JPH05314538A - 光ディスクおよびその製造方法 - Google Patents
光ディスクおよびその製造方法Info
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- JPH05314538A JPH05314538A JP4119082A JP11908292A JPH05314538A JP H05314538 A JPH05314538 A JP H05314538A JP 4119082 A JP4119082 A JP 4119082A JP 11908292 A JP11908292 A JP 11908292A JP H05314538 A JPH05314538 A JP H05314538A
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- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 上記のグルーブ１…の一方の側壁１ａ…だけ
がアドレス情報に応じて蛇行しており、かつ、グルーブ
１の幅の平均値はランド２の幅の平均値に等しくなるよ
うに設定されている光磁気ディスクおよび、ガラス基板
４にフォトレジスト５を塗布し、少なくとも二本のレー
ザー光をグルーブ１…が延びている方向でない方向に離
間させて照射し、一本のレーザー光だけをアドレス情報
に応じて半径方向に振動させながら照射してフォトレジ
スト５を感光させる光磁気ディスクの製造方法。 【効果】 強いトラッキング信号を得ることができるの
で、正確なトラッキングを行うことができる。また、グ
ルーブの幅の倍よりも小さい光スポットを使用すれば、
正確なアドレス情報を得ることができる。しかも、製造
が容易である。
がアドレス情報に応じて蛇行しており、かつ、グルーブ
１の幅の平均値はランド２の幅の平均値に等しくなるよ
うに設定されている光磁気ディスクおよび、ガラス基板
４にフォトレジスト５を塗布し、少なくとも二本のレー
ザー光をグルーブ１…が延びている方向でない方向に離
間させて照射し、一本のレーザー光だけをアドレス情報
に応じて半径方向に振動させながら照射してフォトレジ
スト５を感光させる光磁気ディスクの製造方法。 【効果】 強いトラッキング信号を得ることができるの
で、正確なトラッキングを行うことができる。また、グ
ルーブの幅の倍よりも小さい光スポットを使用すれば、
正確なアドレス情報を得ることができる。しかも、製造
が容易である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、トラッキング用のグル
ーブを有し、このグルーブをアドレス情報に応じて蛇行
させた光ディスクおよび、この光ディスクの製造方法に
関するものである。
ーブを有し、このグルーブをアドレス情報に応じて蛇行
させた光ディスクおよび、この光ディスクの製造方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光を用いて情報を記録再生する光
メモリーの内、記録媒体として垂直磁化膜からなる記録
膜を用い、レーザー光を照射しながら磁場を印加して、
光スポット内の磁化を上向き、または、下向きにするこ
とにより、情報を記録する光磁気ディスクが実用化され
ている。
メモリーの内、記録媒体として垂直磁化膜からなる記録
膜を用い、レーザー光を照射しながら磁場を印加して、
光スポット内の磁化を上向き、または、下向きにするこ
とにより、情報を記録する光磁気ディスクが実用化され
ている。
【０００３】光磁気ディスクには、図４（ａ）の平面図
および同図（ｂ）の縦断面図に示すように、グルーブ５
１…が設けられており、光スポット５２を正確に螺旋状
のトラックに追従させることができるようになってい
る。グルーブ５１の幅はトラックピッチに応じて設定さ
れており、トラックピッチを例えば1.６μｍとすると、
グルーブ５１の幅は１〜1.２μｍに設定される。
および同図（ｂ）の縦断面図に示すように、グルーブ５
１…が設けられており、光スポット５２を正確に螺旋状
のトラックに追従させることができるようになってい
る。グルーブ５１の幅はトラックピッチに応じて設定さ
れており、トラックピッチを例えば1.６μｍとすると、
グルーブ５１の幅は１〜1.２μｍに設定される。
【０００４】上記のグルーブ５１…は、トラックのアド
レス情報に応じて半径方向に蛇行（ウォーブル）するよ
うに形成されており、トラッキング信号から蛇行周波数
の成分を取り出すことにより、光スポット５２が走査中
のトラックのアドレス情報を求めることができる。
レス情報に応じて半径方向に蛇行（ウォーブル）するよ
うに形成されており、トラッキング信号から蛇行周波数
の成分を取り出すことにより、光スポット５２が走査中
のトラックのアドレス情報を求めることができる。
【０００５】情報の記録再生は、グルーブ５１…に一致
するトラックに対して行われる。トラックピッチは光ス
ポット５２の直径程度に設定されており、光スポット５
２の直径は、レーザー光の波長と、レーザー光を光スポ
ット５２に収斂する対物レンズの開口数とによって決ま
っている。レーザー光の波長は、通常、７８０〜８３０
ｎｍであり、対物レンズの開口数は0.45〜0.６である。
したがって、光スポット５２の直径は1.２〜1.４μｍと
なり、トラックピッチは1.４〜1.６μｍに設定されてい
る。このため、磁化が上向き、または、下向きの記録ド
メインの大きさは、最小0.８μｍ程度となる。
するトラックに対して行われる。トラックピッチは光ス
ポット５２の直径程度に設定されており、光スポット５
２の直径は、レーザー光の波長と、レーザー光を光スポ
ット５２に収斂する対物レンズの開口数とによって決ま
っている。レーザー光の波長は、通常、７８０〜８３０
ｎｍであり、対物レンズの開口数は0.45〜0.６である。
したがって、光スポット５２の直径は1.２〜1.４μｍと
なり、トラックピッチは1.４〜1.６μｍに設定されてい
る。このため、磁化が上向き、または、下向きの記録ド
メインの大きさは、最小0.８μｍ程度となる。
【０００６】近年、この光磁気ディスクの内、記録膜を
多層構造にすることにより、記録膜に磁気超解像（Magn
etic Super Resolution ）の効果を持たせ、これによ
り、光スポットのサイズよりもはるかに小さい記録ドメ
インを形成して、記録密度を向上させる方策が取られて
いる。この磁気超解像を用いれば、上記のほぼ１／２の
大きさの記録ドメインを安定して形成することが可能で
あり、したがって、トラックピッチを上記のほぼ１／２
の0.８μｍ程度にすることが可能であるので、記録密度
を飛躍的に向上させることができる。この磁気超解像に
関しては、例えば、日本応用磁気学会誌、Vol.15, No.
5, 1991 pp.838-845 が詳しい。
多層構造にすることにより、記録膜に磁気超解像（Magn
etic Super Resolution ）の効果を持たせ、これによ
り、光スポットのサイズよりもはるかに小さい記録ドメ
インを形成して、記録密度を向上させる方策が取られて
いる。この磁気超解像を用いれば、上記のほぼ１／２の
大きさの記録ドメインを安定して形成することが可能で
あり、したがって、トラックピッチを上記のほぼ１／２
の0.８μｍ程度にすることが可能であるので、記録密度
を飛躍的に向上させることができる。この磁気超解像に
関しては、例えば、日本応用磁気学会誌、Vol.15, No.
5, 1991 pp.838-845 が詳しい。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、トラックピッチを0.８μｍ程度にする
と、トラッキング信号が弱くなるため、正確なトラッキ
ングを行うことができないという問題点を有している。
来の構成では、トラックピッチを0.８μｍ程度にする
と、トラッキング信号が弱くなるため、正確なトラッキ
ングを行うことができないという問題点を有している。
【０００８】また、トラッキング信号から蛇行周波数の
成分を取り出すことが困難になるので、正確なアドレス
情報を求めることができないという問題点を有してい
る。
成分を取り出すことが困難になるので、正確なアドレス
情報を求めることができないという問題点を有してい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る光
ディスクは、上記の課題を解決するために、トラッキン
グ用のグルーブを有し、このグルーブをアドレス情報に
応じて蛇行させた光ディスクにおいて、上記のグルーブ
の一方の側壁だけが蛇行しており、かつ、グルーブの幅
の平均値はグルーブ間のランドの幅の平均値に等しくな
るように設定されていることを特徴としている。
ディスクは、上記の課題を解決するために、トラッキン
グ用のグルーブを有し、このグルーブをアドレス情報に
応じて蛇行させた光ディスクにおいて、上記のグルーブ
の一方の側壁だけが蛇行しており、かつ、グルーブの幅
の平均値はグルーブ間のランドの幅の平均値に等しくな
るように設定されていることを特徴としている。
【００１０】請求項２の発明に係る光ディスクの製造方
法は、上記の課題を解決するために、ガラス基板にフォ
トレジストを塗布し、アドレス情報に応じてレーザー光
を半径方向に振動させながら照射することにより、蛇行
したトラッキング用のグルーブのパターンを形成するよ
うにフォトレジストを感光させる光ディスクの製造方法
であって、少なくとも二本のレーザー光をグルーブが延
びている方向でない方向に離間させて照射し、一本のレ
ーザー光だけをアドレス情報に応じて半径方向に振動さ
せながら照射することを特徴としている。
法は、上記の課題を解決するために、ガラス基板にフォ
トレジストを塗布し、アドレス情報に応じてレーザー光
を半径方向に振動させながら照射することにより、蛇行
したトラッキング用のグルーブのパターンを形成するよ
うにフォトレジストを感光させる光ディスクの製造方法
であって、少なくとも二本のレーザー光をグルーブが延
びている方向でない方向に離間させて照射し、一本のレ
ーザー光だけをアドレス情報に応じて半径方向に振動さ
せながら照射することを特徴としている。
【００１１】
【作用】請求項１の構成によれば、トラッキング用のグ
ルーブを有し、このグルーブをアドレス情報に応じて蛇
行させた光ディスクにおいて、上記のグルーブの一方の
側壁だけが蛇行しており、かつ、グルーブの幅の平均値
はグルーブ間のランドの幅の平均値に等しくなるように
設定されているので、強いトラッキング信号を得ること
ができる。したがって、正確なトラッキングを行うこと
ができる。しかも、グルーブの幅の倍よりも小さい光ス
ポットを使用すれば、二つの蛇行した側壁に光スポット
が同時に当たることがない。このため、正確なアドレス
情報を得ることができる。
ルーブを有し、このグルーブをアドレス情報に応じて蛇
行させた光ディスクにおいて、上記のグルーブの一方の
側壁だけが蛇行しており、かつ、グルーブの幅の平均値
はグルーブ間のランドの幅の平均値に等しくなるように
設定されているので、強いトラッキング信号を得ること
ができる。したがって、正確なトラッキングを行うこと
ができる。しかも、グルーブの幅の倍よりも小さい光ス
ポットを使用すれば、二つの蛇行した側壁に光スポット
が同時に当たることがない。このため、正確なアドレス
情報を得ることができる。
【００１２】請求項２の構成によれば、ガラス基板にフ
ォトレジストを塗布し、アドレス情報に応じてレーザー
光を半径方向に振動させながら照射することにより、蛇
行したトラッキング用のグルーブのパターンを形成する
ようにフォトレジストを感光させる光ディスクの製造方
法であって、少なくとも二本のレーザー光をグルーブが
延びている方向でない方向に離間させて照射し、一本の
レーザー光だけをアドレス情報に応じて半径方向に振動
させながら照射するので、一方の側壁だけが蛇行したグ
ルーブを有する光ディスクを容易に製造できる。
ォトレジストを塗布し、アドレス情報に応じてレーザー
光を半径方向に振動させながら照射することにより、蛇
行したトラッキング用のグルーブのパターンを形成する
ようにフォトレジストを感光させる光ディスクの製造方
法であって、少なくとも二本のレーザー光をグルーブが
延びている方向でない方向に離間させて照射し、一本の
レーザー光だけをアドレス情報に応じて半径方向に振動
させながら照射するので、一方の側壁だけが蛇行したグ
ルーブを有する光ディスクを容易に製造できる。
【００１３】
【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図３に
基づいて説明すれば、以下の通りである。
基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００１４】本実施例の光磁気ディスクには、図１
（ａ）の平面図および同図（ｂ）の縦断面図に示すよう
に、螺旋状または同心円状のグルーブ１…が設けられて
いる。グルーブ１の幅の平均値およびグルーブ１・１間
のランド２の幅の平均値は、互いに等しく、かつ、トラ
ックピッチに等しくなるように設定されている。
（ａ）の平面図および同図（ｂ）の縦断面図に示すよう
に、螺旋状または同心円状のグルーブ１…が設けられて
いる。グルーブ１の幅の平均値およびグルーブ１・１間
のランド２の幅の平均値は、互いに等しく、かつ、トラ
ックピッチに等しくなるように設定されている。
【００１５】上記のグルーブ１…の一方の側壁１ａ…
は、トラックのアドレス情報に応じて光磁気ディスクの
半径方向に蛇行するように形成されている。側壁１ａ…
の蛇行周波数は、トラッキングサーボ系（図示されてい
ない）の追従周波数より高く、かつ、記録時の記録周波
数よりも低い周波数に設定されている。
は、トラックのアドレス情報に応じて光磁気ディスクの
半径方向に蛇行するように形成されている。側壁１ａ…
の蛇行周波数は、トラッキングサーボ系（図示されてい
ない）の追従周波数より高く、かつ、記録時の記録周波
数よりも低い周波数に設定されている。
【００１６】上記の構成において、情報の記録は、グル
ーブ１…上のトラックおよびランド２…上のトラックに
対して行われる。光スポット３をグルーブ１上のトラッ
クを追従させるか、ランド２上のトラックを追従させる
かは、トラッキング信号の極性を反転することによって
容易に選択できる。トラッキング信号は例えばプッシュ
プル法によって得られる。
ーブ１…上のトラックおよびランド２…上のトラックに
対して行われる。光スポット３をグルーブ１上のトラッ
クを追従させるか、ランド２上のトラックを追従させる
かは、トラッキング信号の極性を反転することによって
容易に選択できる。トラッキング信号は例えばプッシュ
プル法によって得られる。
【００１７】光スポット３が走査中のトラックのアドレ
ス情報は、トラッキング信号から側壁１ａ…の蛇行周波
数の成分を取り出すことによって求められる。
ス情報は、トラッキング信号から側壁１ａ…の蛇行周波
数の成分を取り出すことによって求められる。
【００１８】すなわち、光スポット３を例えばグルーブ
１に追従させると、蛇行周波数が追従周波数より高いの
で、光スポット３は、グルーブ１の幅の二分割点を結ん
だ中心線上をトラッキングするのではなく、グルーブ１
の平均幅の二分割点を結んだ線上をトラッキングする。
このため、グルーブ１の蛇行振幅の半分に等しいトラッ
キング誤差が常に生じている。したがって、トラッキン
グ信号からこれを取り出せば、蛇行周波数の信号成分が
得られる。光スポット３をランド２に追従させた場合に
ついても、同様である。
１に追従させると、蛇行周波数が追従周波数より高いの
で、光スポット３は、グルーブ１の幅の二分割点を結ん
だ中心線上をトラッキングするのではなく、グルーブ１
の平均幅の二分割点を結んだ線上をトラッキングする。
このため、グルーブ１の蛇行振幅の半分に等しいトラッ
キング誤差が常に生じている。したがって、トラッキン
グ信号からこれを取り出せば、蛇行周波数の信号成分が
得られる。光スポット３をランド２に追従させた場合に
ついても、同様である。
【００１９】なお、トラッキング誤差が蛇行振幅の半分
になるので、従来と同じ大きさの蛇行周波数の信号成分
を得るためには、蛇行振幅を従来の倍にしなければなら
ない。例えば、従来の蛇行振幅を±３０ｎｍとすると、
これを±６０ｎｍにする必要がある。
になるので、従来と同じ大きさの蛇行周波数の信号成分
を得るためには、蛇行振幅を従来の倍にしなければなら
ない。例えば、従来の蛇行振幅を±３０ｎｍとすると、
これを±６０ｎｍにする必要がある。
【００２０】しかしながら、グルーブ１の幅、ランド２
の幅がそれぞれ0.８μｍであるときのトラッキング信号
の大きさは、グルーブ１の幅、ランド２の幅がそれぞれ
1.２μｍ、0.４μｍであるときのトラッキング信号の大
きさの1.４倍になるので、蛇行振幅は従来のほぼ1.４倍
（≒２／1.４）でよい。
の幅がそれぞれ0.８μｍであるときのトラッキング信号
の大きさは、グルーブ１の幅、ランド２の幅がそれぞれ
1.２μｍ、0.４μｍであるときのトラッキング信号の大
きさの1.４倍になるので、蛇行振幅は従来のほぼ1.４倍
（≒２／1.４）でよい。
【００２１】また、グルーブ１の幅、ランド２の幅がそ
れぞれ1.３μｍ、0.３μｍであるときと比較すると、蛇
行振幅はほぼ1.１倍でよい。さらに、グルーブ１の幅、
ランド２の幅がそれぞれ1.１μｍ、0.５μｍであるとき
と比較すると、蛇行振幅はほぼ1.７倍でよい。
れぞれ1.３μｍ、0.３μｍであるときと比較すると、蛇
行振幅はほぼ1.１倍でよい。さらに、グルーブ１の幅、
ランド２の幅がそれぞれ1.１μｍ、0.５μｍであるとき
と比較すると、蛇行振幅はほぼ1.７倍でよい。
【００２２】したがって、従来とほぼ同じ大きさの蛇行
周波数の信号成分を取り出すためには、蛇行振幅を±３
５ｎｍから±５０ｎｍの範囲に設定すればよい。
周波数の信号成分を取り出すためには、蛇行振幅を±３
５ｎｍから±５０ｎｍの範囲に設定すればよい。
【００２３】本実施例の光磁気ディスクでは、グルーブ
１の一方の側壁１ａだけを蛇行させているので、光スポ
ット３の直径をトラックピッチよりも大きく、かつ、ト
ラックピッチの二倍よりも小さく設定しておけば、二つ
の蛇行した側壁１ａ・１ａに光スポット３が同時に当た
ることがない。このため、正確なアドレス情報が得られ
る。
１の一方の側壁１ａだけを蛇行させているので、光スポ
ット３の直径をトラックピッチよりも大きく、かつ、ト
ラックピッチの二倍よりも小さく設定しておけば、二つ
の蛇行した側壁１ａ・１ａに光スポット３が同時に当た
ることがない。このため、正確なアドレス情報が得られ
る。
【００２４】なお、本実施例では、グルーブ１に対応し
たトラックのアドレス情報は、このグルーブ１の側壁１
ａ側に隣接したランド２に対応したトラックのアドレス
情報と同一になるが、上述のように、これらのトラック
をトラッキングサーボ系によって容易に選択できるの
で、特定トラックを指定することは容易である。
たトラックのアドレス情報は、このグルーブ１の側壁１
ａ側に隣接したランド２に対応したトラックのアドレス
情報と同一になるが、上述のように、これらのトラック
をトラッキングサーボ系によって容易に選択できるの
で、特定トラックを指定することは容易である。
【００２５】上記の光磁気ディスクに磁気超解像効果を
用いて情報を記録する場合、記録ドメインの直径を0.４
μｍ程度にできる。このため、トラックの幅を0.８μｍ
にする（すなわち、グルーブ１の幅およびランド２の幅
を共に0.８μｍに設定する）と、容易に記録再生を行う
ことができる。また、トラックピッチを従来の1.６μｍ
から半分の0.８μｍにできるので、記録密度を大幅に向
上させることができる。しかも、大きなトラッキング信
号を得ることができ、正確なアドレス情報を得ることが
できる。
用いて情報を記録する場合、記録ドメインの直径を0.４
μｍ程度にできる。このため、トラックの幅を0.８μｍ
にする（すなわち、グルーブ１の幅およびランド２の幅
を共に0.８μｍに設定する）と、容易に記録再生を行う
ことができる。また、トラックピッチを従来の1.６μｍ
から半分の0.８μｍにできるので、記録密度を大幅に向
上させることができる。しかも、大きなトラッキング信
号を得ることができ、正確なアドレス情報を得ることが
できる。
【００２６】また、記録再生に用いるレーザー光の波長
を短くすると、光スポット３をより小さくできる。この
ため、トラックピッチをさらに小さくできる。例えば、
レーザー光の波長を８３０ｎｍから４５８ｎｍにする
と、トラックピッチを（４５８／８３０）倍にできる。
すなわち、記録密度をほぼ倍にできる。
を短くすると、光スポット３をより小さくできる。この
ため、トラックピッチをさらに小さくできる。例えば、
レーザー光の波長を８３０ｎｍから４５８ｎｍにする
と、トラックピッチを（４５８／８３０）倍にできる。
すなわち、記録密度をほぼ倍にできる。
【００２７】以上の実施例では、トラッキング信号から
蛇行周波数の信号成分を取り出したが、光磁気ディスク
からの反射光の光量から蛇行周波数の信号成分を取り出
してもかまわない。すなわち、グルーブ１の幅あるいは
ランド２の幅が狭くなっていると反射光が弱くなり、広
くなっていると反射光が強くなる。したがって、光スポ
ット３の反射光の光量変化を取り出せば、蛇行周波数の
信号成分を得ることができる。
蛇行周波数の信号成分を取り出したが、光磁気ディスク
からの反射光の光量から蛇行周波数の信号成分を取り出
してもかまわない。すなわち、グルーブ１の幅あるいは
ランド２の幅が狭くなっていると反射光が弱くなり、広
くなっていると反射光が強くなる。したがって、光スポ
ット３の反射光の光量変化を取り出せば、蛇行周波数の
信号成分を得ることができる。
【００２８】上記の光磁気ディスクのマスタリング・プ
ロセスについて図２に基づいて説明すれば、以下のとお
りである。
ロセスについて図２に基づいて説明すれば、以下のとお
りである。
【００２９】まず、ガラス基板４の片面にフォトレジス
ト５を塗布する（同図（ａ））。それから、レーザー光
を対物レンズ７によってフォトレジスト５上に収斂し、
フォトレジスト５を所望のグルーブ１のパターンに感光
させる（同図（ｂ））。これを現像することによって、
不要なフォトレジスト５を除去し、ガラス基板４上に残
ったフォトレジスト５ａ…により、所望のパターンを形
成する（同図（ｃ））。
ト５を塗布する（同図（ａ））。それから、レーザー光
を対物レンズ７によってフォトレジスト５上に収斂し、
フォトレジスト５を所望のグルーブ１のパターンに感光
させる（同図（ｂ））。これを現像することによって、
不要なフォトレジスト５を除去し、ガラス基板４上に残
ったフォトレジスト５ａ…により、所望のパターンを形
成する（同図（ｃ））。
【００３０】次に、フォトレジスト５ａ…からなるパタ
ーン上に導電性の薄膜８をスパッタリング、あるいは、
無電解メッキなどによって形成する（同図（ｄ））。薄
膜８の材料には、Ｎｉ、Ｔａ、Ｃｒまたはその合金、あ
るいはそれらの複合膜が用いられる。それから、薄膜８
上に例えばＮｉからなる金属層９を電鋳で形成し（同図
（ｅ））、これを剥離すると、金属層９と、その上に形
成された薄膜８からなるスタンパー１０が得られる（同
図（ｆ））。
ーン上に導電性の薄膜８をスパッタリング、あるいは、
無電解メッキなどによって形成する（同図（ｄ））。薄
膜８の材料には、Ｎｉ、Ｔａ、Ｃｒまたはその合金、あ
るいはそれらの複合膜が用いられる。それから、薄膜８
上に例えばＮｉからなる金属層９を電鋳で形成し（同図
（ｅ））、これを剥離すると、金属層９と、その上に形
成された薄膜８からなるスタンパー１０が得られる（同
図（ｆ））。
【００３１】このスタンパー１０を用いてポリカーボネ
ート等のプラスチックを成型することにより、所望のグ
ルーブ１を有する光磁気ディスク用の基板が製造され
る。この基板上に記録媒体を形成すると、上記の光磁気
ディスクが得られる。
ート等のプラスチックを成型することにより、所望のグ
ルーブ１を有する光磁気ディスク用の基板が製造され
る。この基板上に記録媒体を形成すると、上記の光磁気
ディスクが得られる。
【００３２】上記のフォトレジスト５をグルーブ１のパ
ターンに感光させる工程では、二本のレーザー光が使用
される。これらのレーザー光はフォトレジスト５上に二
個の光スポット６ａ・６ｂを形成する。光スポット６ａ
・６ｂと、光スポット６ａ・６ｂにより形成されたグル
ーブ１との関係を図１（ａ）に示す。
ターンに感光させる工程では、二本のレーザー光が使用
される。これらのレーザー光はフォトレジスト５上に二
個の光スポット６ａ・６ｂを形成する。光スポット６ａ
・６ｂと、光スポット６ａ・６ｂにより形成されたグル
ーブ１との関係を図１（ａ）に示す。
【００３３】螺旋状のグルーブ１を形成する場合、ガラ
ス基板４に相対的に光スポット６ａ・６ｂを螺旋状に移
動させるが、光スポット６ａについては螺旋状に移動さ
せながら、アドレス情報に応じて光磁気ディスクの半径
方向にも振動させる。これにより、アドレス情報に応じ
て一方の側壁１ａが蛇行したグルーブ１のパターンをフ
ォトレジスト５上に形成することができる。
ス基板４に相対的に光スポット６ａ・６ｂを螺旋状に移
動させるが、光スポット６ａについては螺旋状に移動さ
せながら、アドレス情報に応じて光磁気ディスクの半径
方向にも振動させる。これにより、アドレス情報に応じ
て一方の側壁１ａが蛇行したグルーブ１のパターンをフ
ォトレジスト５上に形成することができる。
【００３４】例えば、各光スポット６ａ・６ｂの直径を
0.４μｍとし、トラックピッチを0.８μｍとすると、光
スポット６ａ・６ｂは互いに平均して0.４μｍだけ光磁
気ディスクの半径方向に離れて配置される。また、各光
スポット６ａ・６ｂの直径を0.５μｍとし、トラックピ
ッチを0.７μｍとすると、光スポット６ａ・６ｂは互い
に平均して0.２μｍだけ光磁気ディスクの半径方向に離
れて配置される。
0.４μｍとし、トラックピッチを0.８μｍとすると、光
スポット６ａ・６ｂは互いに平均して0.４μｍだけ光磁
気ディスクの半径方向に離れて配置される。また、各光
スポット６ａ・６ｂの直径を0.５μｍとし、トラックピ
ッチを0.７μｍとすると、光スポット６ａ・６ｂは互い
に平均して0.２μｍだけ光磁気ディスクの半径方向に離
れて配置される。
【００３５】上記のフォトレジスト５をグルーブ１のパ
ターンに感光させる記録装置の一例を図３に示す。
ターンに感光させる記録装置の一例を図３に示す。
【００３６】記録装置は、フォトレジスト５を感光させ
るためのレーザー光源１１ａと、対物レンズ７のフォー
カシング用のレーザー光源１１ｂを備えている。レーザ
ー光源１１ａには、例えばアルゴンレーザーが使用さ
れ、レーザー光源１１ｂには、例えばＨｅ−Ｎｅレーザ
ーが使用される。
るためのレーザー光源１１ａと、対物レンズ７のフォー
カシング用のレーザー光源１１ｂを備えている。レーザ
ー光源１１ａには、例えばアルゴンレーザーが使用さ
れ、レーザー光源１１ｂには、例えばＨｅ−Ｎｅレーザ
ーが使用される。
【００３７】レーザー光源１１ａからのレーザー光は、
ノイズ抑制装置１２ａによって光ノイズを低減させられ
た後、ミラー１９・２０で反射され、ビームスプリッタ
ー２１に入射する。レーザー光はビームスプリッター２
１によって二分割され、それぞれ、光変調器１８ａ・１
８ｂに入射する。光変調器１８ａ・１８ｂとしては、例
えば音響光学素子を用いることができる。その場合、光
変調器１８ａ・１８ｂの前後にそれぞれ収束用の凸レン
ズ２２・２２を配置する必要がある。
ノイズ抑制装置１２ａによって光ノイズを低減させられ
た後、ミラー１９・２０で反射され、ビームスプリッタ
ー２１に入射する。レーザー光はビームスプリッター２
１によって二分割され、それぞれ、光変調器１８ａ・１
８ｂに入射する。光変調器１８ａ・１８ｂとしては、例
えば音響光学素子を用いることができる。その場合、光
変調器１８ａ・１８ｂの前後にそれぞれ収束用の凸レン
ズ２２・２２を配置する必要がある。
【００３８】光変調器１８ａを通った光ビームは光偏向
器２３に入射した後、プリズムミラー２４で直角方向に
反射される。光偏向器２３としては、例えば、電気光学
効果、あるいは、音響光学効果を用いて進行方向を変え
ることのできる素子を用いることができる。一方、光変
調器１８ｂを通った光ビームは（１／２）波長板２５に
入射し、偏光面が９０度回転される。
器２３に入射した後、プリズムミラー２４で直角方向に
反射される。光偏向器２３としては、例えば、電気光学
効果、あるいは、音響光学効果を用いて進行方向を変え
ることのできる素子を用いることができる。一方、光変
調器１８ｂを通った光ビームは（１／２）波長板２５に
入射し、偏光面が９０度回転される。
【００３９】これらの光ビームは、偏光プリズム２６で
再び合成された後、ビームエキスパンダー２７によって
適当な光ビーム径に拡大され、二色ミラー１５で反射さ
れて対物レンズ７に入射する。そして、対物レンズ７に
よってガラス基板４上のフォトレジスト５に光スポット
６ａ・６ｂとして収斂される。
再び合成された後、ビームエキスパンダー２７によって
適当な光ビーム径に拡大され、二色ミラー１５で反射さ
れて対物レンズ７に入射する。そして、対物レンズ７に
よってガラス基板４上のフォトレジスト５に光スポット
６ａ・６ｂとして収斂される。
【００４０】なお、上記の光変調器１８ａ・１８ｂは、
それぞれ、ドライバー２８ａ・２８ｂによって制御され
る。また、光偏向器２３はドライバー２９によって制御
される。
それぞれ、ドライバー２８ａ・２８ｂによって制御され
る。また、光偏向器２３はドライバー２９によって制御
される。
【００４１】一方、レーザー光源１１ｂからのレーザー
光は、ノイズ抑制装置１２ｂによって光ノイズを低減さ
せられた後、偏光ビームスプリッター１３、（１／４）
波長板１４、二色ミラー１５を通り、対物レンズ７によ
ってガラス基板４上のフォトレジスト５に収斂される。
光は、ノイズ抑制装置１２ｂによって光ノイズを低減さ
せられた後、偏光ビームスプリッター１３、（１／４）
波長板１４、二色ミラー１５を通り、対物レンズ７によ
ってガラス基板４上のフォトレジスト５に収斂される。
【００４２】その反射光は、対物レンズ７によって集光
され、二色ミラー１５、（１／４）波長板１４、偏光ビ
ームスプリッター１３を通り、対物レンズ１６およびシ
リンドリカルレンズ１７によって四分割の光検出器１８
に収斂される。光検出器１８からの信号に基づいて、フ
ォーカスサーボ信号が生成され、フォーカスサーボ系
（図示されていない）が対物レンズ７をフォーカス方向
に駆動する。これにより、スピンドルモーター３０で回
転しているガラス基板４上のフォトレジスト５に対物レ
ンズ７の焦点が常に合わされる。
され、二色ミラー１５、（１／４）波長板１４、偏光ビ
ームスプリッター１３を通り、対物レンズ１６およびシ
リンドリカルレンズ１７によって四分割の光検出器１８
に収斂される。光検出器１８からの信号に基づいて、フ
ォーカスサーボ信号が生成され、フォーカスサーボ系
（図示されていない）が対物レンズ７をフォーカス方向
に駆動する。これにより、スピンドルモーター３０で回
転しているガラス基板４上のフォトレジスト５に対物レ
ンズ７の焦点が常に合わされる。
【００４３】上記の構成において、まず、光スポット６
ａの位置決めを行う。すなわち、光スポット６ａが、上
述したように、光スポット６ｂから半径方向に所定の平
均距離だけ離れた位置に配置されるように、ドライバー
２９より光偏向器２３に印加される直流電圧の大きさ
と、プリズムミラー２４のセッティング角度とが調整さ
れる。
ａの位置決めを行う。すなわち、光スポット６ａが、上
述したように、光スポット６ｂから半径方向に所定の平
均距離だけ離れた位置に配置されるように、ドライバー
２９より光偏向器２３に印加される直流電圧の大きさ
と、プリズムミラー２４のセッティング角度とが調整さ
れる。
【００４４】それから、上記の直流電圧に蛇行周波数の
信号電圧を重畳させた電圧をドライバー２９より光偏向
器２３に印加する。これにより、光スポット６ａを蛇行
周波数に応じて半径方向に振動させることができる。
信号電圧を重畳させた電圧をドライバー２９より光偏向
器２３に印加する。これにより、光スポット６ａを蛇行
周波数に応じて半径方向に振動させることができる。
【００４５】なお、ドライバー２８ａ・２８ｂから光変
調器１８ａ・１８ｂに電圧を印加することにより、光ス
ポット６ａ・６ｂをオン・オフすることができる。
調器１８ａ・１８ｂに電圧を印加することにより、光ス
ポット６ａ・６ｂをオン・オフすることができる。
【００４６】以上の実施例では、光磁気ディスクおよび
その製造方法について説明したが、蛇行したグルーブを
有する光ディスクおよびその製造方法に本発明を広く応
用できる。
その製造方法について説明したが、蛇行したグルーブを
有する光ディスクおよびその製造方法に本発明を広く応
用できる。
【００４７】
【発明の効果】請求項１の発明に係る光ディスクは、以
上のように、グルーブの一方の側壁だけが蛇行してお
り、かつ、グルーブの幅の平均値はグルーブ間のランド
の幅の平均値に等しくなるように設定されているので、
強いトラッキング信号を得ることができる。したがっ
て、正確なトラッキングを行うことができる。しかも、
グルーブの幅の倍よりも小さい光スポットを使用すれ
ば、二つの蛇行した側壁に光スポットが同時に当たるこ
とがない。このため、正確なアドレス情報を得ることが
できるという効果を奏する。
上のように、グルーブの一方の側壁だけが蛇行してお
り、かつ、グルーブの幅の平均値はグルーブ間のランド
の幅の平均値に等しくなるように設定されているので、
強いトラッキング信号を得ることができる。したがっ
て、正確なトラッキングを行うことができる。しかも、
グルーブの幅の倍よりも小さい光スポットを使用すれ
ば、二つの蛇行した側壁に光スポットが同時に当たるこ
とがない。このため、正確なアドレス情報を得ることが
できるという効果を奏する。
【００４８】請求項２の発明に係る光ディスクの製造方
法は、以上のように、少なくとも二本のレーザー光をグ
ルーブが延びている方向でない方向に離間させて照射
し、一本のレーザー光だけをアドレス情報に応じて半径
方向に振動させながら照射するので、一方の側壁だけが
蛇行したグルーブを有する光ディスクを容易に製造でき
るという効果を奏する。
法は、以上のように、少なくとも二本のレーザー光をグ
ルーブが延びている方向でない方向に離間させて照射
し、一本のレーザー光だけをアドレス情報に応じて半径
方向に振動させながら照射するので、一方の側壁だけが
蛇行したグルーブを有する光ディスクを容易に製造でき
るという効果を奏する。
【図１】本発明の蛇行したグルーブを有する光磁気ディ
スクの概略構成を示すものであり、（ａ）は概略の平面
図、（ｂ）は（ａ）の破線における概略の縦断面図であ
る。
スクの概略構成を示すものであり、（ａ）は概略の平面
図、（ｂ）は（ａ）の破線における概略の縦断面図であ
る。
【図２】図１の光磁気ディスクで使用される基板のマス
タリング・プロセスを示す説明図である。
タリング・プロセスを示す説明図である。
【図３】図２のマスタリング・プロセスのフォトレジス
トの感光工程で使用される記録装置の概略を示すブロッ
ク図である。
トの感光工程で使用される記録装置の概略を示すブロッ
ク図である。
【図４】従来の蛇行したグルーブを有する光磁気ディス
クの概略構成を示すものであり、（ａ）は概略の平面
図、（ｂ）は（ａ）の破線における概略の縦断面図であ
る。
クの概略構成を示すものであり、（ａ）は概略の平面
図、（ｂ）は（ａ）の破線における概略の縦断面図であ
る。
１ グルーブ １ａ 側壁 ２ ランド ３ 光スポット ４ ガラス基板 ５ フォトレジスト ５ａ フォトレジスト ６ａ 光スポット ６ｂ 光スポット ７ 対物レンズ
Claims (2)
- 【請求項１】トラッキング用のグルーブを有し、このグ
ルーブをアドレス情報に応じて蛇行させた光ディスクに
おいて、 上記のグルーブの一方の側壁だけが蛇行しており、か
つ、グルーブの幅の平均値はグルーブ間のランドの幅の
平均値に等しくなるように設定されていることを特徴と
する光ディスク。 - 【請求項２】ガラス基板にフォトレジストを塗布し、ア
ドレス情報に応じてレーザー光を半径方向に振動させな
がら照射することにより、蛇行したトラッキング用のグ
ルーブのパターンを形成するようにフォトレジストを感
光させる光ディスクの製造方法であって、 少なくとも二本のレーザー光をグルーブが延びている方
向でない方向に離間させて照射し、一本のレーザー光だ
けをアドレス情報に応じて半径方向に振動させながら照
射することを特徴とする光ディスクの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4119082A JP2854187B2 (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 光記録媒体及び情報記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4119082A JP2854187B2 (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 光記録媒体及び情報記録再生装置 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10126936A Division JP3046796B2 (ja) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | 光記録媒体の製造方法 |
| JP10126937A Division JP2999994B2 (ja) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | 光記録再生装置及び光記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05314538A true JPH05314538A (ja) | 1993-11-26 |
| JP2854187B2 JP2854187B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=14752439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4119082A Expired - Lifetime JP2854187B2 (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 光記録媒体及び情報記録再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2854187B2 (ja) |
Cited By (27)
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|---|---|---|---|---|
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1992
- 1992-05-12 JP JP4119082A patent/JP2854187B2/ja not_active Expired - Lifetime
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