JPH0594802A - Vapor generating device - Google Patents

Vapor generating device

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JPH0594802A
JPH0594802A JP27887991A JP27887991A JPH0594802A JP H0594802 A JPH0594802 A JP H0594802A JP 27887991 A JP27887991 A JP 27887991A JP 27887991 A JP27887991 A JP 27887991A JP H0594802 A JPH0594802 A JP H0594802A
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valve
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vapor
pipe portion
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JP27887991A
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Yukio Komine
Chikakuni Yabumoto
行雄 小峰
周邦 籔本
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Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt>
日本電信電話株式会社
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Abstract

PURPOSE:To provide a vapor generating device which can easily introduce vapor of a liquid into a vacuum device at desired vapor pressure in order to perform quantification of mass spectrometry of the liquid there without leading an atmospheric component and the like to the vacuum device and the occurrance of splashes of liquid possible. CONSTITUTION:A vapor generating device has a pipe 3, of which an open end extends from under a liquid tank 1 to be connected to a vacuum device 2, and this pipe is provided with the first and second valves V1, V2 and a leak valve LV in this order. These valves are interposed so that, when the first valve V1 is opened from the state where the first and second valves are closed, a liquid from the liquid tank 1 is led into a pipe part P2 between the first and second valves and, when from that state the first valve is closed and the second valve is opened, the liquid being led into the valve part P2 between the first and second valves may not be led into a pipe part P3 between the second valve and the lead valve.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【従来の技術】本発明は、液体の蒸気を、真空装置内に、そこで液体の質量分析の定量などを行わせるために、導入させるのに用いる蒸気発生装置に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention, the vapor of the liquid, in the vacuum apparatus, where upon execution of such quantitative mass analysis of the liquid relates to a steam generating device employed to introduced.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、質量分析の定量などの行われるべき液体を封入しているアンプルを予め用意し、そのアンプルを、真空装置内に配し、そして、そのアンプルを真空装置内で割り、それによって、真空装置内で、アンプル内の液体の蒸気を得、その蒸気にもとずき、アンプル内の液体の質量分析の定量などを行う方法(これを、従来の第1の方法と称す)が提案されている。 Conventionally, in advance an ampoule encapsulating the liquid to be performed, such as quantitative mass analysis, the ampoule, placed in a vacuum device, and divides the ampoule in a vacuum apparatus, thereby, in a vacuum apparatus, to obtain a vapor of the liquid in the ampoule, Ki not a preparative to its vapor, a method (which performing such quantitative mass analysis of the liquid in the ampoule, referred to as the first conventional method ) it has been proposed.

【0003】また、従来、質量分析の定量などの行われるべき液体を圧封入しているボンベを予め用意し、そして、そのボンベを、リ―クバルブを介挿しているパイプによって、真空装置に連結し、そして、そのパイプに介挿しているリ―クバルブを開けることによって、ボンベ内の液体の蒸気を真空装置内に導入させ、その蒸気にもとずき、真空装置内で、ボンベ内の液体の質量分析の定量などを行う方法(これを、従来の第2の方法と称す) [0003] Conventionally, prepared in advance bomb that liquid pressure encapsulation to be performed, such as quantitative mass spectrometry and the bomb, Li - by a pipe that interposed a Kubarubu, connected to a vacuum device and, then, re is interposed in the pipe - by opening the Kubarubu, the vapor of the liquid in the cylinder is introduced into the vacuum apparatus, Ki not a preparative to its vapor in a vacuum apparatus, the liquid in the cylinder method for performing such determination of the mass spectrometry (this referred to as the second conventional method)
も提案されている。 It has also been proposed.

【0004】さらに、従来、液槽に収容している、質量分析の定量などの行われるべき液体内に、外部からベ― [0004] Further, conventionally, it is accommodated in the liquid tank, into the liquid to be carried out, such as quantitative mass spectrometry, base externally -
スガス用パイプを用いて液槽内の液体の蒸気とは区分されるベ―スガス(キャリアガス)を導入させることによって、液槽内で液体を泡立たせ、それによって、液槽内で液体の蒸気を得、その蒸気を、蒸気導入用パイプを用いて真空装置内に導入させ、その蒸気にもとずき、真空装置内で、ボンベ内の液体の質量分析の定量などを行う方法(これを、従来の第3の方法と称する)も提案されている。 Base is divided and the vapor of the liquid in the liquid tank with Sugasu pipe - Sugasu by introducing a (carrier gas), was bubbled through the liquid in the liquid tank, whereby vapor of the liquid in the liquid tank the resulting, the steam, with the steam introduction pipe is introduced into the vacuum apparatus, Ki not a preparative to its vapor in a vacuum apparatus, a method (which performing such quantitative mass analysis of the liquid in the cylinder , referred to as a third conventional method) it has been proposed.

【0005】 [0005]

【発明が解決しようとする課題】上述したアンプルを用いる従来の第1の方法の場合、真空装置内でアンプルを割ったとき、真空装置内に、アンプルの破片が飛散したり、アンプル内の液体による飛沫が生じたりし、そのため、それらアンプルの破片や、アンプル内の液体による飛沫を、アンプル内の液体の蒸気にもとずきアンプル内の液体の質量分析の定量などを行うのに支障のないように、適当に処理する必要があり、また、その処理に手間がかかる、などの欠点を有していた。 [SUMMARY OF THE INVENTION] For the first method of the prior art using an ampoule as described above, when dividing the ampoule in a vacuum apparatus, the vacuum apparatus, debris scattered or ampoules, the liquid in the ampoule by splashing or occur, therefore, debris and the ampoules, the splash by the liquid in the ampoule, the ampoule also preparative not a Ki ampoule to the vapor of the liquid of trouble such as to perform a quantitative mass analysis of the liquid as no need to handle properly, also labor on the process takes, it had drawbacks such.

【0006】また、上述したボンベを用いる従来の第2 [0006] The second conventional using cylinder as described above
の方法の場合、ボンベ内に液体を圧封入するときに、ボンベ内に大気成分などが混入するのを予儀なくされるため、ボンベ内に大気成分が封入されているので、ボンベ内の液体の蒸気にもとずき、ボンベ内の液体の質量分析の定量などを行うのに先立ち真空装置によって、ボンベ内の液体の蒸気に対する真空引きを行い、それによって、ボンベ内の大気成分を除去する、という必要があり、また、その真空引きに長い時間を要する、という欠点を有していた。 For the method, when pressure encapsulating liquid into the cylinder, since such air components are eliminated 予儀 from being mixed into the cylinder, since the air component is encapsulated in the cylinder, the liquid in the cylinder also Ki not a preparative into steam, by the vacuum device prior to performing such quantitative mass analysis of the liquid in the cylinder, subjected to evacuation for vapor of the liquid in the cylinder, thereby removing atmospheric components in the cylinder , it is necessary that, also takes a long time to the evacuation, had the disadvantage.

【0007】さらに、上述した液槽内の液体を泡立たせることによって液槽内の液体の蒸気を得る従来の第3の方法の場合、真空装置内に液体の蒸気とともに、ベ―スガス(キャリアガス)が導入され、そして、そのベ―スガスが、液槽内の液体の蒸気に比し、大きな流量を有しているので、液槽内の液体の蒸気の分圧のみを所望の値に制御することが困難である、という欠点を有していた。 Furthermore, in the case of the conventional third method to obtain vapor of the liquid in the liquid tank by bubbling the liquid in the liquid tank as described above, together with vapor of the liquid into the vacuum apparatus, base - Sugasu (carrier gas ) was introduced, and its base - Sugasu is, compared to the vapor of the liquid in the liquid tank, because it has a large flow rate, controls only the partial pressure of the vapor of the liquid in the liquid tank to the desired value it is difficult to, had the disadvantage.

【0008】よって、本発明は、それを用いて、液体の蒸気にもとずき液体の質量分析の定量などを行う方法を、上述した従来の方法の欠点を伴うことなしに、容易に、実施させることができる、新規な蒸気発生装置を提案せんとするものである。 [0008] Accordingly, the present invention uses it, a method of performing such quantitative mass analysis of the liquid Ki also preparative not a to the vapor of the liquid, without involving the disadvantages of the conventional method described above, easily, can be implemented, it is to St. propose a novel steam generator.

【0009】 [0009]

【課題を解決するための手段】本発明による蒸気発生装置は、(i)液槽の下部から、遊端が真空装置に連結されるように延長しているパイプを有し、そして、(i Steam generator according to the present invention SUMMARY OF THE INVENTION may, from the bottom of (i) the liquid tank has a pipe free end is extended to be connected to a vacuum device, and, (i
i)そのパイプに、第1のバルブと、第2のバルブと、 i) to the pipe, a first valve, a second valve,
リ―クバルブとが、上記液槽側から上記パイプの遊端側に向って順次に、上記液槽及び上記第1のバルブ間に第1のパイプ部を、上記第1及び第2のバルブ間に第2のパイプ部を、上記第2のバルブ及び上記リ―クバルブ間に第3のパイプ部を、上記リ―クバルブ及び上記パイプの遊端間に第4のパイプ部をそれぞれ形成するように、 Li - Kubarubu and is sequentially towards the free end of the pipe from the tank side, the first pipe portion between the liquid tank and the first valve, between the first and second valve the second pipe portion, said second valve and said re in - a third pipe portion between Kubarubu, the re - Kubarubu and fourth pipe portion between the free end of the pipe so as to form respectively ,
介挿され、この場合、(iii)上記第1のバルブの上記液槽に対する高さ位置及び上記第2のバルブの上記第1のバルブに対する高さ位置が、(a)上記第1及び第2のバルブを閉じている状態から上記第1のバルブを開いたとき、上記液槽からのそれに収容された液体が上記第2のパイプ部内に上記第1のパイプ部を介して導入し、(b)その状態から上記第1のバルブを閉じ、上記第2のバルブを開けたとき、上記第2のパイプ部内に導入している液体が上記第3のパイプ部内に導出しないように、選定されている。 Interposed, in this case, (iii) the first height position height position and the relative said tank valve of the second valve to said first valve, (a) the first and second when the valve of from which the closed state open the first valve, liquid contained in it from the liquid tank is introduced through the first pipe section to the inside second pipe section, (b ) closing the first valve from its state, when opening the second valve, the liquid is introduced into the inner second pipe portion so as not to lead to the in the third pipe portion, is selected there.

【0010】 [0010]

【作用・効果】本発明による蒸気発生装置によれば、パイプの遊端を真空装置に連結し、そして、第1のバルブを閉じ、第2のバルブ及びリ―クバルブを開き、真空装置を作動させれば、第2及び第3のパイプ部内を、第4 According to the steam generator according to the action and effects of the present invention, the free end of the pipe connected to a vacuum device, and, closing the first valve, the second valve and re - open the Kubarubu, a vacuum device working if brought into the second and third pipe portion, the fourth
のパイプ部内とともに十分排気させることができる。 It is possible to sufficiently exhaust with the pipe section.

【0011】また、そのようにして第2及び第3のパイプ部内を、第4のパイプ部内とともに十分排気して後、 [0011] Such a second and third pipe portion and, after sufficiently evacuated with the fourth pipe section,
またはその前に、液槽内に質量分析の定量などの行われるべき液体を収容させて後、リ―クバルブ及び第2のバルブを閉じ、次で第1のバルブを開ければ、第2のパイプ内に液槽内の液体が第1のパイプ部を通じて導入されている状態を得ることができる。 Or prior to, after by containing the liquid to be performed, such as quantitative mass analysis in the liquid tank, re - closes the Kubarubu and second valve, it opens the first valve in the next, the second pipe there can be obtained a state where the liquid in the liquid tank are introduced through the first pipe portion within.

【0012】さらに、そのようにして、液槽内の液体を第2のパイプ部内に導入させて後、次に、第1のバルブを閉じ、次で第2のバルブを開ければ、第3のパイプ部内に、第2のパイプ部に導入されている液体の蒸気を、 Furthermore, the way, after by introducing a liquid in the liquid tank into the second pipe portion, then, closing the first valve, open the second valve in the next, third in the pipe portion, the vapor of the liquid being introduced into the second pipe section,
液体の性質とこのときの第2のパイプ部内での液体の温度とによって決まる蒸気圧で、得ることができる。 In the second vapor pressure determined by the temperature of the liquid in the pipe portion when the the nature of the liquid, can be obtained.

【0013】また、そのようにして、第3のパイプ部内に液体の蒸気を得て後、次に、第2のバルブを閉じ、リ―クバルブを開ければ、第3のパイプ部内に得られている液体の蒸気を、第4のパイプ部を介して、真空装置内に、リ―クバルブの調整された開度に応じた蒸気圧で、 [0013] As such, after obtaining the vapor of the liquid in the third pipe portion, then closes the second valve, Li - I open the Kubarubu, obtained in the third pipe portion the are vapor of the liquid, through the fourth pipe section, in the vacuum device, re - steam pressure corresponding to the adjusted opening of Kubarubu,
導入させることができる。 It can be introduced.

【0014】さらに、そのようにして、第3のパイプ部内に得られている液体の蒸気を真空装置内に導入させれば、第3のパイプ部内において、いままで得られていた液体の蒸気がなくなるか、液体の蒸気の蒸気圧が予定の値以下に低下するが、第3のパイプ部内において、続けて、予定の値以上の蒸気圧を有する液体の蒸気が得られていることの必要があれば、第2のバルブを一旦開け、 Furthermore, that way, if the introduction of the vapor of the liquid which is obtained in the third pipe portion in the vacuum device, in the third pipe portion, the vapor of the liquid which has been obtained up to now or eliminated, but falls below the value of the expected vapor pressure of the vapor of the liquid, in the third pipe portion, followed by, the need for the vapor of the liquid having a value more than the vapor pressure of the schedule is obtained if, once opened the second valve,
次でその第2のバルブを閉じることによって、第3のパイプ部内に、液体の蒸気を、予定の値以上の蒸気圧で得ることができる。 By closing the second valve in the next, in a third pipe portion, the vapor of the liquid, it is possible to obtain a value more than the vapor pressure of the appointment.

【0015】また、上述したようにして、第3のパイプ部内に液体の蒸気を得れば、第2のパイプ部において、 Further, as described above, if you get a vapor of the liquid in the third pipe portion, the second pipe section,
いままで導入されていた液体がなくなるが、第2のパイプ部内において、続けて、液体が導入されている状態の必要があれば、第2のバルブが閉じていることを確認して、再度、第1のバルブを一旦開け、次でその第1のバルブを閉じることによって、第2のパイプ部内に液体が導入されている状態を得ることができる。 Although there is no liquid has been introduced until now, in the second pipe portion, followed, if necessary in the state in which the liquid is introduced, to confirm that the second valve is closed again, once it opened the first valve, by closing the first valve in the following, it is possible to obtain a state where the liquid in the second pipe portion has been introduced.

【0016】上述したところから、本発明による蒸気発生装置によれば、液槽内に収容する液体の蒸気を、真空装置内に導入させることができる。 [0016] from the above, according to the steam generator according to the present invention, the vapor of the liquid to be stored in the liquid tank can be introduced into the vacuum apparatus.

【0017】従って、本発明による蒸気発生装置を用いて、液体の蒸気にもとずき液体の質量分析の定量などを行う方法を、実施させることができる。 [0017] Thus, by using the steam generator according to the present invention, a method of performing such quantitative mass analysis of the liquid Ki also preparative not a to the vapor of the liquid, can be performed.

【0018】そして、この場合、上述したようにして、 [0018] In this case, in the manner described above,
液体の蒸気を真空装置内に導入させるのに先立ち、第3 Prior to vapor of the liquid to be introduced into the vacuum apparatus, the third
のパイプ部内に液体の蒸気を得た場合において、その液体の蒸気内には、第3のパイプ部内に液体の蒸気を得るのに先立ち、真空装置によって、第2及び第3のパイプ部を第4のパイプ部とともに十分排気させ、次で、第2 In the case where to obtain a pipe portion of the liquid into the vapor, in the vapor of the liquid, prior to obtaining the vapor of the liquid in the third pipe portion, by a vacuum device, the second and third pipe portion first It was sufficiently evacuated with 4 of the pipe part, in the following, second
のパイプ部内に液体が導入されている状態を得、次で第3のパイプ部内に液体の蒸気を得ているので、大気成分などが混入されているおそれを実質的に有しない。 Because of obtaining the state where the liquid in the pipe portion is introduced, to obtain a vapor of the liquid to the third pipe portion in the following, substantially no possibility of such atmospheric components are mixed.

【0019】また、上述したようにして、第2のパイプ部内に液体を導入させて後、第2のバルブを開いたとき、第3のパイプ部内に液体が導入せず、一方、第3のパイプ部内に液体の蒸気を得て後、その蒸気を真空装置内に導入させるべくリ―クバルブを開くのに先立ち、第2のバルブを閉じているので、第3のパイプ部内の液体の蒸気を真空装置内に導入されるべくリ―クバルブを開いたとき、液体による飛沫が、真空装置内に生じたりする、というおそれを有しない。 Further, as described above, later the liquid is introduced into the second pipe portion, when opened second valve, the liquid is not introduced into the third pipe portion, while the third after obtaining the vapor of the liquid in the pipe section, the steam re to be introduced into the vacuum apparatus - prior to opening the Kubarubu, since closing the second valve, the vapor of the liquid in the third pipe portion Li order to be introduced into the vacuum apparatus - when opening the Kubarubu, no splash by the liquid, or generated in the vacuum device, the fear that.

【0020】さらに、上述したようにして、第3のパイプ部内に液体の蒸気を得て後、その蒸気を、リ―クバルブを開けて真空装置内に導入させるとき、リ―クバルブの開度を調整することによって、真空装置内での液体の蒸気の分圧を、所望の値に容易に制御することができる。 Furthermore, as described above, after obtaining the vapor of the liquid in the third pipe portion, the vapor, Li - when is introduced into the vacuum apparatus by opening the Kubarubu, Li - the opening of Kubarubu by adjusting the partial pressure of the vapor of the liquid in the vacuum apparatus can be easily controlled to a desired value.

【0021】よって、本発明による蒸気発生装置によれば、それを用いて、液体の蒸気にもとずき液体の質量分析の定量などを行う方法を、前述した従来の方法の欠点を伴うことなしに、容易に実施させることができる。 [0021] Thus, according to the steam generator according to the present invention, by using it, a method of performing such quantitative mass analysis of the liquid Ki also preparative not a to the vapor of the liquid, involve the drawbacks of the conventional method described above without, can be easily implemented.

【0022】 [0022]

【実施例】次に、図1を伴って本発明による蒸気発生装置の実施例を述べよう。 EXAMPLES Next, we shall describe an embodiment of the steam generator according to the present invention with Figure 1.

【0023】図1に示す本発明による蒸気発生装置は、 The steam generating device according to the invention shown in Figure 1,
液槽1の下部から、遊端にフランジ3Fを有し、そのフランジ3Fによって遊端が真空装置2に連結されるように延長しているパイプ3を有し、そのパイプ3に、第1 From the bottom of the liquid tank 1 has a flange 3F to the free end, it has a pipe 3 free end by the flange 3F is extended to be connected to a vacuum apparatus 2, to the pipe 3, first
のバルブV1と、第2のバルブV2とリ―クバルブLV A valve V1, the second valve V2 and Li - Kubarubu LV
とが、液槽1側からパイプ3の遊端側に向って順次に、 DOO is sequentially toward the liquid tank 1 side free end of the pipe 3,
液槽1及び第1のバルブV1間に第1のパイプ部P1 First pipe portion between the liquid tank 1 and the first valve V1 P1
を、第1のバルブV1及び第2のバルブV2間に第2のパイプ部P2を、第2のバルブV2及びリ―クバルブL And the second pipe section P2 between the first valve V1 and the second valve V2, the second valve V2 and Li - Kubarubu L
V間に第3のパイプ部P3を、リ―クバルブLV及び真空装置2間に第4のパイプ部P4をそれぞれ形成するように、介挿されている。 A third pipe portion P3 between V, Li - between Kubarubu LV and vacuum apparatus 2 so as to form a fourth pipe portion P4 respectively are interposed.

【0024】この場合、パイプ3が、液槽1の底部から下方にほぼ垂直に延長し、次で横方向にほぼ水平に延長し、次で上方にほぼ垂直に液槽1より高い位置まで延長し、次で横方向にほぼ水平に延長し、そして、そのようなパイプ3に、第1のバルブV1が、液槽1から下方に延長している部において介挿し、また、第2のバルブV [0024] In this case, the extension pipe 3, from the bottom of the liquid tank 1 extending substantially vertically downward, to extend substantially horizontally in the transverse direction in the next, to a position higher than the liquid tank 1 substantially perpendicularly upwards in the next and, extending substantially horizontally in the transverse direction in the next, and, in such a pipe 3, the first valve V1 is interposed in part that extends from the liquid tank 1 downward, and the second valve V
2が、上方に立上っている部において、第1のバルブV 2, the parts that are up standing upward, the first valve V
1とほぼ等しい高さ位置をとって介挿し、リ―クバルブLVが、上方に延長している部から横方向に延長している部において、介挿していることによって、第1のバルブV1の液槽1に対する高さ位置及び第2のバルブV2 1 and interposed taking approximately equal height, Li - Kubarubu LV is, in part, which extends from the part that extends upward laterally, by being interposed, the first valve V1 height position and a second valve for the liquid tank 1 V2
の第1のバルブV1に対する高さ位置が、(a)第1及び第2のバルブV1及びV2を閉じている状態から第1 Height position relative to the first valve V1, the from the closed state to (a) first and second valves V1 and V2 1
のバルブV1を開いたとき、液槽1からのそれに収容された液体5が第2のパイプ部P2内に第1のパイプ部P When opening the valve V1, the first pipe portion P in the liquid 5 contained in it from the liquid tank 1 in the second pipe section P2
1を介して導入し、(b)その状態から第1のバルブV 1 was introduced via the, (b) a first valve V from the state
1を閉じ、第2のバルブV2を開けたとき、第2のパイプ部P2内に導入している液体5が第3のパイプ部P3 Close 1, when opening the second valve V2, the liquid 5 which is introduced into the second pipe section P2 the third pipe portion P3
内に導出しないように、選定されている。 So as not to lead within, it is selected.

【0025】以上が、本発明による蒸気発生装置の実施例の構成である。 The above is the configuration of an embodiment of a steam generating apparatus according to the present invention.

【0026】このような構成を有する本発明による蒸気発生装置によれば、パイプ3の遊端を、フランジ3Fを用いて真空装置2に連結し、そして、第1のバルブV1 According to the steam generator according to the present invention having such a configuration, the free end of the pipe 3, connected to a vacuum device 2 with a flange 3F, and the first valve V1
を閉じ、第2のバルブV2及びリ―クバルブLVを開いて、真空装置2を作動させれば、第2及び第3のパイプ部P2及びP3内を、第4のパイプ部P4内とともに十分排気させることができる。 Closed, the second valve V2 and Li - Open Kubarubu LV, if caused to operate the vacuum device 2, the second and the third pipe section P2 and P3, sufficient exhaust with fourth pipe portion P4 it can be.

【0027】また、そのようにして、第2及び第3のパイプ部P2及びP3内を、第4のパイプ部P4内とともに十分排気して後、またはその前に、液槽1内に質量分析の定量などの行われるべき液体5を収容させて後、リ―クバルブLV及び第2のバルブV2を閉じ、次で第1 Further, the manner, the inside of the second and third pipe section P2 and P3, after sufficiently evacuated with the fourth pipe portion P4, or before, mass spectrometry liquid tank 1 after by accommodating the liquid 5 to be performed, such as quantitative, Li - Kubarubu closes the LV and the second valve V2, the first in the next
のバルブV1を開ければ、第2のパイプ部P2内に液槽1内の液体5が第1のパイプ部P1を通じて充填している状態に導入されている状態を得ることができる。 I open the valves V1, it is possible to obtain a state in which the liquid 5 in the liquid tank 1 into the second pipe section P2 is introduced into the state of being filled through the first pipe section P1.

【0028】さらに、そのようにして、液槽1内の液体5を第2のパイプ部P2内に導入させて後、次に、第1 Furthermore, the way, after by introducing the liquid 5 in the liquid tank 1 into the second pipe section P2, then the first
のバルブV1を閉じ、次で第2のバルブV2を開ければ、第3のパイプ部P3内に、第2のパイプ部P2に導入されている液体5の蒸気を、液体5の性質とこのときの第2のパイプ部P2内での液体5の温度とによって決まる蒸気圧で、得ることができる。 Closing the valve V1, I open the second valve V2 in the following, the third pipe portion P3, the vapor of the liquid 5 to be introduced into the second pipe section P2, the time and nature of the liquid 5 in the second vapor pressure determined by the temperature of the liquid 5 at the inside pipe section P2, it is possible to obtain.

【0029】また、そのようにして、第3のパイプ部P Further, in that way, the third pipe portion P
3内に液体5の蒸気を得て後、次に、第2のバルブV2 After obtaining the vapor of the liquid 5 in the 3, then, the second valve V2
を閉じ、リ―クバルブLVを開ければ、第3のパイプ部P3内に得られている液体5の蒸気を、第4のパイプ部P4を介して、真空装置2内にリ―クバルブLVの調整された開度に応じた蒸気圧で、導入させることができる。 A closed, re - I open the Kubarubu LV, the third pipe portion has a vapor of a liquid 5 obtained in P3, via the fourth pipe portion P4, Li vacuum device 2 - Kubarubu LV adjustment It has been in vapor pressure corresponding to the opening, can be introduced.

【0030】さらに、そのようにして、第3のパイプ部P3内に得られている液体5の蒸気を真空装置2内に導入させれば、第3のパイプ部P3内において、いままで得られていた液体5の蒸気がなくなるか、液体5の蒸気の蒸気圧が予定の値以下に低下するが、第3のパイプ部P3内において、続けて、予定の値以上の蒸気圧を有する液体5の蒸気が得られていることの必要があれば、第2のバルブV2を一旦開け、次でその第2のバルブV2 Furthermore, that way, if the introduction of the third pipe portion has a vapor of a liquid 5 obtained in P3 vacuum apparatus 2, in the third pipe portion P3, obtained ever or vapor of the liquid 5 was disappears, but falls below the value of the expected vapor pressure of the vapor of the liquid 5, the liquid 5 which has in the third pipe portion P3, followed by the value or more vapor pressure will if necessary that the steam is obtained, once opened second valve V2, the second valve by: V2
を閉じることによって、第3のパイプ部P3内に、液体5の蒸気を、予定の値以上の蒸気圧で得ることができる。 By closing the, the third pipe portion P3, the vapor of the liquid 5, it is possible to obtain a value more than the vapor pressure of the appointment.

【0031】また、上述したようにして、第3のパイプ部P3内に液体5の蒸気を得れば、第2のパイプ部P2 Further, as described above, if you get a vapor of the liquid 5 in the third pipe portion P3, a second pipe section P2
において、いままで導入されていた液体5がなくなるが、第2のパイプ部P2内において、続けて、液体5が導入されている状態の必要があれば、第2のバルブV2 In, although the liquid 5 which has been introduced until now gone, in the second pipe section P2, followed by, if necessary in the state in which the liquid 5 is introduced, the second valve V2
が閉じていることを確認して、再度、第1のバルブV1 Confirm that is closed again, the first valve V1
を一旦開け、次で、その第1のバルブV1を閉じることによって、第2のパイプ部P2内に液体5が導入されている状態を得ることができる。 Once opened, in the following, by closing the first valve V1, it is possible in the second pipe section P2, the state of the liquid 5 is introduced.

【0032】以上のことから、図1に示す本発明による蒸気発生装置によれば、液槽1内に収容する液体5の蒸気を、真空装置2内に導入させることができる。 [0032] From the foregoing, according to the steam generator according to the present invention shown in FIG. 1, the vapor of the liquid 5 to be stored in the liquid tank 1 it can be introduced into the vacuum apparatus 2.

【0033】従って、本発明による蒸気発生装置を用いて、液体5の蒸気にもとずき液体5の質量分析の定量などを行う方法を実施させることができる。 [0033] Accordingly, it is possible to use a steam generator according to the present invention, to implement a method of performing such quantitative mass analysis of the liquid 5 Ki also bets not a vapor of the liquid 5.

【0034】そして、この場合、上述したようにして、 [0034] In this case, in the manner described above,
液体5の蒸気を真空装置2内に導入させるのに先立ち、 Prior to vapor of the liquid 5 to be introduced into the vacuum apparatus 2,
第3のパイプ部P3内に液体5の蒸気を得た場合において、その液体5の蒸気内には、第3のパイプ部P3内に液体5の蒸気を得るのに先立ち、真空装置2によって、 In the case where to obtain a vapor of the liquid 5 in the third pipe portion P3, the the vapor of the liquid 5, prior to obtaining the vapor of the liquid 5 in the third pipe portion P3, the vacuum device 2,
第2及び第3のパイプ部P2及びP3を第4のパイプ部P4とともに十分排気させ、次で、第2のパイプ部P2 The second and third pipe section P2 and P3 is sufficiently evacuated with the fourth pipe portion P4, in the following, the second pipe section P2
内に液体5が導入されている状態を得、次で第3のパイプ部P3内に液体5の蒸気を得ているので、大気成分などが混入されているおそれを実質的に有しない。 Obtaining the state liquid 5 is introduced within, so to obtain a vapor of the liquid 5 in the third pipe portion P3 in the following, substantially no possibility of such atmospheric components are mixed.

【0035】また、上述したようにして、第2のパイプ部P2内に液体5を導入させて後、第2のバルブV2を開いたとき、第3のパイプ部P3内に液体5が導入せず、一方、第3のパイプ部P3内に液体5の蒸気を得て後、その蒸気を真空装置2内に導入させるべくリ―クバルブLVを開くのに先立ち、第2のバルブV2を閉じているので、第3のパイプ部P3内の液体5の蒸気を真空装置2内に導入されるべくリ―クバルブLVを開いたとき、液体5による飛沫が、真空装置2内に生じたりする、というおそれを有しない。 Further, as described above, later the liquid 5 is introduced into the second pipe section P2, when opening the second valve V2, the liquid 5 is brought into the third pipe portion P3 not, on the other hand, after obtaining the vapor of the liquid 5 in the third pipe portion P3, the steam re to be introduced into the vacuum apparatus 2 - prior to opening the Kubarubu LV, closes the second valve V2 because there, Li to be introduced as the third vapor of the liquid 5 in the pipe section P3 in the vacuum device 2 - when opening the Kubarubu LV, splash by the liquid 5, or cause the vacuum apparatus 2, that have no fear.

【0036】さらに、上述したようにして、第3のパイプ部P3内に液体5の蒸気を得て後、その蒸気を、リ― Furthermore, as described above, after obtaining the vapor of the liquid 5 in the third pipe portion P3, the vapor, Li -
クバルブLVを開けて真空装置内に導入させるとき、リ―クバルブLVの開度を調整することによって、真空装置2内での液体5の蒸気の分圧を、所望の値に容易に制御することができる。 When to introduce open the Kubarubu LV into the vacuum apparatus, Li - by adjusting the degree of opening of Kubarubu LV, the partial pressure of vapor of the liquid 5 in the vacuum apparatus 2, it is easily controlled to a desired value can.

【0037】ちなみに、液槽1内に収容する液体5として水を用い、従って、液体5の蒸気を水蒸気として、その水蒸気を真空装置2内に導入させた場合において、水蒸気の真空装置2内への導入時間に対する、真空装置2 [0037] Incidentally, using water as the liquid 5 to be stored in the liquid tank 1, thus, as a vapor steam of the liquid 5, the steam in the case of is introduced into the vacuum apparatus 2, steam into the vacuum device 2 of of to the introduction time, vacuum apparatus 2
内での水分、及び大気成分である酸素のイオン強度の変化を測定したところ、図2に示すように、水蒸気の真空装置2内への導入時間に対して水分のイオン強度が2桁以上に上昇しても、酸素のイオン強度がほとんど上昇しない、という結果が得られた。 Moisture at the inner, and was measured the change in ionic strength of the oxygen is atmospheric components, as shown in FIG. 2, the ionic strength of the water with respect to the introduction time to the vacuum device 2 of the steam multiple digits be increased, not increase the ionic strength of the oxygen with little result that was obtained.

【0038】よって、図1に示す本発明による蒸気発生装置によれば、それを用いて、液体の蒸気にもとずき液体の質量分析の定量などを行う方法を、前述した従来の方法の欠点を伴うことなしに、容易に実施させることができる。 [0038] Thus, according to the steam generator according to the present invention shown in FIG. 1, by using it, a method of performing such quantitative mass analysis of the liquid Ki also preparative not a to the vapor of the liquid, the conventional method described above without involving drawbacks it can be easily implemented.

【0039】なお、上述においては、(イ)パイプ3 [0039] It should be noted that, in the above, (b) pipe 3
が、液槽1の底部から下方にほぼ垂直に延長し、次で横方向にほぼ水平に延長し、次で上方に液槽よりも高い高さ位置までほぼ垂直に延長し、次で横方向にほぼ水平に延長しているとして、そのようなパイプ3に、第1及び第2のバルブV1及びV2が、液槽1よりも低い互に同じ高さ位置をとるように下方に延長している部及び上方に延長している部においてそれぞれ介挿され、また、リ―クバルブLVが液槽1よりも高い高さ位置をとるように水平に延長している部において介挿されている場合を示したが、(ロ)図3に示すように、パイプ3が、液槽1の底部から下方に延長し、次で横方向に延長し、次で上方に延長し、次で横方向に延長し、次で下方に延長し、次で横方向に延長しているとして、そのようなパイプ3に、バルブV1 But it extends substantially vertically downward from the bottom of the liquid tank 1 to extend substantially horizontally in the transverse direction in the following, extending substantially perpendicularly to a height position higher than the liquid tank upward in the following, the horizontal direction in the next to as being extended substantially horizontally, in such a pipe 3, first and second valves V1 and V2, and extend downward to take mutually the same height position lower than the liquid tank 1 interposed, respectively, in parts that are extended to parts and upward are also re - Kubarubu if LV is inserted in parts that are horizontally extended to take the height position higher than the liquid tank 1 showed, as shown in (b) FIG. 3, the pipe 3 is extended from the bottom of the liquid tank 1 downward, extend laterally next to extend upwardly in the following, in the transverse direction in the next extended, it extends downwardly in the following, as are extended laterally next, such pipe 3, the valve V1 びV2が液槽1よりも低い互に同じ高さ位置をとるように最初に下方に延長している部及び上方に延長している部においてそれぞれ介挿され、リ―クバルブLVが液槽1よりも低い高さ位置をとるように最後に下方に延長している部において介挿されていてもよく、また、(ハ)図4に示すように、パイプ3が、 Beauty V2 is interposed, respectively, in first and extending the parts and upwardly and extends downwardly parts to take mutually the same height position lower than the liquid tank 1, Li - Kubarubu LV is liquid tank 1 Finally to take the height position lower than the well also be inserted in the part that extends downward, and as shown in (c) FIG. 4, the pipe 3 is,
液槽1の底部から下方に延長し、次で横方向に延長し、 Extending downwardly from the bottom of the liquid tank 1, extend laterally next,
次で上方に延長し、次で横方向に延長しているとして、 Extend upwardly in the following, as are extended laterally next,
そのようなパイプ3に、バルブV1及びV2が、液槽1 Such pipe 3, the valve V1 and V2, the liquid tank 1
よりも低い互に異なる高さ位置をとるように下方に延長している部及び上方に延長している部においてそれぞれ介挿され、リ―クバルブLVが液槽1よりも高い高さ位置をとるように水平に延長している部において介挿されていてもよく、さらに、(ニ)図5に示すように、パイプ3が、液槽1の側部の底部側から横方向にほぼ水平に延長し、次で上方にほぼ垂直に延長し、次で横方向にほぼ水平に延長しいているとして、そのようなパイプ3 Each inserted in parts that are extended to parts and upwardly and extends downwardly to take mutually different height positions lower than, Li - Kubarubu LV takes a higher height than the liquid tank 1 may also be inserted in the horizontally extended to that part as further, as shown in (d) 5, the pipe 3 is substantially horizontally in the transverse direction from the bottom side of the side of the liquid tank 1 extended, extending substantially vertically upwards in the next, as being not substantially horizontally extending laterally next, such pipe 3
に、第1のバルブV1が、横方向にほぼ水平に延長している部において、介挿され、第2のバルブV2が上方に延長している部において介挿され、リ―クバルブLVが横方向に延長している部に介挿されていてもよく、また、(ホ)図6に示すように、パイプ3が、液槽1の側部の底部側から横方向に延長し、次で上方に延長し、次で横方向に延長しているとして、そのようなパイプ3 The first valve V1 is, in parts where the lateral direction extends substantially horizontally, interposed, the second valve V2 is interposed in the section which extends upwardly, Li - Kubarubu LV lateral may also be inserted into parts that are extended in the direction, as shown in (e) Figure 6, the pipe 3 is extended laterally from the bottom side of the side of the liquid tank 1, by the following extend upwardly, as being extended in the lateral direction in the following, such a pipe 3
に、第1及び第2のバルブV1及びV2が上方に延長している部に介挿され、リ―クバルブLVが横方向に延長している部に介挿されていてもよく、(ホ)さらに、図1、図3〜図6において、パイプ3の上方に延長している部が、液槽1よりも高い高さ位置まで延長しない構成としてもよく、第1のバルブV1の液槽1に対する高さ位置及び第2のバルブV2の第1のバルブV1に対する高さ位置が、(a)第1及び第2のバルブV1及びV2 To, inserted in part of the first and second valves V1 and V2 are extended upwardly, Li - Kubarubu LV well also be inserted in section which extend in the lateral direction, (e) Furthermore, FIG. 1, in FIGS. 3 to 6, parts that extend above the pipe 3 may be configured not to extend to a height position higher than the liquid tank 1, liquid tank 1 of the first valve V1 height position relative to the first valve V1 height position and a second valve V2 for the, (a) first and second valves V1 and V2
を閉じている状態から第1のバルブV1を開いたとき、 When opened first valve V1 from the state of being closed,
液槽1からのそれに収容された液体5が第2のパイプ部P2内に導入し、(b)その状態から第1のバルブV1 Liquid 5 contained in it from the liquid tank 1 is introduced into the second pipe section P2, (b) the first valve from its state V1
を閉じ、第2のバルブV2を開けたとき、第2のパイプ部P2内に導入している液体5が第3のパイプ部P3内に導入されないように、選定されていればよい。 Closed, when opening a second valve V2, so that the liquid 5 which is introduced into the second pipe section P2 not introduced into the third pipe portion P3, only to be selected.

【0040】また、上述においては、パイプ3に、第1 Further, in the above, the pipe 3, first
及び第2のバルブV1及びV2による2つのバルブを介挿された場合を示したが、液槽1及びバルブV1間、バルブV1及びV2間、バルブV2及びリ―クバルブLV And second shows the case where the two valves by valves V1 and V2 interposed, between the liquid tank 1 and the valve V1, while valves V1 and V2, valve V2 and Li - Kubarubu LV
間、リ―クバルブLV及び真空装置2間などに他のバルブを介挿させたりすることもでき、その他、本発明の精神を脱することなしに、種々の変型、変更をなし得るであろう。 During, Li - such as during Kubarubu LV and vacuum device 2 can or to interposed the other valves, other, without disengaging from the spirit of the present invention, various modifications will be made to change .

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明による蒸気発生装置の実施例を示す略線図である。 Is a schematic diagram showing an embodiment of a steam generator according to the invention; FIG.

【図2】図1に示す本発明による蒸気発生装置を用いて、水蒸気を真空装置内に導入させるようにした場合における、水蒸気の導入時間に対する、真空装置内での水分及び酸素のイオン強度を示す図である。 [Figure 2] by using the steam generating device according to the invention shown in FIG. 1, in the case of so as to introduce water vapor into the vacuum system, to the introduction time of the steam, the ionic strength of the moisture and oxygen in a vacuum device It illustrates.

【図3】本発明による蒸気発生装置の他の例を示す略線図である。 It is a schematic diagram showing another example of a steam generator according to the present invention; FIG.

【図4】本発明による蒸気発生装置のさらに他の例を示す略線図である。 Is a schematic diagram showing still another example of a steam generator according to the present invention; FIG.

【図5】本発明による蒸気発生装置のなおさらに他の例を示す略線図である。 Is a schematic diagram still further showing another example of a steam generator according to the present invention; FIG.

【図6】本発明による蒸気発生装置のさらに他の例を示す略線図である。 6 is a schematic diagram showing still another example of a steam generator according to the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 液槽 2 真空装置 3 パイプ 3F フランジ 5 液体 P1〜P4 パイプ部 V1、V2 バルブ LV リ―クバルブ 1 tank 2 vacuum device 3 pipe 3F flange 5 Liquid P1~P4 pipe portion V1, V2 valves LV Li - Kubarubu

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 液槽の下部から、遊端が真空装置に連結されるように延長しているパイプを有し、 上記パイプに、第1のバルブと、第2のバルブと、リ― From the bottom of 1. A liquid tank, comprising a pipe free end is extended to be connected to a vacuum device, to the pipe, a first valve, a second valve, Li -
    クバルブとが、上記液槽側から上記パイプの遊端側に向って順次に、上記液槽及び上記第1のバルブ間に第1のパイプ部を、上記第1及び第2のバルブ間に第2のパイプ部を、上記第2のバルブ及び上記リ―クバルブ間に第3のパイプ部を、上記リ―クバルブ及び上記パイプの遊端間に第4のパイプ部をそれぞれ形成するように、介挿され、 上記第1のバルブの上記液槽に対する高さ位置及び上記第2のバルブの上記第1のバルブに対する高さ位置が、 And Kubarubu is sequentially towards the free end of the pipe from the tank side, the first pipe portion between the liquid tank and the first valve, the second between the first and second valve the second pipe portion, said second valve and the Li - a third pipe portion between Kubarubu, the re - Kubarubu and fourth pipe portion between the free end of the pipe to form respectively, via interpolated height position relative to the first valve in the first height position and said second valve to said tank of the valve,
    (a)上記第1及び第2のバルブを閉じている状態から上記第1のバルブを開いたとき、上記液槽からのそれに収容された液体が上記第2のパイプ部内に上記第1のパイプ部を介して導入し、(b)その状態から上記第1のバルブを閉じ、上記第2のバルブを開けたとき、上記第2のパイプ部内に導入している液体が上記第3のパイプ部内に導出しないように、選定されていることを特徴とする蒸気発生装置。 (A) above when opening the first and second from the closed state of the valve the first valve, above it the contained liquid above the second pipe section from the tank first pipe parts introduced through, (b) closing the said from this state the first valve, the time opening the second valve, the liquid is introduced into the second pipe section is above the third pipe portion so as not to lead to a steam generator, characterized in that it is selected.
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