JPH05327105A - 波長安定化光源装置 - Google Patents

波長安定化光源装置

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JPH05327105A
JPH05327105A JP4151133A JP15113392A JPH05327105A JP H05327105 A JPH05327105 A JP H05327105A JP 4151133 A JP4151133 A JP 4151133A JP 15113392 A JP15113392 A JP 15113392A JP H05327105 A JPH05327105 A JP H05327105A
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晋 斎藤
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構成で光源装置から出力される光の波
長の安定化を実現する。 【構成】 可干渉光を発する光源部1と、上記光源部1
からの可干渉光を2つの光路に分けるビームスプリッタ
ー31と、ビームスプリッター31により分けられた一
方の光路に配置され、かつ光軸方向に移動可能なスキャ
ニングミラー35と、ビームスプリッター31により分
けられた他方の光路に配置され、第1の光路長で反射さ
せる第1反射面Aと第2の光路長で反射させる第2反射
面Bを有する反射部34と、スキャニングミラー35か
らの可干渉光と上記第1反射面Aで反射した可干渉光と
の第1干渉信号を受光する第1受光部41と、スキャニ
ングミラー35からの可干渉光と上記第2反射面Bで反
射した可干渉光との第2干渉信号を受光する第2受光部
42と、第1干渉信号と第2干渉信号との位相差を検出
する位相検出部100と、上記位相検出部100の検出
位相を一定の位相差に保つことにより、上記光源部1の
波長を安定化させる波長安定化部10とを有することを
特徴とする波長安定化光源装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体レーザ光源などの
光源の発振波長の安定化を図ることができる波長安定化
光源装置に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば半導体レーザは、可干渉性光源
として各種の分野で広く用いられている。しかし半導体
レーザの発振波長は、温度の変動と注入電流の変動に対
して非常に敏感であるので、これらの変動を極力抑える
必要がある。
【0003】そこで従来から、半導体レーザに、ペルチ
ェ素子のような電子加熱冷却素子と、半導体レーザ自体
の温度を測定するサーミスタのような温度検出素子を設
け、サーミスタの出力信号に従って、半導体レーザの温
度が一定になるようにペルチェ素子を駆動することが行
われている。また、より高精度な安定化方法では、エタ
ロン板や原子・分子吸収線などの波長基準を備えて、そ
こからの誤差信号を半導体レーザの温度と注入電流に帰
還させ発振波長を安定化させる外部フィードバック方式
が採られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような波長基準は高価であり、かつ大型なものが多く、
非常に大掛かりなシステムとなってしまい、さらに安定
化の精度は、誤差信号検出時の検出特性の帯域幅とその
ピーク値の検出精度に依存するものである。
【0005】本発明は、上記の問題を解決した波長安定
化光源装置を実現することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、可干渉光を発
する光源部(1)と、上記光源部(1)からの可干渉光
を2つの光路に分けるビームスプリッター(31)と、
ビームスプリッター(31)により分けられた一方の光
路に配置され、かつ光軸方向に移動可能なスキャニング
ミラー(35)と、ビームスプリッター(31)により
分けられた他方の光路に配置され、第1の光路長で反射
させる第1反射面(A)と第2の光路長で反射させる第
2反射面(B)を有する反射部(34)と、スキャニン
グミラー(35)からの可干渉光と上記第1反射面
(A)で反射した可干渉光との第1干渉信号を受光する
第1受光部(41)と、スキャニングミラー(35)か
らの可干渉光と上記第2反射面(B)で反射した可干渉
光との第2干渉信号を受光する第2受光部(42)と、
第1干渉信号と第2干渉信号との位相差を検出する位相
検出部(100)と、上記位相検出部(100)の検出
位相を一定の位相差に保つことにより、上記光源部
(1)の波長を安定化させる波長安定化部(10)とを
有することを特徴とする波長安定化光源装置を要旨とし
ている。
【0007】また本発明は、可干渉光を発する光源部
(1,2)と、上記光源部(1,2)をパルス駆動する
駆動部(38,40)と、上記光源部(1,2)からの
可干渉光を2つの光路に分けるビームスプリッター(3
1)と、ビームスプリッター(31)により分けられた
一方の光路に配置され、かつ光軸方向に移動可能なスキ
ャニングミラー(35)と、ビームスプリッター(3
1)により分けられた他方の光路に配置され、第1の光
路長で反射させる第1反射面(A)と第2の光路長で反
射させる第2反射面(B)を有する反射部(34)と、
スキャニングミラー(35)からの可干渉光と上記第1
反射面(A)で反射した可干渉光との第1干渉信号を受
光する第1受光部(41)と、スキャニングミラー(3
5)からの可干渉光と上記第2反射面(B)で反射した
可干渉光との第2干渉信号を受光する第2受光部(4
2)と、上記スキャニングミラー(35)によりスキャ
ンされている際の上記第1受光部(41)からの第1信
号と上記第2受光部(42)からの第2信号とを所定タ
イミングでサンプリングするサンプリング部(50,5
1,52,53)と、上記サンプリング部(50,5
1,52,53)において、第1信号をサンプルして形
成された第1サンプル信号と第2信号をサンプルして形
成された第2サンプル信号との位相差を検出する位相検
出部(110)と、上記位相検出部(110)の検出位
相を一定の位相差に保つことにより、上記光源の波長を
安定化させる波長安定化部(10X、20X)とを有す
ることを特徴とする波長安定化光源装置を要旨としてい
る。
【0008】
【作用】連続発光形(DC点灯)の光源部(1)からの
可干渉光をスキャニングミラー(35)で反射して得ら
れる可干渉光と、反射部(34)の第1反射面(A)で
反射した可干渉光とから得られる第1干渉信号を第1受
光部(41)で受光する。またスキャニングミラーから
の可干渉光と、反射部(34)の第2反射面(B)で反
射した可干渉光とから得られる第2干渉信号を第2受光
部(42)で受光する。これら第1と第2干渉信号の位
相に基いて光源部(1)の波長を安定化する。
【0009】また、パルス点灯する光源部(1,2)の
可干渉光をスキャニングミラー(35)で反射して得ら
れる可干渉光と、反射部(34)の第1反射面(A)で
反射した可干渉光とから得られる第1干渉信号を第1受
光部(41)で受光する。またスキャニングミラー(3
5)からの可干渉光と反射部(34)の第2反射面
(B)で反射した可干渉光とから得られる第2干渉信号
を第2受光部(42)で受光する。第1受光部(41)
からの第1信号と第2受光部(42)からの第2信号と
をサンプリングしてそれぞれ得られる第1サンプル信号
と第2サンプル信号の位相差を検出して、その検出位相
差を一定の位相差に保つことにより波長を安定化する。
【0010】具体的には、たとえば特定の光路差を持た
せる光学的手段を備えた縞走査干渉計において、光路差
の異なる2つのフリンジスキャン干渉信号の位相をある
特定の値に保つことによりたとえば半導体レーザの発振
波長を安定化させるようにした、簡単な構成の波長安定
化半導体レーザ光源のような波長安定化光源装置を実現
する。また、たとえばパルス駆動した複数の交互発振す
る半導体レーザのような光源装置の発振波長を同時に安
定化させる。さらに、たとえば半導体レーザのような光
源装置への注入電流を変調することにより、1つの半導
体レーザのような光源装置から、安定化された2つの異
なる波長を得る。
【0011】
【実施例】実施例1 図1は、本発明の波長安定化光源装置の好適な実施例で
ある半導体レーザ光源装置の構成を示すものである。
【0012】発光部ともいう光源部1は、半導体レーザ
11、サーミスタ12、ペルチェ素子13、放熱板14
からなる。光源部1より連続して出射された光は、コリ
メートレンズ3でコリメートされ、アイソレータ33を
通り、その光Pの一部の光P1がビームスプリッター3
0で反射される。光Pの他の部分はビームスプリッター
30を通り出力光P2となる。
【0013】この光P1はビームスプリッター31で反
射光P3と透過光P4に分割される。反射光P3は、集
光レンズ5を経てスキャニングミラー35で反射する。
そして反射光P3は、同一光路を戻って再びビームスプ
リッター31に入射し、ビームスプリッター31を透過
して集光レンズ6へ向かう。一方、透過光P4は段差ミ
ラー34の2つの第1反射面Aと第2反射面Bで反射
し、同一光路を戻ってビームスプリッター31で反射
し、スキャニングミラー35からの反射光P3と重なっ
た干渉光となり、集光レンズ6により集光される。段差
ミラー34の2つの第1反射面Aと第2反射面Bは、段
差量Lだけ段差がついている。段差ミラー34は固定さ
れている。この段差量Lは、光P1と透過光P4の方向
にそって設定されている。この干渉光のうち、段差ミラ
ー34の2つの第1反射面Aと第2反射面Bによる干渉
光は、プリズム7で分割されてそれぞれ検出器41,4
2で検出される。
【0014】なお、スキャニングミラー35は、例えば
PZTなどの圧電素子36に取付けられて、発振器3
8、パルス信号発生器39、およびPZTドライバ37
からのランプ波Wで、半導体レーザ11の発振波長の数
波長分だけ図1の矢印方向に掃引される。
【0015】今、ビームスプリッター31からスキャニ
ングミラー35までの光路長d2と段差ミラー34の第
1反射面Aまでの光路長d1が、ほぼ等しいとすると、
検出器41からの出力信号は光路長差が0付近のフリン
ジスキャン信号であり、42からの出力信号は光路長差
が2L付近のフリンジスキャン信号である。これらの出
力信号を用いて半導体レーザの波長安定化を行う。これ
らの出力信号は、位相比較器100で位相比較され、2
つの信号の位相が完全に一致するように光源駆動回路1
0を経て発光部1に指令がフィードバックされる。
【0016】上記のフィードバック系についてさらに詳
細に説明する。図2にフィードバック系の構成の一例
を、図3に図2のフィードバック系の各部の信号を示す
(回路上での位相遅れは無視)。
【0017】検出器41,42の出力からAC成分のみ
を取り出した信号は、それぞれ図3の信号a,bのよう
になる。前述のように、信号aは光路長差0付近のフリ
ンジスキャン信号、信号bは光路長差2L付近のフリン
ジスキャン信号である。これらの信号a、bの位相を比
較して、2つの信号の位相が完全に一致するように、図
2の光源駆動回路10を経て発光部1にフィードバック
することで、図1の半導体レーザ11の発振波長を安定
化させる。2つの信号の位相を一致させるには、半導体
レーザ11の温度や注入電流を変化させて発振波長λを
変えてやれば良い。
【0018】検出器41からの信号aは、図2のコンパ
レータ60で位相の反転した2つの矩形信号c,dに変
換される。検出器42からの信号bは、サンプルホール
ド61,62において信号c,dの立上がりのタイミン
グでサンプルホールドされ、そのサンプルホールドした
出力信号はそれぞれe,fとなる。
【0019】さらに、出力信号e,fをサンプルホール
ド63,64でホールド部分を取り出し、ローパスフィ
ルタ65,66に通すと出力g,hが得られる。これら
の出力g,hを差動アンプ70にて差動増幅したもの
が、信号a,bの位相差に対応したフィードバック信号
となる。このフィードバック信号を温度もしくは注入電
流にフィードバックさせれば、発振波長を安定化させる
ことができる。
【0020】図2の回路構成は、温度と注入電流の両方
にフィードバックする場合を示している。ここでは差動
アンプ70の出力を、時定数および増幅度の異なる2つ
のローパスフィルタ81,82に通したものを、信号
a,bの位相差に対応したフィードバック信号とする。
ローパスフィルタ81の出力は、温度制御回路10aを
経て発光部1に、そしてローパスフィルタ82の出力
は、電流制御回路10b、駆動回路10cを経て発光部
1にフィードバックされる。このうち温度制御の方は、
応答が遅いため時定数を長くしてあり、かつ波長変化率
が大きいため粗調整として用いられる。電流制御の方
は、応答が速いため時定数を短くしてあり、かつ波長変
化率が小さいため微調整として用いられる。
【0021】信号aは数式1で表され、信号bは数式2
で表される。
【0022】
【数1】
【0023】
【数2】 ここでα(t)はスキャニングミラー35の移動量(図
1の矢印方向)を表す。この2つの信号a、bの位相を
一致させるには、2L/λ=n(nは整数)となる必要
があり、発振波長λはλ=2L/nに固定される。ただ
し、nの値を間違うと別の波長に設定されるので、半導
体レーザ11の温度は、ある設定温度(モードホップが
近傍にない温度)を基準に、常にある温度範囲内で制御
する必要がある。その温度制御範囲は、半導体レーザの
発振波長の温度依存性と段差量Lで決まる。長期の安定
性は、例えば段差ミラー34を温度制御して段差量Lの
変動を抑えることで良くすることができる。
【0024】以上の手法により、検出器41,42から
の信号a,bの位相を合わせることができ、半導体レー
ザ11の発振波長λは、λ=2L/nにロックされるこ
とになる。なお、この方法によれば、スキャニングミラ
ー35は単に干渉縞を走査すれば良く、その動きの非直
線性や振幅変動および原点変動は何ら問題にならない。
ヨーイング等のスキャニングミラー35の動きの影響
も、図1のように、スキャニングミラー35の前に適当
な長さの焦点距離を持つ集光レンズ5を用いることによ
り除去できる。
【0025】このように、2光束干渉計において光路差
の異なる2つのフリンジスキャン信号a、bの位相を合
わせることにより、半導体レーザの発振波長を安定化さ
せることができる。さらにAPC(オートパワーコント
ロール)回路と組み合わせることにより、波長・出力安
定化半導体レーザ光源を実現することができる。
【0026】なお、図1〜図3の実施例1では、1つの
半導体レーザ(光源部あるいは発光部)を連続発振駆動
した場合の例である。つまりDC点灯させた場合の例で
ある。
【0027】実施例2 本発明の波長安定化光源装置は、実施例1のDC点灯さ
せた場合だけでなく、半導体レーザをパルス駆動した場
合にも適用可能である。図4は本発明の波長安定化光源
装置の好適な実施例である半導体レーザ光源装置を示し
ている。この場合、図4に示す交互発振する複数の半導
体レーザ(光源部あるいは発光部)の同時安定化が可能
となる。
【0028】簡単のために、一例として2個の半導体レ
ーザを用いた場合の構成を図4に示す。ただしこれに限
定されるものではなく、3個以上の半導体レーザを用い
ることもできる。図4の実施例2において図1の実施例
1と同じものは同一符号を付けてある。
【0029】図4において、2は第2の発光部、10
X,20Xはそれぞれ第1の発光部1および第2の発光
部2の光源駆動回路、40は各種のパルス信号発生器、
そして110は位相比較器である。
【0030】発光部2からの出射光は、コリメートレン
ズ4でコリメートされ、ビームスプリッター32で発光
部1からの光と同一の光軸とされる。発光部1,2の半
導体レーザ11、21をそれぞれ図5の(1),(2)
の信号でパルス駆動すると、その時の波長変化の様子は
波形(3),(4)のようになり、パルス発振している
レーザ光はその波長が常に変化している状態にある。こ
こでは、パルス発振において一定のタイミングでの波長
を安定化させる。具体的には、検出器41,42の出力
から(5),(6)のタイミングで信号を取り出し、こ
のタイミング(5)、(6)での波長を安定化させる。
なお、スキャニングミラー35の掃引周波数は、信号
(1),(2)の周波数より十分遅いものである。
【0031】図6にフィードバック系の構成を示す。図
2と同じものは同一符号を付けてある。簡単のため発光
部1のみについて示してあるが、発光部2に対するフィ
ードバック系の構成も同様である。
【0032】検出器41,42の出力は、それぞれサン
プルホールド50,51においてタイミング信号(5)
によりサンプルホールドされる。これらのサンプルホー
ルド50,51の出力はそれぞれ図7のa1,b1とな
る。これらをフィルタ52,53に通すとa2,b2と
なり、これは、実施例1で説明したDC点灯させた場合
のフリンジスキャン信号(図3の信号a,b)と同等で
ある。よって、これ以後は前述の実施例1における信号
処理を行うことにより、波長を安定化させることができ
る。発光部2についても同様である。サンプルホールド
50,51とフィルタ52,53は、検出器41、42
の出力のためのサンプリング部を構成している。
【0033】実施例2のように半導体レーザをパルス駆
動する場合には、パルス幅を制御するフィードバック方
法でも良い。図5のサンプリングのタイミング信号
(5),(6)および駆動パルス(1),(2)の消光
のタイミングが固定とすると、駆動パルス(1),
(2)の発光タイミングを変えてやれば、波長変化の波
形(3),(4)が変化するので発振波長が変わる。こ
の関係を用いてフィードバックをかけることができる。
【0034】図6に示したように、ローパスフィルタ8
1の出力は、前述のように温度制御回路10aを経て発
光部1へ、そしてローパスフィルタ82の出力は、パル
ス幅制御回路10d、パルス駆動回路10eを経て発光
部1へフィードバックされる。ただしこの場合、パルス
幅はデューティ50が最大となる。このフィードバック
方法は、波長の安定化を温度とパルス幅の制御で行うた
め、注入電流の制御をAPC単独で使うことができる。
【0035】このように、パルス駆動した半導体レーザ
においても、一定のタイミングでの波長を安定化させる
ことができ、交互発振する複数の波長安定化半導体レー
ザ光源を実現することができる。出力光から同じタイミ
ングでの光を取り出して信号処理することにより、複数
の波長の信号を同時に得ることができる。
【0036】フィードバックがかかった状態では、一定
のタイミングでの半導体レーザ11,12の発振波長λ
1,λ2は、数式3と数式4で示すように固定されるこ
とになる。
【0037】
【数3】
【0038】
【数4】 ここでn1,n2は整数である。この2つの波長の組み
合わせより合成波長を扱う場合、その合成波長Λは、数
式5となり、Λも2Lの整数分の1に固定されることに
なる。
【0039】
【数5】 従って、2つの半導体レーザを適当に選別することによ
り、任意の合成波長を作ることができる。
【0040】さらに、このパルス駆動の場合を応用し
て、1つの半導体レーザから2つの異なる波長を得るこ
ともできる。図8にドライブ波形を示す。波形1)は使
用する半導体レーザの数が1つの場合であり、波形2)
は複数の場合である。前述の方法により、Aのタイミン
グでの発振波長を安定化させる。そこから注入電流を増
加(もしくは減少)させることにより、Bのタイミング
で異なる波長を得ることができる。Bのタイミングの波
長はAとわずかに異なるだけなので、その安定化は、図
6のフィルタ52,53の出力a2,b2の位相差が適
当な値になるように、増加(もしくは減少)させる電流
値を制御してやれば良い。あるいは、単に増加(もしく
は減少)させる電流値を精度良く抑えることだけでも安
定化できる。特に、A,Bのタイミングの波長から合成
波長を扱う場合には、これで十分である。A,Bのタイ
ミングの波長をλA,λBとすると、合成波長はλA・
λB/|λA−λB|であり、その安定度はλA−λB
で決まると言って良い。従って、電流値が安定なら、波
長λBは波長λAに追従して変動するので、合成波長自
体の変動は小さい。
【0041】このように、本発明の波長安定化光源装置
を用いることにより、半導体レーザの注入電流を変調す
ることで、1つの半導体レーザから安定化された2つの
異なる波長を得ることができる。
【0042】なお、上記の説明では2つの検出器41,
42の出力の位相を一致させる場合を示したが、実際に
はこれに限られるものではなく、特定の位相差になるよ
うに制御すれば良い。また、光路差Lを実現するための
光学的手段は、段差ミラー34に限られるものではな
く、位相差に対応した信号を発生させるための回路構成
および信号処理方法もこれに限られるものではない。
【0043】
【発明の効果】請求項1の波長安定化光源装置では、D
C点灯の出射光の一部を取り出して、特定の2種類の光
路差を実現するための光学的手段とそれぞれに対応した
干渉信号を検出するための2つの受光部とを備えた縞走
査干渉計に入射させ、2つの受光部の出力信号の位相を
特定の位相差に保つことにより波長を安定化させること
ができ、簡単な構成の波長安定化半導体レーザ光源装置
を実現することができる。
【0044】請求項2の波長安定化光源装置では、パル
ス駆動した出射光の一部を取り出して、特定の2種類の
光路差を実現するための光学的手段とそれぞれに対応し
た干渉信号を検出するための2つの受光部とを備えた縞
走査干渉計に入射させ、2つの受光部の出力信号から一
定のタイミングでの信号をサンプリングしそのサンプリ
ング信号の位相を特定の位相差に保つことにより一定の
タイミングでの波長を安定化させることができ、簡単な
構成の波長安定化半導体光源装置を実現することができ
る。
【0045】また、パルス駆動した光源部においては、
複数の半導体レーザの一定のタイミングでの発振波長を
同時に安定化させることができるので、交互発振する複
数の波長安定化半導体レーザ光源を実現することができ
る。
【0046】さらに、半導体レーザへの注入電流を変調
することにより、1つの半導体レーザから、交互発振す
る安定化された2つの異なる波長を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の波長安定化光源装置の好適な実施例1
を示す図。
【図2】本発明の図1における光源部のフィードバック
系を示す図。
【図3】本発明の図2のフィードバック系における各種
信号波形を示す図。
【図4】本発明の波長安定化光源装置の好適な実施例2
を示す図。
【図5】本発明の図4における光源部の駆動信号などを
示す図。
【図6】本発明の図4における光源部のフィードバック
系を示す図。
【図7】本発明の図6におけるサンプリングホールドし
た信号と波形整形した信号を示す図。
【図8】本発明の他の実施例におけるドライブ波形を示
す図。
【符号の説明】
1 発光部(光源部) 3 コリメートレンズ 5 集光レンズ 10 光源駆動回路(波長安定化部) 10X 光源駆動回路(波長安定化部) 20X 光源駆動回路(波長安定化部) 11 半導体レーザ 12 サーミスタ 13 ペルチェ素子 14 放熱板 30 ビームスプリッター 31 ビームスプリッター 33 アイソレータ 34 段差ミラー(反射部) A 第1反射面 B 第2反射面 35 スキャニングミラー 38 発振器(駆動部) 40 パルス信号発生器(駆動部) 41 検出器(第1受光部) 42 検出器(第2受光部) 50 サンプルホールド部(サンプリング部) 51 サンプルホールド部(サンプリング部) 52 フィルタ(サンプリング部) 53 フィルタ(サンプリング部) 100 位相比較器(位相検出部) 110 位相比較器(位相検出部) ◆
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年6月3日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0022
【補正方法】変更
【補正内容】
【0022】
【数1】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 峯岸 功 東京都板橋区蓮沼町75番1号 株式会社ト プコン内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 可干渉光を発する光源部(1)と、 上記光源部(1)からの可干渉光を2つの光路に分ける
    ビームスプリッター(31)と、 ビームスプリッター(31)により分けられた一方の光
    路に配置され、かつ光軸方向に移動可能なスキャニング
    ミラー(35)と、 ビームスプリッター(31)により分けられた他方の光
    路に配置され、第1の光路長で反射させる第1反射面
    (A)と第2の光路長で反射させる第2反射面(B)を
    有する反射部(34)と、 スキャニングミラー(35)からの可干渉光と上記第1
    反射面(A)で反射した可干渉光との第1干渉信号を受
    光する第1受光部(41)と、 スキャニングミラー(35)からの可干渉光と上記第2
    反射面(B)で反射した可干渉光との第2干渉信号を受
    光する第2受光部(42)と、 第1干渉信号と第2干渉信号との位相差を検出する位相
    検出部(100)と、 上記位相検出部(100)の検出位相を一定の位相差に
    保つことにより、上記光源部(1)の波長を安定化させ
    る波長安定化部(10)とを有することを特徴とする波
    長安定化光源装置。
  2. 【請求項2】 可干渉光を発する光源部(1,2)と、 上記光源部(1,2)をパルス駆動する駆動部(38,
    40)と、 上記光源部(1,2)からの可干渉光を2つの光路に分
    けるビームスプリッター(31)と、 ビームスプリッター(31)により分けられた一方の光
    路に配置され、かつ光軸方向に移動可能なスキャニング
    ミラー(35)と、 ビームスプリッター(31)により分けられた他方の光
    路に配置され、第1の光路長で反射させる第1反射面
    (A)と第2の光路長で反射させる第2反射面(B)を
    有する反射部(34)と、 スキャニングミラー(35)からの可干渉光と上記第1
    反射面(A)で反射した可干渉光との第1干渉信号を受
    光する第1受光部(41)と、 スキャニングミラー(35)からの可干渉光と上記第2
    反射面(B)で反射した可干渉光との第2干渉信号を受
    光する第2受光部(42)と、 上記スキャニングミラー(35)によりスキャンされて
    いる際の上記第1受光部(41)からの第1信号と上記
    第2受光部(42)からの第2信号とを所定タイミング
    でサンプリングするサンプリング部(50,51,5
    2,53)と、 上記サンプリング部(50,51,52,53)におい
    て、第1信号をサンプルして形成された第1サンプル信
    号と第2信号をサンプルして形成された第2サンプル信
    号との位相差を検出する位相検出部(110)と、 上記位相検出部(110)の検出位相を一定の位相差に
    保つことにより、上記光源の波長を安定化させる波長安
    定化部(10X、20X)とを有することを特徴とする
    波長安定化光源装置。
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