JPH0596530A - 内周刃式スライシングマシン - Google Patents
内周刃式スライシングマシンInfo
- Publication number
- JPH0596530A JPH0596530A JP28914691A JP28914691A JPH0596530A JP H0596530 A JPH0596530 A JP H0596530A JP 28914691 A JP28914691 A JP 28914691A JP 28914691 A JP28914691 A JP 28914691A JP H0596530 A JPH0596530 A JP H0596530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner peripheral
- ingot
- peripheral edge
- peripheral blade
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
- B28D5/024—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels with the stock carried by a movable support for feeding stock into engagement with the cutting blade, e.g. stock carried by a pivoted arm or a carriage
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
- B28D5/028—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels with a ring blade having an inside cutting edge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 稼働率を向上させ、かつ面や厚さの精度を安
定化させる。 【構成】 回転軸を水平とする内周刃２を昇降可能に設
けたマシン本体１と、マシン本体１のベーステーブル５
上に垂直軸を中心として回動可能に設けた回動テーブル
６と、回動テーブル６上に内周刃２の回転面と平行な水
平軸を中心として揺動可能に設けた揺動テーブル１４
と、揺動テーブル１４上に内周刃２に対して進退可能に
設けられ、インゴット１６を保持するホルダー１７と、
ホルダー１７に設けられ、内周刃２に対するインゴット
１６の傾きを検出する角度センサ１８と、角度センサ１
８の検出値が常時所要範囲内に入るように回動テーブル
６と揺動テーブル１４の動きを制御する制御装置とを備
えることにより、インゴットが内周刃の回転面に対して
常時垂直となるように制御する。
定化させる。 【構成】 回転軸を水平とする内周刃２を昇降可能に設
けたマシン本体１と、マシン本体１のベーステーブル５
上に垂直軸を中心として回動可能に設けた回動テーブル
６と、回動テーブル６上に内周刃２の回転面と平行な水
平軸を中心として揺動可能に設けた揺動テーブル１４
と、揺動テーブル１４上に内周刃２に対して進退可能に
設けられ、インゴット１６を保持するホルダー１７と、
ホルダー１７に設けられ、内周刃２に対するインゴット
１６の傾きを検出する角度センサ１８と、角度センサ１
８の検出値が常時所要範囲内に入るように回動テーブル
６と揺動テーブル１４の動きを制御する制御装置とを備
えることにより、インゴットが内周刃の回転面に対して
常時垂直となるように制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコン、ガラス等の
インゴットを内周刃により薄板にスライスする内周刃式
スライシングマシンに関する。
インゴットを内周刃により薄板にスライスする内周刃式
スライシングマシンに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の内周刃式スライシングマ
シンは、回転軸を水平とする内周刃を設けたマシン本体
と、マシン本体のテーブル上に載置され、インゴットを
保持するホルダーとを備えている。この内周刃式スライ
シングマシンによりインゴットをスライスする際には、
内周刃の回転面に対するインゴットの傾きが大きいと、
インゴットを回転させてスライスする場合、スライスし
た薄板は、中心部が凸又は凹となる一方、インゴットを
静止させてスライスする場合、スライスした薄板は、イ
ンゴットの端面が真円であると楕円、正方形であると長
方形となったりして、面精度や厚さ精度が低下するた
め、予め、ホルダーに専用治具を装着してその保持軸線
の内周刃に対する傾き角度（チルティング角度）を測定
し、かつチルティング角度が所要範囲内に入るようにテ
ーブルの水平面及び垂直面内の傾きを調整した後、イン
ゴットをホルダーで把持し、インゴットを静止若しくは
回転させると共に内周刃を回転させ、かつ内周刃とイン
ゴットを上下あるいは左右に相対的に移動させてスライ
シングしている。
シンは、回転軸を水平とする内周刃を設けたマシン本体
と、マシン本体のテーブル上に載置され、インゴットを
保持するホルダーとを備えている。この内周刃式スライ
シングマシンによりインゴットをスライスする際には、
内周刃の回転面に対するインゴットの傾きが大きいと、
インゴットを回転させてスライスする場合、スライスし
た薄板は、中心部が凸又は凹となる一方、インゴットを
静止させてスライスする場合、スライスした薄板は、イ
ンゴットの端面が真円であると楕円、正方形であると長
方形となったりして、面精度や厚さ精度が低下するた
め、予め、ホルダーに専用治具を装着してその保持軸線
の内周刃に対する傾き角度（チルティング角度）を測定
し、かつチルティング角度が所要範囲内に入るようにテ
ーブルの水平面及び垂直面内の傾きを調整した後、イン
ゴットをホルダーで把持し、インゴットを静止若しくは
回転させると共に内周刃を回転させ、かつ内周刃とイン
ゴットを上下あるいは左右に相対的に移動させてスライ
シングしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の内周刃式スライシングマシンにおいては、内周刃の
回転面に対するインゴットのチルティング角度を最小と
するための測定、調整を作業者が行わなければならない
ため、測定、調整作業に多くの時間を要し、かつ作業者
によるばらつきが生じてスライスされる薄板の精度が低
下する問題がある。
来の内周刃式スライシングマシンにおいては、内周刃の
回転面に対するインゴットのチルティング角度を最小と
するための測定、調整を作業者が行わなければならない
ため、測定、調整作業に多くの時間を要し、かつ作業者
によるばらつきが生じてスライスされる薄板の精度が低
下する問題がある。
【０００４】又、大形で長いインゴットをスライスする
場合、スライシングの進行により短くなるにつれて重心
の移動も大きく、従来の内周刃スライシングマシンの剛
性やテーブル精度では、インゴットの端部と基部のスラ
イシング時にはチルティング角度が大きく変わる問題が
ある。そこで、本発明は、稼働率を向上すると共に、面
精度や厚さ精度を安定化し得る内周刃式スライシングマ
シンの提供を目的とする。
場合、スライシングの進行により短くなるにつれて重心
の移動も大きく、従来の内周刃スライシングマシンの剛
性やテーブル精度では、インゴットの端部と基部のスラ
イシング時にはチルティング角度が大きく変わる問題が
ある。そこで、本発明は、稼働率を向上すると共に、面
精度や厚さ精度を安定化し得る内周刃式スライシングマ
シンの提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の内周刃式スライシングマシンは、回転軸を
水平とする内周刃を昇降可能に設けたマシン本体と、マ
シン本体のベーステーブル上に垂直軸を中心として回動
可能に設けた回動テーブルと、回動テーブル上に前記内
周刃の回転面と平行な水平軸を中心として揺動可能に設
けた揺動テーブルと、揺動テーブル上に前記内周刃に対
して進退可能に設けられ、インゴットを保持するホルダ
ーと、ホルダーに設けられ、内周刃に対するインゴット
の傾きを検出する角度センサと、角度センサによる検出
値が常時所要範囲内に入るように回動テーブルと揺動テ
ーブルの動きを制御する制御装置とを備えているもので
ある。なお、本発明の内周刃式スライシングマシンは、
設置場所等の都合により装置全体を９０°傾け、内周刃
の回転軸を垂直に使用してもよい。
め、本発明の内周刃式スライシングマシンは、回転軸を
水平とする内周刃を昇降可能に設けたマシン本体と、マ
シン本体のベーステーブル上に垂直軸を中心として回動
可能に設けた回動テーブルと、回動テーブル上に前記内
周刃の回転面と平行な水平軸を中心として揺動可能に設
けた揺動テーブルと、揺動テーブル上に前記内周刃に対
して進退可能に設けられ、インゴットを保持するホルダ
ーと、ホルダーに設けられ、内周刃に対するインゴット
の傾きを検出する角度センサと、角度センサによる検出
値が常時所要範囲内に入るように回動テーブルと揺動テ
ーブルの動きを制御する制御装置とを備えているもので
ある。なお、本発明の内周刃式スライシングマシンは、
設置場所等の都合により装置全体を９０°傾け、内周刃
の回転軸を垂直に使用してもよい。
【０００６】
【作用】上記手段においては、インゴットが内周刃の回
転面に対して常時垂直となるように制御される。
転面に対して常時垂直となるように制御される。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の一実施例の内周刃式スライ
シングマシンの斜視図である。図中１はマシン本体で、
このマシン本体１には、回転軸を水平とする内周刃２が
図示しない回転駆動装置及び昇降装置を介して回転かつ
昇降可能に設けられている一方、ベースプレート３がブ
ラケット４を介して下側部に突設されている。ベースプ
レート３上には、矩形平板状のベーステーブル５が内周
刃２と対応させて設けられており、このベーステーブル
５上には、矩形平板状の回動テーブル６が一端部の垂直
軸（図示せず）を中心として回動自在に設けられてい
る。回動テーブル６の他端部には、上記垂直軸を曲率中
心とする円弧状の摺接面７が形成されており、この摺接
面７は、ベーステーブル５上の他端部に設けた案内テー
ブル８の案内面９と摺接されている。そして、回動テー
ブル６は、ベーステーブル５上に設けたステップモータ
等の回動用モータ１０により、垂直軸を中心として回動
可能に設けられている。回動用モータ１０は、案内テー
ブル８に貫入した回転軸の先端に取り付けたギヤー（図
示せず）を回動テーブル６の摺接部７に形成したラック
（図示せず）と噛合することにより、駆動力を回動テー
ブル６に伝達する。
て説明する。図１は本発明の一実施例の内周刃式スライ
シングマシンの斜視図である。図中１はマシン本体で、
このマシン本体１には、回転軸を水平とする内周刃２が
図示しない回転駆動装置及び昇降装置を介して回転かつ
昇降可能に設けられている一方、ベースプレート３がブ
ラケット４を介して下側部に突設されている。ベースプ
レート３上には、矩形平板状のベーステーブル５が内周
刃２と対応させて設けられており、このベーステーブル
５上には、矩形平板状の回動テーブル６が一端部の垂直
軸（図示せず）を中心として回動自在に設けられてい
る。回動テーブル６の他端部には、上記垂直軸を曲率中
心とする円弧状の摺接面７が形成されており、この摺接
面７は、ベーステーブル５上の他端部に設けた案内テー
ブル８の案内面９と摺接されている。そして、回動テー
ブル６は、ベーステーブル５上に設けたステップモータ
等の回動用モータ１０により、垂直軸を中心として回動
可能に設けられている。回動用モータ１０は、案内テー
ブル８に貫入した回転軸の先端に取り付けたギヤー（図
示せず）を回動テーブル６の摺接部７に形成したラック
（図示せず）と噛合することにより、駆動力を回動テー
ブル６に伝達する。
【０００８】回動テーブル６上には、前記内周刃２の回
転面と平行な水平軸を曲率中心とする案内面１１を形成
した案内テーブル１２が設けられており、この案内テー
ブル１２上には、その案内面１１と摺接する摺接面１３
を形成した揺動テーブル１４が、案内面１１のあり溝と
係合するありを介して揺動自在に設けられている。そし
て、揺動テーブル１４は、回動テーブル６上に設けたス
テップモータ等の揺動用モータ１５により、上記水平軸
を中心として揺動可能に設けられている。揺動用モータ
１５は、案内テーブル１２に貫入した回転軸の先端に取
り付けたギヤー（図示せず）を揺動テーブル１４のあり
に形成したラック（図示せず）と噛合することにより、
駆動力を揺動テーブル１４に伝達する。
転面と平行な水平軸を曲率中心とする案内面１１を形成
した案内テーブル１２が設けられており、この案内テー
ブル１２上には、その案内面１１と摺接する摺接面１３
を形成した揺動テーブル１４が、案内面１１のあり溝と
係合するありを介して揺動自在に設けられている。そし
て、揺動テーブル１４は、回動テーブル６上に設けたス
テップモータ等の揺動用モータ１５により、上記水平軸
を中心として揺動可能に設けられている。揺動用モータ
１５は、案内テーブル１２に貫入した回転軸の先端に取
り付けたギヤー（図示せず）を揺動テーブル１４のあり
に形成したラック（図示せず）と噛合することにより、
駆動力を揺動テーブル１４に伝達する。
【０００９】揺動テーブル１４上には、この揺動テーブ
ル１４中に設けた図示しない進退機構により内周刃２に
対して進退可能に設けられ、インゴット１６を回転可能
に保持するホルダー１７が設けられている。ホルダー１
７上には、内周刃２に対するインゴット１６の傾き角度
を、水平面内及び垂直面内の直角２平面内の傾斜角度に
分離して常時高精度で検出する角度センサ１８が設けら
れている。そして、角度センサ１８による検出値は、マ
シン本体１に付設した操作ボックス１９内に収容された
図示しない制御装置に入力され、この制御装置によって
回動用モータ１０及び駆動用モータ１５を適宜方向へ回
転させて回動テーブル６及び揺動テーブル１４を駆動
し、角度センサ１８による検出値が所要範囲内に入るよ
うに制御される。
ル１４中に設けた図示しない進退機構により内周刃２に
対して進退可能に設けられ、インゴット１６を回転可能
に保持するホルダー１７が設けられている。ホルダー１
７上には、内周刃２に対するインゴット１６の傾き角度
を、水平面内及び垂直面内の直角２平面内の傾斜角度に
分離して常時高精度で検出する角度センサ１８が設けら
れている。そして、角度センサ１８による検出値は、マ
シン本体１に付設した操作ボックス１９内に収容された
図示しない制御装置に入力され、この制御装置によって
回動用モータ１０及び駆動用モータ１５を適宜方向へ回
転させて回動テーブル６及び揺動テーブル１４を駆動
し、角度センサ１８による検出値が所要範囲内に入るよ
うに制御される。
【００１０】上記構成の内周刃式スライシングマシンに
おいては、ホルダー１７に保持されたインゴット１６が
内周刃２に対して垂直となるように、回動用モータ１０
及び揺動用モータ１５を駆動してあらかじめ調整してお
くと共に、インゴット１６の内周刃２に対するチルティ
ングの許容範囲を設定しておく。そして、ホルダー１７
によって回転されながら保持されたインゴット１６の内
周刃２によるスライシング中に、そのチルティングが許
容範囲の上限又は下限を越えたことが角度センサ１８に
よって検出されると、制御装置の作動によって回動用モ
ータ１０及び／又は揺動用モータ１５が適宜に駆動され
て、チルティングが許容範囲となるように補正される。
おいては、ホルダー１７に保持されたインゴット１６が
内周刃２に対して垂直となるように、回動用モータ１０
及び揺動用モータ１５を駆動してあらかじめ調整してお
くと共に、インゴット１６の内周刃２に対するチルティ
ングの許容範囲を設定しておく。そして、ホルダー１７
によって回転されながら保持されたインゴット１６の内
周刃２によるスライシング中に、そのチルティングが許
容範囲の上限又は下限を越えたことが角度センサ１８に
よって検出されると、制御装置の作動によって回動用モ
ータ１０及び／又は揺動用モータ１５が適宜に駆動され
て、チルティングが許容範囲となるように補正される。
【００１１】なお、上述した実施例においては、ホルダ
ー１７がインゴット１６を回転可能に保持する場合につ
いて説明したが、これに限られるものではなくホルダー
がインゴットを静止状態に保持する場合にも適用し得る
のは勿論である。
ー１７がインゴット１６を回転可能に保持する場合につ
いて説明したが、これに限られるものではなくホルダー
がインゴットを静止状態に保持する場合にも適用し得る
のは勿論である。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の内周刃式
スライシングマシンによれば、インゴットが内周刃の回
転面に対して常時垂直となるように制御されるので、従
来のような測定、調整作業が不要となり、マシンの稼働
率が向上すると共に、スライスされた薄板の面や厚さの
精度を安定化することができる。
スライシングマシンによれば、インゴットが内周刃の回
転面に対して常時垂直となるように制御されるので、従
来のような測定、調整作業が不要となり、マシンの稼働
率が向上すると共に、スライスされた薄板の面や厚さの
精度を安定化することができる。
【図１】本発明の一実施例の内周刃式スライシングマシ
ンの斜視図である。
ンの斜視図である。
１ マシン本体 ２ 内周刃 ５ ベーステーブル ６ 回動テーブル ８ 案内テーブル １２ 案内テーブル １４ 揺動テーブル １６ インゴット １７ ホルダー １８ 角度センサ
Claims (1)
- 【請求項１】 回転軸を水平とする内周刃を昇降可能に
設けたマシン本体と、マシン本体のベーステーブル上に
垂直軸を中心として回動可能に設けた回動テーブルと、
回動テーブル上に前記内周刃の回転面と平行な水平軸を
中心として揺動可能に設けた揺動テーブルと、揺動テー
ブル上に前記内周刃に対して進退可能に設けられ、イン
ゴットを保持するホルダーと、ホルダーに設けられ、内
周刃に対するインゴットの傾き角度を検出する角度セン
サと、角度センサによる検出値が常時所要範囲内に入る
ように回動テーブルと揺動テーブルの動きを制御する制
御装置とを備えることを特徴とする内周刃式スライシン
グマシン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28914691A JPH0596530A (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | 内周刃式スライシングマシン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28914691A JPH0596530A (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | 内周刃式スライシングマシン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0596530A true JPH0596530A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17739355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28914691A Pending JPH0596530A (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | 内周刃式スライシングマシン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0596530A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6880433B1 (en) | 2000-08-16 | 2005-04-19 | Kashiraishi Inc. | Tightening force imparting device |
-
1991
- 1991-10-08 JP JP28914691A patent/JPH0596530A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6880433B1 (en) | 2000-08-16 | 2005-04-19 | Kashiraishi Inc. | Tightening force imparting device |
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