JPH05341247A - Method and apparatus for production of electronic device - Google Patents

Method and apparatus for production of electronic device

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JPH05341247A
JPH05341247A JP15258292A JP15258292A JPH05341247A JP H05341247 A JPH05341247 A JP H05341247A JP 15258292 A JP15258292 A JP 15258292A JP 15258292 A JP15258292 A JP 15258292A JP H05341247 A JPH05341247 A JP H05341247A
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JP
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resin film
surface
roller
smoothing
substrate
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Application number
JP15258292A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideumi Kanetaka
Masaru Nikaido
勝 二階堂
秀海 金高
Original Assignee
Toshiba Corp
株式会社東芝
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Abstract

PURPOSE: To enable the production of the electronic device having excellent smoothness by using an induction heating type roller at the time of smoothing a resin film surface.
CONSTITUTION: While colored ink films 32 of color filters are kept heated to about 90°C, the smoothing roller 38 is pushed down like an arrow Fa. The roller is rotationally moved like an arrow Fb while the colored fink films 32 are crushed via a resin film 35. Namely, the striped color ink films 32 are continuously smoothed toward an arrow Fc in the pattern direction, i.e., the longitudinal direction thereof by the smoothing roller 38. The resin film 35 is so disposed as to exist in a diagonal direction at some angle with the plane of the colored ink films 32 to be smoothed in this smoothing stage and, therefore, the air ink films are successively smoothed by the roller 38 while the air existing in the recesses of the colored ink films 32 is smoothly pushed out. As a result, the smooth resin film surface having the high accuracy is obtd.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えば液晶表示装置の特にカラーフィルタ、感熱印字ヘッド(サーマルヘッド)の特に保温層、あるいはハイブリッドICの特に多層回路基板、その他の電子デバイスの製造方法及び製造装置に係り、特に基板上に直接または他の層を介して付着された種々のパターンあるいは平面状の樹脂被膜を平滑化して用いる電子デバイスの製造方法、およびそれを実施するための装置に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION This invention is for example especially in particular multilayer circuit board, other manufacturing method and manufacturing of electronic devices of the color filter, in particular heat insulating layer of the thermal print head (thermal head) or a hybrid IC, a liquid crystal display device relates to a device, a manufacturing method of an electronic device used in particular smoothing the various patterns or flat resin film is attached directly or via another layer on the substrate, and an apparatus for carrying it.

【0002】 [0002]

【従来の技術】近年、各種電子部品材料に有機材料が広く使用されるようになってきている。 In recent years, it has come to an organic material is used widely for various electronic parts material. 例えば、サーマルヘッドの高抵抗基体やハイブリッドIC用多層回路基板など、熱に対して高い信頼性が要求される各種電子部品材料の支持基板として、各種基板上に耐熱性ポリイミド樹脂を絶縁層や耐熱層として被覆した樹脂被覆基板が多用されるようになった。 For example, a multilayer circuit board for high-resistance substrate and hybrid IC of the thermal head, as a supporting substrate for various electronic parts materials high reliability against heat is required, the heat-resistant polyimide resin on a variety of substrate dielectric layer and heat resin-coated substrate coated as a layer came to be widely used.

【0003】以下に、カラー液晶表示装置を例に挙げて、従来の技術を説明する。 [0003] In the following, by taking a color liquid crystal display device as an example, illustrating the prior art. カラー液晶表示装置の構造は、液晶層を挟んで対向する基板のうち一方の外主面側にカラーフィルタが配置される。 Structure of the color liquid crystal display device, a color filter is disposed on one of the outer main surface of the substrate facing each other across the liquid crystal layer. このカラーフィルタを製造する方法の一つとして、印刷法がある。 One method for producing the color filter, there is a printing method. この印刷法は、透明ガラス基板の表面に、顔料及び樹脂溶剤中に分散させた着色インクを、ドット状またはストライプ状に印刷する方法であり、低コスト化、量産性に富む製造方法である。 The printing method, the surface of the transparent glass substrate, a color ink obtained by dispersing a pigment and a resin solvent, a method of printing in a dot shape or a stripe shape, a manufacturing method enriched low cost, mass production.

【0004】即ちこの印刷法は、赤(R)、緑(G)、 [0004] In other words, in this printing method, red (R), green (G), and
青(B)の着色インクを、円圧式の転写用ブランケットを装備した凹版オフセット印刷方式によりガラス基板上に所望パターン状に印刷する。 The color ink and blue (B), to print a desired pattern on a glass substrate by intaglio offset printing method equipped with a transfer blanket circle pressure. 印刷をして乾燥させた状態の断面を図1に示す。 A section of the state in which the drying by the print shown in FIG. まず、ガラス基板21の表面に黒色の光遮断層BMをマトリクス状に被着させる。 First, depositing a light blocking layer BM of black matrix on the surface of the glass substrate 21. 次に、主として光遮断層BMのない領域の一つに、同図の右から左方向に円圧式の転写用ブランケットを回転させながら移動させて赤の着色インク被膜Rをストライプ状に印刷する。 Next, mainly one having no light shielding layer BM region, is moved to print the colored ink coating R of red stripes while rotating the transfer blanket circle pressure from right to left in FIG. 続いて、光遮断層BMのない隣の領域に、 Subsequently, the area next to no light blocking layer BM,
緑の着色インク被膜G、さらに続いて青の着色インク被膜Bを印刷する。 Green colored ink coating G, further followed by printing a colored ink coating B blue. こうして3原色の着色インク被膜をガラス基板上に印刷した状態では、同図に示すように、被膜面が各色の画素内で円弧状になる。 In a state where a colored ink coating was printed on a glass substrate thus three primary colors, as shown in the figure, the film surface is arcuate in the pixel of each color. つまり、各着色インク被膜の境界付近で膜厚が最小となり、中央部分で膜厚が最大となる。 In other words, the thickness near the boundary of each of the colored ink coating is minimized, the thickness at the central portion becomes the maximum.

【0005】このままでは、色むらを生じたりして、高品位のカラー液晶表示が得られない。 [0005] In this state, with or cause uneven color, not the color liquid crystal display of high quality can be obtained. そのため、着色インク被膜の表面を平滑化する必要がある。 Therefore, it is necessary to smooth the surface of the colored ink coating. この表面が平坦でない樹脂被膜の表面を平滑化する方法として、従来、種々の提案がなされている。 As a method for this surface to smooth the surface of the resin film is not flat, conventional, various proposals have been made. その一つは、特開昭6 One of them, JP-A-6
1−3122号公報に開示されるような、微粒子を含むラッピングフィルムで着色インク被膜の表面を研磨して平滑化する方法である。 1-3122 Patent, as disclosed in Japanese, is a method for smoothing by polishing the surface of the colored ink coating by lapping film containing fine particles. また、別の方法は、特開昭63 In addition, another method, JP-A-63
−216028号公報、あるいは特開平1−16780 -216028 discloses or Hei, 1-16780
7号公報に開示されるような、ゴムまたは鏡面仕上げした金属性のローラで、加熱、加圧して着色インク被膜の凸部を潰して平滑化する方法である。 No. 7 as disclosed in JP, rubber or mirror-finished metallic roller, heating is a method of smoothing crushed projections of colored ink coating pressurized. さらにまた、カラーフィルタの着色インク被膜側を直接または離型性の良いフィルムを介して平板または平面定盤に当て、ガラス基板側からプレス用のローラまたは定盤で加圧して平滑化する方法が、特開平2−251816号公報、あるいは特開昭62−280805号公報などに開示されている。 Further also applied to the flat or planar surface plate through a good film directly or releasability of the colored ink coating side of the color filter, a method for smoothing pressurized with rollers or platen of a press from the glass substrate side are disclosed in, JP-a-2-251816 discloses or Sho 62-280805 JP.

【0006】とくに後者の公開特許公報に開示された方法は、およそ図2に示すように、定盤22の上にカラーフィルタの着色インク被膜R、G、Bの面を当て、ガラス基板21の裏面側にプレスローラ23を置いて、加圧する方法である。 [0006] Particularly the method disclosed in the latter patent publications of, as shown approximately in Figure 2, the colored ink coating R color filter on the surface plate 22, G, against the surface of B, the glass substrate 21 on the back side at the press roller 23, a method of pressurizing. また、これらの公報には、定盤22と着色インク被膜との間に、これらに付着しにくいフィルムまたは離型剤を介在する方法、あるいはプレスローラ23を回転移動させる方法も開示されている。 Also, these publications, between the platen 22 and the colored ink coating method intervening adhesion difficult films or a release agent thereto, or a method of rotating moving the press roller 23, is also disclosed.

【0007】 [0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の方法を用いても着色インク被膜表面は十分に平坦でなかった。 [0008] However, even the color ink coating surface using the methods described above were not sufficiently flat. このため、液晶を挟んで2枚の基板を張り合わせる際に、張り合わせ面に空隙や気泡ができたり、両基板間のギャップが不均一となる。 Therefore, when laminating two substrates sandwiching the liquid crystal, or could voids or bubbles bonding surface, the gap between the substrates becomes uneven. また、フィルタ基板に付着されている着色インク被膜上に、直接またはオーバーコート層を介して透明導電膜であるITO(Indium Tin O Further, on the colored ink coating that is deposited on the filter substrate, ITO is a transparent conductive film directly or through an overcoat layer (Indium Tin O
xide)被膜をスパッタなどで形成した場合に、着色インク被膜面に凹凸があると、被膜の厚い部分でスパッタ形成被膜が不十分になったり、スパッタ被膜が形成されずに断線を生じやすい。 The Xide) coating when forming such a sputtering, when there is unevenness in coloring ink coating surface, or sputtered film becomes insufficient in the thick portion of the film susceptible to break without sputter coated is formed. このように電子デバイスの製造や特性に支障が生じやすい。 In this way likely to cause trouble in the production and characteristics of the electronic device. さらにまた、着色インク被膜面の凹凸による光拡散現象によって、透過性が損なわれたり、その他の光学的損失などが発生する。 Furthermore, by the light diffusion phenomenon due to unevenness of the colored ink coating surface, or permeability is impaired, and other optical loss.

【0008】この発明は、このような技術的背景に鑑み、平滑度のすぐれた樹脂被膜を有する電子デバイスを製作するための製造方法、及びその実施に使用する製造装置を提供することを目的とする。 [0008] This invention has been made in view of such a technical background, and aims to provide a manufacturing method for fabricating an electronic device having a smoothness of excellent resin film, and a manufacturing apparatus used for its implementation to.

【0009】 [0009]

【課題を解決するための手段】この発明は、上述の課題を解決するために、基板の一方の面に直接または他の層を介して溶剤を含む樹脂被膜を付着させる工程と、その後樹脂被膜を乾燥して溶剤を除去する工程と、その後樹脂被膜を加熱しながら加圧して樹脂被膜面を平滑化する工程とを備える電子デバイスの製造方法において、 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention, in order to solve the problems described above, adhering a resin film containing a solvent directly or through another layer on one surface of the substrate, then the resin coating in the method for manufacturing an electronic device comprising the steps of drying to remove the solvent, and a step of subsequently smoothing the resin coating surface of the resin film while heating under pressure,

【0010】上記樹脂被膜面を平滑化する工程は、基板の一主面を支持体により機械的に支持すると共に、基板の他方の主面から直接あるいは樹脂フィルムを介して誘導加熱式ローラを押し当てて樹脂被膜を加熱しながら加圧して平滑化し、その後樹脂フィルムを剥離する電子デバイスの製造方法を用いる。 [0010] step of smoothing the resin film surface, with the one main surface of the substrate mechanically supported by the support member, press the induction heating roller directly or via a resin film from the other main surface of the substrate against and pressurized while heating the resin coating was smooth, using a subsequent method for manufacturing an electronic device for peeling the resin film.

【0011】 [0011]

【作用】この発明においては、樹脂被膜面を平滑化する際、誘導加熱式ローラを用いることによって、熱効率、 [Action] In this invention, when smoothing the resin film surface, by using the induction heating roller, thermal efficiency,
温度の均一性を向上させることができる。 It is possible to improve the uniformity of the temperature. とくに、ローラ表面にゴム硬度60度以上の被覆層を直接装着するために、これらの特性を一層向上させると共に、高精度の平滑樹脂被膜面が得られる。 In particular, in order to mount a rubber hardness of 60 degrees or more coating layers directly on the roller surface, with further improve these characteristics, the smooth resin coating surface of high accuracy is obtained.

【0012】 [0012]

【実施例】 【Example】

(実施例1) (Example 1)

【0013】図4に示す実施例は、この発明をカラー液晶表示装置のカラーフィルタの製造方法、及びその製造装置に適用したものである。 [0013] embodiment shown in FIG. 4, is obtained by applying the present invention method of producing a color filter of a color liquid crystal display device, and its manufacturing apparatus. 同図はその一部を拡大して示してある。 This figure is shown an enlarged portion thereof.

【0014】まず、長辺が30cm、短辺が30cmの長方形で、厚さが1.1mmの透明ガラス基板31の一方の面上に、クロムからなる光遮断層BMをマトリックス状に付着させた。 [0014] First, the long sides 30cm, with short side of 30cm rectangular, on one surface of the transparent glass substrate 31 having a thickness of 1.1 mm, and the light blocking layer BM of chromium is deposited in a matrix . 次に、基板表面を洗浄した後、凹版オフセット印刷機により、顔料及び溶剤を含むエポキシ樹脂系ワニスを主体とする着色インクを用い、凹版を使用して凹セルパタ−ンに従ってストライプ状の着色インク被膜32を基板面上に印刷した。 Next, after cleaning the substrate surface by intaglio offset printing machine, using a colored ink composed mainly of an epoxy resin-based varnish containing a pigment and a solvent, concave using intaglio Serupata - striped colored ink coating according to emissions 32 was printed on the substrate surface. 着色インク被膜32 Colored ink coating 32
は、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色を順次印刷した。 It is, red (R), green (G), and were sequentially printing the three primary colors of blue (B). すると、各着色インク被膜R、G、Bは、粘性があるため、中央付近の印刷方向の後端側に少し偏った部分が山形に盛り上がった状態となる。 Then, each colored ink coating R, G, B, since it is viscous, a state slightly deviated portion at the rear end of the printing direction in the vicinity of the center was raised to Yamagata. この頂上付近の膜厚は、4〜5μmである。 The film thickness in the vicinity of this summit is a 4~5μm.

【0015】この着色インク被膜32を形成した後、1 [0015] After forming the colored ink coating 32, 1
00〜150℃の範囲の、着色インク被膜の熱硬化が起らない温度で乾燥し、溶剤を除去した。 In the range of from 00 to 150 ° C., the thermosetting colored ink coating was dried at a temperature not occur, the solvent was removed. この溶剤除去量は、着色インクに当初添加した溶剤量の60%以上、より好ましくは80%以上である。 The solvent removal amount is more than 60% of the initial colored ink the added amount of solvent, more preferably 80% or more. この溶剤除去量が60 The solvent removal amount is 60
%以下であると、後の着色インク被膜の平滑化の際、溶剤の蒸発による発泡で気泡の流れ込みが起こる場合があるので、上記の範囲とした。 When% or less, when the smoothing of colored ink coating after, because it may foam due to the evaporation of the solvent inflow of air bubbles occurs, and the above range.

【0016】次に、印刷、乾燥を終えたカラーフィルタのガラス基板31側を、加熱定盤33の上に置き、図示しない真空吸引チャックにより吸着させ、固定した。 Next, printing, the glass substrate 31 side of the color filter having been subjected to drying, placed on a heating plate 33, is adsorbed by a vacuum suction chuck (not shown) and fixed. 加熱定盤33には、加熱ヒータ34が埋設してあり、それにより、定盤表面を所定温度に設定してある。 The heating platen 33, a heater 34 is Yes buried, thereby is set to the surface of the surface plate at a predetermined temperature. 定盤33 Platen 33
の上方には、平滑化ローラ38を設置してある。 Above the, it is installed smoothing roller 38.

【0017】このローラ38は概略、図5に示す構造を有する。 [0017] The roller 38 has a structure shown schematically in FIG. 即ち、ローラ内部には、コイル38aと、コア38bからなる誘導コイル38Aが組み込まれている。 That is, the inner roller, and the coil 38a, the induction coil 38A is incorporated consisting of the core 38b.
また、ローラ表面には被覆層38fが装着されている。 Further, the coating layer 38f is mounted on the roller surface.
この被覆層38fは、例えば耐熱性のミラブル型シリコンゴムによって構成される。 The coating layer 38f is composed of, for example, a heat-resistant millable silicone rubber. 支持軸38cに内蔵された電源リード線38dを通して、例えば周波数50〜60 Through power leads 38d incorporated in the support shaft 38c, for example, frequency 50-60
Hzの交流電圧を印加すると、この誘導コイル38Aは交番磁束を発生する。 When an AC voltage is applied in Hz, the induction coil 38A generates the alternating magnetic flux. このとき、誘導コイル38Aと同心円となるように設けられた回転ロール38eの肉厚内に、円周方向に沿って短絡電流が誘起され、回転ロール38e全体が発熱源となって自己発熱する。 In this case, the induction coil 38A and the wall thickness of the rotating rolls 38e provided so as to be concentric, short-circuit current in the circumferential direction is induced, the entire rotating roll 38e generates heat by itself become a heat source. このため、 For this reason,
熱効率がよく、かつ均一な加熱が可能となる。 Thermal efficiency is good, and uniform heating is possible. さらに、 further,
回転ロール38eの表面に直接、被覆層38fが装着されているため、一層このような特性が向上する。 Directly on the surface of the rotating roll 38e, since the coating layer 38f it is mounted, thereby improving such characteristics further. 尚、被覆層38fの硬度は、インク中の樹脂成分の硬度あるいは基板の材質にもよるが、ゴム硬度で60度以上90度以下であることが望ましい。 Incidentally, the hardness of the coating layer 38f is depending on the material of the hardness or the substrate of the resin component in the ink, it is preferably not more than 90 degrees more than 60 degrees in rubber hardness. 60度未満では十分な平滑性が得られず、90度を越えると、ガラスやセラミック基板を用いた場合、基板を破損するおそれがある。 No sufficient smoothness is obtained is less than 60 degrees, exceeds 90 degrees, when using a glass or ceramic substrate, there is a risk of damaging the substrate. また、図に示すように、回転ロール38eの肉厚内に空洞38gを設け、水やオイルなどの流体を封入することによって、さらに温度特性を向上させることができる。 Further, as shown in FIG, the cavity 38g in the thickness of the rotating roll 38e provided, by encapsulating a fluid such as water or oil, it is possible to further improve the temperature characteristics.

【0018】このような平滑化ローラ38の表面温度を、85〜100℃の範囲の温度に設定した。 [0018] Such a surface temperature of the smoothing roller 38 was set to a temperature in the range of 85 to 100 ° C.. そして、 And,
カラーフィルタの着色インク被膜32と、ローラ38との間に、樹脂フィルム35を介在させる。 A colored ink coating 32 of a color filter, between the rollers 38, interposing the resin film 35. この樹脂フィルム35は、厚さが25〜100μm望ましくは38〜 The resin film 35 has a thickness of 25~100μm preferably 38 to
75μmの範囲の、例えば25μmのポリエチレンテレフタレ−ト(以下、PETと記す)もしくはポリエチレンナフタレート(PEN)の図示下面に、着色インク被膜に付着し難いシリコン系の離型剤を1μm以下、例えば数千オングストロームの厚さに塗布したものである。 In the range of 75 [mu] m, for example, 25μm polyethylene terephthalate of - DOO (hereinafter, referred to as PET) or the illustrated lower surface of the polyethylene naphthalate (PEN), a releasing agent adhered hard silicon colored ink coating 1μm or less, for example, one in which was applied to a thickness of several thousand angstroms.
樹脂フィルム35としては、剥離力が10〜50g/5 As the resin film 35, the peeling force is 10 to 50 g / 5
0mm、望ましくは25〜35g/mmのものを用いる。 0 mm, preferably used as the 25 to 35 g / mm.

【0019】この装置を用い、カラーフィルタの着色インク被膜32を約90℃に加熱しながら、平滑化ローラ38を矢印Faのように押し下げ、樹脂フィルム35を介して着色インク被膜32を押し潰しながら、矢印Fb [0019] Using this apparatus, while heating the color ink film 32 of the color filter at about 90 ° C., depress the smoothing roller 38 as shown by the arrow Fa, while crushing the colored ink coating 32 through the resin film 35 , the arrow Fb
のように回転移動させた。 Rotated move as. つまり、平滑化ローラ38によって、ストライプ状の着色インク被膜32を、パタ− That is, the smoothing rollers 38, a stripe-shaped colored ink coating 32, pattern -
ン方向すなわちその長手方向に向けて矢印Fcの方向に連続的に平滑化した。 Down direction, i.e. towards the longitudinal direction it was continuously smoothing in the direction of arrow Fc. この平滑化工程では、樹脂フィルム35を平滑化すべき着色インク被膜32の面に対してある角度をもって斜め方向となるようにしてある。 In the smoothing step, it is set to be an oblique direction at an angle to the surface of the colored ink coating 32 to be smooth resin film 35. それによって、着色インク被膜32の凹みに存在する空気は、スムースに押し出されながら、インク被膜がローラ38で平滑化されて行く。 Whereby air present dent of the colored ink coating 32, while being pushed smoothly, ink coating gradually smoothed by rollers 38. この平滑化すべき着色インク被膜面と樹脂フィルムとのなす角度は、5度以上、80 The angle between the colored ink coating surface and the resin film to be smoothed, 5 degrees, 80
度以下であればよい。 And it may be less than or equal degrees. 平滑化ローラ38により平滑化した後方においては、樹脂フィルム35を平滑化した着色インク被膜32aの面上に添わした状態を維持し、それによって着色インク被膜面を保温して温度のむらを生じさせず、後の剥離工程で被膜面に皺やすじ状の痕跡が生じないようにする。 In the rear smoothed by the smoothing roller 38 to maintain the state come up was on the surface of the colored ink coating 32a which the resin film 35 by smoothing, without causing unevenness in temperature thereby by incubating a colored ink coating surface , wrinkles and streaks traces on the film surface in the peeling step after does not occur. 平滑化ローラ38による加圧力(線圧)は、10〜15Kg/cmであり、送り速度は5〜 Pressure applied by the smoothing rollers 38 (linear pressure) is 10-15 kg / cm, feed rate 5
8cm/分とした。 It was 8cm / min.

【0020】こうして、着色インク被膜32の全面を平滑化し終わった直後、図示しない剥離ローラを作動させて、樹脂フィルム35を斜め上方に引き上げて瞬時的に着色インク被膜から剥離した。 [0020] Thus, immediately after it finished by smoothing the entire surface of the colored ink coating 32, by operating the stripping roller not shown, peeling the resin film 35 from the instantaneous colored ink coating by pulling obliquely upward. そしてその後、定盤33 And then, the surface plate 33
からカラーフィルタのガラス基板31を外し、200〜 Remove the glass substrate 31 of the color filter from, 200
250℃で数時間加熱し、着色インク被膜を熱硬化させた。 Heated for several hours at 250 ° C., and the colored ink coating is thermally cured. これによって、図6に示すように、着色インク被膜32の表面32aが、平滑化されたカラーフィルタが得られた。 Thus, as shown in FIG. 6, the surface 32a of the color ink film 32, color filters smoothed is obtained. 平滑化された着色インク被膜の厚さは、3.0 The thickness of the smoothed color ink coating is 3.0
μmであった。 It was μm.

【0021】なお、着色インク被膜のパターンは、ストライプ状に限らず、各色の画素が長方形の規則的な整列パターンでもよく、その場合も色画素の長手方向に加熱ローラを回転させて平滑化することが望ましい。 [0021] The pattern of the colored ink coating is not limited to the stripes may be in different colors in the pixel rectangular regular alignment pattern is smoothed by rotating the heat roller in the longitudinal direction of the case the color pixel it is desirable. あるいは、正方形、又は円形の各色画素のパターンであってもよい。 Alternatively, a square, or circular may be pattern for each color pixel. その場合は、任意の方向に向けて平滑化できる。 In that case, it is smoothed in any direction. (実施例2) (Example 2)

【0022】図6に示す実施例は、効率よく連続処理する装置である。 The embodiment shown in FIG. 6 is a high efficiency continuous processing apparatus. この装置は、多数の支持ローラ40、その所定位置に下側加熱ロ−ラ39、及びフィルム剥離用ローラ42の上にベルトコンベア41を走行させるようになっている。 This device has a number of support rollers 40, lower heating Russia in its place - and is adapted to travel La 39 and film belt conveyor 41 on the peeling roller 42,. ベルトコンベア41の上に、平滑化すべきカラーフィルタのガラス基板31が所定間隔をおいて載せられる。 On the belt conveyor 41, the glass substrate 31 of the color filter is placed at a predetermined distance to be smoothed. 下側加熱ロ−ラ39に対応してその上方に、平滑化ロ−ラ38が配置されている。 Thereabove in response to La 39, smoothing Caro - - lower heating b La 38 is disposed. これら一対のローラ38、39に被処理カラーフィルタが到達する手前の位置に、予備加熱炉43が配置されていて、被処理カラーフィルタを予熱するようになっている。 Treated color filter pair of rollers 38 and 39 in the position before reaching and preheating furnace 43 has been arranged, so as to preheat the processed color filter. 表面に離型剤が塗布された樹脂フィルム35は、フィルム送りローラ45から、平滑化ロ−ラ38、及びフィルム剥離用ローラ46を経てフィルム巻取りローラ47に巻取られるようになっている。 The resin film 35 a release agent to the surface is coated, the film feed roller 45, smooth Caro - has become La 38, and as wound film winding roller 47 wound through the film peeling roller 46. そしてこの実施例においても、樹脂フィルム35は、平滑化すべき着色インク被膜32の面に対して斜め方向となるようにしてある。 And also in this embodiment, the resin film 35, are set to be an oblique direction with respect to the surface of the colored ink coating 32 to be smoothed. そして、平滑化ローラ38とフィルム剥離用ローラ46とは、同一面上に設置され、それにより平滑化した後の着色インク被膜の面上に樹脂フィルム35が添ったままの状態を維持 Then, the smoothing roller 38 and the film peeling roller 46 is disposed on the same surface, maintaining thereby a state that the resin film 35 along on the surface of the colored ink coating after smoothing

【0023】するようにしてある。 [0023] are to be. これらのことは、以後の各実施例でも同様である。 These also applies to each embodiment hereinafter. なお、この実施例では、 Incidentally, in this embodiment,
一対の平滑化ローラ38、39と、一対のフィルム剥離用ローラ42、46との間には、平滑化した後のカラーフィルタを冷却する冷風ファン44が配置されている。 A pair of smoothing rollers 38 and 39, between the pair of film peeling rollers 42 and 46, the cold air fan 44 for cooling the color filter after the smoothing is disposed.

【0024】加熱ロ−ラを通過させて平滑化した後、冷風ファン44の下を通して着色インク被膜32及びガラス基板31を冷却させてから、フィルム剥離用ローラ4 The heating Russia - was smoothed by passing through La, allowed to cool colored ink coating 32 and the glass substrate 31 through the bottom of the cold air fan 44, film peeling roller 4
6とその斜め上方に配置したフィルム巻取りローラ47 6 and the film take-up roller 47 disposed in the obliquely upward
とで、コンベア上を走行するカラーフィルタから樹脂フィルム35を連続的に引き剥がす。 And, the peeled from the color filter to travel on the conveyor pulls the resin film 35 continuously.

【0025】この後、インクを熱硬化させ、図6に示す表面32aが平滑化されたカラ−フィルタを得た。 [0025] After this, ink is thermally cured, the surface 32a shown in FIG. 6 color smoothed - to obtain a filter. そして、この着色インク被膜32の上に直接又はオ−バ−コ−ト層を介して液晶表示装置の対向電極となるITO膜を形成した。 And this directly or O on the colored ink coating 32 - to form the via coat layer comprising a counter electrode of the liquid crystal display device ITO film - bar - co. なお、この発明によれば、着色インク被膜32の平滑性が極めて良好なため、オ−バ−コ−ト層を介さず直接ITO膜を被着しても、良好な光学的及び電気的特性が得られた。 Incidentally, according to the present invention, since the smoothness of the color ink film 32 is very good, O - bar - co - also directly ITO film not through the coat layer was coated, good optical and electrical properties was gotten. (実施例3) (Example 3)

【0026】図7に示す実施例は、加熱定盤33の平坦な面上にカラ−フィルタのガラス基板31を載せて真空吸着させ、着色インク被膜32に樹脂フィルム35を介して平滑化ロ−ラ38を押し付けながら回転移動させて、平滑化する装置である。 The embodiment shown in FIG. 7, on a flat surface of the heating platen 33 color - put a glass substrate 31 of the filter and vacuum suction, smoothing the colored ink coating 32 through the resin film 35 Caro - rotate moved while pressing the La 38 is a device for smoothing. 樹脂フィルム35は、着色インク被膜の面の延長上に設置した可動型フィルム剥離用ローラ48を経て巻取りローラ47に巻取られるようになっている。 The resin film 35 is adapted to be wound up roller 47 wound through the movable die film peeling roller 48 which is placed on the extension of the surface of the colored ink coating. 平滑化ローラ38による着色インク被膜32の全面を平滑化した後、この面の延長上に設置した可動型フィルム剥離用ローラ48を押し上げて、樹脂フィルム35を斜め上方に引上げ、着色インク被膜32から剥離する。 After smoothing the entire surface of the colored ink coating 32 by the smoothing roller 38, pushes up the movable die film peeling roller 48 which is placed on the extension of this surface, pulling the resin film 35 obliquely upward, a colored ink coating 32 peeling to. (実施例4) (Example 4)

【0027】図8に示す実施例は、矢印Qの方向に移動する第1のベルトコンベア49、第2のベルトコンベア50、及び第3のベルトコンベア51が、同一面上に所定間隔をおいて配設されている。 The embodiment shown in FIG. 8, the first belt conveyor 49 moving in the direction of arrow Q, the second belt conveyor 50, and a third belt conveyor 51, at predetermined intervals on the same plane It is disposed. 第1のベルトコンベア49は、平滑化する前の樹脂被膜すなわち着色インク被膜32を有するガラス基板31を搬送する。 The first belt conveyor 49 transports the glass substrate 31 having the resin film i.e. colored ink coating 32 prior to smoothing. 第2のベルトコンベア50は着色インク被膜32を平滑化する工程の搬送用である。 The second belt conveyor 50 is for conveying the step of smoothing the colored ink coating 32. そして、第3のベルトコンベア51 The third belt conveyor 51
は、平滑化が終了した基板31を搬送するためのものである。 Is for transporting the substrate 31 which smoothing has been completed. そして、第1のベルトコンベア49の上方には、 Then, above the first belt conveyor 49,
予備加熱用の赤外線加熱装置43が配置されている。 Infrared heating device 43 for preheating is arranged. 更に、第2のベルトコンベア50を駆動する下側の支持ローラ39は、加熱ローラを兼ねており、もう一つの補助ローラ39aとともにコンベア50を支えている。 Furthermore, the support rollers 39 of the lower driving the second belt conveyor 50, also serves as a heating roller, bears the conveyor 50 with another auxiliary roller 39a. 支持ローラ39の上方の平滑化ローラ38は、点線で示す位置38aに矢印Faのように移動可能になっている。 Upper smoothing roller 38 of the support roller 39 is movable as shown by the arrow Fa in the position 38a indicated by a dotted line. また、可動型のフィルム剥離用ローラ48は、同様に点線で示す位置48aに矢印Fdのように移動可能になっている。 The film peeling roller 48 of the movable die is movable as shown by the arrow Fd in the position 48a indicated likewise by the dotted line. 上側の平滑化ローラ38の図示左斜め上方には、 The illustrated upper left of the upper smoothing roller 38,
樹脂フィルム35が巻かれたプラクチック製のフィルム送りローラ45が配置されている。 Purakuchikku made of film feed rollers 45 to the resin film 35 is wound are arranged. この、フィルム送りローラ45と加熱ローラ38との間に、蛇行防止用ロ− This, in between the heating roller 38 film feed roller 45, the meandering prevention Russia -
ラ52が設けられている。 La 52 is provided. これらそして、フィルム送りローラ45及び蛇行防止用ロ−ラ52は、樹脂フィルム供給部45aを構成している。 These Then, the film feeding rollers 45 and the meandering preventive Russia - La 52 constitute the resin film supplying unit 45a. フィルム送りローラ45 Film feed roller 45
には、図示しない逆回転用駆動装置、制動機構、パウダ−ブレ−キ等が設けられ、制御装置で制御されるようになっている。 The reverse rotation drive device, the braking mechanism (not shown), powder - shake - key or the like is provided, and is controlled by the control device. この実施例においても、樹脂フィルム35 Also in this embodiment, the resin film 35
は、平滑化すべき着色インク被膜32の面に対して斜め方向となるようにしてある。 They are are set to be an oblique direction with respect to the surface of the colored ink coating 32 to be smoothed. 一方、フィルム剥離用ローラ48の図示右斜め上方には、蛇行防止用ロ−ラを兼ねるフィルム引張りローラ53、及び樹脂フィルム35が巻取られる巻取りローラ47が配設されている。 On the other hand, the rightward obliquely above the film peeling roller 48, the meandering prevention Russia - winding roller 47 the film tension roller 53 and the resin film 35, is wound serve as the La is disposed. 巻取りローラ47には、同様にトルクモ−タ、制動機構を有し、制御装置で制御されるようになっている。 A take-up roller 47 is similarly Torukumo - has data, a brake mechanism, are controlled by the control device.

【0028】そして、この装置を使用して樹脂被膜を平滑化するには、第1のベルトコンベア49上に、カラーフィルタの平滑化すべき樹脂被膜すなわち着色インク被膜32を上に向けてガラス基板31を載せる。 [0028] Then, in order to smooth the resin film with this apparatus, on the first belt conveyor 49, the glass substrate 31 facing upward resin film i.e. colored ink coating 32 to be smoothed color filter the put. 赤外線加熱装置3を用いて予備加熱を行なう。 Preliminarily heated using an infrared heating device 3. 次いで、ガラス基板31が第2のベルトコンベア50の上に到達すると、 Then, the glass substrate 31 reaches the top of the second belt conveyor 50,
加熱・加圧ローラ38は、矢印Faのように下降し、基板31上の着色インク被膜32に樹脂フィルム35を介して当たり、上方から所定の圧力で押し潰しながら、ベルトコンベア50と同期して回転する。 Heat and pressure roller 38 descends as shown by the arrow Fa, per the colored ink coating 32 on the substrate 31 through the resin film 35, while crushed from above with a predetermined pressure, in synchronism with the belt conveyor 50 Rotate. フィルム剥離用ローラ48は、着色インク被膜32の面の延長上に位置している。 Film peeling roller 48 is positioned on the extension of the surface of the colored ink coating 32. このフィルム剥離用ローラ48を基板31が通過すると、樹脂フィルム35は、一定速度で着色インク被膜32から斜め上方に引張られて剥離される。 When this film peeling roller 48 substrate 31 passes, the resin film 35 is peeled from the color ink film 32 at a constant speed by being pulled obliquely upwardly. そして、樹脂フィルム35は、巻取りローラ47に巻取られる。 Then, the resin film 35 is wound up roller 47 wound. 以上の動作中において、フィルム送りローラ45の逆回転用駆動装置、制動機構等の制御、及び巻取りローラ47のトルクモ−タ、制動機構等の制御により、樹脂フィルム35にかかる張力が制御され、樹脂フィルムが熱膨脹することにより着色インク被膜32の面上に皺が発生するのを、未然に防止するように構成されている。 During the above operation, the reverse rotation drive device of a film feed roller 45, a control such as braking mechanism, and the take-up roller 47 Torukumo - motor, under the control of such braking mechanism, tension applied to the resin film 35 is controlled, that the resin film is wrinkled on the surface of the colored ink coating 32 by thermal expansion, and is configured so as to prevent.

【0029】この実施例の材料、処理条件をまとめると、次の通りである。 The material of this example are summarized processing conditions are as follows. 着色インク:有機顔料及び溶剤を含有するエポキシ樹脂系ワニスを主体とする 着色インク被膜の乾燥温度:70〜110℃ 樹脂フィルム:25〜40μmの二軸延伸PETに、付加型シリコンからなる離型剤を塗布したフィルム 平滑化条件:予備加熱温度……85〜100℃ 加熱ロ−ル温度…85〜100℃ 圧力(線圧)……10〜15Kg/cm 送り速度…………5〜8cm/分 (実施例5) Color ink: organic pigments and the drying temperature of the colored ink coating mainly containing epoxy resin varnish containing solvent: 70 to 110 ° C. resin film: biaxially oriented PET of 25~40Myuemu, consisting addition type silicone release agent the coated film smoothes conditions: preheating temperature ...... 85 to 100 ° C. heating Russia - le temperature ... 85 to 100 ° C. the pressure (linear pressure) ...... 10-15 kg / cm feed rate ............ 5~8cm / min (example 5)

【0030】図9に示す実施例は、上下動しないベルトコンベア54の上に、加熱定盤33が置かれ、この加熱定盤の上に着色インク被膜32が印刷されたガラス基板31が載せられる。 The embodiment shown in FIG. 9, on the belt conveyor 54 which does not move up and down, heated platen 33 is placed, a glass substrate 31 on which the colored ink coating 32 is printed on the heating plate is loaded . 基板31及び着色インク被膜32 Substrate 31 and colored ink coating 32
は、加熱定盤33により加熱される。 It is heated by a heating platen 33. 樹脂フィルム供給部45aや、樹脂フィルム35、平滑化ローラ38、フィルム剥離用ローラ48、フィルム巻取りローラ47等の構成は、ほぼ図8の場合と同様である。 And the resin film supplying unit 45a, the resin film 35, the smoothing roller 38, film peeling roller 48, the structure of such a film take-up roller 47 is the same as in the case of nearly FIG. しかし、フィルム剥離用ローラ48の後に、一対の複数のローラ5 However, after the film peeling roller 48, a pair of the plurality of rollers 5
5、56が配置され、さらにその後に可動型のフィルム引張りローラ53が配置されており、これらローラに樹脂フィルム35が掛けられている。 5,56 are arranged, it is further subsequently arranged film tension roller 53 of the movable mold has a resin film 35 is applied to the rollers. このフィルム引張りローラ53は、点線で示す位置53aに移動できる構成になっている。 The film tension roller 53 has a structure that can be moved to a position 53a indicated by a dotted line. フィルム剥離用ローラ48及び引張りローラ53は、後述するように、平滑化された後の着色インク被膜32の面上から樹脂フィルム35を瞬時に剥離するのに有効に機能する。 Film peeling roller 48 and the tension roller 53, as described later, functions effectively to peel the resin film 35 immediately from the surface of the colored ink coating 32 after being smoothed.

【0031】なお、同図の構成において、ローラ53を蛇行防止に用い、ローラ56を移動可能にしてフィルム引張りローラとして機能させてもよい。 [0031] In the configuration of this figure, using a roller 53 in a meandering prevention may be a roller 56 to be movable to function as a film tension roller. その場合、樹脂フィルム35をローラ55の図示下方から反時計方向に巻いて次の引張りローラ56に時計方向に巻き、さらにローラ53に反時計方向に巻いて、引張りローラ56を点線で示す53aの方向に可動とすると、一層都合がよい。 In that case, the resin film 35 from the illustrated lower side of the roller 55 is wound counterclockwise around the next tension roller 56 in a clockwise direction, further wound counterclockwise roller 53, of 53a showing tensile roller 56 by a dotted line When moving in the direction, it is more convenient. 図9の装置の動作を、図10乃至図15により説明する。 The operation of the apparatus of FIG. 9 will be described with reference to FIGS. 10 through 15.

【0032】まず、図10に示すように、着色インク被膜32が印刷されたガラス基板31は、加熱定盤33の上に着色インク被膜を上向きにして真空吸着され、常時加熱される。 First, as shown in FIG. 10, a glass substrate 31 on which the colored ink coating 32 is printed is vacuum suction in the upward colored ink coating on the heating plate 33 is heated at all times. この加熱定盤33が平滑化ローラ38の下に到達するまでは、このローラ38及びフィルム剥離用ローラ48は上方の位置にある。 Until the heating platen 33 reaches the bottom of the smoothing roller 38, the roller 38 and the film peeling roller 48 is in the upper position. そして、加熱定盤33 Then, heating platen 33
が加熱ローラ38の手前近くにさし掛かった時点A(図15参照、以下同じ)で、巻取りローラ47が回転駆動され、樹脂フィルム35が図の右方向に進行する。 There in front near pointing hanging time point A of the heating roller 38 (see FIG. 15, hereinafter the same), the take-up roller 47 is rotated, the resin film 35 travels to the right in FIG. それによって、樹脂フィルムの未使用の剥離剤の面が、平滑化すべき着色インク被膜32の上に対面する。 Thereby, the unused surface of the release agent of the resin film, facing the top of the colored ink coating 32 to be smoothed.

【0033】次に、加熱定盤33が平滑化ローラ38の下に達したB時点で、図11に示すように、平滑化ローラ38及びフィルム剥離用ローラ48が下降し、C時点から所定圧力で着色インク被膜32を押し潰して平滑化して行く。 Next, at B when it reaches the bottom of the heating platen 33 is smooth roller 38, as shown in FIG. 11, the smoothing rollers 38 and film peeling roller 48 is lowered, a predetermined pressure from the point C in going to smoothing by crushing the colored ink coating 32. その間、樹脂フィルム35は、図12に示すように、加熱定盤33の移動、及び平滑化ローラ38の回転と一緒に図の右方向に走行する。 Meanwhile, the resin film 35, as shown in FIG. 12, the movement of the heating plate 33, and travels to the right in FIG along with the rotation of the smoothing roller 38. 樹脂フィルム35 Resin film 35
には、送りローラ45及び巻取りローラ47によって、 The, by the feed roller 45 and the take-up roller 47,
適当な張力が加えられており、その熱膨張を吸収する。 It has been added an appropriate tension, to absorb the thermal expansion.

【0034】次に、ガラス基板31の面上の着色インク被膜32を全面にわたって平滑化し終わった後、Dで示す時点において、図13に示すように、フィルム剥離用ローラ48を押し上げるとともに、引張りローラ53を元の位置53aから図の左方向に移動し、樹脂フィルムを着色インク被膜面の一端部から加熱ローラ側の他端部にかけて斜め方向に強く引張り瞬時的に剥離する。 Next, after finishing smoothed colored ink coating 32 on the surface of the glass substrate 31 over the entire surface, at the time indicated by D, as shown in FIG. 13, with pushing up the film peeling roller 48, tension roller 53 moves from its original position 53a to the left of the figure, is momentarily peeled pulling strongly obliquely from one end toward the other end portion of the heating roller side of a resin film colored ink coating surface. なお、引張りローラを使用しないで、巻取りローラ47を瞬間的に強く正回転させて樹脂フィルムに強い張力をかけ、剥離するように構成し制御してもよい。 Incidentally, without using the tension roller, a take-up roller 47 by momentarily strong forward rotation apply strong tension on the resin film, configured it may be controlled to be peeled off. この樹脂フィルムの剥離速度は、例えば着色インク被膜面の一端から他端までの寸法が25cmの場合、所用時間を0.2 Peeling rate of the resin film, for example, the dimensions of the end of the colored ink coating surface to the other cases of 25 cm, a required time 0.2
秒乃至1秒の範囲で行うと、平滑化した着色インク被膜面にすじ状の痕跡が残らず、良好な結果が得られた。 When carried out in the range of seconds to one second, it does not remain striped traces the colored ink coating surface was smoothed, good results were obtained. したがって、樹脂フィルムを剥離する速度は、1m当たり0.8秒乃至4秒の範囲で行うことが望ましい。 Therefore, the rate of peeling the resin film is desirably in a range of 0.8 seconds per 1m to 4 seconds.

【0035】こうして、樹脂フィルムの剥離を行った後の時点Iで、図14に示すように、引張りローラ53を元の位置に戻すとともに、平滑化ローラ38及びフィルム剥離用ローラ48を上昇させ、後続の加熱定盤33の上のカラーフィルタの平滑化処理が行われる。 [0035] Thus, at the point I after the peeling of the resin film, as shown in FIG. 14, with the tension roller 53 back to the original position, raise the smoothing roller 38 and film peeling roller 48, smoothing processing of color filters on the subsequent heating platen 33 is performed. このような、操作は、周知のマイクロコンピュータを使用したシーケンス制御装置により、自動制御される。 Such, operations are, by sequence control apparatus using a well-known microcomputer, is automatically controlled. そして、比較的速い処理速度で、量産ができる。 Then, at a relatively fast processing speed, it is mass-produced. (実施例6) (Example 6)

【0036】図16に示す実施例は、加熱定盤33を移動させないで固定しておき、その上方に配置した平滑化ローラ38を回転移動させて、ガラス基板上の着色インク被膜32を平滑化する装置である。 The embodiment shown in FIG. 16, previously fixed without moving the heated platen 33, the smoothing roller 38 disposed thereabove is rotated moving, smoothing the colored ink coating 32 on the glass substrate it is a device that. 樹脂フィルム35 Resin film 35
は、平滑化すべき面に対して斜めに位置され、平滑化した後の面に対してはフィルム剥離用ローラ48が着色インク被膜の面の延長上に位置して被膜面に接したままの状態を保っている。 Is positioned obliquely relative to the surface to be smoothed, film peeling roller 48 to the plane after the smoothing is left in contact with the coating surface positioned on the extension of the surface of the colored ink coating state It is kept. そして、全面の平滑化処理が終了した後、前述の実施例と同様に、フィルム剥離用ローラ4 After the smoothing process entirely has been completed, as in the previous embodiments, the film peeling roller 4
8を押し上げるとともに、引張りローラ53を左方向に移動し、樹脂フィルムを着色インク被膜面の一端部から加熱ローラ側の他端部にかけて斜め方向に引張り瞬時的に剥離するように構成されている。 With pushing up the 8, tension rollers 53 to move in the left direction, and is configured to instantaneously peeled pulling in a diagonal direction of the resin film toward the other end portion of the heating roller side from one end of the colored ink coating surface.

【0037】以上説明した実施例は、いずれもカラー液晶表示装置のカラーフィルタの場合であるが、この発明はそれに限らず、基板上に直接または他の層を介して付着した種々のパターンあるいは平面状の樹脂被膜を平滑化する必要がある電子デバイスに広く適用できる。 The embodiment described above is both the case of a color filter of a color liquid crystal display device, the invention is not limited to, various patterns or plane attached directly or via another layer on a substrate Jo of the resin coating can be applied broadly to an electronic device that needs to be smoothed. 以下、その一例を説明する。 Hereinafter, one example is explained. (実施例7) (Example 7)

【0038】金属基板を使用した感熱印字ヘッドの製造において、16〜18重量%のCrを含むFe合金の、 [0038] In the production of thermal print head using a metal substrate, the Fe alloy containing 16 to 18 wt% of Cr,
厚さが0.5mmの金属板を用意した。 Thickness was prepared a metal plate of 0.5mm. この基板の表面を温度が40〜60℃の希硫酸(96%H2 SO4 の5 5 of dilute sulfuric acid (96% H2 SO4 temperature of the surface of the substrate is 40 to 60 ° C.
〜20容量%の水溶液)の中に、1〜2分間浸漬して表面を活性化処理した。 Some 20% by volume aqueous solution) was treated activate the surface by immersion for 1-2 minutes. その後、この基板の一方の面に、 Then, on one surface of the substrate,
樹脂被膜となるポリイミドの前駆体であるポリアミック酸を帯状に印刷塗布した。 The polyamic acid which is a precursor of polyimide which is a resin film was printed and applied to the strip. そしてこれを、イミド化が起こらない60〜120℃の温度で塗膜中の溶剤をある程度除去した後、前述の実施例に従った方法と装置で平滑化処理を行なった。 And this, after the imidization to some extent remove the solvent in the coating film at a temperature of 60 to 120 ° C. does not occur, were subjected to smoothing processing in the apparatus and method according to the above-described embodiments. そのときの平滑化処理条件は、次の通りである。 Smoothing processing conditions of that time, is as follows. 樹脂フィルム:厚さ25〜100μmの二軸延伸PET Resin film: the thickness of 25~100μm biaxially oriented PET
に、離型剤として付加型シリコンを塗布したフィルム 平滑化条件:予備加熱温度……85〜90℃ 加熱ロ−ル温度…90〜105℃ 圧力(線圧)……10〜15Kg/cm 送り速度…………20〜50cm/分 樹脂フィルム剥離力:10〜50g/mm , The addition type silicone coated film was smoothed condition as a release agent: preheating temperature ...... 85-90 ° C. heating Russia - le temperature ... 90 to 105 ° C. The pressure (linear pressure) ...... 10-15 kg / cm Feed rate ............ 20~50cm / min resin film peel strength: 10 to 50 g / mm

【0039】 [0039]

【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれば、樹脂被膜面を平滑化させる際、誘導加熱式ローラを用いることによって、平滑度の非常に優れた電子デバイスを製作することができる。 As described above in detail, according to the present invention, when to smooth the resin film surface, by using the induction heating roller, it is possible to manufacture a very good electronic device smoothness it can. とくに、誘導加熱式ローラの表面に、ゴム硬度60度以上の被覆層を直接装着することによって、熱効率がよく、また高精度の温度制御、 In particular, the surface of the induction heating roller, by mounting the rubber hardness of 60 degrees or more coating layers directly, the thermal efficiency is good, and the temperature control precision,
温度分布の均一化が可能となる。 Uniform temperature distribution becomes possible. このため、温度むらによる樹脂層平滑面のむらの発生を抑制し、高精度の平滑樹脂被膜面が得られる。 Therefore, to suppress the occurrence of unevenness of the resin layer smooth surface due to temperature unevenness, smooth resin film surface of high accuracy is obtained.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】一般的なカラーフィル他の製造仮定での構成を示す要部拡大縦断面図である。 1 is an enlarged vertical sectional view showing the configuration of a general color filter manufacturing assumptions.

【図2】図1の後の従来の平滑化工程を示す要部縦断面図である。 It is an essential part longitudinal cross sectional view showing a conventional smoothing step following the FIG. 1;

【図3】従来の平滑化工程の後の構成を示す要部縦断面図である。 3 is a main part longitudinal sectional view showing the structure after conventional smoothing step.

【図4】この発明の製造方法及び製造装置の一実施例を示す要部拡大斜視図である。 4 is an enlarged perspective view showing an embodiment of a manufacturing method and apparatus of the present invention.

【図5】図4の製造装置の一部分を示す要部拡大図である。 5 is an enlarged view of a portion of the manufacturing apparatus of FIG.

【図6】この発明の他の実施例を示す概略側面図である。 6 is a schematic side view showing another embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施により得られるカラーフィルタを示す要部縦断面図である。 7 is a main part longitudinal sectional view showing a color obtained filter by practice of the invention.

【図8】この発明のさらに他の実施例を示す概略側面図である。 8 is a schematic side view showing still another embodiment of the present invention.

【図9】この発明のさらに他の実施例を示す概略側面図である。 9 is a schematic side view showing still another embodiment of the present invention.

【図10】この発明のさらに他の実施例を示す概略側面図である。 Figure 10 is a further schematic side view showing another embodiment of the present invention.

【図11】図10に示した装置の動作を説明するための初期の状態を示す概略側面図である。 11 is a schematic side view showing an initial state for explaining the operation of the apparatus shown in FIG. 10.

【図12】図11の次の動作を示す概略側面図である。 12 is a schematic side view showing the next operation of Figure 11.

【図13】図12の次の動作を示す概略側面図である。 13 is a schematic side view showing the next operation of Figure 12.

【図14】図13の次の動作を示す概略側面図である。 14 is a schematic side view showing the next operation of Figure 13.

【図15】図14の次の動作を示す概略側面図である。 15 is a schematic side view showing the next operation of Figure 14.

【図16】図11乃至図15に示した装置の各ローラの連続動作を示す図である。 16 is a diagram illustrating a continuous operation of the rollers of the apparatus shown in FIGS. 11 to 15.

【図17】この発明のさらに他の実施例を示す概略側面図である。 17 is a schematic side view showing still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

32…着色インク被膜 33…定盤 34…加熱ヒータ 35…樹脂フィルム 38…平滑化ローラ 38A…誘導コイル 38a…コイル 38b…コア 38c…支持軸 38d…電源リード線 38e…回転ロール 38f…被覆層 38g…空胴 32 ... colored ink coating 33 ... platen 34 ... heater 35 ... resin film 38 ... smoothing roller 38A ... induction coil 38a ... coil 38b ... core 38c ... support shaft 38d ... supply lead 38e ... rotating roll 38f ... coating layer 38g ... cavity

Claims (3)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】基板の一方の面に直接または他の層を介して溶剤を含む樹脂被膜を付着させる工程と、その後樹脂被膜を乾燥して溶剤を除去する工程と、その後樹脂被膜を加熱しながら加圧して樹脂被膜面を平滑化する工程とを備える電子デバイスの製造方法において、 上記樹脂被膜面を平滑化する工程は、基板の一主面を支持体により機械的に支持すると共に、基板の他方の主面から直接あるいは樹脂フィルムを介して誘導加熱式ローラを押し当てて樹脂被膜を加熱しながら加圧して平滑化し、その後樹脂フィルムを剥離することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 And 1. A process for directly on one surface of the substrate or via another layer to adhere the resin film containing a solvent and removing the solvent and then drying the resin film, after which the resin film is heated in the method for manufacturing an electronic device comprising a step of smoothing the pressurized resin film surface while, the step of smoothing the resin film surface, with the one main surface of the substrate mechanically supported by the support member, substrate the method of manufacturing an electronic device, characterized in that by pressing the other induction heating roller directly or via a resin film from the main surface under pressure while heating the resin film was smooth, and then peeled off the resin film.
  2. 【請求項2】前記誘導加熱式ローラの表面には、ゴム硬度60度以上の被覆層が装着されていることを特徴とする請求項1記載の電子デバイスの製造方法。 Wherein the surface of the induction heating roller, a method for fabricating an electronic device according to claim 1, wherein the rubber hardness of 60 degrees or more coating layers are attached.
  3. 【請求項3】一方の面に直接または他の層を介して溶剤を含む樹脂被膜が付着された基板の一主面を機械的に支持する支持体と、 この支持体の基板支持部に対向して配置され前記基板面上の樹脂被膜を加熱及び加圧しながら回転するように設けられた誘導加熱式ローラと、 上記支持体に支持される基板と誘導加熱式ローラとの間に薄い樹脂フィルムを供給する手段と、 前記被処理基板面上に付着する樹脂フィルムを剥離するフィルム剥離手段とを具備することを特徴とする電子デバイスの製造装置。 3. A one directly on the surface or via another layer to mechanically support the one main surface of the substrate on which the resin film has been deposited containing a solvent carrier, facing the substrate support portion of the support thin resin film between the induction heating roller provided so as to rotate while applying heat and pressure to the arranged resin film on the substrate surface, and the substrate and the induction heating type roller which is supported on the support It means for supplying said electronic device manufacturing apparatus characterized by comprising a film peeling means for peeling the resin film deposited on the target substrate surface.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7887663B2 (en) 2000-10-12 2011-02-15 Sanyo Electric Co., Ltd. Method for forming color filter, method for forming light emitting element layer, method for manufacturing color display device comprising them, or color display device
US8192579B2 (en) 2000-10-12 2012-06-05 Sanyo Electric Co., Ltd. Method for forming color filter, method for forming light emitting element layer, method for manufacturing color display device comprising them, or color display device
US8920588B2 (en) 2000-10-12 2014-12-30 Sanyo Electric Co., Ltd. Method for forming color filter, method for forming light emitting element layer, method for manufacturing color display device comprising them, or color display device

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