JPH058407U - A position sensor device - Google Patents

A position sensor device

Info

Publication number
JPH058407U
JPH058407U JP1467091U JP1467091U JPH058407U JP H058407 U JPH058407 U JP H058407U JP 1467091 U JP1467091 U JP 1467091U JP 1467091 U JP1467091 U JP 1467091U JP H058407 U JPH058407 U JP H058407U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
core
case
position sensor
sensor device
winding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1467091U
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
正通 早川
Original Assignee
株式会社三協精機製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社三協精機製作所 filed Critical 株式会社三協精機製作所
Priority to JP1467091U priority Critical patent/JPH058407U/en
Publication of JPH058407U publication Critical patent/JPH058407U/en
Application status is Pending legal-status Critical

Links

Abstract

(57)【要約】 〔目的〕検出部の機械的保護を温度特性を劣化することなく十分に行なうことができ、ケースに対する検出部の固定も確実に行なうことができ、且つセンサ面と被検体との間の実質ギャップも大きくとることのできる位置センサ装置を提供することを目的とする。 (57) Abstract: [object] Temperature characteristics of mechanical protection of the detector can be sufficiently performed without degradation of, can also be reliably performed fixing the detector relative to the case, and the sensor surface and the specimen and to provide a position sensor device capable of taking substantial gap is large between. 〔構成〕上記目的を達成するため、本考案の位置センサ装置は、被検体8に近接して相対するように配置される軟磁性材料からなるコの字型あるいは馬蹄型で且つ巻線2を有する一対のコア1と、この一対のコア1の間に介在され両コア1を平行に支持するスペーサ3とからなる検出部をケース4内に保持してなり、上記検出部のコア1及びその巻線部2を緩衝材6で被覆した後、ケース4 [Configuration] To achieve the above object, the position sensor device of the present invention is a and winding 2 in proximity to shaped or horseshoe-shape made of a soft magnetic material arranged so as to face the subject 8 a pair of core 1 having, it holds the detection unit comprising a spacer 3 for supported parallel to both core 1 is interposed between the pair of core 1 to case 4, and the core 1 of the detection unit after coating the winding unit 2 in buffer material 6, case 4
内の空間部に注型樹脂7を充填してなることを特徴とする。 And characterized by being filled with a casting resin 7 in the space portion of the inner.

Description

【考案の詳細な説明】 Description of the invention]

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION

本考案は、磁気式(電磁誘導型)の位置センサ装置に関する。 This invention relates to a position sensor device of a magnetic (inductive).

【0002】 [0002]

【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION

従来より磁気式近接スイッチや磁気スケール等の磁気式(電磁誘導型)の位置 センサ装置が知られている(例えば、実開平1−142805号公報等参照)。 Position sensor device conventionally magnetic proximity switch or a magnetic scale such as a magnetic type (electromagnetic induction type) are known (see, for example, real-Open 1-142805 Patent Publication). 図2は従来の位置センサ装置のセンサ部の一例を示し(a)は正面図、(b) は側面図である。 Figure 2 shows an example of a sensor unit of the conventional position sensing device (a) is a front view, (b) is a side view. 図2において、この位置センサ装置のセンサ部は、被検体8に 近接して相対するように配置される軟磁性材料からなるコの字型で且つ巻線(コ イル)2,2'を有する一対のコア1,1'と、この一対のコア1,1'の間に 介在され両コア1,1'を平行に支持するスペーサ3とからなる検出部をケース 4内に保持した構造となっている。 2, the sensor portion of the position sensor device, and having a winding (coils) 2,2 'in a U-shape made of a soft magnetic material arranged so as to face in proximity to the subject 8 become 'a, the pair of core 1, 1' a pair of core 1, 1 a detector holding the case 4 structure consisting of spacer 3 for supported parallel to the by both cores 1, 1 'interposed between ing. また、各コア1,1'は接着剤によりスペー サ3に固定されており、各コアのコイル2,2'はスペーサ3に設けられた端子 部を介してリード線5と接続され、リード線5を介して例えば図3に示すような 検出回路に接続される。 Further, each core 1,1 'is fixed in space Sa 3 by an adhesive, the coils 2,2 of each core' is connected to the lead wire 5 via the terminal portion provided in the spacer 3, lead wire 5 through is connected to the detection circuit as shown in FIG. 3, for example. 尚、図3において、2,2'は上記検出部のコイル、9 は発振器、R1,R2は抵抗、11,11'はピークホールド回路、10は差動増幅器であ る。 In FIG. 3, 2, 2 'the detector coils, 9 oscillator, R1, R2 are resistors, 11, 11' peak hold circuit, 10 Ru differential amplifier der. さて、図2に示すようなセンサにおいて、温度特性は重要な特性の一つである が、図示の例では、2つのコイル2,2'をペアにし、近接して設置しているた め、相殺原理により2つのコイル2,2'のバラツキを小さくすれば、良好な温 度特性を得ることができる。 Now, in the sensor shown in FIG. 2, because the temperature characteristic is one of the important characteristics, in the illustrated example, which is two coils 2, 2 'are paired and are installed in close proximity to, the smaller the variation in the two coils 2, 2 'by offsetting principle, it is possible to obtain good temperature characteristics.

【0003】 [0003]

【考案が解決しようとする課題】 [Challenges devised to be Solved]

ところで、図2に示すようなセンサ構造では、ケース4内での検出部のがたつ きや振動を抑えるため、図4(a)に示すように、ケース4内の空間部全体にエ ポキシ樹脂等の注型樹脂12を充填し固定することが行なわれている。 Incidentally, the sensor structure shown in FIG. 2, in order to suppress the detector stand Ki Ya vibration is in the case 4, as shown in FIG. 4 (a), d the entire space inside the case 4 epoxy resin it is performed for filling the casting resin 12 and the like fixed. しかしながら、エポキシ樹脂等を注型樹脂としてケース4内全体に充填した場 合、コア1及びコイル2にエポキシ樹脂が接触し、コイル線間にエポキシ樹脂 が浸透し、その膨張係数の差により、コイルの温度係数に影響を与える、コア 1とエポキシ樹脂の膨張係数の差によりコアに応力を生じ、磁歪によってコイル インダクタンスが変化する、という2つの理由によりコイルの温度係数のバラツ キが大きくなり、コイルインダクタンスが変化し、センサの温度特性が劣化する という問題が生じる。 However, if the epoxy resin was filled into the entire inner case 4 as casting resin, epoxy resin is in contact with the core 1 and the coil 2, the epoxy resin penetrates between the coil wire, the difference in expansion coefficients, the coil of affecting the temperature coefficient core cause stress to the difference in expansion coefficients of the core 1 and the epoxy resin, the coil inductance is varied by magnetostriction Baratsu key temperature coefficient of the coil is increased by two reasons, the coil inductance change, a problem that the temperature characteristics of the sensor deteriorates. 尚、各々、その影響度をコントロールできれば、バラツキは大きくならないが 、例えば、線間へのエポキシ樹脂の浸透をコントロールすることは不可能である 。 Incidentally, each, if control its influence, but the variation does not increase, for example, it is not possible to control the penetration of the epoxy resin to between the lines.

【0004】 そこで実際には、上述の問題を避けるため、図4(b)に示すように、コイル 2及びコア1部には注型樹脂12を充填せず、空間部13を残して中空に保つ方法が とられる。 [0004] Therefore in practice, to avoid the above-mentioned problems, as shown in FIG. 4 (b), the coil 2 and the core part not filled with the casting resin 12, the hollow, leaving the space 13 how to keep is taken. この場合、フェライト等の軟磁性材料からなるコアの機械的な弱さを 守るために、ケース4の開口部をガラスエポキシ等からなるキャップ14で覆って 保護する必要があるが、キャップ14に実用的な強度や靱性を持たせるためにはキ ャップ14をある程度厚いものにせざるおえない(実使用でt=0.2mm 以上)。 In this case, to protect the mechanical weakness of a core made of a soft magnetic material such as ferrite, an opening of the case 4 is required to be protected are covered with a cap 14 made of glass epoxy or the like, practically the cap 14 unmanageable but to the some extent thicker the caps 14 in order to provide strength and toughness (t = 0.2 mm or more in actual use). しかしながら、キャップ14を厚くすると、センサ表面Aからコア1表面までに キャップの厚さ分、すなわち0.2mm 以上の不感部が生じ、感度が低下してしまう ため、図4(a)に示す場合と比べて、センサ面Aと被検体8との間の実質ギャ ップGを小さくしなければ使えなくなり、位置決め精度等の要求が厳しくなる。 However, when the thickness of the cap 14, the thickness of the cap from the sensor surface A to the core 1 surface, i.e. occurs insensitive portion of the above 0.2 mm, the sensitivity is lowered, the case shown in FIGS. 4 (a) compared to, it can not be used to be reduced substantially gears-up G between the sensor surface a and the object 8, the request such as the positioning accuracy is strict. また、図4(b)のようにコア1周辺が中空の場合、コア1とスペーサ3の接 着に対する補強が行なわれないので、振動や衝撃によるコア剥離等の問題が生じ る虞れがある。 Further, when the core 1 around as shown in Figure 4 (b) of the hollow, since the reinforcement for contact bonding of the core 1 and the spacer 3 is not performed, there is a possibility that a problem of core peeling due to vibration or shock arising . 本考案は上記事情に鑑みてなされたものであって、検出部のコイルとコア及び コアとスペーサの接着部の機械的保護が十分に行なわれると共に、ケースに対す る検出部の固定も確実に行なうことができ、且つ、センサ面と被検体との間の実 質ギャップも大きくとることのできる位置センサ装置を提供することを目的とす る。 This invention is was made in view of the above circumstances, the mechanical protection of the coil and the core and the core and the adhesive portion of the spacer of the detector is sufficiently performed, the detection portion of the fixed also securely against the case can be performed, and shall be the object of providing a position sensor device capable of taking the actual quality gap is large between the sensor surface and the object.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]

上記目的を達成するため、本考案は、被検体に近接して相対するように配置さ れる軟磁性材料からなるコの字型あるいは馬蹄型で且つ巻線を有する一対のコア と、この一対のコアの間に介在され両コアを平行に支持するスペーサとからなる 検出部をケース内に保持してなる位置センサ装置において、上記検出部のコア及 びその巻線部を緩衝材で被覆した後、ケース内の空間部に注型樹脂を充填してな ることを特徴とする。 To achieve the above object, the present invention includes a pair of core and having a winding in shape or horseshoe-shape made of a soft magnetic material arranged so as to face in proximity to the object, the pair in the position sensor device formed by holding the detector comprising a spacer in parallel to the support in the case of both cores being interposed between the core, after coating the core 及 beauty its winding part of the detection unit in the buffer material, characterized Rukoto such filled with casting resin in the space portion of the case.

【0006】 [0006]

【作用】 [Action]

本考案の位置センサ装置においては、検出部のコア及びその巻線部を緩衝材で 被覆した後にケース内の空間部に注型樹脂を充填することにより、コアや巻線部 と注型樹脂とが接触せず、注型樹脂の巻線部への浸透の問題が回避される。 In the position sensor device of the present invention, by filling the casting resin in the space portion of the casing after coating the core and its winding portion of the detector in buffer material, the core and the winding portion and the casting resin There does not contact, penetration problems to the winding portion of the casting resin is avoided. また、コア及びその巻線部を緩衝材で被覆したことにより、コア及びその巻線 部と注型樹脂との直接接触が避けられるため、ケース内の空間部全体に注型樹脂 を充填することが可能となり、検出部の機械的保護が可能となる。 Also, by covering the core and its winding unit with a cushioning material, since the direct contact between the core and the winding portion and the casting resin is avoided, filling the cast resin to the entire space inside the case It becomes possible, thereby enabling mechanical protection of the detector.

【0007】 [0007]

【実施例】 【Example】

以下、本考案の実施例について図面を参照して詳細に説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings. 図1は本考案の一実施例を示す位置センサ装置のセンサ部の断面図であり、こ のセンサ部は、被検体8に近接して相対するように配置される軟磁性材料からな るコの字型で且つ巻線(コイル)2を有する一対のコア1と、この一対のコアの 間に介在され両コア1を平行に支持するスペーサ3とからなる検出部をケース4 内に保持した構造となっている。 Figure 1 is a sectional view of a sensor portion of the position sensor apparatus according to an embodiment of the present invention, the sensor unit of this, such a soft magnetic material is disposed so as to face in proximity to the subject 8 Turkey a pair of core 1 and having a winding in the shape (coil) 2, holding the detector comprising a spacer 3 for supported parallel to both core 1 is interposed between the pair of core casing 4 and it has a structure. また、各コア1は接着剤によりスペーサ3に固 定されており、各コア1に巻回されたコイル2はスペーサ3に設けられた端子部 を介してリード線5と接続され、リード線5を介して例えば図3に示すような検 出回路に接続される。 Each core 1 is fixed to the spacer 3 by the adhesive, a coil 2 which is wound the core 1 wound is connected to a lead wire 5 via the terminal portion provided in the spacer 3, the leads 5 It is connected to a detection circuit as shown in FIG. 3, for example via. 尚、図は検出部の片面側を正面から見た断面図であるが、検出部部分の基本構 成は図2(a),(b)の検出部と同様であり、スペーサ3の両面にコア1及び コイル2が設けられている。 Note that figure is a sectional view as seen from the front of one side of the detection section, the basic configuration of the detecting portion FIG. 2 (a), is similar to the detection section of (b), on both sides of the spacer 3 core 1 and the coil 2 are provided.

【0008】 本考案では、前述の従来技術における課題を解決するため、コア1及びコイル 2を緩衝材6で被覆した後、ケース4内の空間部に注型樹脂7を充填し、検出部 をケース4に対して固定する。 [0008] In the present invention, in order to solve the problems of the prior art described above, after coating the core 1 and the coil 2 with a buffer material 6, filled with a casting resin 7 in the space within the case 4, the detection unit It is fixed to the case 4. ここで、緩衝材6としては、比較的柔らかく、浸 透性の悪い樹脂、例えばシリコン樹脂が用いられ、注型樹脂としてはエポキシ樹 脂が用いられる。 Here, as the buffer material 6, a relatively soft, and penetration with poor resin, for example, silicone resin is used as the casting resins epoxy resins are used. さて、本考案の位置センサ装置においては、検出部のコア1及びコイル2と、 ケース4内の空間部に充填されるエポキシ樹脂7との間に、緩衝材6として柔ら かいシリコン樹脂を介在させたものであり、このシリコン樹脂は濡れ性が悪いた め、コイル2の線間に浸透しにくく、また硬度も低く柔らかいため、コイル2や コア1に対する影響が少なく、温度特性等に対する影響が少ない。 Now, in the position sensor device of the present invention includes a core 1 and coil 2 of the detector, between the epoxy resin 7 filled in the space inside the case 4, is interposed lint-free silicone resin as a buffer material 6 It is as hereinbefore, because the silicone resin has wettability was poor, difficult to penetrate into between the lines of the coil 2 and the hardness softer low, less influence to the coil 2 and the core 1 is less effect on the temperature characteristics and the like . 従って、シリ コン樹脂でコイル2及びコア1の全体もしくは一部を被覆し、この後にケース4 内全体にエポキシ樹脂を充填して硬化させれば、温度特性が良好で、機械的強度 や耐振性にも優れたセンサ部が得られるわけである。 Therefore, to cover the whole or part of the silicon resin in coil 2 and the core 1, it is cured by filling the epoxy resin to the entire inner casing 4 after this, a good temperature characteristics, mechanical strength and vibration resistance also excellent is not the sensor unit is obtained. 尚、不感部を小さくするため被検体8側の樹脂層は極力薄くする必要があり、 このため被検体8側のコア1表面部のエポキシ樹脂層は薄くなるが、コア1やス ペーサ3周辺部にはエポキシ樹脂が充填されているため、機械的強度については 全く問題はない。 The resin layer of the object 8 side in order to reduce the dead portion must be as thin as possible, and for this reason the epoxy resin layer of the core 1 surface portion of the object 8 side becomes thin, the core 1 Yasu pacer 3 around since the epoxy resin is filled in the parts, there is no problem about mechanical strength. 従って、本考案では、センサの不感部分を小さく保ったまま、 十分な機械的強度を得ることができ、また、被検体8との間の実質ギャップGを 大きくとることが可能となる。 Accordingly, in the present invention, while keeping small the dead part of the sensor, it is possible to obtain a sufficient mechanical strength, Further, it is possible to increase the substantial gap G between the object 8.

【0009】 尚、図1においては、コア1の被検体8側の面やスペーサ3の一部も緩衝材6 で被覆しているが、コア1の被検体8側の面やスペーサ3は被覆しなくてもよく 、特に、コア1の被検体8側の面を被覆しない場合には、不感部分をより小さく することができる。 [0009] In FIG. 1, a part of the surface and the spacer 3 of the subject 8 side of the core 1 are also covered with buffer material 6, the surface and the spacer 3 of the subject 8 side of the core 1 is coated It may not be, in particular, if not covering the surface of the object 8 side of the core 1 can be made smaller dead portion. また、緩衝材6としては、シリコン樹脂の代わりに、ウレタン樹脂、シリコン 変性エポキシ樹脂を用いてもよい。 As the buffer material 6, instead of the silicon resin, urethane resin, it may be used silicone-modified epoxy resin. また、注型樹脂7としては、エポキシ樹脂の代わりに、フェノール樹脂、ポリ イミド樹脂などを用いてもよい。 As the casting resin 7, instead of epoxy resin, phenol resin, or the like may be used polyimide resins.

【0010】 [0010]

【考案の効果】 Effects of the invention]

以上実施例に基づいて説明したように、本考案の位置センサ装置においては、 検出部のコア及びその巻線部を緩衝材で被覆した後にケース内の空間部に注型樹 脂を充填することにより、コアとその巻線部はシリコン樹脂等からなる柔らか緩 衝材で覆われ、コアや巻線部と、エポキシ樹脂等の注型樹脂とが直接接触するこ とがなくなるため、注型樹脂の巻線部への浸透や、コアと注型樹脂との熱膨張係 数の違いによる悪影響の問題等が回避され、注型樹脂による温度特性劣化の問題 が解消される。 As described based on the above embodiments, the position sensor device of the present invention is to fill the casting resins in the space within the case after coating the core and its winding portion of the detector in buffer material the core and its winding portion are covered with a soft gentle 衝材 made of silicon resin or the like, core and or the winding unit, for the casting resin such as an epoxy resin is in direct contact child is lost, casting resin penetration and to the winding portion, is avoided such adverse problems due to differences in thermal expansion coefficient between the core and the casting resin is a problem of the temperature characteristic deterioration due to casting resin is eliminated. また、コア及びその巻線部を緩衝材で被覆したことにより、ケー ス内の空間部全体に注型樹脂を充填することが可能となるため、センサの不感部 を小さく保ったまま機械的強度を得ることができる。 The core and by the winding portions coated with a cushioning material, since it is possible to fill the casting resin on the entire space of the cases, the mechanical strength while keeping small the insensitive portion of the sensor it is possible to obtain. 従って、本考案によれば、コアとその巻線部、及びコアとスペーサの接着部の 機械的保護が十分に行なわれると共に、ケースに対する検出部の固定も確実に行 なうことができ、且つ、センサ面と被検体との間の実質ギャップも大きくとるこ とのできる位置センサ装置を提供することができる。 Therefore, according to the present invention, the core and its winding unit, and the mechanical protection of the adhesive portion of the core and the spacer is sufficiently performed, also fixing the detector can Nau reliably row with respect to the case, and , it is possible to provide a position sensor device capable of virtually gap is large in Turkey between the sensor surface and the object.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本考案の一実施例を示す位置センサ装置のセンサ部の断面図である。 1 is a cross-sectional view of a sensor portion of the position sensor apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来の位置センサ装置のセンサ部の一例を示す図であって、(a)は正面図、(b)は側面図である。 [Figure 2] A diagram showing an example of a sensor unit of the conventional position sensing device, (a) is a front view, (b) is a side view.

【図3】位置センサ装置の検出回路の一例を示す回路図である。 3 is a circuit diagram showing an example of a detection circuit of the position sensor device.

【図4】従来技術の説明図である。 4 is an explanatory view of a prior art.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 コア 2 巻線部(コイル) 3 スペーサ 4 ケース 5 リード線 6 緩衝材 7 注型樹脂 8 被検体 1 core 2 winding portion (coils) 3 spacer 4 Case 5 leads 6 buffer member 7 casting resin 8 subject

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項1】被検体に近接して相対するように配置される軟磁性材料からなるコの字型あるいは馬蹄型で且つ巻線を有する一対のコアと、この一対のコアの間に介在され両コアを平行に支持するスペーサとからなる検出部をケース内に保持してなる位置センサ装置において、上記検出部のコア及びその巻線部を緩衝材で被覆した後、ケース内の空間部に注型樹脂を充填してなることを特徴とする位置センサ装置。 A pair of cores and having a winding in [Utility Model Claims 1. A shaped or horseshoe-shape made of a soft magnetic material arranged so as to face in proximity to the subject, this in the position sensor device formed by holding the detector comprising a spacer in parallel to the support in the case of both core is interposed between a pair of core and covering the core and the winding portion of the detection unit in the buffer material after, the position sensor device, characterized in that formed by filling a casting resin into the space portion of the case.
JP1467091U 1991-02-21 1991-02-21 A position sensor device Pending JPH058407U (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1467091U JPH058407U (en) 1991-02-21 1991-02-21 A position sensor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1467091U JPH058407U (en) 1991-02-21 1991-02-21 A position sensor device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH058407U true JPH058407U (en) 1993-02-05

Family

ID=11867653

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1467091U Pending JPH058407U (en) 1991-02-21 1991-02-21 A position sensor device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH058407U (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015224926A (en) * 2014-05-27 2015-12-14 村田機械株式会社 Magnetic type displacement sensor and detection method of displacement

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015224926A (en) * 2014-05-27 2015-12-14 村田機械株式会社 Magnetic type displacement sensor and detection method of displacement

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3120622A (en) Self-calibrating accelerometer
US5580084A (en) System and method for controlling vehicle safety device
US4806859A (en) Resonant vibrating structures with driving sensing means for noncontacting position and pick up sensing
US4045738A (en) Variable reluctance speed sensor of integral construction utilizing a shielded high coercive force rare earth magnet positioned directly adjacent the sensing rotating element
EP0442985B1 (en) Compact head, signal enhancing magnetostrictive transducer
US3921217A (en) Three-legged magnetic recording head using a magnetorestive element
US5376860A (en) Piezoelectric sensor
US6526827B2 (en) Semiconductor sensor chip and method for producing the chip, and semiconductor sensor and package for assembling the sensor
JP4471657B2 (en) Current sensor
CN1938593B (en) Accelerometer
JP5623038B2 (en) Method of manufacturing a sensor device comprising a stress relieving layer
US4048670A (en) Stress-free hall-cell package
KR900008860B1 (en) Magnetoresistive read transducer having patterned longitudinal bias
CN100485407C (en) Magnetic field sensor and electrical current sensor thereof
US4823605A (en) Semiconductor pressure sensor with casing and method for its manufacture
KR100648188B1 (en) Container for semiconductor sensor, manufacturing method therefor, and semiconductor sensor device
US5637995A (en) Magnetic detection device having a magnet including a stepped portion for eliminating turbulence at the MR sensor
JP4579538B2 (en) Method of manufacturing a current sensor and a current sensor
US4269103A (en) Electromagnetic pickup for stringed musical instruments
US5138292A (en) Encapsulated apparatus
US4926689A (en) Proofmass suspension assembly for accelerometers
JP2000060823A (en) Mri magnet assembly having nonconductive inside wall
US4129937A (en) Method of making grounded transducer for magnetic record disks
US5814985A (en) Incremental sensor of speed and/or position for detecting low and null speeds
US20020063491A1 (en) Stator structure of variable reluctance resolver