JPH0583811A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents

磁気浮上搬送装置

Info

Publication number
JPH0583811A
JPH0583811A JP23835191A JP23835191A JPH0583811A JP H0583811 A JPH0583811 A JP H0583811A JP 23835191 A JP23835191 A JP 23835191A JP 23835191 A JP23835191 A JP 23835191A JP H0583811 A JPH0583811 A JP H0583811A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
levitation
carrier
control
track
electromagnet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23835191A
Other languages
English (en)
Inventor
Masato Eguchi
真人 江口
Satoshi Mori
敏 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to JP23835191A priority Critical patent/JPH0583811A/ja
Publication of JPH0583811A publication Critical patent/JPH0583811A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁極切換時における衝撃を緩和して、該衝撃
に起因する搬送台の振動を可能な限り防止することが出
来る地上一次形式の磁気浮上搬送装置を提供する。 【構成】 制御手段は、制御ゲイン或いは浮上位置制御
電圧を、搬送台移動速度の関数となる様に制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送対象物を載置した
搬送台を軌道に沿って走行移動せしめる搬送装置に関
し、特に、搬送台を磁気的な吸引力により浮上させて、
軌道に対して非接触状態にて走行移動せしめる磁気浮上
搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】かかる装置の従来例の一つを図7につい
て説明する。図7において、状態1の搬送台(可動体)
12は浮上制御装置CON.1及びCON.2で浮上し
ている。その際に作用している磁極は符号16−1、1
6−2で示されている。なお、図7において、浮上制御
装置は3台で構成されている。
【0003】各浮上制御装置CON.1〜CON.3
は、センサアンプ41−1…、補償回路22、電流アン
プ24、コイル用切換装置26、センサ用切換装置28
で構成され、切換制御装置30で制御されている。そし
て、切換制御装置30は、CPU30−1と、プログラ
ム30−2と、コイル用切換装置26及びセンサ用切換
装置28にそれぞれ信号LC(LC1、LC2、LC
3)、LS(LS1、LS2、LS3)を送信し且つセ
ンサ用切換装置28で選択された変位センサの信号LA
1を受信する入出力装置30−3とから構成されてい
る。
【0004】磁極16−1を作用させるに際しては、コ
イル用切換装置26ではスイッチCaを閉じ、センサ用
切換装置28ではスイッチSaを閉じれば良い。その他
の磁極についても、コイル用切換装置26、センサ用切
換装置28における対応するスイッチを閉じることによ
り、励磁して可動体12に対して作用させることが出来
る。
【0005】状態1において、可動体12は前述した様
に磁極16−1、16−2で吸引浮上され、且つ符号L
IMで示すリニアモータにより図7中右方向に付勢され
る。そして、状態2まで移動する。その際に、変位セン
サS−3により切換制御装置30は可動体12が磁極1
6−3の直下に来たことを検知する。そして、浮上制御
装置CON.3におけるコイル用切換装置26、センサ
用切換装置28を閉じる。これに加えて、磁極16−1
を非励磁状態(非作動状態)にする。
【0006】可動体12がさらに右方向に移動を続け状
態3に至ると、該可動体12は磁極16−1、16−2
で支承されていた状態(状態1)から磁極16−2、1
6−3で支承されていた状態(状態3)へ完全に以降す
るのである。以下、この操作を繰り返すことにより可動
体12は移動を続けるのである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ここで、上記した従来
技術における磁気浮上搬送装置では、搬送台の浮上移動
に際して制御ゲインは固定されており、ON/OFFス
イッチ等を制御することによって磁極の切換操作を実行
していた。しかし、この様な磁極切換操作では、磁極1
6−1…の切換に際して衝撃が発生し、且つ該衝撃に起
因して搬送台が振動してしまうという問題が存在してい
る。
【0008】半導体製造設備等の精密工学分野で使用さ
れる場合が多い磁気浮上搬送装置の分野では、軌道上で
搬送台を滑らかに走行移動し、搬送台の発進及び停止を
出来る限りスムーズに行いたいという要望がある。そし
て、上記した様な搬送台の振動はこの様な要望とは相反
するものであり、防止されなければならない。
【0009】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたもので、磁極切換時における衝撃を緩和し
て、該衝撃に起因する搬送台の振動を可能な限り防止す
ることが出来る磁気浮上搬送装置の提供を目的としてい
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置は、搬送台と、該搬送台が浮上移動する軌道と、搬送
台を軌道に対して非接触状態に浮上させる浮上用電磁石
と、搬送台と軌道との間隔を計測する変位センサと、搬
送台の浮上移動を制御する制御手段、とを含む地上一次
形式の磁気浮上搬送装置において、搬送台の移動速度に
対応して制御手段の制御ゲインを調節する制御ゲイン調
節手段を備えている。
【0011】また、本発明の磁気浮上搬送装置は、搬送
台と、該搬送台が浮上移動する軌道と、搬送台を軌道に
対して非接触状態に浮上させる浮上用電磁石と、搬送台
と軌道との間隔を計測する変位センサと、搬送台の浮上
移動を制御する制御手段、とを含む地上一次形式の磁気
浮上搬送装置において、搬送台の移動速度に対応して浮
上位置制御電圧を調節する浮上位置制御電圧調節手段を
備えている。
【0012】本発明の実施に際して、浮上目標電圧を適
宜調節するための浮上目標電圧調節手段を備えているの
が好ましい。
【0013】さらに本発明の磁気浮上搬送装置は、制御
ゲインを制御する制御時間を搬送台移動速度に対応して
変化させる可変操作を行わしめる制御ゲイン可変操作手
段を備えているのが好ましい。
【0014】或いは本発明の磁気浮上搬送装置は、浮上
目標電圧を制御する制御時間を搬送台移動速度に対応し
て変化させる可変操作を行わしめる浮上目標電圧可変操
作手段を備えているのが好ましい。
【0015】これに加えて本発明の磁気浮上搬送装置
は、磁極切換操作における磁極の接続、切り離しに際し
て切換時間遅れを実行する操作を行う切換時間遅れ手段
を備えているのが好ましい。
【0016】さらに本発明の磁気浮上搬送装置は、上記
した磁極切換時間遅れの長短を搬送台移動速度に対応し
て変化させる可変操作を行わしめる切換時間遅れ可変操
作手段を備えているのが好ましい。
【0017】本発明の実施に際して、浮上用電磁石に加
えて、水平方向制御用電磁石と、その電磁石と軌道との
水平方向間隔(の変動)を検出する変位センサとを設け
るのが好ましい。そして、前記浮上用電磁石は搬送台側
に構成されるのが好ましい。また、搬送台を軌道に沿っ
て走行移動させる磁気的手段、例えばリニアモータを備
えているのが好ましい。
【0018】ここで制御手段は、変換手段としてアナロ
グ/デジタル変換器及びデジタル/アナログ変換器を備
え、その他に、入出力装置(I/O)と、コンピュータ
により構成されるのが好ましい。そして、デジタル/ア
ナログ変換器は浮上位置制御信号を加算手段に送出する
様に構成されているのが好ましい。
【0019】さらに、変位センサの出力はセンサアン
プ、(センサ側)マルチプレクサを介して加算手段に送
出され、加算手段の出力は電流増幅器、(電磁石側)マ
ルチプレクサを介して電磁石のコイルへ供給されるのが
好ましい。ここで、センサアンプの出力は、センサ側マ
ルチプレクサに送出されると共に、アナログ/デジタル
変換器にも送出されるのが好ましい。そして、入出力装
置からセンサ側マルチプレクサにはセンサ選択信号が出
力され、一方、電磁石側マルチプレクサにはコイル(磁
極)選択信号が出力されるのが好ましい。
【0020】これに加えて、前記コンピュータはその処
理プログラムが変更自在で、その変更は所謂ワンタッチ
方式程度に簡単であるのが好ましい。
【0021】
【作用】上記した様な構成を有する本発明によれば、制
御ゲイン、浮上位置制御電圧、或いは切換時間遅れを適
宜調節することにより、磁極の接続或いは切離しの際の
衝撃が緩和され、搬送台の振動も抑制される。その結
果、搬送台上に載置された被搬送物を安全に移送するこ
とが出来るので、半導体製造設備等の精密工学関連分野
における搬送機器としても好適に使用することが出来
る。
【0022】これにより、搬送台を軌道上で滑らかに浮
上移動させることが可能になった。
【0023】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。
【0024】図1及び図2は本発明の1実施例を示して
いる。先ず、図2において、全体を符号10で示す本発
明の磁気浮上搬送装置は、搬送台12と軌道14とを含
んでいる。そして、軌道14は図2の紙面と直角な方向
に延長されており、従って搬送台12も図2の紙面と直
角な方向に走行移動する。なお、搬送台12上に載置さ
れるのは、例えば半導体ウエハ等のワーク(図示せず)
である。
【0025】軌道14の下部には浮上用電磁石16が配
置されている。なお、浮上用電磁石16は軌道14に沿
って多数設けられている。そして、浮上用電磁石16の
中央部には、搬送台12の下部12Lとの距離を検知す
る変位センサ18が設けられている。この変位センサ1
8からの出力は、図2を参照して後述する様に、浮上用
電磁石16のコイル16cへ供給する電流制御に用いら
れる。
【0026】浮上用電磁石16の上方には、水平方向
(矢印H)安定用電磁石20が、軌道14に沿って多数
設けられている。電磁石20には、搬送台12の内側面
12sとの間隔を検出する変位センサ22が設けられて
いる。
【0027】搬送台12の水平方向H外側の両サイドに
は、搬送台を軌道に沿って走行移動させる磁気的手段で
あるリニアモータ24が設けられている。図2の符号2
6で示されているのは、リニアモータ24の二次側部材
である。
【0028】浮上用電磁石16により搬送台12の下部
12Lを吸引して搬送台12を浮上せしめ、リニアモー
タ24及び二次側部材26の作用により搬送台12を走
行移動させる。そして、変位センサ18により浮上量が
適正な範囲にあるか否かが検出され、変位センサ22に
より水平方向位置が適正であるか否かが検出されるので
ある。
【0029】ここで、搬送台12は左右1対のみの浮上
用電磁石16で磁気的に支持されているのではなく、複
数対で支持されている。従って、搬送台12に対して検
出を行っている変位センサ18も左右各々に複数個ずつ
存在する。
【0030】図1において、複数の変位センサ18の出
力は、対応するそれぞれのセンサアンプ30を介してセ
ンサ側マルチプレクサ32に送出される。その一部は途
中で分岐して、全体を符号34で示す制御手段のアナロ
グ/デジタル変換器36に送出される。センサ側マルチ
プレクサ32に送出された信号はそこから加算手段38
へ送出され、該加算手段38において浮上目標信号V
ref 及び浮上位置制御信号Vcontが加算される。
【0031】この浮上位置制御信号Vcontは、所定値に
到達するまでは、図3、4で示す様に、搬送台12が走
行移動する速度の関数となる様に制御されている。
【0032】加算手段38で加算された信号は、補償回
路44、電流増幅器46を介して、電磁石側マルチプレ
クサ48へ入力される。そして、その時点で搬送台12
を磁気的に支持している浮上用電磁石16…のコイル1
6cに対して、選択的に電流を通電するのである。制御
手段34はさらに入出力装置50を含んでいる。この入
出力装置50はセンサ側マルチプレクサ32に対してセ
ンサ選択信号Vscを出力し、電磁石側マルチプレクサ4
8に対してコイル(磁極)選択信号Vccを出力する。こ
れにより、軌道14において搬送台12が存在する領域
にあるセンサ18或いは電磁石16のみが選択的に制御
ループを構成するのである。なお、符号46−a、48
−aは、対応する電磁石16を励磁する他方の電流増幅
器及び電磁石側マルチプレクサをそれぞれ示している。
【0033】ここで、補償回路44の一部には制御ゲイ
ンを適宜調節するための制御ゲイン調節手段であるゲイ
ンコントローラ45が設けられている。そして入出力装
置50は、センサ選択信号Vsc及びコイル(磁極)選択
信号Vccに加えて、ゲインコントローラ45の制御信号
をも出力する。そして、入出力装置50及びコンピュー
タ42は、制御ゲインを制御する制御時間を搬送台移動
速度に対応して変化させる可変操作を行わしめる制御ゲ
イン可変操作手段を構成している。そして、この制御ゲ
インは、所定値に到達するまでは、図3、4で示す様
に、搬送台の走行移動速度の関数となる様に制御されて
いる。
【0034】変化に対応してオフセット電圧Vofを変化
させて、ライン全体に亘る時間特性を作成し、それをプ
ログラミングすることも可能である。その様にすれば、
浮上及び着地の際に衝撃が発生することが無く、しかも
加工ステーションにおけるワークの受け渡しが円滑にお
こなわるのである。
【0035】図3はコンピュータ42による制御特性を
示している。前述した様に、制御ループのゲインが所定
値に到達する時間tは、搬送台移動速度vの関数f
(v)となっている。
【0036】なお、水平方向Hについても、図1〜4で
示すのと同様な原理及び構成にて、好適な制御が行われ
ることを付記する。
【0037】次に、図5、6を参照して、図1〜4の実
施例における磁極切換作業のシーケンスについて説明す
る。
【0038】図5において、図中最上段に示す状態にあ
る搬送台12を支持している磁極16−1、16−3の
ノード(電磁石、変位センサ、リニアモータの組)に対
し、進行方向(図5では右方向)について1つ先行する
ノードIVに属するセンサの出力電圧から、「搬送台1
2位置検出及び磁極切換判断のためのセンサ電圧(スレ
ッショルド電圧)に達したときに立つフラグ(スレッシ
ョルドフラグ)」を監視し、ビットが立った時点で切換
動作を開始する(ステップS1:図6)。
【0039】スレッショルドビットが立った時点から、
水平方向電磁石の接続までの予め設定された時間遅れ
(ACT時間1)が経過すると(ステップS2)、ノー
ド番号IIに属する水平方向電磁石が接続され(ステッ
プS3)、ノード番号IIに属する水平方向の浮上制御
ループにおける目標浮上電圧が出力される(ステップS
4)。そして、ノード番号IIに属する水平方向変位セ
ンサについて、入出力装置50を通じて制御される可変
ゲイン(プログラマブルゲイン)をゼロから設定値まで
制御し(ステップS5)、ノード番号IIに属する垂直
方向上部電磁石16−2を接続して(ステップS6)、
ノード番号IIに属する垂直方向浮上制御ループについ
てプログラマブルゲインのゼロから設定値まで制御する
(ステップS7)。
【0040】さらに、ノード番号IIに属する垂直方向
浮上制御ループにおいて搬送台12を検知していない状
態でのセンサ出力電圧値(オープン電圧)から目標浮上
電圧までの出力を制御する(ステップS8)。この行程
に準じて、対応する電磁石に供給される電流が制御され
る。そして、ノード番号IIに属する垂直方向下部電磁
石が接続される(ステップS9)。
【0041】ステップS9が完了してから、ノード番号
Iに属する磁極(16−1)の切離し開始までの予め設
定された時間遅れ(ACT時間2)が経過すると(ステ
ップS10)、ノード番号Iに属する垂直方向下部電磁
石を切離し(ステップS11)、ノード番号Iに属する
垂直方向変位センサにおいて目標浮上電圧からオープン
電圧までの制御、すなわちオフセット電圧の制御、を行
う(ステップS12)。そして、ノード番号Iに属する
垂直方向制御ループにおいてプログラマブルゲインの設
定値からゼロまでの制御を行い(ステップS13)、こ
の行程に準じて、対応する電磁石に供給される電流が制
御される。ノード番号Iに属する垂直方向上部電磁石1
6−1を切離し(ステップS14)、ノード番号Iに属
する水平方向変位センサにおいてプログラマブルゲイン
の設定値からゼロまでの制御を行い(ステップS1
5)、ノード番号Iに属する水平方向電磁石を切り離す
(ステップS16)。
【0042】ステップS16が完了してから、ノード番
号IVに属する磁極(16−4)の接続開始までの予め
設定された時間遅れ(ACT時間3)が経過すると(ス
テップS17)、ステップS18〜S24の行程を行
う。ここで、ステップS18〜S24の行程は、ノード
番号IVに属する水平方向及び垂直方向の磁極に対して
ステップS3〜S9までの行程と同様な処理を実行する
ものである。
【0043】ステップS24、すなわちノード番号IV
に属する磁極(16−4)の切離しが完了してから、ノ
ード番号IIIに属する磁極(16−3)の接続開始ま
での予め設定された時間遅れ(ACT時間4)が経過す
ると(ステップS25)、ステップS26〜S31の行
程を行う。ここで、ステップS26〜S31の行程は、
ノード番号IIIに属する水平方向及び垂直方向の磁極
に対してステップS11〜S16までの行程と同様な処
理を実行するものである。
【0044】図示の実施例においては、図6、7で説明
したシーケンスの実行に際して、ACT時間1〜4を設
け、磁極間の搬送台12の移動速度に応じて変化させる
ことにより、磁極切換の最適なタイミングを実現してい
る。また、磁極の接続、或いは切離しのそれぞれについ
て、オフセット電圧の制御(浮上位置制御電圧の調
節)、及びプログラマブルゲインの制御(制御ゲインの
調節)の際に、搬送台12の移動速度に応じた制御時間
と関数(波形)を設定し、これにより磁極切換時におけ
る搬送台12への衝撃とそれに起因する振動を緩和して
いる。
【0045】ここで、図6、7のシーケンスにおいては
浮上位置制御電圧の調節と制御ゲインの調節を共に行っ
ているが、いずれか一方のみを行っても良い。
【0046】この様な工夫により、磁極切換の際に搬送
台12に発生する振動は、最小限に抑制されているので
ある。
【0047】また、垂直方向磁極に対する制御について
の一連の操作を、水平方向磁極制御と同一に行っても良
い。そして、これとは逆に、水平方向磁極制御に関する
操作を、垂直方向磁極の制御操作と同一に行っても良
い。
【0048】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、磁極の接
続或いは切離しの際の衝撃が緩和され、搬送台の振動も
抑制される。その結果、搬送台上に載置された被搬送物
を安全に移送することが出来るので、半導体製造設備等
の精密工学関連分野における搬送機器、特に半導体チッ
プ製造設備等における搬送手段として、極めて有効に用
いることが出来る。
【0049】これにより、搬送台を軌道上で滑らかに浮
上移動させることが可能になるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例で用いられる制御回路を示す
ブロック図。
【図2】図1の実施例の制御回路を除いた部分の正面
図。
【図3】立ち上がり時(接続時)における制御の時間特
性を表現した特性図。
【図4】立ち下がり時(切離し時)における制御の時間
特性を表現した特性図。
【図5】磁極切換作業のシーケンスを説明するための模
式図。
【図6】磁極切換作業のシーケンスのフローチャートを
示す図。
【図7】従来の磁気浮上搬送装置のブロック図。
【符号の説明】
10・・・磁気浮上搬送装置 12・・・搬送台 14・・・軌道 16・・・浮上用電磁石 16c・・・浮上用電磁石のコイル 18、22・・・変位センサ 20・・・水平方向制御用電磁石 24・・・リニアモータ 32・・・センサ側マルチプレクサ 34・・・制御手段 36・・・アナログ/デジタル変換器 38・・・加算手段 40・・・デジタル/アナログ変換器 42・・・コンピュータ 45・・・ゲインコントローラ 50・・・入出力装置 Vref ・・・浮上目標信号 Vcont・・・浮上位置制御信号 Vsc・・・センサ選択信号 Vcc・・・コイル(磁極)選択信号
【手続補正書】
【提出日】平成4年9月25日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0021
【補正方法】変更
【補正内容】
【0021】
【作用】従来、搬送台の移動速度とは無関係に、ある一
定の操作時間で制御ゲイン増減操作、浮上目標電圧の変
化操作、あるいは切換時間遅れ操作を実施していてた。
そのため搬送台の移動速度が大きい時に許容される時間
範囲内にそれらの変化時間が拘束される。それ故に、ゲ
イン、浮上目標電圧の変化時間、あるいは切換時間遅れ
を相対的に長く持たせる必要のある搬送台の移動速度が
低い時点、つまり加速時もしくは減速時に搬送台に鉛直
方向のモーメントが発生し、搬送台の鉛直方向の振動が
助長されていた。しかるに、本発明では、搬送台の移動
速度に応じたゲイン、浮上目標電圧の変化時間、あるい
は切換時間遅れの設定を行う事により、搬送台の移動速
度に最適な切り換え状態を実現できるので、切り換え時
に搬送台に発生する鉛直方向のモーメントを抑制する事
が可能となり、搬送台の振動を大巾に抑制することがで
きる。その結果、搬送台上に載置された被搬送物を安全
に移送することが出来るので、半導体製造設備等の精密
工学関連分野における搬送機器としても好適に使用する
ことが出来る。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0025
【補正方法】変更
【補正内容】
【0025】軌道14の上部および下部には浮上用電磁
石16が配置されている。なお、浮上用電磁石16は軌
道14に沿って多数設けられている。そして、下部に設
けた浮上用電磁石16の中央部には、搬送台12の下部
12Lとの距離を検知する変位センサ18が設けられて
いる。この変位センサ18からの出力は、図2を参照し
て後述する様に、浮上用電磁石16のコイル16cへ供
給する電流制御に用いられる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0048
【補正方法】変更
【補正内容】
【0048】
【発明の効果】本発明の効果を確認するために、実験を
行った。その結果、図8および図9に示す。図8は従来
技術、図9は本発明によるものであり、いずれも横軸に
時間、縦軸に振動加速度を示している。これらの図から
解る通り、従来の1/4程度に減少させることができ
た。以上説明したように本発明によれば、磁極の接続或
いは切離しの際の衝撃が緩和され、搬送台の振動も抑制
される。その結果、搬送台上に載置された被搬送物を安
全に移送することが出来るので、半導体製造設備等の精
密工学関連分野における搬送機器、特に半導体チップ製
造設備等における搬送手段として、極めて有効に用いる
ことが出来る。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図8
【補正方法】追加
【補正内容】
【図8】従来技術による振動加速度の実験値を示す図。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図9
【補正方法】追加
【補正内容】
【図9】本発明による振動加速度の減少を示す実験値を
示す図。
【手続補正7】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図8
【補正方法】追加
【補正内容】
【図8】
【手続補正8】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図9
【補正方法】追加
【補正内容】
【図9】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G05F 7/00 8938−5H

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 搬送台と、該搬送台が浮上移動する軌道
    と、搬送台を軌道に対して非接触状態に浮上させる浮上
    用電磁石と、搬送台と軌道との間隔を計測する変位セン
    サと、搬送台の浮上移動を制御する制御手段、とを含む
    地上一次形式の磁気浮上搬送装置において、搬送台の移
    動速度に対応して制御手段の制御ゲインを調節する制御
    ゲイン調節手段を備えていることを特徴とする磁気浮上
    搬送装置。
  2. 【請求項2】 搬送台と、該搬送台が浮上移動する軌道
    と、搬送台を軌道に対して非接触状態に浮上させる浮上
    用電磁石と、搬送台と軌道との間隔を計測する変位セン
    サと、搬送台の浮上移動を制御する制御手段、とを含む
    地上一次形式の磁気浮上搬送装置において、搬送台の移
    動速度に対応して浮上位置制御電圧を調節する浮上位置
    制御電圧調節手段を備えていることを特徴とする磁気浮
    上搬送装置。
JP23835191A 1991-09-18 1991-09-18 磁気浮上搬送装置 Pending JPH0583811A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23835191A JPH0583811A (ja) 1991-09-18 1991-09-18 磁気浮上搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23835191A JPH0583811A (ja) 1991-09-18 1991-09-18 磁気浮上搬送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0583811A true JPH0583811A (ja) 1993-04-02

Family

ID=17028909

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23835191A Pending JPH0583811A (ja) 1991-09-18 1991-09-18 磁気浮上搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0583811A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997019295A1 (en) 1995-11-24 1997-05-29 Kurihara Kogyo Co., Ltd. Combustion system and combustion furnace

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5288913A (en) * 1976-01-21 1977-07-26 Hitachi Ltd Float-up height control system
JPS60216706A (ja) * 1984-03-27 1985-10-30 アーエーゲー・ウエスチングハウス―トランスポート―ジステメ・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング リニヤモータ磁気浮上車両の空隙制御装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5288913A (en) * 1976-01-21 1977-07-26 Hitachi Ltd Float-up height control system
JPS60216706A (ja) * 1984-03-27 1985-10-30 アーエーゲー・ウエスチングハウス―トランスポート―ジステメ・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング リニヤモータ磁気浮上車両の空隙制御装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997019295A1 (en) 1995-11-24 1997-05-29 Kurihara Kogyo Co., Ltd. Combustion system and combustion furnace

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5360470A (en) Magnetic levitating transporting apparatus with a movable magnetic unit
US5467718A (en) Magnetic levitation transport system with non-contact inductive power supply and battery charging
US5449985A (en) Zero-power control type vibration eliminating apparatus
JP2553043B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH0583811A (ja) 磁気浮上搬送装置
US6359767B1 (en) Apparatus for controlling magnetic levitation system
CA1043872A (en) Variable flux-reset ferroresonant voltage regulator
JPS61102105A (ja) 浮上式搬送装置
JP3209844B2 (ja) 磁気浮上搬送装置
JP2964145B2 (ja) 磁気浮上搬送装置
JP3306893B2 (ja) 磁気軸受装置
JP4237926B2 (ja) 磁気浮上体の制御装置
US20070080594A1 (en) Power amplification device and magnetic bearing
JP3347782B2 (ja) 非接触昇降装置
JP2597435B2 (ja) 磁気浮上搬送装置の制御装置
JPH06105410A (ja) リニア誘導モータを用いた磁気浮上搬送装置
JPH06156733A (ja) 磁気浮上搬送装置
JPH05276608A (ja) 磁気浮上搬送装置の水平維持制御装置
JP2941374B2 (ja) 磁気浮上搬送装置の制御装置
JPH03118703A (ja) 磁気吸引浮上式搬送装置の電磁石制御回路
JPH0783221B2 (ja) 磁気吸引力発生用パワ−アンプ
JPH0919005A (ja) 吸引式磁気浮上車
JPH06229419A (ja) 磁気軸受
JPH07298417A (ja) 磁気浮上車
JP2713885B2 (ja) 浮上式搬送装置