JPH05282883A - Nonvolatile semiconductor memory - Google Patents

Nonvolatile semiconductor memory

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JPH05282883A
JPH05282883A JP7794892A JP7794892A JPH05282883A JP H05282883 A JPH05282883 A JP H05282883A JP 7794892 A JP7794892 A JP 7794892A JP 7794892 A JP7794892 A JP 7794892A JP H05282883 A JPH05282883 A JP H05282883A
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data
bit line
operation
semiconductor memory
predetermined
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JP7794892A
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Hiroshi Nakamura
Hideko Ohira
Yutaka Okamoto
Tomoharu Tanaka
Yoshiyuki Tanaka
寛 中村
秀子 大平
豊 岡本
智晴 田中
義幸 田中
Original Assignee
Toshiba Corp
株式会社東芝
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Abstract

PURPOSE: To execute a predetermined processing operation such as copying of predetermined unit data to other predetermined unit, erasing, verifying, etc., at a high speed.
CONSTITUTION: The nonvolatile semiconductor memory comprises memory means 1 having data memory areas divided into predetermined units, latch means 2 for latching data to a predetermined unit by reading, inverting it and relatching it, and means for executing a predetermined processing operation based on inversion of the data. Accordingly, copying of predetermined unit data, etc., is executed at a high speed without necessity of reading data to an exterior, retransferring it.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フラッシュEEPRO BACKGROUND OF THE INVENTION This invention is, flash EEPRO
M(特にNAND型EEPROM)を用いた不揮発性半導体メモリ装置に関する。 A nonvolatile semiconductor memory device using the M (especially NAND-type EEPROM).

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来コンピュータシステムの記憶装置として磁気ディスク装置が広く用いられてきた。 Magnetic disk apparatus has been widely used as a storage device of a conventional computer system. しかし磁気ディスク装置は高度に精密な機械的駆動機構を有するため衝撃に弱く重量もあるため可搬性に乏しい、消費電力が大きく電池駆動が容易でない、高速アクセスができない等の欠点があった。 But the magnetic disk device has poor portability for weakly weight impact also because of its highly precise mechanical drive mechanism, the power consumption is not easy to increase battery driving, there is a disadvantage of such can not be high-speed access.

【0003】そこで近年EEPROMを用いた半導体メモリ装置の開発が進められている。 [0003] Therefore, the development of a semiconductor memory device using the recent years EEPROM has been promoted. 半導体メモリ装置は機械的駆動部分を有しないため衝撃に強く、軽量のため可搬性に富み、消費電力も小さいため電池駆動が容易であり、高速アクセスが可能であるという長所を有している。 The semiconductor memory device is strong shock because it does not have a mechanical driving portion is rich in portability for lightweight, easy battery drive for power consumption is small, and has the advantage that it enables high-speed access.

【0004】しかしEEPROMは書き込み/消去回数において有限の寿命を有しており、その信頼性の確保には磁気ディスク装置には必要のなかったシステム制御が必要となる。 However EEPROM has a finite lifetime in the number of write / erase cycles, there is a need for a system control did required in the magnetic disk device to ensure its reliability.

【0005】EEPROMのひとつとして、高集積化が可能なNAND型EEPROMが知られている。 [0005] One of the EEPROM, high integration can NAND type EEPROM is known. これは、複数のメモリセルをそれらのソース、ドレインを隣接するもの同士で共有する形で直列接続して一単位とし、ビット線に接続するものである。 This is what a plurality of memory cells and their sources, one unit connected in series in a form shared by adjacent ones of the drain is connected to a bit line. メモリセルは通常、電荷蓄積層と制御ゲートが積層されたFETMOS Memory cells are typically, FETMOS the control gate and the charge storage layer are laminated
構造を有する。 Having the structure. メモリセルアレイは、p型基板、又はn Memory cell array, p-type substrate, or n
型基板に形成されたp型ウェル内に集積形成される。 It is integrally formed in the p-type well formed in the mold substrate. N
AND型EEPROMのドレイン側は選択ゲートを介してビット線に接続され、ソース側はやはり選択ゲートを介して、ソース線(基準電位配線)に接続される。 The drain of the AND type EEPROM is connected to a bit line via a select gate, via a source side again select gate is connected to a source line (reference potential line). メモリセルの制御ゲートは、行方向に連続的に接続されてワード線となる。 The control gate of the memory cell is a word line is continuously connected to the row direction. 通常同一ワード線につながるメモリセルの集合を1ページと呼び、一組のドレイン側及びソース側の選択ゲートに挟まれたページの集合を1NANDブロック又は単に1ブロックと呼ぶ。 A set of memory cells connected to the normal same word line is called one page, it referred to as 1NAND block or simply one block a set of pages sandwiched between one pair of the drain side and the source side select gates. 通常、この1ブロックは独立に消去可能な最小単位となる。 Usually, this one block is minimized erasable independently units.

【0006】NAND型EEPROMの動作は次の通りである。 [0006] The operation of the NAND type EEPROM is as follows. データの消去は1NANDブロック内のメモリセルに対して同時に行われる。 Data is erased simultaneously on the memory cells in the 1NAND block. 即ち選択されたNAND That is selected NAND
ブロックの全ての制御ゲートを基準電位VSSとし、p All of the control gates of the block as a reference potential VSS, p
型ウェル及びn型基板に高電圧VPP(例えば20V) Type well and n-type substrate to a high voltage VPP (e.g., 20V)
を印加する。 It is applied to. これにより、全てのメモリセルにおいて浮遊ゲートから基板に電子が放出され、しきい値は負の方向にシフトする。 Thus, electrons are emitted to the substrate from the floating gate in all the memory cells, the threshold is shifted in the negative direction. 通常この状態を”1”状態と定義する。 Normal is defined as "1" state of this state. またチップ消去は全NANDブロックを選択状態にすることによりなされる。 The chip erase is done by the selected state all NAND blocks.

【0007】データの書き込み動作は、ビット線から最も離れた位置のメモリセルから順に行われる。 [0007] Data write operation is performed from the memory cell farthest from the bit line in order. NAND NAND
ブロック内の選択された制御ゲートには高電圧VPP The selected control gate in the block high voltage VPP
(例えば20V)を印加し、他の非選択ゲートには中間電位VM(例えば10V)を与える。 (E.g., 20V) is applied to, the other unselected gates provide an intermediate potential VM (e.g., 10V). またビット線にはデータに応じて、VSSまたはVMを与える。 Further in accordance with the data to the bit line, giving the VSS or VM. ビット線にVSSが与えられたとき(”0”書き込み)、その電位は選択メモリセルに伝達され、浮遊ゲートに電子注入が生ずる。 When VSS is applied to the bit line ( "0" write), the potential is transmitted to the selected memory cell, the electron injection occurs in the floating gate. これによりその選択メモリセルのしきい値は正方向にシフトする。 Thus the threshold of the selected memory cell is shifted in the positive direction. 通常この状態を”0”状態と定義する。 Normal is defined as a "0" state of this state. ビット線にVMが与えられた(”1”書き込み) VM is applied to the bit line ( "1" write)
メモリセルには電子注入は起らず、従ってしきい値は変化せず負に留まる。 Electron injection is not Okoshira the memory cell, thus the threshold remains negative unchanged.

【0008】データの読み出し動作はNANDブロック内の選択されたメモリセルの制御ゲートをVSSとして、それ以外の制御ゲート及び選択ゲートをVCCとし選択メモリセルで電流が流れるか否かを検出することにより行われる。 [0008] As the control gate of the memory cell data read operation that is selected in the NAND block VSS, by detecting whether a current flows in the selected memory cell to the other control gates and select gates of the VCC It takes place. 読み出されたデータはセンスアンプ兼データラッチ回路にラッチされる。 The read data is latched by the sense amplifier and the data latch circuit.

【0009】ここで、ある1ページのデータを他のページに記憶し直す時の従来の方法を以下に示す。 [0009] Here, a conventional method when re-storing the data of a certain page to another page below. まずランダムリード動作によって、センスアンプ兼ラッチ回路にデータをラッチする。 First the random read operation, to latch the data in the sense amplifier and latch circuit. 次にページ読み出し動作によって、データを外部のバッファメモリ回路に記憶する。 Then the page read operation and stores the data in the external buffer memory circuit. 次に書き込み動作に移行し、センスアンプ兼ラッチ回路にデータをバッファメモリから転送し、書き込みを行なう。 Then it proceeds to the write operation to transfer the data from the buffer memory to the sense amplifier and latch circuit, writing.

【0010】この時”1”データ(消去状態)についてラッチ回路にラッチされるデータを考えると、読み出し時には、プリチャージしたビット線電位はメモリセルがDタイプであるから、VSSレベルへ放電される。 [0010] In this case "1" for the data (erased state) considering the data latched in the latch circuit, at the time of reading, the bit line potential precharging is because the memory cell is D-type, is discharged to VSS level . よってセンスアンプ兼ラッチ回路のビット線側には”L”がラッチされる。 Thus the bit line side of the sense amplifier and latch circuit "L" is latched. また”1”データを書き込む時にはビット線に中間電位を送りトンネル電流を発生させないようにするために、センスアンプ兼ラッチ回路のビット線側には”H”がラッチされる。 Also when writing "1" data in order to prevent the generation of the tunnel current feeding the intermediate potential to the bit line, the bit line side of the sense amplifier and latch circuit "H" is latched.

【0011】このように、”1”データを読み出す時と書き込むときではセンスアンプ兼ラッチ回路には逆のデータがラッチされていることになる。 [0011] Thus, so that the reverse of the data is latched in the sense amplifier and latch circuit when writing and when reading the "1" data. ”0”データについても全く同様のことがいえる。 "0" can be said exactly the same applies to the data. このデータの反転がページデータを他のページに記憶し直すとき外部バッファメモリとの間でページ読み出しとページデータ転送を必要とし、書き込み時間の増加を招いていた。 The inverted data requires page read page data transfer with the external buffer memory when re-storing the page data to other pages, have led to an increase in the write time.

【0012】次に、図9をもとに、従来のNAND型E [0012] Next, based on the FIG. 9, a conventional NAND-type E
EPROMにおける書き込みベリファイ方式について説明する。 Described write verify method in EPROM. CMOSフリップフロップからなるセンスアンプ兼データラッチ回路(FF)があり、その第1の出力がΦFにより制御されるEタイプnチャネルMOSトランジスタQn7を介して、ビット線BLiに接続されている。 There sense amplifier and the data latch circuits (FF) is composed of a CMOS flip-flop, the first output via a E type n-channel MOS transistor Qn7 controlled by .phi.F, is connected to the bit line BLi. ビット線BLiとVCCの間には、フリップフロップFFの第1の出力により制御されるEタイプnチャネルMOSトランジスタQn8と信号ΦVにより制御されるEタイプnチャネルMOSトランジスタQn9が直列接続されている。 Between the bit lines BLi and VCC is, E type n-channel MOS transistor Qn9 is controlled by a first E type n-channel MOS transistor Qn8 and the signal ΦV which is controlled by the output of the flip-flop FF are connected in series. またビット線をプリチャージするE The E precharging the bit lines
タイプpチャネルMOSトランジスタQp5とビット線を放電するEタイプnチャネルMOSトランジスタQn E type n-channel MOS transistors Qn for discharging type p-channel MOS transistor Qp5 and the bit line
10が接続されている。 10 are connected. またフリップフロップFFの第2の出力を入力とする検知トランジスタQn11によって、センスラインVDTCとVSSが接続されている。 Also the detection transistor Qn11 to enter the second output of the flip-flop FF, the sense line VDTC and VSS are connected.

【0013】書き込み時に、”1”書き込みの場合はF [0013] at the time of writing, in the case of "1" write F
Fのビット線側ノードに”H”がラッチされ、ビット線に中間電位が送られる。 "H" to the bit line node of F is latched, the intermediate potential is sent to the bit line. ”0”書き込みの場合は、FF "0" In the case of writing, FF
のビット線側ノードに”L”がラッチされ、ビット線にVSSが転送される。 "L" to the bit line node is latched, VSS is transferred to the bit line.

【0014】書き込み確認動作はQn7がOFF状態で、まずプリチャージ信号ΦP'が”L”となってビット線をVCCにプリチャージする。 [0014] The write verify operation in Qn7 is OFF state, first precharge signal .PHI.P 'is precharged to VCC "L" and becomes the bit line. この状態では書き込みデータがFFに保持されている。 Write data is held in the FF in this state. この後選択ゲート、 After this selection gate,
制御ゲートが駆動される。 The control gate is driven. ここで、メモリセルがDタイプであれば、ビット線がVSSに放電される。 Here, the memory cell if the D-type, the bit line is discharged to VSS. またセルがEタイプであれば、ビット線はVCCレベルを保つ。 Also, if the cell is an E-type, the bit line maintains the VCC level.
選択ゲート及び、制御ゲートがリセットされた後、ベリファイ信号ΦVが”H”となって、”1”データが保持されているビット線はVCC−VTHに充電される。 Selection gates and, after the control gate is reset, so the verification signal ΦV is "H", "1" bit line data is held is charged to VCC-VTH. その後FFを構成するCMOSインバータを非活性としたのち、Qn7をON状態とし、ビット線の電位をセンスしラッチし、それを再書き込みのデータとする。 Thereafter After the CMOS inverters inactive constituting the FF, the Qn7 an ON state, and the sense latches the potential of the bit line, and the data rewriting it. 即ち” That "
1”書き込みのビット線には”H”が、”0”書き込みのビット線で、十分書き込みがなされたものには”H” 1 "," "write bit line" H 0 "in the bit line write, the sufficiently writing is made" H "
がラッチされる。 There is latched. ”0”書き込みのビット線で、書き込み不十分なものに対してのみ”L”がラッチされている。 "0" in the bit line write, only "L" is latched against those write inadequate. 再書き込みは全FFのビット線側ノードに”H”がラッチされた状態になるまで続く。 Rewriting continues until at "H" to the bit line node of all FF is latched.

【0015】これは以下のようにして検知される。 [0015] It is detected in the following manner. センスラインVDTCは全FFの検知トランジスタが接続されている。 Sense line VDTC the detection transistor of all FF is connected. VDTCはpチャネルトランジスタに接続されている。 VDTC is connected to the p-channel transistor. 上述のラッチ終了後そのpチャネルトランジスタが所定の時間活性化される。 Above the latch completion later p-channel transistor is a predetermined time activation. そのとき、全ビット書き込みが完了していれば、検知トランジスタは全て、O At that time, if the total bit write is completed, all the detection transistor is O
FF状態となっているので、VDTCはVCCに充電される。 So has become a FF state, VDTC is charged to VCC. もし書き込み不足のセルが残っていると、そのビット線に対応する検知トランジスタはON状態にあるので、VDTCの電位はVSSに低下していく。 When If there remain cells of insufficient writing, since the detection transistor corresponding to that bit line is in the ON state, the potential of VDTC is decreases to VSS. このVD This VD
TCの電位を検知することによって、書き込みが終了したかどうか、一括で(即ちアドレスを変えて、全ビット読み出すのではなく)検知することができる。 By sensing the TC of potential, whether the writing is finished, it can be collectively (by changing the words address, rather than reading all the bits) to detect.

【0016】以上のように書き込み確認動作は一括で検知可能であった。 [0016] writing confirmation operates as described above was possible detection at a time. ここで従来の消去の確認動作について説明する。 Will now be described verify operation of the conventional erase. 消去の場合は上記の書き込み確認動作と同じ方法がとれない。 In the case of erasing it does not take the same manner as described above of writing confirmation operation. なぜなら消去したのちセルデータを読み出すと正しく消去されたもののFFはビット線側ノードに”L”がラッチされ、検知トランジスタをONさせてしまい、一括検知ができないためである。 FF of what is read when properly erased cell data after the deleted because is latched to "L" to the bit line node, cause by ON the detection transistor, because can not be batch detection. よって従来消去の確認動作はページ読み出しによって、チップ外部にデータを読み出し、消去されているかを確認していた。 Thus the checking operation of the conventional erasing the page read, read data to the outside of the chip, it has been confirmed whether it is erased.

【0017】以上のように従来消去の確認動作にはページ読み出しを必要とするため時間がかかるという問題があった。 [0017] The above in the confirmation operation of a conventional erasing as there has been a problem that it takes a long time because it requires the page read.

【0018】 [0018]

【発明が解決しようとする課題】以上のようにNAND THE INVENTION Problems to be Solved] NAND As described above
型EEPROMを用いた従来の不揮発性半導体メモリ装置では、”1”データを読み出すときと書き込むときでは、メモリセルアレイのビット線の一端に接続されたセンスアンプ兼ラッチ回路には逆のデータがラッチされる。 In conventional non-volatile semiconductor memory device using the type EEPROM, when writing and reading "1" data, the inverse of the data is latched in the sense amplifier and latch circuit connected to one end of the bit lines of the memory cell array that. このことは”0”データについても全く同様である。 This is exactly the same applies to the "0" data. このため、このデータの反転が或るページのデータを他のページに記憶し直すとき外部バッファメモリとの間でページ読み出しとページデータ転送を必要とし、書き込み時間の増加を招くという問題があった。 Therefore, inversion of the data is the data of a certain page requires the page read and page data transfer with the external buffer memory when re-stored in another page, there is a problem that leads to increase in the write time . また、消去の確認動作の際についても、ページ読み出しによって外部にデータを読み出し、消去されているか否かを確認する必要があったため、上記と同様に時間の増加を招くという問題があった。 Moreover, even with the time of confirmation erase operations, reading data to the outside by page read, since it was necessary to confirm whether it is erased, there is a problem that leads to an increase in the As with time.

【0019】本発明は以上のような問題に鑑みてなされたもので、ページデータの他のページへのコピー処理又は消去ベリファイ動作等の所要の処理動作を外部へのデータの読み出し、再転送を不要として高速に行うことができる不揮発性半導体メモリ装置を提供することを目的とする。 [0019] The present invention has been made in view of the above problems, the read data required processing operations such as copying or erase verify operation to other pages of the page data to the outside, the retransfer and an object thereof is to provide a nonvolatile semiconductor memory device can be performed at high speed as required.

【0020】 [0020]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明は、第1に、所定単位に分割されたデータ記憶領域を備えたメモリ手段と、前記所定単位のデータを読み出し動作によりラッチするとともにこのラッチしたデータを反転し再ラッチするラッチ手段と、前記データの反転に基づいて所要の処理動作を実行する手段とを有することを要旨とする。 In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is, firstly, a memory means having a data storage area divided into a predetermined unit, the operation reads the data of the predetermined unit and summarized in that a latch means for re-latching inverting the latch data as well as latches, and means for performing a predetermined processing operation based on the inversion of the data.

【0021】第2に、上記第1の構成において、前記所要の処理動作は、前記所定単位に記憶されているデータを他の所定単位に書き込むコピー処理であることを要旨とする。 [0021] Second, in the first configuration, the required processing operation is summarized in that the a copy process to write the data stored in predetermined units other predetermined unit.

【0022】第3に、上記第1の構成において、前記所要の処理動作は、消去ベリファイ動作であることを要旨とする。 [0022] Thirdly, in the first configuration, the required processing operation is summarized in that the erase verify operation.

【0023】第4に、上記第1又は第2の構成において、前記データの反転は1所定単位分一括で行うように構成してなることを要旨とする。 [0023] Fourth, in the first or second configuration, inversion of the data is summarized in that made be configured to perform one specific unit collectively.

【0024】第5に、上記第1、第2、第3又は第4の構成において、前記メモリ手段が複数で構成される場合において、前記データの反転は、当該複数のメモリ手段における処理動作のアドレスに応じて行うか否かを判断するように構成してなることを要旨とする。 [0024] Fifth, the first, the second, third or fourth configuration, when the memory means is constituted by a plurality, the inversion of the data, the processing operation in the plurality of memory means and summary to become configured to determine whether to perform in accordance with the address.

【0025】 [0025]

【作用】上記構成において、メモリ手段における所定単位から読み出し動作によりラッチ手段にラッチされたデータが、1所定単位分一括の反転動作等により反転されて再ラッチされる。 [Action] In the above structure, data latched in the latch means by the read operation from the predetermined unit in the memory means is inverted re latched by one reversing operations of a specific unit time. 上記所定単位のデータを他の所定単位に書き込むコピー処理等の所要の処理動作の実行の際、その反転・再ラッチされたデータを用いることにより、外部へのデータの読み出し、再転送を必要とすることなく、その実行が可能となる。 During execution of a required processing operation of the copy processing for writing the data of the predetermined unit to another predetermined unit, by using the inverted and re-latch data, reading data in an external, require retransmission without, thereby enabling the execution. これにより所要の処理動作を高速に行うことが可能となる。 This makes it possible to perform the required processing operations at high speed.

【0026】メモリ手段が複数で構成される場合において、複数のメモリ手段間におけるコピー元とコピー先等のような、その複数のメモリ手段における処理動作のアドレス関係によっては、反転と等価なデータが得られてデータ反転の動作が不要となる。 [0026] In case the memory means is constituted by a plurality, such as source and destination among a plurality of memory means, depending on the address relation of the processing operations in the plurality of memory means and the inverted data equivalent operation of the obtained the data inversion is not required.

【0027】 [0027]

【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。 Example will be described with reference to the drawings the following examples the present invention.

【0028】図1は本発明の第1実施例に係るNAND [0028] Figure 1 is NAND of the first embodiment of the present invention
型EEPROMを用いた不揮発性半導体メモリ装置の構成を示すブロック図である。 It is a block diagram showing a configuration of a nonvolatile semiconductor memory device using a mold EEPROM. メモリ手段としてのメモリセルアレイ1に対し、データ書き込み、読み出し、書き込み及び消去ベリファイを行うためのラッチ手段としてのセンスアンプ兼ラッチ回路2が設けられている。 The memory cell array 1 as a memory means, data writing, reading, the sense amplifier and latch circuit 2 as a latch means for writing and erase verify are provided. メモリセルアレイ1は複数個のページからなるブロックに分割され、このブロックがデータ記憶領域となるように構成されている。 Memory cell array 1 is divided into blocks comprising a plurality of pages, the block is configured such that the data storage area. センスアンプ兼ラッチ回路2はデータ入出力バッファ6につながり、アドレスバッファ4からのアドレス信号をうけるカラムデコーダ3の出力を入力として受けるようになっている。 Sense amplifier and latch circuit 2 leads to data output buffer 6, is adapted to receive the output of the column decoder 3 receives address signals from address buffer 4 as input. またメモリセルアレイ1 The memory cell array 1
に対して、制御ゲート及び選択ゲートを制御するためにロウデコーダ5が設けられ、メモリセルアレイ1が形成されるp型基板(またはp型ウェル)の電位を制御するための基板電位制御回路7が設けられている。 Respect, the row decoder 5 is provided for controlling the control gates and select gates, the substrate potential control circuit 7 for controlling the potential of the p-type substrate in which the memory cell array 1 is formed (or p-type well) is It is provided.

【0029】ベリファイ終了検知回路8はセンスアンプ兼ラッチ回路2にラッチされているデータを検知しベリファイ終了信号を出力する。 The verification end detection circuit 8 detects data latched in the sense amplifier and latch circuit 2 outputs a verify end signal. ベリファイ終了信号はデータ入出力バッファ6を通じて外部に出力される。 Verification end signal is output to the outside through the data input-output buffer 6.

【0030】図2にセンスアンプ兼ラッチ回路2とメモリセルアレイ1及びベリファイ終了検出回路8との接続関係を示す。 [0030] Figure 2 illustrates a connection relationship between the sense amplifier and latch circuit 2 and the memory cell array 1 and the verification end detection circuit 8. なお、図2において前記図9における回路素子等と同一ないし均等のものは前記と同一符号を以って示し、重複した説明を省略する。 Incidentally, those of the same or equivalent to the circuit element or the like in FIG. 9 in FIG. 2 shows drives out the same reference numerals, and redundant description is omitted. 図2の回路では、ビット線BLiとVCC又はVSSレベルの間に、フリップフロップFFの第1の出力により制御されるEタイプnチャネルMOSトランジスタQn8と信号ΦVにより制御されるEタイプnチャネルMOSトランジスタQn In the circuit of Figure 2, between the bit lines BLi and VCC or VSS level, E type n-channel MOS transistor controlled by the first E type n-channel MOS transistor Qn8 and the signal ΦV which is controlled by the output of the flip-flop FF Qn
9が直列接続されている。 9 are connected in series.

【0031】次に、上述のように構成された不揮発性半導体メモリ装置におけるページからページへのコピー処理動作を説明する。 Next, a description will be given of copy processing operation to the page from the page in the structure non-volatile semiconductor memory device as described above.

【0032】まずコピー元のメモリセルのデータを読み出す。 [0032] First, read out the data of the copy source of the memory cell. ΦFを”H”の状態で、Φspを”H”、Φsn ΦF in the state of "H", and the Φsp "H", Φsn
を”L”、Φrpを”H”、Φrnを”L”としてC 2 C 2 as "L", the Φrp "H", the Φrn "L" to
MOSインバータを非活性としたのち、ΦP'を”L” After the MOS inverter and non-active, ΦP 'the "L"
としてビット線をVCCにプリチャージする。 Precharging the bit lines to the VCC as. 次に選択された制御ゲートをVSSに非選択の制御ゲートをVC Then the control gates of the unselected selected control gate VSS VC
Cに、選択された選択ゲートをVCCに一定時間保持する。 To C, and held constant the selected select gate to VCC time. ここで、選択されたメモリセルが消去されており、 Here, it has been eliminated has been selected memory cell,
負のしきい値を持っていれば、セル電流が流れ、ビット線はVSSに放電される。 If you have a negative threshold, cell current flows, the bit line is discharged to VSS.

【0033】次にΦspを”L”、Φsnを”H”としビット線電位を検知し、Φrpを”L”、Φrnを” [0033] Next, Φsp "L", and detects the bit line potential and "H" to .phi.Sn, the Φrp "L", the Fairn "
H”とすることによってデータをラッチする。ΦFを” "The .ΦF for latching data by a" H
L”としてセンスアンプ兼ラッチ回路とビット線を分離する。ΦP'を”L”にし、全ビット線をVCCにプリチャージする。ΦP'を”H”にしてビット線をフローティングにする。 ".FaiP separating the sense amplifier and latch circuit and the bit line as L to float the bit lines in the H" ' "the L to" on, all the bit lines .FaiP precharged to VCC' ".

【0034】次にΦVを”H”にし、VCC又はVSS [0034] then to "H" ΦV, VCC or VSS
の配線はVSSにする。 The wiring to VSS. このときセンスアンプ兼ラッチ回路のビット線側ノードに”H”がラッチされているビット線はQn8,Qn9がいずれもON状態になるので、VSSに放電される。 Since "H" on the bit line node of this time the sense amplifier and latch circuit the bit lines are latched Qn8, Qn9 become both ON state is discharged to VSS. (VSSに特に限定する必要はない。”L”レベルと判定できる低い正の電位でもよい)またセンスアンプ兼ラッチ回路のビット線側ノードに”L”がラッチされているビット線はQn8がOFF The bit line "L" on the bit line node is latched in (not necessarily limited to VSS. "L" level and low positive which may be a potential that can be judged) The sense amplifier and latch circuit Qn8 is OFF
状態になるのでVCCを保つ。 Keep the VCC since the state.

【0035】次にΦVを”L”にする。 [0035] next to "L" ΦV. Φspを” The Φsp "
H”、Φsnを”L”、Φrpを”H”、Φrnを” H ", the Φsn" L ", the Φrp" H ", the Φrn"
L”としてC 2 MOSインバータを非活性としたのち、 L "After the C 2 MOS inverter deactivated as,
ΦFを”H”にする。 To "H" ΦF. Φspを”L”、Φsnを”H” "L" the Φsp, the Φsn "H"
としビット線電位を検知し、Φrpを”L”、Φrn And to detect the bit line potential, the Φrp "L", Φrn
を”H”とすることによってデータをラッチする。 Latching the data by a "H" to.

【0036】以上のごとく動作させると始めラッチしたデータの反転データをラッチすることが可能である。 [0036] It is possible to latch the inverted data of the data latched started with is more as operation.

【0037】次にこのラッチ状態のまま書き込み動作に移行する。 [0037] Then, the process proceeds to leave the write operation of the latch state. センスアンプ兼ラッチ回路のVMBをVCC The VMB of the sense amplifier and latch circuit VCC
から中間電位に上げる。 Raised to the intermediate potential from. ビット線側ノードに”H”がラッチされていたビット線は中間電位に、ビット線側ノードに”L”がラッチされていたビット線はVSSになり、選択制御ゲートにVPPが印加される。 Bit lines are latched "H" on the bit line side node to the intermediate potential, the bit line which has been latched at "L" on the bit line node becomes VSS, VPP is applied to the selected control gate.

【0038】次に書き込みベリファイ動作について説明する。 [0038] Next, write verify operation will be described.

【0039】書き込み確認動作はQn7がOFF状態で、まずプリチャージ信号ΦP'が”L”となってビット線をVCCにプリチャージする。 The write verify operation in Qn7 is OFF state, first precharge signal .PHI.P 'is precharged to VCC "L" and becomes the bit line. この状態では書き込みデータがFFに保持されている。 Write data is held in the FF in this state. この後選択ゲート、 After this selection gate,
制御ゲートが駆動される。 The control gate is driven. ここで、メモリセルがDタイプであれば、ビット線がVSSに放電される。 Here, the memory cell if the D-type, the bit line is discharged to VSS. またメモリセルがEタイプであれば、ビット線はVCCレベルを保つ。 Also if the memory cell is a E type, the bit line maintains the VCC level. 選択ゲート及び、制御ゲートがリセットされた後、ベリファイ信号ΦVが”H”となって、”1”データが保持されているビット線はVCC−VTHに充電される。 Selection gates and, after the control gate is reset, so the verification signal ΦV is "H", "1" bit line data is held is charged to VCC-VTH. VCC又はVSSの配線はVCCである。 Wiring of VCC or VSS is VCC. その後FFを構成するCMOSインバータを非活性としたのち、Qn7をON状態とし、ビット線の電位をセンスしラッチし、それを再書き込みのデータとする。 Thereafter After the CMOS inverters inactive constituting the FF, the Qn7 an ON state, and the sense latches the potential of the bit line, and the data rewriting it. 即ち” That "
1”書き込みのビット線には”H”が、”0”書き込みのビット線で、十分書き込みがなされたものには”H” 1 "," "write bit line" H 0 "in the bit line write, the sufficiently writing is made" H "
がラッチされる。 There is latched. ”0”書き込みのビット線で、書き込み不十分なものに対してのみ”L”がラッチされている。 "0" in the bit line write, only "L" is latched against those write inadequate. 再書き込みは全FFのビット線側ノードに”H”がラッチされた状態になるまで続く。 Rewriting continues until at "H" to the bit line node of all FF is latched. これは以下のようにして検知される。 This is detected as follows. センスラインVDTCは全FFの検知トランジスタが接続されている。 Sense line VDTC the detection transistor of all FF is connected. VDTCはpチャネルトランジスタに接続されている。 VDTC is connected to the p-channel transistor. 上述のラッチ終了後そのpチャネルトランジスタが所定の時間活性化される。 Above the latch completion later p-channel transistor is a predetermined time activation.
そのとき、全ビット書き込みが完了していれば、検知トランジスタはすべて、OFF状態となっているので、V Then, if the total bit write is completed, all the detection transistor, since in the OFF state, V
DTCはVCCに充電される。 DTC is charged to VCC. もし書き込み不足のセルが残っていると、そのビット線に対応する検知トランジスタはON状態にあるので、VDTCの電位はVSSに低下していく。 When If there remain cells of insufficient writing, since the detection transistor corresponding to that bit line is in the ON state, the potential of VDTC is decreases to VSS. このVDTCの電位を検知することによって、書き込みが終了したかどうか、一括で(すなわちアドレスを変えて、全ビット読み出すのではなく)検知する事ができる。 By sensing the potential of this VDTC, whether a write has been completed, together with (i.e. by changing the address, rather than reading all the bits) can be detected.

【0040】以上のような動作によってページからページへのコピーが外部にデータを読みだすことなく達成される。 The copy of the page from the page by the above-mentioned operation is achieved without reading the data to the outside. そして本実施例のセンスアンプ兼ラッチ回路は、 The sense amplifier and latch circuit of this embodiment,
従来VCCに固定であった配線をVCCとVSSレベルの切り替えが可能なものにするだけでよいので、僅かなロジックの変更だけで実現できる。 Since the wire was fixed to the conventional VCC need only those capable of switching between VCC and VSS levels, can be realized only by changing slightly logic.

【0041】次に消去の確認動作について、図3のタイミングチャートをもとに説明する。 [0041] Next, check the operation of erasing, it will be described with reference to the timing chart of FIG. 3. 消去動作では、セルが形成される基板(またはpウェル)に高電圧(例えば20V)を与え、制御ゲートにはVSSを与える。 In the erase operation, a high voltage is applied (for example, 20V) to the substrate (or p-well) which cells are formed, the control gate give VSS. これによってメモリセルのしきい値は負の方向にシフトする。 This threshold value of the memory cell is shifted in the negative direction. 次いで、前述とほぼ同様の動作により、メモリセルのデータを読み出す。 Then, by substantially the same operation as described above, it reads the data of the memory cell. 即ち、ΦFを”H”の状態で、まずΦspを”H”、Φsnを”L”、Φrpを”H”、 In other words, in the state of the ΦF "H", first, the Φsp "H", the Φsn "L", the Φrp "H",
Φrnを”L”としてC 2 MOSインバータを非活性としたのち、ΦPBを”L”としてビット線をVCCにプリチャージする。 After the C 2 MOS inverter and inactive as "L" to Fairn, precharging the bit lines to the VCC as "L" to FaiPB. 次に選択された制御ゲートをVSSに非選択の制御ゲートをVCCに、選択された選択ゲートをVCCに一定時間保持する。 The next selected control gate control gates of unselected VCC to VSS, retain a certain time the selected select gate to VCC. ここで、選択されたメモリセルが消去されており、負のしきい値を持っていれば、セル電流が流れ、ビット線はVSSに放電される。 Here, it has been eliminated is selected memory cell, if you have a negative threshold, cell current flows, the bit line is discharged to VSS.

【0042】次にΦspを”L”、Φsnを”H”としてビット線電位を検知し、Φrpを”L”、Φrnを” [0042] Then the Φsp "L", detects the bit-line potential as "H" to .phi.Sn, the Φrp "L", the Fairn "
H”とすることによってデータをラッチする。ΦFを” "The .ΦF for latching data by a" H
L”としてセンスアンプ兼ラッチ回路とビット線を分離する。ΦP'を”L”にし、全ビット線をVCCにプリチャージする。ΦP'を”H”にしてビット線をフローティングにする。 ".FaiP separating the sense amplifier and latch circuit and the bit line as L to float the bit lines in the H" ' "the L to" on, all the bit lines .FaiP precharged to VCC' ".

【0043】次にΦVを”H”にする。 [0043] next to "H" ΦV. このときセンスアンプ兼ラッチ回路のビット線側ノードに”H”がラッチされているビット線はQn8,Qn9がいずれもON Bit lines Qn8, also Qn9 is either ON to "H" on the bit line node of this time the sense amplifier and latch circuit is latched
状態になるので、VSSに放電される。 Since a state is discharged to VSS. (VSSに特に限定する必要はない。”L”レベルと判定できる低い正の電位でもよい)またセンスアンプ兼ラッチ回路のビット線側ノードに”L”がラッチされているビット線はQ (Not necessarily limited to VSS. "L" level or at a low positive potential can be determined) The bit line to bit line node of a sense amplifier and latch circuit "L" is latched in Q
n8がOFF状態になるのでVCCを保つ。 n8 keep the VCC since the OFF state.

【0044】次にΦVを”L”にする。 [0044] next to "L" ΦV. Φspを” The Φsp "
H”、Φsnを”L”、Φrpを”H”、Φrnを” H ", the Φsn" L ", the Φrp" H ", the Φrn"
L”としてC 2 MOSインバータを非活性としたのち、 L "After the C 2 MOS inverter deactivated as,
ΦFを”H”にする。 To "H" ΦF. Φspを”L”、Φsnを”H” "L" the Φsp, the Φsn "H"
としビット線電位を検知し、Φrpを”L”、Φrn And to detect the bit line potential, the Φrp "L", Φrn
を”H”とすることによってデータをラッチする。 Latching the data by a "H" to.

【0045】以上のごとく動作させると始めラッチしたデータの反転データをラッチすることが可能である。 [0045] It is possible to latch the inverted data of the data latched started with is more as operation.

【0046】その後検知トランジスタを用いて、ベリファイが完了したか確認する。 [0046] by using the subsequent detection transistor, to see if the verification has been completed. もしすべてのセルが負のしきい値を持つならば、VDTCは”H”になる。 If all of the cell has a negative threshold, VDTC becomes "H". この場合は次のページの確認をする。 In this case, the confirmation of the next page. 1つでも正のしきい値のセルが残っていれば、VDTCは”L”状態になる。 If there remains a positive threshold of the cell even one 1, VDTC becomes "L" state. その場合はVDTCが”H”と検出されるまで消去を繰り返し行う。 If this is done repeatedly erased before detection and VDTC is "H". 検出結果はデータ入出力ピン又は READY/BUS The detection result data output pin or READY / BUS
Y ピンから外部に出力される。 Output from the Y pin to the outside.

【0047】上記例ではデータは1ページずつ確認されたが、1NANDブロック内の全ページに対して、1度に確認動作を行ってもよい。 [0047] Although in the above example data were confirmed one page, for all the pages of 1NAND block may be tested and approved at a time. この場合は選択されたブロック内の全制御ゲートにVSSを与えた状態で読み出し動作を行う。 In this case, the read operation in a state that gave VSS to all the control gates in a selected block. このとき1メモリセルでも正のしきい値のものが残っていれば、そのビット線は放電されないから上記例と同じ方法で、検知可能である。 If this time remain those positive threshold even one memory cell in the same manner as in Example because the bit line is not discharged, it is possible to detect.

【0048】また制御ゲートに与える電圧は必ずしもV [0048] The voltage applied to the control gate is always V
SSレベルの必要はない。 There is no need for SS level. マージンを含める意味で、負の電圧を与えてもよい。 In the sense to include the margin, it may be given a negative voltage. また制御ゲートにはVSSを与えて、ソース又はソースとp型基板(又はpウェル)に正の電圧を印加して、疑似的に制御ゲートに負の電圧が印加された状態を作り出してもよい。 Also the control gates giving VSS, by applying a positive voltage to the source or the source and the p-type substrate (or p-well), may create a state in which the negative voltage to the pseudo-control gate is applied . また不良ビット線(例えばリーク)のデータは反転されないこともあるが、本実施例と区別されるべきでないことは容易に想像がつくであろう。 The data for the defective bit line (e.g., leakage) it may not be reversed, it should not be distinguished from the present embodiment will take easily imagined. また検知トランジスタのソースとVS The source of the detection transistor and VS
Sの間にヒューズを設けてもよい。 The fuse may be provided between the S. 不良ビット線やリダンダンシー用で使用されていないものに対応するセンスアンプ兼ラッチ回路の検知トランジスタにおいては、ヒューズを切断しておけば動作上問題とならない。 In detection transistor of the sense amplifier and latch circuit corresponding to those that are not used by a defective bit line and the redundancy is not a problem in operation if by cutting the fuse.

【0049】図4には、本発明の第2実施例を示す。 [0049] FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention. 基本構成は図1と同じであるが、この実施例ではセルアレイが2個のブロック1A,1Bに分けられ、これらのセルアレイブロック1A,1Bに共通のセンスアンプ兼ラッチ回路2が設けられている。 The basic configuration is the same as FIG. 1, the cell array is two blocks 1A in this embodiment, is divided into 1B, these cell array blocks 1A, a common sense amplifier and latch circuit 2 to 1B are provided.

【0050】図5はそのセンスアンプ兼ラッチ回路の構成を示している。 [0050] Figure 5 shows a configuration of the sense amplifier and latch circuit. EタイプnチャネルMOSトランジスタQn16,Qn17とEタイプpチャネルMOSトランジスタQp7,Qp9でフリップフロップFFを構成している。 Constitute a flip-flop FF in the E type n-channel MOS transistor Qn16, Qn17 and E type p-channel MOS transistor Qp7, Qp9. EタイプnチャネルMOSトランジスタQn E type n-channel MOS transistor Qn
14,Qn15はFFのイコライズ用トランジスタ、Q 14, Qn15 are equalizing transistors of FF, Q
n27,Qn28は検知用トランジスタである。 n27, Qn28 is a sensing transistor.

【0051】EタイプnチャネルMOSトランジスタQ [0051] E-type n-channel MOS transistor Q
n18とEタイプpチャネルMOSトランジスタQp8 n18 and E type p-channel MOS transistor Qp8
はFF活性用トランジスタ、EタイプnチャネルMOS Transistor for FF activity, E type n-channel MOS
トランジスタQn19とQn20はFFの2個のノードN1,N2とセルアレイブロック1A,1B内のビット線との接続用トランジスタ、Qn25,Qn26はビット線のプリチャージ、リセット用のトランジスタである。 Transistors Qn19 and Qn20 are two nodes N1, N2 and the cell array blocks 1A, connection transistors between the bit lines in 1B, Qn25, Qn26 is a bit line precharge, transistors for resetting the FF. Qn21〜Qn24はビット線とVCC又はVSS Qn21~Qn24 the bit line and the VCC or VSS
レベルにある配線との接続用トランジスタである。 A connection transistor and wiring in a level.

【0052】このような構成の場合のページからページへのコピーについて述べる。 [0052] describes the copy of the page from the page in the case of such a configuration. メモリセルアレイ1A中のページからメモリセルアレイ1A中のページへデータをコピーするのには、前記第1実施例のごとく読み出しデータの反転動作が必要となる。 From a page in the memory cell array 1A to copy the data to the page in the memory cell array 1A, the inverting operation of the read data as the first embodiment is required. しかしメモリセルアレイ1A中のページからメモリセルアレイ1B中のページへのデータのコピー、メモリセルアレイ1B中のページからメモリセルアレイ1A中のページへのデータのコピーには読み出しデータの反転は必要はない。 But a copy of the data from the page in the memory cell array 1A to the page in the memory cell array 1B, the inverted read data to the copy of the data from the page in the memory cell array 1B to the page in the memory cell array 1A is not required. これらはセンスアンプ兼ラッチ回路の反対側のノードにそれぞれ接続されているために、読み出しデータを反転させることなくそのまま書き込み動作へ移行することができる。 They can shift to being connected to the opposite side of the nodes of the sense amplifier and latch circuit, it is to the write operation without inverting the read data.

【0053】このようにコピー元とコピー先のアドレスの関係により反転動作を行うか、行わないか制御することによってページのコピーが可能となる。 [0053] whether to perform inversion operation by the relationship of the address of the thus source and destination, it is possible to copy the pages by controlling or not performed.

【0054】ここで本実施例におけるデータの反転方法について述べる。 [0054] described inversion method for data in the embodiment herein. ここではメモリセルアレイ1Aのページがコピー元として選択されているとする。 Here, a page of memory cell array 1A is selected as the copy source.

【0055】まずビット線BLaiが3Vに、BLbi [0055] First, the bit line BLai is 3V, BLbi
が2V(リファレンス電位)にプリチャージされ、その後プリチャージ信号ΦPAとΦPBが”L”となって、 There are precharged to 2V (reference potential), then the pre-charge signal ΦPA and ΦPB becomes an "L",
ビット線BLaiとBLbiはフローティングになる。 Bit line BLai and BLbi becomes floating.
次に、選択された制御ゲートをVSSに、非選択の制御ゲートをVCCに、選択された選択ゲートをVCCにして一定時間保持する。 Next, a control gate that is selected to VSS, the control gates of unselected VCC, to hold constant the selected select gate in the VCC time. イコライズ信号によってMOSフリップフロップがリセットされた後、ΦA,ΦBが” After MOS flip-flop is reset by the equalizing signal, .PHI.A, is .PHI.B "
H”となってノードN1,N2がそれぞれビット線BL Node N1 becomes H ", N2, each bit line BL
ai,BLbiが接続され、ΦPが”L”、ΦNが” ai, BLbi is connected, ΦP is "L", ΦN is "
H”となってビット線BLaiが読み出される。読み出したデータはラッチされる。その後ΦA,ΦBを”L” H "becomes bit line BLai is read. The read data is latched. Thereafter .PHI.A, the .PHI.B" L "
としてビット線とFFを切り放す。 Detach the bit line and the FF as. 次にまずビット線B Then first bit line B
Laiを3Vにビット線BLbiを2Vにプリチャージしフローティングにしたのち、ΦAVを”H”にする。 After Lai was a bit line BLbi the precharge floating to 2V to 3V, to "H" FaiAV.
その後、ΦABを”L”としたのちFFを非活性化、イコライズしたのちΦA,ΦBを”H”とし、さらにΦP Thereafter, it inactivates the FF After the "L" to FaiAB, .PHI.A After equalizing, the ΦB and "H", further ΦP
を”L”、ΦNを”H”としてデータを読む。 Read the data as "L", the ΦN "H" the. これによって、読み出したデータは一括反転される。 Thus, the read data is simultaneously reversed.

【0056】次に、消去後のベリファイ動作について説明する。 Next, a description will be given verify operation after the erase. ここではメモリセルアレイ1Aのビット線BL Here the bit lines BL of the memory cell array 1A
aiが選択されているとする。 And ai is selected.

【0057】まずビット線BLaiが3Vに、BLbi [0057] First, the bit line BLai is 3V, BLbi
が2V(リファレンス電位)にプリチャージされ、その後プリチャージ信号ΦPAとΦPBが”L”となって、 There are precharged to 2V (reference potential), then the pre-charge signal ΦPA and ΦPB becomes an "L",
ビット線BLaiとBLbiはフローティングになる。 Bit line BLai and BLbi becomes floating.
次に、選択された制御ゲートをVSSに、非選択の制御ゲートをVCCに、選択された選択ゲートをVCCにして一定時間保持する。 Next, a control gate that is selected to VSS, the control gates of unselected VCC, to hold constant the selected select gate in the VCC time. イコライズ信号によってCMOS CMOS by equalizing signal
フリップフロップがリセットされた後、ΦA,ΦBが” After the flip-flop is reset, ΦA, is ΦB "
H”となってノードN1,N2がそれぞれビット線BL Node N1 becomes H ", N2, each bit line BL
ai,BLbiが接続される。 ai, is connected BLbi. ΦPが”L”,ΦNが” ΦP is "L", ΦN is "
H”となってビット線BLaiが読み出される。読み出したデータはラッチされる。 Becomes H "bit line BLai is read. The read data is latched.

【0058】その後ΦA,ΦBを”L”としてビット線とFFを切り放す。 [0058] Then ΦA, the bit line and the FF as "L" the ΦB cut loose. 次にまずビット線BLaiを3V Then First, the bit line BLai 3V
に、BLbiを2V(リファレンス電位)にプリチャージしフローティングにしたのち、ΦAVを”H”にする。 To, after the precharge floating in 2V (reference potential) and BLbi, to "H" FaiAV. その後FFを非活性化、イコライズしたのちΦA, Then deactivate the FF, After equalizing .PHI.A,
ΦBを”H”としてデータを読む。 ΦB read the data as "H",. この段階でラッチされていたデータは、一括反転される。 Data latched at this stage, are collectively inverted. そのあと検知トランジスタQn28によって一括検知される。 It is collectively detected by the after detection transistor Qn28. このようにメモリセル1Aに対し消去ベリファイを行うときにはデータの一括反転を行う。 Make bulk inverted data when thus performing the erase verify to the memory cell 1A.

【0059】しかしメモリセル1Bに対し消去ベリファイを行うときには、データの反転は必要はない。 [0059] However, when the memory cell 1B erase verify, the inverted data is not required. またメモリセル1Aに対し書き込みベリファイを行うときはデータの反転の必要はないが、メモリセルアレイ1Bに対し書き込みベリファイを行う時にはデータの反転が必要となる。 Although not necessary for inversion of data when performing write verify the memory cell 1A, it is necessary to reverse the data when the memory cell array 1B performs write verification.

【0060】このようにメモリアドレスと消去・書き込みのモードによってそのベリファイ動作時にデータの反転を行うか行わないかを制御することによって、ベリファイ動作を1個の検知用トランジスタQn28によって行うことができる。 [0060] By controlling whether or not to perform such a data when the verification operation by the memory address and an erase-write mode inversion, it is possible to perform a verify operation by one of the detecting transistor Qn28. したがって、このような消去後のベリファイ動作では、他の検知用トランジスタQn27は不要となる。 Thus, the verify operation of the post-erasure, other sensing transistor Qn27 is unnecessary.

【0061】また本発明は上記実施例に限らない。 [0061] The present invention is not limited to the above embodiments. データの反転はページ一括で行わなくても良い。 Inversion of the data may not be performed by a page batch. バイトごとにチップ内部で反転を行ってもいい。 Good to go a reversal in the chip inside for each byte. これを図6の第3 Third Figure 6. This
実施例に示す。 In the Examples. 図7は、その動作のフローチャートである。 Figure 7 is a flow chart of the operation. 図6は、前記図2のセンスアンプ兼ラッチ回路に対応するIOセンス回路及び反転データ発生回路を示している。 Figure 6 shows an IO sense circuit and the inverted data generation circuit corresponding to the sense amplifier and latch circuit of FIG. 2. 図6において、9はカレントミラー型作動センスアンプ、10,11はトランスファゲートである。 6, the current mirror type operating sense amplifiers 9, 10 and 11 is a transfer gate. 動作はIO,IOBをイコライズしたのち、センスアンプ兼ラッチ回路のカラムゲートCSLiを”H”としデータをIO,IOB線に出力する。 Operation IO, After equalizing the IOB, and outputs the data to the "H" column gate CSLi of the sense amplifier and latch circuit IO, the IOB line. その電位差をカレントミラー型作動センスアンプ9でセンスし後段でラッチする。 Senses the potential difference in the current mirror type operation sense amplifier 9 is latched at a later stage. そしてこのデータより反転データを形成し、IO, And forming inverted data from the data, IO,
IOB線を通じて、センスアンプ兼ラッチ回路に転送しラッチ内容を反転させてもよい。 Through IOB line, it may be inverted latch content is transferred to the sense amplifier and latch circuit. この場合もアドレス信号をチップ内部でカウンター等を用いて形成してもよい。 In this case also the address signal may be formed using a counter or the like inside the chip.

【0062】また図8の第4実施例に示すように、メモリセルアレイが複数個1A,1B,2A,2B(ここでは簡単のため4分割を例にあげる。)に分割されている場合を考える。 [0062] Also as shown in the fourth embodiment of FIG. 8, consider a case where the memory cell array a plurality 1A, 1B, 2A, which is divided into 2B (here exemplified in Example 4 divided for simplicity.) . このような場合でも上記第3実施例のごとく、チップ内部でコピー元ページのデータを読み、コピー先のページのセンスアンプ兼ラッチ回路にデータを転送してやってもよい。 Such as in the third embodiment, even if reading the data of the copy source page in the chip, or may be doing transfers the data to the sense amplifier and latch circuit in the destination page.

【0063】またセルアレイ1A中のページからセルアレイ1A中のページへのコピーのように、同一セルアレイ内でのコピーの場合は上記実施例のごとく、読み出しデータを一括反転させ、セルアレイ1A中のページからセルアレイ1B中のページへのコピーのように同じセンスアンプ兼ラッチ回路を共有するセルアレイ間のコピーの場合は読み出しデータをそのまま書き込みデータとし、セルアレイ1A中のページからセルアレイ2A中のページへのコピーの場合は、チップ内部でバイト単位で読み出し、コピー可能な書き込みデータにして、コピー先のセンスアンプ兼ラッチ回路にデータを転送するように、上記実施例を組み合わせて使用することも可能である。 [0063] As also copied from the page in the cell array 1A to pages in the cell array 1A, in the case of copying in the same array as the above embodiment, the read data is once reversed, from the page in the cell array 1A for copying between cell arrays which share the same sense amplifier and latch circuit as a copy to the page in the cell array 1B and as write data to the read data, copies of the pages in the cell array 1A to pages in the cell array 2A If reads in bytes inside the chip, and the copy can write data, to transfer the data to the sense amplifier and latch circuit of the copy destination, it is also possible to use a combination of the above embodiment.

【0064】 [0064]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 As described in the foregoing, according to the present invention,
メモリ手段における所定単位から読み出し動作によりラッチ手段にラッチしたデータを反転して再ラッチし、このデータ反転に基づいて所要の処理動作を実行するようにしたため、所定単位データの他の所定単位へのコピー処理又は消去ベリファイ動作等の所要の処理動作を、外部へのデータの読み出し、再転送を必要とすることなく高速に行うことができる。 Inverted and re latches the data latched in the latch means by the read operation from the predetermined unit in the memory unit, for which is adapted to perform the necessary processing operations on the basis of the data inversion, to other predetermined unit of a predetermined unit data the required processing operations such as copying or erase verification operation can be performed at high speed without requiring the reading of data to the outside, the retransmission.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明に係る不揮発性半導体メモリ装置の第1 [1] the first nonvolatile semiconductor memory device according to the present invention
実施例を示すブロック図である。 Is a block diagram showing an embodiment.

【図2】第1実施例におけるセンスアンプ兼ラッチ回路の回路図である。 2 is a circuit diagram of a sense amplifier and latch circuit in the first embodiment.

【図3】第1実施例において消去の確認動作におけるセンスアンプ兼ラッチ回路の動作を説明するためのタイミングチャートである。 3 is a timing chart for explaining the operation of the sense amplifier and latch circuit in acknowledged erase operations in the first embodiment.

【図4】本発明の第2実施例を示すブロック図である。 4 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図5】第2実施例におけるセンスアンプ兼ラッチ回路の回路図である。 5 is a circuit diagram of a sense amplifier and latch circuit in the second embodiment.

【図6】本発明の第3実施例を示す回路図である。 6 is a circuit diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図7】第3実施例の動作を説明するためのタイミングチャートである。 7 is a timing chart for explaining the operation of the third embodiment.

【図8】本発明の第4実施例を示すブロック図である。 8 is a block diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

【図9】従来の不揮発性半導体メモリ装置におけるセンスアンプ兼ラッチ回路を示す回路図である。 9 is a circuit diagram showing a sense amplifier and latch circuit in a conventional nonvolatile semiconductor memory device.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1,1A,1B メモリセルアレイ(メモリ手段) 2 センスアンプ兼ラッチ回路(ラッチ手段) 8 ベリファイ検知回路 1, 1A, 1B memory cell array (memory means) second sense amplifier and latch circuit (latch means) 8 verify sense circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大平 秀子 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1 株式会 社東芝総合研究所内 (72)発明者 岡本 豊 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1 株式会 社東芝総合研究所内 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Hideko Ohira Kawasaki-shi, Kanagawa-ku, Saiwai Komukaitoshiba-cho 1 stock company Toshiba in the Institute (72) inventor Yutaka Okamoto Kawasaki-shi, Kanagawa-ku, Saiwai Komukaitoshiba-cho 1 stock Company Toshiba Research Institute in

Claims (5)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 所定単位に分割されたデータ記憶領域を備えたメモリ手段と、前記所定単位のデータを読み出し動作によりラッチするとともにこのラッチしたデータを反転し再ラッチするラッチ手段と、前記データの反転に基づいて所要の処理動作を実行する手段とを有することを特徴とする不揮発性半導体メモリ装置。 1. A memory means having a data storage area divided into a predetermined unit, and latch means for re-latching inverting the latch data as well as latched by the read operation data of the predetermined unit, the data the nonvolatile semiconductor memory device characterized by having a means for executing required processing operation based on the inversion.
  2. 【請求項2】 前記所要の処理動作は、前記所定単位に記憶されているデータを他の所定単位に書き込むコピー処理であることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体メモリ装置。 Wherein said predetermined processing operation, the nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein the a copy process to write the data stored in predetermined units other predetermined unit.
  3. 【請求項3】 前記所要の処理動作は、消去ベリファイ動作であることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体メモリ装置。 Wherein the required processing operations, a nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, characterized in that the erase verify operation.
  4. 【請求項4】 前記データの反転は1所定単位分一括で行うように構成してなることを特徴とする請求項1又は2記載の不揮発性半導体メモリ装置。 Wherein said data inversion nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1 or 2, wherein the composed configured to perform one specific unit collectively.
  5. 【請求項5】 前記メモリ手段が複数で構成される場合において、前記データの反転は、当該複数のメモリ手段における処理動作のアドレスに応じて行うか否かを判断するように構成してなることを特徴とする請求項1, 5. A case where the memory means is constituted by a plurality, inversion of the data, be configured to determine whether to perform in accordance with the address of the processing operation of the plurality of memory means claim 1, wherein,
    2,3又は4記載の不揮発性半導体メモリ装置。 2, 3 or 4 non-volatile semiconductor memory device according.
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