JPH05313353A - Mask film inspecting device - Google Patents

Mask film inspecting device

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JPH05313353A
JPH05313353A JP14340492A JP14340492A JPH05313353A JP H05313353 A JPH05313353 A JP H05313353A JP 14340492 A JP14340492 A JP 14340492A JP 14340492 A JP14340492 A JP 14340492A JP H05313353 A JPH05313353 A JP H05313353A
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JP
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defect
film
mask film
label
direction
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Application number
JP14340492A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideaki Ono
英明 大野
Original Assignee
Asahi Optical Co Ltd
旭光学工業株式会社
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Abstract

PURPOSE: To reduce the size and cost of the inspecting device at the time of integrally constituting a defect inspecting section and defect display section for a mask film as the inspecting device.
CONSTITUTION: This inspecting device has an inspection table 4 which is mounted with the mask film MF to be inspected and is moved in one direction, the defect inspecting section 6 which is moved in the direction orthogonal with the moving direction of this inspection table and detects the pattern defect of the mask film MF and the defect display section 7 which is moved in the direction parallel with the defect inspecting section 6 and displays the defect at the detected defect point (a label sticking section for sticking the label indicting the defect to the mask film MF). As a result, the driving mechanisms for the defect inspecting section 6 and the defect display section 7 in one direction are commonly used and the mechanisms are simplified.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は透明フィルムに所要パターンが形成されたマスクフィルムのパターン欠陥を検査してその欠陥箇所をフィルム上に表示させる検査装置に関する。 The present invention relates to a testing apparatus for displaying the defect portion on the film by examining the pattern defect of a mask film required pattern is formed on the transparent film.

【0002】 [0002]

【従来の技術】近年、プリント配線板を写真蝕刻法により形成する際に使用されるマスクフィルムのパターン欠陥を検査するための装置として、画像読取カメラでパターンの画像を読み取り、これから得られる画像データを所要のアルゴリズムで処理してパターン欠陥を自動的に検出する装置が提案されている。 In recent years, as an apparatus for inspecting a pattern defect of a mask film used in forming the printed wiring board by photoetching method, it reads the pattern image in the image reading camera, image data obtained therefrom a required algorithm processing automatically detect a pattern defect devices it has been proposed. 又、検出された欠陥の修正を容易に行うために、検出されたマスクフィルムの欠陥箇所に例えばラベル等を貼り付けて欠陥箇所を表示するようにした装置が提案されている。 In order to easily perform correction of a detected defect, and to display the defective portion on the defective portion of the detected masking film, for example, attach labels such devices have been proposed.

【0003】従来、前記した検査装置としては、マスクフィルムを効率よく検査するために、往復移動される検査テーブル上に被検査フィルムを載せ、検査テーブルを一方向に移動させる一方、パターンを読み取る画像読取カメラをこれと直交する方向に移動させながら検査を行う構成のものがある。 Conventionally, as the inspection apparatus described above, in order to inspect the mask film efficiently, placing the inspected film on the inspection table is reciprocally moved, while moving the examination table in one direction, the image to read the pattern there is a structure to be inspected while moving in the direction of the reading camera perpendicular thereto. 又、マスクフィルムの欠陥箇所にラベルを貼り付ける装置として、従来では固定テーブル上にマスクフィルムを載置し、この固定テーブルに対してX軸及びY軸方向に移動される可動アームによってラベルを該当箇所に貼り付けるようにしたものがある。 Further, the paste system labels to defective portion of the mask film, in the conventional placing a mask film on the stationary table, the corresponding label by the movable arm is moved in the X-axis and Y-axis direction with respect to the fixed table there is a thing that was pasted in place.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このような検査装置は、マスクフィルムの欠陥検査装置とラベル貼付装置がそれぞれ独立した機構で構成されているため、これらを一体化した検査装置を構成する場合には、 [SUMMARY OF THE INVENTION However, such an inspection apparatus, since the defect inspection apparatus and the label sticking apparatus of the mask film is composed of independent mechanism, constituting the inspection apparatus integrated these in case of,
装置が大型化してしまうという問題がある。 Apparatus there is a problem that increases in size. 又、欠陥検査とラベル貼付けのそれぞれにXY方向の移動機構を設ける必要があるため、検査装置内に類似の機構を重複して配設する必要があり、装置の低価格化を図る上での障害となっている。 Further, it is necessary to provide the XY direction of the moving mechanism in each of the defect inspection and label pasting, it is necessary to arrange duplicate similar mechanism in the testing apparatus, in terms of achieving the cost reduction of the apparatus It has become an obstacle. 本発明の目的は、マスクフィルムの欠陥検査と欠陥表示の機構を共通化して小型化、低価格化を可能にしたマスクフィルムの検査装置を提供することにある。 An object of the present invention, miniaturized mechanism of defect inspection and defect indication of the mask film in common, is to provide an inspection apparatus of a mask film that enables cost reduction.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、検査されるマスクフィルムを搭載し、一方向に移動される検査テーブルと、この検査テーブルの移動方向と直交する方向に移動されてマスクフィルムのパターン欠陥を検出する欠陥検査部と、この欠陥検査部と並行な方向に移動されて検出された欠陥箇所に欠陥表示を行う欠陥表示部とを備える。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is equipped with a mask film to be inspected, the inspection table is moved in one direction, the pattern of the mask film is moved in a direction perpendicular to the moving direction of the examination table comprising a defect inspection unit for detecting a defect, a defect display section for performing defect indication to the mobile has been detected defect portion in a direction parallel to the defect inspection unit. 例えば、欠陥表示部は、マスクフィルムの欠陥に対応する箇所に、欠陥を表示するラベルを貼り付けるラベル貼付部として構成される。 For example, the defect display section, at positions corresponding to the defects of the mask film, formed as a label sticking portion paste the label to display the defect.

【0006】 [0006]

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明する。 EXAMPLES Next, will be described with reference to the drawings the present invention. 図1は本発明のマスクフィルム検査装置の一実施例の正面構成図であり、図2はその平面構成図である。 Figure 1 is a front diagram of an embodiment of a mask film inspection apparatus of the present invention. FIG. 2 is a plan view.
尚、図2は構成を判り易くするために一部を省略した状態で図示している。 Incidentally, FIG. 2 illustrates a state in which a part omitted for clarity the configuration. 先ず、このマスクフィルム検査装置の概略構成を説明する。 First, a schematic configuration of the mask film inspection system. 平面形状が一方向に長い矩形をしたベースプレート1上には、長手方向の一端側にフィルム供給カセット2Aが配置され、複数枚の被検査マスクフィルムMFが重ねて収納される。 On a base plate 1, the planar shape has a long rectangular in one direction, one longitudinal end to the film supply cassette 2A are arranged, a plurality of the inspected mask film MF is stored repeatedly. 又、他端側にはフィルム収納カセット2Bが配置され、検査済マスクフィルムMFが重ねて収納される。 Further, the other end is disposed the film accommodating cassette 2B, inspected mask film MF is stored repeatedly. そして、これらのカセット間には長手方向に沿って一対のレール状の検査テーブルガイド3が延設され、このガイド3に沿って検査テーブル4が往復移動される。 And, between these cassettes in the longitudinal direction examination table guide 3 shaped pair of rails extending, the guide 3 examination table 4 along is reciprocated.

【0007】又、前記フルム供給カセット2Aの上側には、被検査マスクフィルムMFを検査テーブル4に搭載するためのフィルム搭載部5Aが設けられ、逆に前記フィルム収納カセット2Bの上側には検査済マスクフィルムMFを検査テーブル4から降載するためのフィルム降載部5Bが設けられる。 [0007] Further, the Furumu above the supply cassette. 2A, the film mounting portion 5A is provided for mounting the inspection mask film MF the examination table 4, inspected on the upper side of the film accommodating cassette 2B reversed film unloading unit 5B is provided for unloading the mask film MF from the examination table 4. 更に、前記各カセット2A,2 Moreover, each cassette 2A, 2
Bの中間位置には、検査テーブル4に搭載された被検査マスクフィルムのパターン画像を読み取って欠陥の検査を行う欠陥検査部6と、検査されたマスクフィルム上の欠陥位置に欠陥箇所を表示するための欠陥表示部として、欠陥表示を行うラベルを貼り付けるラベル貼付部7 The intermediate position B, the defect inspection unit 6 for inspecting defects by reading the pattern image of the inspected mask film mounted on the examination table 4, and displays the defective portion on the defect position on the mask films tested as a defect display section for, the label attachment unit 7 to paste labels to perform defect indication
がそれぞれ設けられている。 There has been provided, respectively.

【0008】次に、前記した各部の詳細を説明する。 [0008] Next, details of the above-mentioned respective parts. 〔フィルム供給カセット,フィルム収納カセット〕フィルム供給カセット2Aは、方形をした浅い皿状に形成されており、内底部には長さ方向及びこれと直交する幅方向にそれぞれ位置調整可能なサイズ設定ストッパ21が設けられ、被検査マスクフィルムに合わせてその位置を可変させ、フィルム供給カセット2Aの側面との間に画成する方形空間内に被検査フィルムMFを重ねて載置させる。 [Film supply cassettes, film accommodating cassette] film supply cassettes 2A is formed in a shallow dish shape with a square, inner bottom position-adjustable sizing respectively in a width direction orthogonal longitudinal and this is the portion stopper 21 is provided, by varying the position in accordance with the inspection mask film is placed on top of the inspected film MF a square space which defined between the side surface of the film supply cassette 2A. 又、フィルム供給カセット2Aの下側にはリミットスイッチ等で構成した複数個のサイズ検出センサ22 Further, a plurality of size below the film supply cassettes 2A configured limit switch or the like sensor 22
を配設しており、前記サイズ設定ストッパ21が移動された箇所のサイズ検出センサ22を作動させることで、 And arranged to, by operating the size detection sensor 22 of a portion the size setting stopper 21 is moved,
被検査マスクフィルムMFのサイズを自動的に検出することができる。 It can automatically detect the size of the inspected mask film MF.

【0009】又、フィルム収納カセット2Bも、前記フィルム供給カセット2Aと同様の構成であり、対応する部分には同一符号を付してある。 [0009] The film accommodating cassette 2B also, the a film supply cassettes 2A the same configuration, and corresponding parts are denoted by the same reference numerals. これらのフィルム供給,収納カセット2A,2Bはそれぞれベースプレート1に対して着脱可能である。 These film supply, accommodating cassette 2A, 2B can be respectively detachable from the base plate 1.

【0010】〔検査テーブル〕前記検査テーブル4は光透過性の板材と枠材で形成されており、ベースプレート1の幅方向両側に延設された検査テーブルガイド3に両側部が支持される。 [0010] [testing table] the inspection table 4 is formed of an optically transparent plate and the frame member, side portions are supported on the examination table guide 3 which extends on both sides in the width direction of the base plate 1. そして、一方のガイドにはベースプレートの全長にわたってスクリューボルト31を延長配置しており、検査テーブル4に固定的に設けた雌ネジ部(図示せず)をスクリューボルト31に螺合させている。 Then, and on one of the guide has extended position the screw bolt 31 over the entire length of the base plate, is screwed a female screw portion fixedly provided on the examination table 4 (not shown) to the screw bolt 31. このスクリューボルト31はベースプレートの一端部に設けた駆動モータ32によって軸転駆動され、軸転されたときに雌ネジ部に螺合されたネジ機構によって検査テーブル4をガイド3に沿って往復移動させる。 The screw bolt 31 is driven axial rotation by a drive motor 32 provided at one end of the base plate, to reciprocate along the inspection table 4 in the guide 3 by screwed a screw mechanism in the female screw portion when it is Jikuten . 又、 or,
前記ガイド3の両端位置にはそれぞれリミットスイッチやフォトインタラプタからなるテーブル始点センサ33 The guide 3 of the table origin sensor 33 respectively in both end positions consisting of a limit switch, photo interrupter
とテーブル終点センサ34が設けられており、検査ケーブル4が移動されたときに動作されて検査テーブルの位置を検出する。 A table and the end point sensor 34 is provided to detect the position of the examination table is operated when the inspection cable 4 is moved. 尚、検査テーブル4の一端縁の表面には複数個のフィルム吸着穴41が並んで開設され、搭載されるマスクフィルムMFの一端縁を真空吸着して検査テーブル上に固定する。 Incidentally, the surface of one edge of the examination table 4 is opened alongside a plurality of film suction holes 41, to fix the one end edge of the mask film MF which is mounted on the examination table by vacuum suction.

【0011】〔フィルム搭載部,フィルム降載部〕フィルム搭載部5Aは、前記フィルム供給カセット2Aの上側においてベースプレート1に立設した枠体51を有し、かつこの枠体51に支持されて上下移動されるフィルム昇降アーム52を有している。 [0011] [film mounting unit, the film unloading unit] film mounting unit 5A, top and bottom the the upper side of the film supply cassette 2A has a frame 51 erected on the base plate 1, and is supported by the frame 51 and a film lifting arm 52 to be moved. このフィルム昇降アーム52は平面対角位置において上下方向に延長された2本のガイド53に案内され、かつ他の対角位置において上下方向に延長されたスクリューボルト54にその一部が螺合される。 The film lifting arm 52 is guided to the two guide 53 extending in the vertical direction in the plane diagonal positions, and a part thereof is screwed into the screw bolt 54 which is extended in the vertical direction in the other diagonal positions that. そして、このスクリューボルト54に連結されたフィルム昇降モータ55を駆動してスクリューボルト54を軸転させることで、ネジ機構によってフィルム昇降アーム52を上下移動する。 Then, by Jikuten the screw bolt 54 by driving the by the film lift motor 55 connected to the screw bolt 54, the film lifting arm 52 is vertically moved by a screw mechanism. この昇降アーム52の上限及び下限の各位置は枠体に支持されたリミットスイッチやフォトインタラプタからなるアーム上限センサ56及びアーム下限センサ57により検出される。 Each position of the upper and lower limits of the lifting arm 52 is detected by the arm upper limit sensor 56 and the arm lower limit sensor 57 consisting of a limit switch or the photo-interrupter which is supported by the frame.
又、このフィルム昇降アーム52の下面には複数個の吸着ノズル58が突設され、マスクフィルムを真空吸着してフィルム昇降アーム52と共に上下に移動させることができる。 Further, the plurality of suction nozzles 58 on the lower surface of the film lifting arm 52 is projected, it is possible to move the mask film up and down with the by vacuum suction film elevating arm 52.

【0012】尚、前記枠体51の中央側の一側にはフィルム押え部8が設けられる。 [0012] Incidentally, the film pressing portion 8 is provided on one side of the center side of the frame 51. このフィルム押え部8は前記枠体51から幅方向に対向する一対のブラケット81 A pair of brackets 81 the film pressing portion 8 facing in the width direction from the frame 51
を突設し、これらブラケット間にフィルム押えローラ8 Projecting a film pressing roller 8 between these brackets
2を配設している。 2 are disposed. このフィルム押えローラ82は可動アーム83によって前記ブラケット81に対して上下方向に揺動できるように支持されており、かつ可動アーム83とブラケット81間に掛装したスプリング84によりフィルム押えローラ82を下方向、即ち検査テーブル面に当接させるように付勢している。 Under the film presser roller 82 by a spring 84 which is engaged over the vertically is supported so that it can be swung, and the movable arm 83 and the bracket 81 to the bracket 81 the film pressing roller 82 by the movable arm 83 direction, that is biased to abut on the inspection table surface. 又、フィルム降載部5Bも、前記フィルム搭載部5Aと同様の構成であり、対応する部分には同一符号を付してある。 The film unloading unit 5B also the a film mounting portion 5A and the same configuration, and corresponding parts are denoted by the same reference numerals. 但し、フィルム押え部は設けてはいない。 However, no it is provided film pressing unit.

【0013】〔欠陥検査部〕マスクフィルムの欠陥を検査する欠陥検査部6は、前記ベースプレート1の長手方向の中間位置で前記検査テーブル4よりも下側の位置に、幅方向に延びる蛍光灯等の照明光源61を有し、この照明光源61によって検査テーブル4上のマスクフィルムを透過照明する。 [0013] defect inspection unit 6 for inspecting defects of [defect inspection unit] mask film, the position of the lower side of the examination table 4 in the longitudinal direction of the intermediate position of the base plate 1, a fluorescent lamp or the like extending in the width direction has an illumination light source 61, passes through illuminating a mask film on the examination table 4 by the illumination light source 61. 又、この照明光源61に対向する検査テーブル4の上側には、図3に示すように、前記ガイド3間に跨がるように幅方向にカメラ搬送ガイド62 Further, on the upper side of the examination table 4 facing the illumination light source 61, as shown in FIG. 3, the guide 3 camera conveyed in the width direction so as to straddle between the guide 62
を延長支持している。 It has extended support. このカメラ搬送ガイド62には、 The camera conveyance guide 62,
撮像レンズを下方に向けたCCDラインセンサからなる画像読取カメラ63をカメラ搬送ガイド62に沿って移動できるように支持している。 It supports such an image reading camera 63 comprising an imaging lens from the CCD line sensor downward movable along a camera conveyance guide 62.

【0014】更に、カメラ搬送ガイド62の内部にはカメラ搬送モータ64によって軸転されるスクリューボルト67が延設されており、画像読取カメラ63はこのスクリューボルト67に螺合され、カメラ搬送モータ64 Furthermore, the interior of the camera conveyance guide 62 and screw bolt 67 is extended to be Jikuten by the camera conveying motor 64, the image reading camera 63 is screwed to the screw bolt 67, a camera conveying motor 64
の駆動によって軸転されるスクリューボルト67によって検査テーブル4の移動方向と直交する方向に往復移動される。 By a screw bolt 67 which is Jikuten by driving it is reciprocated in a direction perpendicular to the moving direction of the examination table 4. 又、前記カメラ搬送ガイド62の両端位置にはそれぞれリミットスイッチやフォトインタラプタからなるカメラ始点センサ65とカメラ終点センサ66が設けられ、画像読取カメラ63の始点及び終点位置を検出する。 Further, the camera start sensor 65 and the camera end point sensor 66 respectively in both end positions consisting of a limit switch, photo interrupter camera conveyance guide 62 is provided to detect the start point and end point position of the image reading camera 63. 前記画像読取カメラ63には後述する画像データ処理回路300が接続され、読み取ったパターン画像データを所要のアルゴリズムで処理してパターン欠陥を検出する。 Wherein the image reading camera 63 is connected to the image data processing circuit 300 to be described later, to detect a pattern defect the read pattern image data is treated with the required algorithm.

【0015】〔ラベル貼付部(欠陥表示部)〕前記欠陥検査部6と隣接する位置に設けられたラベル貼付部7 [0015] [label sticking portion (defect indication unit)] The label attachment unit 7 and the defect inspection unit 6 provided in adjacent positions
は、図4に示すように、前記検査テーブルガイド3間に跨がるようにカメラ搬送ガイド62と平行にラベル搬送ガイド71が延長支持されており、ラベル搬送器72がガイド71に沿ってベースプレートの幅方向に移動できるように支持される。 As shown in FIG. 4, parallel to the camera conveyance guide 62 so as to straddle between the examination table guide 3 is the label transport guide 71 are extended support, the label transport 72 along the guide 71 the base plate It is supported so as to be movable in the width direction. そして、ラベル搬送ガイド71内にはラベル搬送モータ73によって軸転されるスクリューボルト74が平行に延設されており、ラベル搬送器7 Then, the label transport guide 71 are screw bolts 74 extending parallel to the Jikuten by the label conveying motor 73, the label transport device 7
2はこのスクリューボルト74に螺合され、スクリューボルト74の軸転によって検査テーブル4の移動方向と直交する方向、即ち前記画像読取カメラ63と並行な方向に往復移動される。 2 is screwed to the screw bolt 74 is reciprocating direction, i.e. in a direction parallel to the image reading camera 63 perpendicular to the direction of movement of the examination table 4 by the axial rotation of the screw bolt 74. 又、ラベル搬送ガイド71の両端位置にはそれぞれリミットスイッチやフォトインタラプタからなるラベル搬送始点センサ75とラベル搬送終点センサ76が設けられ、ラベル搬送器72の始点及び終点位置を検出する。 Further, the both end positions of the label conveying guide 71 label transport start sensor 75 and the label transport endpoint sensor 76 consisting of a limit switch or the photo-interrupter is provided, respectively, for detecting a start point and an end point position of the label transport device 72.

【0016】更に、前記ラベル搬送器72にはラベル吸着ヘッドとして、ここでは真空吸着を行う吸着ノズル7 Furthermore, as the label suction head on the label transport device 72, the suction nozzle 7 for vacuum suction here
7が支持される。 7 is supported. このラベル吸着ノズル77は、ラベル搬送器72の筐体の下面から突出された一対の真空吸着ノズルとして構成されており、後述する真空ポンプ10 This label suction nozzle 77 is configured as a pair of vacuum suction nozzle that protrudes from the lower surface of the housing of the label transport device 72, the vacuum pump 10 to be described later
0に接続される。 0 is the connection. そして、ラベルの表面に先端部を接触させた上で真空ポンプによる真空引きを行うことで、ラベルを真空吸着することができる。 Then, by performing vacuuming by the vacuum pump on contacting the tip surface of the label, it is possible to vacuum suction the label.

【0017】又、前記ラベル搬送ガイド71の始点位置近傍の前記検査テーブルガイドの一部には、ラベルプリンタ9が設けられており、前記欠陥検査部6で検出された欠陥箇所の位置を表示するラベルLを印刷する。 [0017] Also, a portion of the examination table guide starting position near the label transport guide 71 is label printer 9 is provided to display the position of the detected defect portion in the defect inspection section 6 to print a label L. この印刷は、欠陥位置を表示する矢印や三角形マーク、或いは欠陥種類(名称)、更には欠陥通し番号等、任意に設定できる。 This printing, arrow or triangle displaying the defect position or defect type (name), further can be set defect serial number or the like, as desired. 印刷したラベルは例えば裏面に粘着剤を塗布したシールとして形成され、前記ラベル搬送器72のラベル吸着ノズル77により搬送され、検査済のマスクフィルムの欠陥箇所に貼り付けられる。 Label printed is formed as a seal coated with adhesive on the back side for example, the conveyed by the label suction nozzle 77 of the label transport device 72, affixed to the defective portion of the mask film inspected. 尚、100は真空ポンプであり、切換弁101の切り換え動作によって前記フィルム吸着穴41、吸着ノズル58、ラベル吸着ノズル77等を選択的、或いは同時に真空状態とし、マスクフィルムやラベルを真空吸着させる。 Incidentally, 100 is a vacuum pump, the film suction holes 41 by the switching operation of the switching valve 101, the suction nozzle 58, selection of the label suction nozzle 77 or the like, or a vacuum at the same time, to vacuum suction mask film or labels.

【0018】図5は前記した各部のブロック構成図であり、特に画像読取カメラ63は画像処理回路300に接続され、その画像処理部301で画像処理された上で判定部302で欠陥が判定される。 [0018] Figure 5 is a block diagram of the components mentioned above, in particular the image reading camera 63 is connected to the image processing circuit 300, the defect in the judgment unit 302 after being processed by the image processing unit 301 is determined that. この判定結果は機構制御部400に入力され、この機構制御部400の出力によりラベルプリンタ9及びラベル貼付部7が制御される。 This determination result is input to the mechanism control section 400, the label printer 9 and a label attachment unit 7 is controlled by the output of the mechanism control section 400. 尚、201は操作パネル、202は表示部である。 Note that 201 is an operation panel, 202 denotes a display unit.

【0019】次に、以上の構成の検査装置のフィルム検査及びラベル貼り付けの工程を図6のフローチャートを参照して説明する。 Next, it will be described with reference to the flowchart of FIG. 6 film inspection and labeling steps of the inspection apparatus of the above configuration. 被検査フィルムMFはフィルム供給カセット2Aに重ねて入れられ、検査テーブル4がフィルム収納カセット2B側に移動されているときに、検査されるフィルムがフィルム搭載部5Aのフィルム昇降アーム52によって真空吸着されて持ち上げられる。 Inspected film MF is placed superimposed on a film supply cassette 2A, when the examination table 4 is moved to the film accommodating cassette 2B side, the vacuum suction film to be examined by the film lifting arm 52 of the film mounting portion 5A It lifted Te. そして、検査テーブル4がフィルム供給カセット2A上の始点位置に戻されたときに検査テーブル4上に搭載される。 Then, it is mounted on the examination table 4 when the examination table 4 is returned to the starting position on the film supply cassette 2A.

【0020】次いで、検査テーブル4を終点側に向けて間欠的に移動開始させると共に、照明光源61を点灯して被検査フィルムの照明を開始し、同時にカメラ搬送モータ64を駆動して画像読取カメラ63を検査テーブル4の移動方向と直交する方向に移動させる。 [0020] Then, the initiate intermittently moved toward the examination table 4 to the end point, then turns on the illumination light source 61 starts illumination of the inspected film, read image by driving the camera conveying motor 64 at the same time the camera 63 is moved in the direction perpendicular to the moving direction of the examination table 4. これにより、画像読取カメラ63は所要の幅寸法で被検査フィルムのパターンを画像データとして読み取ることになる。 Thus, the image reading camera 63 will read the pattern of the inspected film as image data at the required width.
以後、検査テーブル4を画像読取カメラ63が読み取った幅寸法毎に間欠的に移動させ、かつこれに対応して画像読取カメラ63を繰り返して往復移動させることで、 Thereafter, intermittently moving the examination table 4 to the image reading camera 63 each width read, and by reciprocating repeatedly an image reading camera 63 in response to this,
被検査フィルムMFの全面のパターンを画像データとして読み取ることができる。 You can read the entire surface of the pattern of the inspected film MF as image data.

【0021】次いで、画像読取カメラ63により読み取られた画像データは画像データ処理回路300により処理され、欠陥が検出されると機構制御部400の制御によりラベルプリンタ9において検出された欠陥毎に1枚のラベルLとして印刷される。 [0021] Then, image data read by the image reading camera 63 is processed by the image data processing circuit 300, one for each defect detected in the label printer 9 by the control of the mechanism control unit 400 when a defect is detected It is printed as the label L. この印刷されたラベルL The printed label L
はラベル吸着ノズル77により真空吸着され、かつ検出された欠陥の座標データに基づいて機構制御部400がラベル搬送モータ73を駆動させることでラベル搬送器72が検査テーブル4の幅方向の所要位置に移動される。 The vacuum-sucked by the label suction nozzle 77, and the detected required position of the label transport 72 by the mechanism control section 400 based on the coordinate data of the defective drives the label transport motor 73 is the width direction of the examination table 4 It is moved. そして、検査テーブル4と共に移動されてくる被検査フィルムMFの欠陥箇所上にラベル搬送器72が移動されたときに、ラベル吸着ノズル77に吸着しているラベルを被検査フィルムMF面に押圧させ、ラベルLを粘着力によってフィルム面に貼り付ける。 When the label transport 72 is moved over the defective portion of the inspection film MF coming is moved together with the examination table 4, it is pressed against the label adsorbed on the label suction nozzle 77 to be inspected film MF surface, applying labels L on the film surface by the adhesive force.

【0022】以降、前記した動作を繰り返すことにより、図7にその動作途中の状態を図示するように、被検査フィルムMFの複数の欠陥箇所を検出し、かつその後の極めて短い時間後にその欠陥箇所にラベルLを貼り付けることができ、検査テーブル4が終点位置まで移動される間に、被検査フィルムの全ての欠陥に対してラベルを貼り付ける。 [0022] Thereafter, by repeating the above-described operation, as illustrated its operation during the state in FIG. 7, to detect a plurality of defect locations of the test film MF, and the defect sites after subsequent very short time to be able to paste the label L, then while the examination table 4 is moved to the end position, applying labels to all defects of the inspected film. 尚、検査テーブル4が終点位置まで移動されると、検査テーブル4上の検査済の被検査フィルム(検査済フィルム)MFはフィルム降載部5Bのフィルム昇降アーム52によって検査テーブル4の上方に持ち上げられる。 Incidentally, the examination table 4 is moved to the end position, the inspected film (inspected film) of inspected on the examination table 4 MF is lifted above the examination table 4 by a film elevating arm 52 of the film unloading unit 5B It is. そして、検査テーブルが次の被検査フィルムを搭載すべく始点位置まで戻されたときに、検査済フィルムはフィルム収納カセット2Bに納められる。 When the examination table is returned to the starting position in order to mount the next inspection film, inspected film is accommodated in the film accommodating cassette 2B.

【0023】このようにして検査された検査済のマスクフィルムMFは、図8のように欠陥箇所にそれぞれ対応してラベルLが貼り付けられる。 The mask film MF of the thus inspected inspected, the label L is stuck to correspond to defective portion as shown in FIG. そして、フィルム収納カセットから取り出された検査済フィルムに対してパターン欠陥の修正を行う場合には、このラベルを目標にしてパターン欠陥を見つけ、その欠陥について修正を行えばよい。 Then, when performing correction of the pattern defect relative to the examined films taken from the film accommodating cassette is to find a pattern defect by the label to the target, it is sufficient to correct for the defect. これにより、欠陥箇所を探す作業を容易にし、 Thus, to facilitate the work to find the defective portion,
欠陥修正作業を正確に、しかも迅速に行うことができる。 Accurately defect correction work, yet can be performed quickly.

【0024】したがって、この実施例の検査装置では、 [0024] Thus, the inspection apparatus of this embodiment,
検査テーブル4によって一方向に移動されるマスクフィルムMFに対して欠陥検査部6における欠陥の検出と、 The detection of defects in the defect inspection unit 6 with respect to the mask film MF which is moved in one direction by the examination table 4,
ラベル貼付部7における欠陥表示用のラベルLの貼り付けを同期的に行うことができる。 It is possible to perform Applying labels L for defect indication in the labeling section 7 synchronously. このため、欠陥検査部6を構成するXY駆動機構と、ラベル貼付部7を構成するXY駆動機構のうち、検査テーブル4が移動する方向の駆動機構を両部で共通化することができ、少なくともこの共通化した分の機構を省略化できる。 Therefore, the XY driving mechanism constituting a defect inspection unit 6, of the XY driving mechanism constituting the label attachment unit 7 can be shared by both parts of the direction of the drive mechanism examination table 4 is moved, at least this common the minute of the mechanism can be omitted the. 又、一方向の駆動機構を共通化することで、欠陥検査部6とラベル貼付部7とを一体的に構成することが容易になり、これらを一体的に組み込んだ検査装置の小型化を実現することができる。 Further, by sharing the one-way drive mechanism, it becomes easy to integrally configure a defect inspection unit 6 and the label attachment unit 7, downsizing of an inspection apparatus incorporating integrally can do.

【0025】尚、前記実施例では検査済のマスクフィルムの欠陥箇所にラベルを貼り付けて欠陥表示を行う方式の検査装置について示したが、マスクフィルムの欠陥箇所に所要のマークをプロットする装置、或いはマスクフィルムに透明シートを重ねておき、この透明シートの欠陥箇所に対応する部位にカッタ等により窓を開口する方式の検査装置等、欠陥の表示方式が相違する種々の検査装置に対しても本発明を同様に適用することができる。 [0025] Note that the although the embodiment shown for the inspection apparatus of a system that performs defect indication A label attached to the defect portion of the mask film inspected, plotting the required mark the defective portion of the mask film device, or leave overlapping transparent sheet to the mask film, the inspection apparatus or the like method to open the window by a cutter or the like at a site corresponding to the defective portion of the transparent sheet, also for a variety of test devices display system of the defect is different it is possible to apply the present invention likewise.

【0026】 [0026]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、検査テーブルの移動方向と直交する方向に欠陥検査部と欠陥表示部を設け、検査テーブルによって一方向に移動されるマスクフィルムに対して欠陥検査と欠陥表示とを同期的に行うので、欠陥検査と欠陥表示の機構を共通化させ、これらの機構を一体的に構成した検査装置の小型化及び低価格化を実現することができる効果がある。 The present invention described above, according to the present invention is a defect inspection unit and the defective display section provided in a direction perpendicular to the moving direction of the examination table, the defect inspection on the mask film to be moved in one direction by the examination table since synchronously performing the defect display and an effect of capable of realizing miniaturization and cost reduction of is common mechanisms defect inspection and defect display, inspection apparatus integrally formed of these mechanisms .

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の検査装置の一実施例の正面構成図である。 1 is a front diagram of an embodiment of a test device of the present invention.

【図2】図1の検査装置の一部を省略した平面構成図である。 2 is a plan view omitting a part of the inspection apparatus of FIG.

【図3】欠陥検査部の概略斜視図である。 Figure 3 is a schematic perspective view of a defect inspection unit.

【図4】ラベル貼付部の概略斜視図である。 Figure 4 is a schematic perspective view of a label sticking portion.

【図5】図1の検査装置のブロック構成図である。 5 is a block diagram of the inspection apparatus of FIG.

【図6】欠陥検査とラベル貼り付けの各動作を示すフローチャートである。 6 is a flowchart showing each operation of defect inspection and labeling.

【図7】欠陥検査部とラベル貼付部の動作状態を示す概略平面図である。 7 is a schematic plan view showing an operating state of a defect inspection unit and a label sticking portion.

【図8】ラベルが貼り付けられたマスクフィルムの平面図である。 8 is a plan view of a mask film label is attached.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

2A フィルム供給カセット 2B フィルム収納カセット 4 検査テーブル 5A フィルム搭載部 5B フィルム降載部 6 欠陥検査部 7 ラベル貼付部(欠陥表示部) 9 ラベルプリンタ MF マスクフィルム L ラベル 2A film supply cassette 2B film accommodating cassette 4 examination table 5A film mounting unit 5B the film unloading unit 6 defect inspection unit 7 labeling unit (defect indication unit) 9 label printer MF mask film L Label

Claims (2)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 検査されるマスクフィルムを搭載し、一方向に移動される検査テーブルと、この検査テーブルの移動方向と直交する方向に移動されて前記マスクフィルムのパターン欠陥を検出する欠陥検査部と、この欠陥検査部と並行な方向に移動されて検出された欠陥箇所に欠陥表示を行う欠陥表示部とを備えることを特徴とするマスクフィルム検査装置。 [Claim 1] equipped with a mask film to be inspected, the inspection table is moved in one direction, the defect inspection unit for detecting a pattern defect of the mask film is moved in a direction perpendicular to the moving direction of the examination table When the mask film inspection apparatus characterized by comprising a defect display section for performing defect display to the detected defective portion is moved in a direction parallel to the defect inspection unit.
  2. 【請求項2】 欠陥表示部は、マスクフィルムの欠陥に対応する箇所に、欠陥を表示するラベルを貼り付けるラベル貼付部である請求項1のマスクフィルム検査装置。 2. A defective display unit, the portion corresponding to the defect of the mask film, the mask film inspecting apparatus according to claim 1, which is a label sticking portion paste the label to display the defect.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006191065A (en) * 2004-12-28 2006-07-20 Asml Netherlands Bv System and method for fault indication on substrate in maskless applications

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006191065A (en) * 2004-12-28 2006-07-20 Asml Netherlands Bv System and method for fault indication on substrate in maskless applications

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