, the ND filter was removed, the amount of light was increased, and a confocal fluorescence image was obtained. When a pinhole substrate is inserted, the light quantity decreases instead of obtaining a confocal slice image, so it is necessary to increase the light quantity.

【0005】 したがって、操作性が悪く、蛍光量が微弱な場合は、ピンホールを通過できな いため、観察不可能になる場合があった。Therefore, if the operability is poor and the amount of fluorescence is weak, it may not be possible to pass through the pinholes, making it impossible to observe.

【0006】 本考案は、上記従来技術の課題を踏まえて成されたものであり、回転している ピンホール基板およびNDフィルタの取付け取り外しをしなくても、試料の位置 探しやピント合わせが可能になるようにし、また、微弱蛍光試料においても、半 共焦点の画像を得ることができる共焦点用光スキャナを提供することを目的とし たものである。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and it is possible to search the position of the sample and focus without attaching and removing the rotating pinhole substrate and ND filter. It is also an object of the present invention to provide a confocal optical scanner capable of obtaining a semi-confocal image even with a weak fluorescent sample.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

上記課題を解決するための本考案の構成は、 ピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ−ル基板を通過した照射光を試料に対 して走査する共焦点用光スキャナにおいて、 複数の集光手段が形成された集光ディスクと、複数のピンホ−ルが形成された ピンホ−ルディスクと、前記集光ディスクとピンホ−ルディスクとを前記複数の 集光手段の焦点位置に前記ピンホ−ルがそれぞれ配置されるように連結するドラ ムから成るピンホ−ル基板と、 このピンホ−ル基板を一定速度で回転させる回転手段と、 前記ピンホ−ル基板の集光ディスクとピンホ−ルディスクとの間に設置された 第1の分岐光学系と、 前記ピンホール基板とこのピンホ−ル基板からの出射光を前記試料に照射する と共に、前記試料からの戻り光が再び前記ピンホ−ル基板のピンホールに入射す る位置に設置された対物レンズとの間に設置され、前記試料からの戻り光を前記 ピンホール基板を通さずに光軸の側方へ反射させる第2の分岐光学系と、 この第2の分岐光学系を光路から取付け取り外しするための手段と、 を備え、 前記第2の分岐光学系を取り付けた状態では半共焦点の非スライス像を、また 、前記第2の分岐光学系を光路から取り外した状態では共焦点のスライス像を得 られるようにしたことを特徴とするものである。 The configuration of the present invention for solving the above-mentioned problems is achieved by rotating a pinhole substrate and scanning a sample with irradiation light passing through the pinhole substrate. Means for collecting light, a pinhole disk for forming a plurality of pinholes, a light collecting disk and a pinhole disk, and the pinholes are respectively located at focal points of the plurality of light collecting means. A pinhole substrate composed of drums connected so as to be arranged, a rotating means for rotating the pinhole substrate at a constant speed, and a pinhole substrate installed between the condensing disc and the pinhole disc of the pinhole substrate. The emitted light from the first branch optical system, the pinhole substrate and the pinhole substrate is irradiated to the sample, and the return light from the sample is again emitted from the pinhole substrate. A second branching optical system that is installed between the objective lens and the objective lens that is installed at a position where the light enters the hole, and that reflects the return light from the sample to the side of the optical axis without passing through the pinhole substrate; Means for attaching and detaching the second branch optical system to and from the optical path, and a semi-confocal non-slice image in the state where the second branch optical system is attached, and the second branch optical system. It is characterized in that a confocal slice image can be obtained when the system is removed from the optical path.

【0008】[0008]

【作用】[Action]

本考案によれば、第2の分岐光学系を付加することにより、試料の位置探しや ピント合わせの際に、ピンホール基板およびレーザのNDフィルタを取付け取り 外しする必要がなく、さらに微弱蛍光試料においても画像を得ることができる。 According to the present invention, by adding the second branching optical system, it is not necessary to attach and remove the pinhole substrate and the ND filter of the laser when the position of the sample is searched or the focus is adjusted. The image can be obtained also in.

【0009】[0009]

【実施例】【Example】

以下、本考案を図面に基づいて説明する。 図1は本考案の共焦点用光スキャナを共焦点蛍光顕微鏡に用いた一実施例を示 す構成図である。なお、図1において図2と同一要素には同一符号を付して重複 する説明は省略する。 図1において、図2との相違点は、共焦点用光スキャナ1aを、ピンホールデ ィスク111と対物レンズ2との間に、試料3からの戻り光をピンホール基板1 1を通さずに光軸の側方へ反射させる第2の分岐光学系14を設けた構成とした 点である。この第2の分岐光学系14として、図1では、例えばビームスプリッ タ141とミラー142,143を用いて構成している。なお、この第2の分岐 光学系14は予め調整されており、図示しない駆動機構により、光路からの取り 外し、および、光路への取付けが可能とされている。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment in which the confocal optical scanner of the present invention is used in a confocal fluorescence microscope. In FIG. 1, the same elements as those in FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and overlapping description will be omitted. 1 is different from FIG. 2 in that the confocal optical scanner 1a has an optical axis between the pinhole disk 111 and the objective lens 2 without returning the return light from the sample 3 to the optical axis. The second branching optical system 14 for reflecting the light to the side of is provided. In FIG. 1, the second branch optical system 14 is configured by using, for example, a beam splitter 141 and mirrors 142 and 143. The second branch optical system 14 is adjusted in advance, and can be removed from the optical path and attached to the optical path by a driving mechanism (not shown).

【0010】 このような構成において、レーザ光はピンホール基板11により走査され、ビ ームスプリッタ12,第2の分岐光学系14のビームスプリッタ141を透過し て、対物レンズ2により試料3上に絞られる。試料3からの戻り光(蛍光)は対 物レンズ2を介して、第2の分岐光学系14のビ−ムスプリッタ141,ミラー 142,143で反射され、光量は減少せずに、接眼レンズ5を介して、試料3 の像が観察できる。したがって、この状態で、ピンホール基板11およびレーザ のNDフィルタの取付け取り外しを行わずに、試料の位置探しやピント合わせが できる。また、この状態では半共焦点の画像となり、微弱蛍光試料の場合に有効 となる。一方、第2の分岐光学系14を図示しない駆動機構により光路から取り 外すことにより、従来技術に示した図2装置と同様の共焦点画像が得られる。In such a configuration, the laser light is scanned by the pinhole substrate 11, passes through the beam splitter 12 and the beam splitter 141 of the second branch optical system 14, and is focused on the sample 3 by the objective lens 2. .. The return light (fluorescence) from the sample 3 is reflected by the beam splitter 141, the mirrors 142 and 143 of the second branch optical system 14 via the object lens 2, and the light amount does not decrease, and the eyepiece 5 The image of Sample 3 can be observed through. Therefore, in this state, it is possible to search the position of the sample and focus without attaching and removing the pinhole substrate 11 and the ND filter of the laser. In this state, a semi-confocal image is obtained, which is effective in the case of a weak fluorescent sample. On the other hand, by removing the second branch optical system 14 from the optical path by a drive mechanism (not shown), a confocal image similar to that of the conventional apparatus shown in FIG. 2 can be obtained.

【0011】 結果、本考案の共焦点用光スキャナを用いることにより、 (1)半共焦点の非スライス像:光量が大きく、試料全体が見えるため、ピント 合わせ時などの粗調に好適である。 (2)共焦点のスライス像:高分解能のため、精密な計測に好適であり、ピント 合わせ時などの微調も容易である。 この2つの場合を第2の分岐光学系の光路からの取付け取り外しだけで、使い分 けることができる。As a result, by using the confocal optical scanner of the present invention, (1) a semi-confocal non-slice image: the amount of light is large and the entire sample can be seen, which is suitable for rough adjustment such as focusing. .. (2) Confocal slice image: Due to its high resolution, it is suitable for precise measurement, and fine adjustment such as focusing is easy. These two cases can be used by simply attaching and detaching the second branch optical system from the optical path.

【0012】 なお、上記実施例において、第2の分岐光学系14を構成するビームスプリッ タ141の代わりに、ダイクロイックミラー、ハーフミラー、偏光ビームスプリ ッタと1/4波長板の組み合わせを用いても良く、同様の効果得られる。In the above embodiment, a combination of a dichroic mirror, a half mirror, a polarization beam splitter and a quarter wave plate is used instead of the beam splitter 141 which constitutes the second branch optical system 14. The same effect can be obtained.

【0013】[0013]

【考案の効果】[Effect of the device]

以上、実施例と共に具体的に説明したように、本考案によれば、第2の分岐光 学系を光路から取付け取り外しするだけで、ピンホールによる蛍光光量の減少を なくし、試料の位置探しやピント合わせが容易にでき、また微弱蛍光の試料で共 焦点画像の観察が困難な場合にでも半共焦点の画像が得られるなどの効果を有す る共焦点用光スキャナを実現できる。 As described above in detail with reference to the embodiments, according to the present invention, by simply attaching and detaching the second branch optical system to and from the optical path, it is possible to eliminate the decrease in the fluorescent light amount due to the pinhole, and to find the position of the sample. It is possible to realize a confocal optical scanner that is easy to focus and has the effect of obtaining a semi-confocal image even when it is difficult to observe a confocal image with a weakly fluorescent sample.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の共焦点用光スキャナを共焦点蛍光顕微
鏡に用いた一実施例を示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment in which a confocal optical scanner of the present invention is used in a confocal fluorescence microscope.

【図2】共焦点用光スキャナを用いた共焦点蛍光顕微鏡
の一例を示す構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram showing an example of a confocal fluorescence microscope using a confocal optical scanner.

【図3】共焦点用光スキャナに用いる集光ディスクおよ
びピンホ−ルディスクの一例である。
FIG. 3 is an example of a condensing disk and a pinhole disk used in a confocal optical scanner.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a 共焦点用光スキャナ 2 対物レンズ 3 試料 11 ピンホ−ル基板 12、141 ビ−ムスプリッタ 13 モ−タ 14 第2の分岐光学系 111 集光ディスク 112 ピンホ−ルディスク 113 ドラム 142、143 ミラー 1a Confocal optical scanner 2 Objective lens 3 Sample 11 Pinhole substrate 12, 141 Beam splitter 13 Motor 14 Second branching optical system 111 Condensing disk 112 Pinhole disk 113 Drum 142, 143 Mirror

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 ピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ
−ル基板を通過した照射光を試料に対して走査する共焦
点用光スキャナにおいて、 複数の集光手段が形成された集光ディスクと、複数のピ
ンホ−ルが形成されたピンホ−ルディスクと、前記集光
ディスクとピンホ−ルディスクとを前記複数の集光手段
の焦点位置に前記ピンホ−ルがそれぞれ配置されるよう
に連結するドラムから成るピンホ−ル基板と、 このピンホ−ル基板を一定速度で回転させる回転手段
と、 前記ピンホ−ル基板の集光ディスクとピンホ−ルディス
クとの間に設置された第1の分岐光学系と、 前記ピンホール基板とこのピンホ−ル基板からの出射光
を前記試料に照射すると共に、前記試料からの戻り光が
再び前記ピンホ−ル基板のピンホールに入射する位置に
設置された対物レンズとの間に設置され、前記試料から
の戻り光を前記ピンホール基板を通さずに光軸の側方へ
反射させる第2の分岐光学系と、 この第2の分岐光学系を光路から取付け取り外しするた
めの手段と、 を備え、 前記第2の分岐光学系を取り付けた状態では半共焦点の
非スライス像を、また、前記第2の分岐光学系を光路か
ら取り外した状態では共焦点のスライス像を得られるよ
うにしたことを特徴とする共焦点用光スキャナ。
1. A confocal optical scanner that rotates a pinhole substrate and scans a sample with irradiation light that has passed through the pinhole substrate; From a pinhole disc having a plurality of pinholes formed thereon, and a drum connecting the condensing disc and the pinhole disc so that the pinholes are respectively arranged at the focal positions of the plurality of condensing means. A pinhole substrate, rotating means for rotating the pinhole substrate at a constant speed, and a first branching optical system installed between the condensing disc and the pinhole disc of the pinhole substrate, The sample is irradiated with light emitted from the pinhole substrate and the pinhole substrate, and the return light from the sample is installed at a position where it is incident on the pinhole of the pinhole substrate again. A second branching optical system installed between the objective lens and the objective lens to reflect the return light from the sample to the side of the optical axis without passing through the pinhole substrate, and an optical path of the second branching optical system. And a means for attaching and detaching from the optical path, and a semi-confocal non-slice image when the second branch optical system is attached, and a unit when the second branch optical system is removed from the optical path. A confocal optical scanner characterized in that a slice image of the focal point can be obtained.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002023063A (en) * 2000-07-07 2002-01-23 Nikon Corp Ultraviolet microscope and control method therefor
JP2008185432A (en) * 2007-01-30 2008-08-14 Yokogawa Electric Corp Drug discovery screening apparatus
JP2010181688A (en) * 2009-02-06 2010-08-19 Yokogawa Electric Corp Confocal microscope device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002023063A (en) * 2000-07-07 2002-01-23 Nikon Corp Ultraviolet microscope and control method therefor
JP2008185432A (en) * 2007-01-30 2008-08-14 Yokogawa Electric Corp Drug discovery screening apparatus
JP2010181688A (en) * 2009-02-06 2010-08-19 Yokogawa Electric Corp Confocal microscope device

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