JPH0526641A - プリント基板のライン幅検査方法 - Google Patents
プリント基板のライン幅検査方法Info
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- JPH0526641A JPH0526641A JP3039297A JP3929791A JPH0526641A JP H0526641 A JPH0526641 A JP H0526641A JP 3039297 A JP3039297 A JP 3039297A JP 3929791 A JP3929791 A JP 3929791A JP H0526641 A JPH0526641 A JP H0526641A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント基盤のライン幅検査において、オペ
レータの不感領域を抑える。 【構成】 Ｘ方向のパターン幅Ｗ１とＹ方向のパターン
幅Ｗ２を比較してラインの走行方向を決定する際に、こ
れらにそれぞれ比例するＯＮパターン判定データＡ，Ｂ
を用いる。 【効果】 ラインのコーナー付近や曲線ラインでのライ
ン幅が検査できる。
レータの不感領域を抑える。 【構成】 Ｘ方向のパターン幅Ｗ１とＹ方向のパターン
幅Ｗ２を比較してラインの走行方向を決定する際に、こ
れらにそれぞれ比例するＯＮパターン判定データＡ，Ｂ
を用いる。 【効果】 ラインのコーナー付近や曲線ラインでのライ
ン幅が検査できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はプリント基板のライン
幅検査方法に関する。
幅検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品の小形軽量化、高性能化に伴な
って、プリント基板回路の配線パターンも微細化、高密
度化が進んでおり、ラインの細線化、スルーホールの小
径化等が要求されている。このような細線化されたライ
ンについては、以前と比較して一層その幅の検査、管理
が重要になっている。
って、プリント基板回路の配線パターンも微細化、高密
度化が進んでおり、ラインの細線化、スルーホールの小
径化等が要求されている。このような細線化されたライ
ンについては、以前と比較して一層その幅の検査、管理
が重要になっている。
【０００３】この配線パターンのライン幅の検査、管理
に際してはライン幅についてある許容値を設け、その範
囲内にある寸法を有するラインは良とし、その範囲外に
ある寸法を有するラインは不良として良否判断を行な
う。
に際してはライン幅についてある許容値を設け、その範
囲内にある寸法を有するラインは良とし、その範囲外に
ある寸法を有するラインは不良として良否判断を行な
う。
【０００４】このようなライン幅の自動的な検査におい
ては従来より画素オペレータによる処理が行なわれてお
り、例えば特開昭５９−７４６２７号公報に開示されて
いる。
ては従来より画素オペレータによる処理が行なわれてお
り、例えば特開昭５９−７４６２７号公報に開示されて
いる。
【０００５】図１〜図６に画素オペレータの例として十
字オペレータＯＰを用いた場合を示す。
字オペレータＯＰを用いた場合を示す。
【０００６】図２はラインＬに欠陥ＭＩＳが生じた場合
を示しており、この場合にはオペレータＯＰの、ライン
Ｌに平行な腕Ｌｃ，Ｌｄの全画素及び中心ＯがラインＬ
上にあり、ライン幅ＷはラインＬと直交する腕Ｌａ，Ｌ
ｂが測定する。即ちオペレータＯＰの画素がラインＬな
どのパターンＰ上にある場合には“１”、そうでない場
合には“０”とすると、オペレータＯＰの中心Ｏが
“１”の場合において、その全画素が“１”である同一
線上の２つの腕が存在すれば（ここではＬｃとＬｄ）オ
ペレータＯＰの中心ＯはラインＬ上にあると判定する。
そしてこの２つの腕と直交する線上（ここではＬａとＬ
ｂと中心Ｏ）の画素の中で“１”が連続する長さ（ここ
では４）をライン幅Ｗとして求めるのである。欠陥ＭＩ
Ｓ部分ではライン幅Ｗが所定の値（ここでは５）を下ま
わっており、欠陥ＭＩＳを検知する。
を示しており、この場合にはオペレータＯＰの、ライン
Ｌに平行な腕Ｌｃ，Ｌｄの全画素及び中心ＯがラインＬ
上にあり、ライン幅ＷはラインＬと直交する腕Ｌａ，Ｌ
ｂが測定する。即ちオペレータＯＰの画素がラインＬな
どのパターンＰ上にある場合には“１”、そうでない場
合には“０”とすると、オペレータＯＰの中心Ｏが
“１”の場合において、その全画素が“１”である同一
線上の２つの腕が存在すれば（ここではＬｃとＬｄ）オ
ペレータＯＰの中心ＯはラインＬ上にあると判定する。
そしてこの２つの腕と直交する線上（ここではＬａとＬ
ｂと中心Ｏ）の画素の中で“１”が連続する長さ（ここ
では４）をライン幅Ｗとして求めるのである。欠陥ＭＩ
Ｓ部分ではライン幅Ｗが所定の値（ここでは５）を下ま
わっており、欠陥ＭＩＳを検知する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４に示すよ
うにラインＬのコーナー付近には不感領域Ａｑが存在す
る。例えばオペレータＯＰが、縦に走るラインＬを下か
ら検査して行く場合には、中心Ｏがこの不感領域Ａｑに
入ると、オペレータＯＰの中心Ｏから上方に伸びる腕が
ラインＬの部分からはみ出るようになり、この腕におい
て“０”となる画素が生じる。従って不感領域Ａｑは本
来ラインＬ上に存在するにもかかわらず、ラインＬと判
断されない。
うにラインＬのコーナー付近には不感領域Ａｑが存在す
る。例えばオペレータＯＰが、縦に走るラインＬを下か
ら検査して行く場合には、中心Ｏがこの不感領域Ａｑに
入ると、オペレータＯＰの中心Ｏから上方に伸びる腕が
ラインＬの部分からはみ出るようになり、この腕におい
て“０”となる画素が生じる。従って不感領域Ａｑは本
来ラインＬ上に存在するにもかかわらず、ラインＬと判
断されない。
【０００８】この不感領域Ａｑの大きさはオペレータＯ
Ｐの腕の長さを一辺とする正方形となり、従って図４の
ように太いラインのコーナー付近での欠陥ＭＩＳは検出
可能領域Ａｐ内にあって欠陥検出できるが、図５のよう
に細いラインの場合には欠陥ＭＩＳが不感領域Ａｑ内に
あるためこれを検出することができないという問題点が
あった。
Ｐの腕の長さを一辺とする正方形となり、従って図４の
ように太いラインのコーナー付近での欠陥ＭＩＳは検出
可能領域Ａｐ内にあって欠陥検出できるが、図５のよう
に細いラインの場合には欠陥ＭＩＳが不感領域Ａｑ内に
あるためこれを検出することができないという問題点が
あった。
【０００９】この不感領域Ａｑを小さくするにはオペレ
ータＯＰ全体の腕を短くすればよいが、それでは図３に
示した様にランドＲをもラインＬと認識し、且つライン
幅異常としてして検出してしまうことになる。
ータＯＰ全体の腕を短くすればよいが、それでは図３に
示した様にランドＲをもラインＬと認識し、且つライン
幅異常としてして検出してしまうことになる。
【００１０】同様にして図６のような太い曲線パターン
の場合には、これをラインＬとして判断するが、図７の
ように細い曲線パターンの場合には図６の場合と曲率が
等しくても、全画素が“１”となる同一線上の腕が存在
せずラインＬとして判断されないという問題点があっ
た。
の場合には、これをラインＬとして判断するが、図７の
ように細い曲線パターンの場合には図６の場合と曲率が
等しくても、全画素が“１”となる同一線上の腕が存在
せずラインＬとして判断されないという問題点があっ
た。
【００１１】この発明は上記の事情を考慮してなされた
もので、ライン幅Ｗに比例してラインＬの検出基準を変
えて、不感領域を抑えることができるプリント基板のラ
イン幅検査方法を得ることを目的とする。
もので、ライン幅Ｗに比例してラインＬの検出基準を変
えて、不感領域を抑えることができるプリント基板のラ
イン幅検査方法を得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明のプリント基板
のライン幅検査方法では、配線パターンが形成されたプ
リント基板を光電走査して画素ごとに読取った画像デー
タに基づいて、上記配線パターンに含まれるラインの幅
の検査を行うにあたって、まず、(a) 上記画像データに
基づいて、上記配線パターンのイメージを求める。
のライン幅検査方法では、配線パターンが形成されたプ
リント基板を光電走査して画素ごとに読取った画像デー
タに基づいて、上記配線パターンに含まれるラインの幅
の検査を行うにあたって、まず、(a) 上記画像データに
基づいて、上記配線パターンのイメージを求める。
【００１３】次に、(b) 上記配線パターンのイメージの
各部分のうち、ひとつの方向へ連続する長さを求め、上
記ひとつの方向に直交する方向へは上記長さに比例した
長さ以上に連続した部分をライン部分として認識する。
各部分のうち、ひとつの方向へ連続する長さを求め、上
記ひとつの方向に直交する方向へは上記長さに比例した
長さ以上に連続した部分をライン部分として認識する。
【００１４】また、(c) 上記ひとつの方向について上記
ライン部分のライン幅を求めるとともに、(d) 上記ライ
ン幅が所定の範囲内にあるか否かを判定することによっ
て上記ライン幅の検査を行う。
ライン部分のライン幅を求めるとともに、(d) 上記ライ
ン幅が所定の範囲内にあるか否かを判定することによっ
て上記ライン幅の検査を行う。
【００１５】
【作用】この発明においては、配線パターンのイメージ
の各部分のうち、ひとつの方向へ連続する長さを求め、
上記ひとつの方向に直交する方向へは上記長さに比例し
た長さ以上に連続した部分をライン部分として認識する
ことによって、ライン部分とそれ以外の部分とを区別す
る。ここでは、ライン幅として認識する基準となる長さ
が変化するため、、ライン部分の不感領域を抑え、ライ
ンのコーナー付近についてもライン幅検査が可能であ
る。
の各部分のうち、ひとつの方向へ連続する長さを求め、
上記ひとつの方向に直交する方向へは上記長さに比例し
た長さ以上に連続した部分をライン部分として認識する
ことによって、ライン部分とそれ以外の部分とを区別す
る。ここでは、ライン幅として認識する基準となる長さ
が変化するため、、ライン部分の不感領域を抑え、ライ
ンのコーナー付近についてもライン幅検査が可能であ
る。
【００１６】
【実施例】〔Ａ．全体構成と概略動作〕図８は、この発
明の一実施例を適用するパターン検査装置の全体構成を
示すブロック図である。
明の一実施例を適用するパターン検査装置の全体構成を
示すブロック図である。
【００１７】ステージ１０上には、検査対象となるプリ
ント基板１１が配置される。プリント基板１１は、ライ
ン方向Ｘごとに、そのイメージを読取装置２０によって
走査線順次に読みとられながら、搬送方向Ｙに送られ
る。読取装置２０は、数千素子を有するＣＣＤ複数個を
ライン方向Ｘに直列配列したものであり、画素ごとにプ
リント基板１１のパターンを読み取る。読み取られた画
像データは、２値化回路２１ａ，２１ｂに送られる。２
値化回路２１ａは、後述するホールイメージ原信号ＨＩ
Ｓ0 を生成し、２値化回路２１ｂは後述するパターンイ
メージ原信号ＰＩＳ0 を生成する。信号ＨＩＳ0 ，ＰＩ
Ｓ0 は共に、パターン検査回路３０に入力される。
ント基板１１が配置される。プリント基板１１は、ライ
ン方向Ｘごとに、そのイメージを読取装置２０によって
走査線順次に読みとられながら、搬送方向Ｙに送られ
る。読取装置２０は、数千素子を有するＣＣＤ複数個を
ライン方向Ｘに直列配列したものであり、画素ごとにプ
リント基板１１のパターンを読み取る。読み取られた画
像データは、２値化回路２１ａ，２１ｂに送られる。２
値化回路２１ａは、後述するホールイメージ原信号ＨＩ
Ｓ0 を生成し、２値化回路２１ｂは後述するパターンイ
メージ原信号ＰＩＳ0 を生成する。信号ＨＩＳ0 ，ＰＩ
Ｓ0 は共に、パターン検査回路３０に入力される。
【００１８】パターン検査回路３０は、後述する機能を
有し、配線パターン（ランドを含む）や、これとスルー
ホールとの相対的位置関係を検査し、その結果を中央演
算装置（ＭＰＵ）５０に与える。
有し、配線パターン（ランドを含む）や、これとスルー
ホールとの相対的位置関係を検査し、その結果を中央演
算装置（ＭＰＵ）５０に与える。
【００１９】ＭＰＵ５０は、制御系５１を介して、装置
全体を制御する。制御系５１は、パターン検査回路３０
において得られたデータのアドレスを特定するためのＸ
−Ｙアドレスなどを生成する。また、このＸ−Ｙアドレ
スをステージ駆動系５２にも与えて、ステージ１０の搬
送機構を制御する。
全体を制御する。制御系５１は、パターン検査回路３０
において得られたデータのアドレスを特定するためのＸ
−Ｙアドレスなどを生成する。また、このＸ−Ｙアドレ
スをステージ駆動系５２にも与えて、ステージ１０の搬
送機構を制御する。
【００２０】ＣＲＴ６０は、ＭＰＵ５０からの指令を受
けて、各種の演算結果、例えばホールイメージなどを表
示する。キーボード７０は、ＭＰＵ５０に対して種々の
命令を入力するために用いられる。
けて、各種の演算結果、例えばホールイメージなどを表
示する。キーボード７０は、ＭＰＵ５０に対して種々の
命令を入力するために用いられる。
【００２１】オプション部８０には、欠陥確認装置８
１，欠陥品除去装置８２および欠陥位置マーキング装置
８３などが配置される。欠陥確認装置８１は、検出され
た欠陥を、例えばＣＲＴ６０上に拡大して表示するため
の装置である。また、欠陥品除去装置８２は、欠陥を有
するプリント基板１１を検出したら、そのプリント基板
１１を不良品用トレーなどに搬送するための装置であ
る。また、欠陥位置マーキング装置８３は、プリント基
板１１上の欠陥部分に直接、または、その部分に該当す
るシート上の点にマーキングを行うための装置である。
これらの装置は必要に応じて取り付けられる。
１，欠陥品除去装置８２および欠陥位置マーキング装置
８３などが配置される。欠陥確認装置８１は、検出され
た欠陥を、例えばＣＲＴ６０上に拡大して表示するため
の装置である。また、欠陥品除去装置８２は、欠陥を有
するプリント基板１１を検出したら、そのプリント基板
１１を不良品用トレーなどに搬送するための装置であ
る。また、欠陥位置マーキング装置８３は、プリント基
板１１上の欠陥部分に直接、または、その部分に該当す
るシート上の点にマーキングを行うための装置である。
これらの装置は必要に応じて取り付けられる。
【００２２】〔Ｂ．読取り光学系〕図９は、図８に示す
ステージ１０，プリント基板１１および読取装置２０な
どによって構成される読取り光学系の一例を示す図であ
る。
ステージ１０，プリント基板１１および読取装置２０な
どによって構成される読取り光学系の一例を示す図であ
る。
【００２３】図９において、光源２２からの光は、ハー
フミラー２３で反射されてステージ１０上のプリント基
板１１上に照射される。プリント基板１１上には、下地
となるベースＢ，ラインＬ，スルーホールＨおよびその
まわりのランドＲが存在する。プリント基板１１からの
反射光はハーフミラー２３を通過し、さらにレンズ２５
を介して、読取装置２０内に設けられたＣＣＤ２４に入
射される。ＣＣＤ２４は、搬送方向Ｙに送られるプリン
ト基板１１上のベースＢ，ラインＬ，スルーホールＨ，
ランドＲなどからの反射光を線順次に読取っていく。
フミラー２３で反射されてステージ１０上のプリント基
板１１上に照射される。プリント基板１１上には、下地
となるベースＢ，ラインＬ，スルーホールＨおよびその
まわりのランドＲが存在する。プリント基板１１からの
反射光はハーフミラー２３を通過し、さらにレンズ２５
を介して、読取装置２０内に設けられたＣＣＤ２４に入
射される。ＣＣＤ２４は、搬送方向Ｙに送られるプリン
ト基板１１上のベースＢ，ラインＬ，スルーホールＨ，
ランドＲなどからの反射光を線順次に読取っていく。
【００２４】図１１は図９のＡ−Ａ′線において読み取
られた信号波形を示すグラフと、この信号波形を合成し
て得られるパターンイメージの一例を示す図である。
られた信号波形を示すグラフと、この信号波形を合成し
て得られるパターンイメージの一例を示す図である。
【００２５】図１１の信号波形に示すように、ベースＢ
においては反射光は比較的少く、閾値ＴＨ１，ＴＨ２
（ＴＨ１＜ＴＨ２）の間のレベルの信号が生成される。
配線パターンＰ（ラインＬ及びランドＲ）は、銅などの
金属によって形成されているので、この部分での反射光
は多く、閾値ＴＨ２以上のレベルの信号が生成される。
また、スルーホールＨにおいては、反射光はほとんど無
く、閾値ＴＨ１以下のレベルの信号が生成される。さら
に、通常スルーホールＨとランドＲとの間や、ラインＬ
と下地Ｂとの間には、エッジＥが存在する。この部分に
はガタつきや傾斜が存在し、この部分での反射光レベル
は、特に一定の値を取らないが、ほぼ閾値ＴＨ１と閾値
ＴＨ２との間にある。
においては反射光は比較的少く、閾値ＴＨ１，ＴＨ２
（ＴＨ１＜ＴＨ２）の間のレベルの信号が生成される。
配線パターンＰ（ラインＬ及びランドＲ）は、銅などの
金属によって形成されているので、この部分での反射光
は多く、閾値ＴＨ２以上のレベルの信号が生成される。
また、スルーホールＨにおいては、反射光はほとんど無
く、閾値ＴＨ１以下のレベルの信号が生成される。さら
に、通常スルーホールＨとランドＲとの間や、ラインＬ
と下地Ｂとの間には、エッジＥが存在する。この部分に
はガタつきや傾斜が存在し、この部分での反射光レベル
は、特に一定の値を取らないが、ほぼ閾値ＴＨ１と閾値
ＴＨ２との間にある。
【００２６】読取装置２０からの信号は、図８の２値化
回路２１ａ，２１ｂにおいて、例えば閾値ＴＨ１，ＴＨ
２をそれぞれ用いて２値化される。２値化回路２１ａ
は、スルーホールＨを示すホールイメージＨＩを生成
し、２値化回路２１ｂは配線パターンＰ（ラインＬ及び
ランドＲ）を示すパターンイメージＰＩを生成する。こ
の２つのイメージＨＩ，ＰＩが、後述する処理に必要な
信号として用いられる。
回路２１ａ，２１ｂにおいて、例えば閾値ＴＨ１，ＴＨ
２をそれぞれ用いて２値化される。２値化回路２１ａ
は、スルーホールＨを示すホールイメージＨＩを生成
し、２値化回路２１ｂは配線パターンＰ（ラインＬ及び
ランドＲ）を示すパターンイメージＰＩを生成する。こ
の２つのイメージＨＩ，ＰＩが、後述する処理に必要な
信号として用いられる。
【００２７】図１０は、読取光学系の他の例を示す図で
ある。光源２２ａからの光は、図９に示す例と同様に、
反射光としてハーフミラー２３およびレンズ２５を介し
て読取装置２０内のＣＣＤ２４上に照射される。この例
においては、さらにステージ１０の裏側に光源２２ｂが
備えられており、スルーホールＨを通過した光もＣＣＤ
２４上に照射される。従って、スルーホールＨにおい
て、信号レベルが最も高く、配線パターンＰ（ラインＬ
及びランドＲ）において、信号レベルが中程度、ベース
ＢおよびエッジＥにおいて信号レベルが比較的低くな
る。
ある。光源２２ａからの光は、図９に示す例と同様に、
反射光としてハーフミラー２３およびレンズ２５を介し
て読取装置２０内のＣＣＤ２４上に照射される。この例
においては、さらにステージ１０の裏側に光源２２ｂが
備えられており、スルーホールＨを通過した光もＣＣＤ
２４上に照射される。従って、スルーホールＨにおい
て、信号レベルが最も高く、配線パターンＰ（ラインＬ
及びランドＲ）において、信号レベルが中程度、ベース
ＢおよびエッジＥにおいて信号レベルが比較的低くな
る。
【００２８】さらに、他の例として、ＣＣＤ２４を２列
以上用意し、光源２２ａによって、配線パターンＰ（ラ
インＬ及びランドＲ）を検出し、光源２２ｂによってス
ルーホールＨのみを検出し、それらのデータを別々に後
段の２値化回路に出力するように構成してもよい。
以上用意し、光源２２ａによって、配線パターンＰ（ラ
インＬ及びランドＲ）を検出し、光源２２ｂによってス
ルーホールＨのみを検出し、それらのデータを別々に後
段の２値化回路に出力するように構成してもよい。
【００２９】〔Ｃ．パターン検査回路〕図１２は、図８
に示すパターン検査回路３０の内部構成を示すブロック
図である。
に示すパターン検査回路３０の内部構成を示すブロック
図である。
【００３０】図８の２値化回路２１ａ，２１ｂで生成さ
れたホールイメージ原信号ＨＩＳ0 ，パターンイメージ
原信号ＰＩＳ0 は、インターフェース３１を介してノイ
ズフィルタ３２ａ，３２ｂにそれぞれ与えられる。ノイ
ズフィルタ３２ａ，３２ｂは平滑化処理などを行って、
ノイズを除去し、ホールイメージ信号ＨＩＳ，パターン
イメージ信号ＰＩＳをそれぞれ生成する。
れたホールイメージ原信号ＨＩＳ0 ，パターンイメージ
原信号ＰＩＳ0 は、インターフェース３１を介してノイ
ズフィルタ３２ａ，３２ｂにそれぞれ与えられる。ノイ
ズフィルタ３２ａ，３２ｂは平滑化処理などを行って、
ノイズを除去し、ホールイメージ信号ＨＩＳ，パターン
イメージ信号ＰＩＳをそれぞれ生成する。
【００３１】ホールイメージ信号ＨＩＳとパターンイメ
ージ信号ＰＩＳはどちらも、比較検査回路３３，ＤＲＣ
(Design Rule Check) 回路３４，スルーホール検査回路
４０のすべてに与えられる。
ージ信号ＰＩＳはどちらも、比較検査回路３３，ＤＲＣ
(Design Rule Check) 回路３４，スルーホール検査回路
４０のすべてに与えられる。
【００３２】比較検査回路３３は、ホールイメージ信号
ＨＩＳ及びパターンイメージ信号ＰＩＳと、あらかじめ
準備された基準プリント基板について得られたイメージ
信号とを比較照合し、それらが相互に異なる部分を欠陥
として特定する回路である。基準プリント基板として
は、検査対象となるプリント基板１１と同一種類で、か
つあらかじめ良品であると判定されたプリント基板が用
いられる。この方法（比較法）はたとえば本出願人によ
る特開昭６０−２６３８０７号公報に開示されている。
ＨＩＳ及びパターンイメージ信号ＰＩＳと、あらかじめ
準備された基準プリント基板について得られたイメージ
信号とを比較照合し、それらが相互に異なる部分を欠陥
として特定する回路である。基準プリント基板として
は、検査対象となるプリント基板１１と同一種類で、か
つあらかじめ良品であると判定されたプリント基板が用
いられる。この方法（比較法）はたとえば本出願人によ
る特開昭６０−２６３８０７号公報に開示されている。
【００３３】スルーホール検査回路３５はプリント基板
１１上のランドＲとホールＨとの相対的位置関係を検出
し、これが設計上の値から逸脱しているかどうかを判定
することによってプリント基板１１の良否検査を行う回
路である。この検査方法については、たとえば本出願人
による特願平１−８２１１７号に開示されている。
１１上のランドＲとホールＨとの相対的位置関係を検出
し、これが設計上の値から逸脱しているかどうかを判定
することによってプリント基板１１の良否検査を行う回
路である。この検査方法については、たとえば本出願人
による特願平１−８２１１７号に開示されている。
【００３４】〔Ｄ．ＤＲＣ回路〕(D-1. 概要) ＤＲＣ回
路３４の各部の詳細な構造・動作の説明をする前に、そ
の概要について述べる。
路３４の各部の詳細な構造・動作の説明をする前に、そ
の概要について述べる。
【００３５】図１はＤＲＣ回路３４の概要を示すブロッ
ク図、図１３は同回路３４の流れを示すフローチャート
である。
ク図、図１３は同回路３４の流れを示すフローチャート
である。
【００３６】判定前処理部３５はステップＳ１００に対
応し、オペレータＯＰの腕の中で中心Ｏから画素“１”
が連続する長さ（中心Ｏの部分を含まない。以下「腕の
長さ」と記す）ａ，ｂ，ｃ，ｄ，を求め、ライン幅候補
Ｗ１，Ｗ２を下式によって求める。
応し、オペレータＯＰの腕の中で中心Ｏから画素“１”
が連続する長さ（中心Ｏの部分を含まない。以下「腕の
長さ」と記す）ａ，ｂ，ｃ，ｄ，を求め、ライン幅候補
Ｗ１，Ｗ２を下式によって求める。
【００３７】
【数１】
【００３８】
【数２】
【００３９】ＯＮパターン判定データ作成部３６はステ
ップＳ２００に対応し、ＯＮパターン判定データＡ，Ｂ
を下式によって求める。
ップＳ２００に対応し、ＯＮパターン判定データＡ，Ｂ
を下式によって求める。
【００４０】
【数３】
【００４１】
【数４】
【００４２】ＯＮパターン判定部３７はステップＳ３０
０に対応し、上記のようにして求めたａ，ｂ，ｃ，ｄ，
Ａ，Ｂを用いてライン走行方向信号Ｄｘ，Ｄｙを求め
る。
０に対応し、上記のようにして求めたａ，ｂ，ｃ，ｄ，
Ａ，Ｂを用いてライン走行方向信号Ｄｘ，Ｄｙを求め
る。
【００４３】データセレクト部３８はステップＳ４００
に対応し、ライン走行方向信号Ｄｘ，Ｄｙからライン幅
ＷをＷ１，Ｗ２のいずれかの値に定める。あるいはライ
ン幅不測定信号ＮＣを出力する。
に対応し、ライン走行方向信号Ｄｘ，Ｄｙからライン幅
ＷをＷ１，Ｗ２のいずれかの値に定める。あるいはライ
ン幅不測定信号ＮＣを出力する。
【００４４】判定部３９はステップＳ５００に対応し、
ライン幅の良否を判定してＯＫ／ＥＲＲを出力する。
ライン幅の良否を判定してＯＫ／ＥＲＲを出力する。
【００４５】(D-2. 判定前処理及びＯＮパターン判定デ
ータ作成)図１４に判定前処理部３５及びＯＮパターン
判定データ作成部３６の構成を、図１５に判定前処理部
３５及びＯＮパターン判定データ作成部３６の動作のフ
ローチャートを示す。
ータ作成)図１４に判定前処理部３５及びＯＮパターン
判定データ作成部３６の構成を、図１５に判定前処理部
３５及びＯＮパターン判定データ作成部３６の動作のフ
ローチャートを示す。
【００４６】判定前処理部３５に入力されたパターンイ
メージ信号ＰＩＳは２次元展開部３５ａにより２次元的
に展開される。図１６に展開された信号ＰＩＳの様子を
示す。２次元展開部３５ａはシフトレジスタ群から成
り、適当な遅延をかけることにより、オペレータＯＰを
操作させる。展開された信号ＰＩＳの１つ１つは画素Ｐ
ＩＸが“０”か“１”かの情報を有し、オペレータＯＰ
は図示するように、ある画素を中心ＯとしてＸ，Ｙ方向
に延びる腕を有しており、それぞれの腕の中で、腕の長
さを求める。
メージ信号ＰＩＳは２次元展開部３５ａにより２次元的
に展開される。図１６に展開された信号ＰＩＳの様子を
示す。２次元展開部３５ａはシフトレジスタ群から成
り、適当な遅延をかけることにより、オペレータＯＰを
操作させる。展開された信号ＰＩＳの１つ１つは画素Ｐ
ＩＸが“０”か“１”かの情報を有し、オペレータＯＰ
は図示するように、ある画素を中心ＯとしてＸ，Ｙ方向
に延びる腕を有しており、それぞれの腕の中で、腕の長
さを求める。
【００４７】腕の長さを求めるには具体的には図１４の
プライオリティエンコーダ３５ｂが用いられる。ここで
はオペレータＯＰとしてＸ，Ｙ方向に延びた腕を有する
ものを考えており、プライオリティエンコーダも４つ必
要だが、まとめて図示してある。
プライオリティエンコーダ３５ｂが用いられる。ここで
はオペレータＯＰとしてＸ，Ｙ方向に延びた腕を有する
ものを考えており、プライオリティエンコーダも４つ必
要だが、まとめて図示してある。
【００４８】中心Ｏが“０”のときは、オペレータＯＰ
がラインイメージＬＩに作用していないとして、ライン
幅測定は行わない（ステップＳ１０１）。これは厳密に
はデータセレクト部３８にて行われるが詳細は後述す
る。
がラインイメージＬＩに作用していないとして、ライン
幅測定は行わない（ステップＳ１０１）。これは厳密に
はデータセレクト部３８にて行われるが詳細は後述す
る。
【００４９】次に、プライオリティエンコーダ３５ｂに
よって求められたオペレータＯＰの腕の長さａ，ｂ，
ｃ，ｄは加算器３５ｃに入力され、ライン幅候補Ｗ１，
Ｗ２を数１，数２によって求める（ステップＳ１０
２）。
よって求められたオペレータＯＰの腕の長さａ，ｂ，
ｃ，ｄは加算器３５ｃに入力され、ライン幅候補Ｗ１，
Ｗ２を数１，数２によって求める（ステップＳ１０
２）。
【００５０】Ｗ１，Ｗ２はそれぞれ今注目しているパタ
ーンイメージＰＩのＸ方向，Ｙ方向の幅に対応する。中
心Ｏを考慮するため、腕の長さの和に１を加えてある。
ーンイメージＰＩのＸ方向，Ｙ方向の幅に対応する。中
心Ｏを考慮するため、腕の長さの和に１を加えてある。
【００５１】次にライン幅候補Ｗ１，Ｗ２はＯＮパター
ン判定データ作成部３６へ入力される。具体的には乗算
器３５ｄによってα倍される。倍数αは例えば１に選ば
れる。これにより、ＯＮパターン判定データＡ，Ｂを数
３，数４によって求める（ステップＳ２００）。
ン判定データ作成部３６へ入力される。具体的には乗算
器３５ｄによってα倍される。倍数αは例えば１に選ば
れる。これにより、ＯＮパターン判定データＡ，Ｂを数
３，数４によって求める（ステップＳ２００）。
【００５２】(D-3. ＯＮパターン判定) 図１７にＯＮパ
ターン判定部３７の構成を、図１８にステップＳ３００
の詳細を示す。
ターン判定部３７の構成を、図１８にステップＳ３００
の詳細を示す。
【００５３】腕の長さａ，ｂとＯＮパターン判定データ
Ｂは比較器３７ｂにおいてその大小が比較され、下式が
成立するか否か判断される（ステップＳ３０１）。
Ｂは比較器３７ｂにおいてその大小が比較され、下式が
成立するか否か判断される（ステップＳ３０１）。
【００５４】
【数５】
【００５５】数５が成立すればラインＬはＸ方向に走っ
ていると判断されてＤｘ＝１を（ステップＳ３０２）、
成立しなければラインＬはＸ方向には走っていないと判
断されてＤｘ＝０を（ステップＳ３０３）それぞれ出力
する。
ていると判断されてＤｘ＝１を（ステップＳ３０２）、
成立しなければラインＬはＸ方向には走っていないと判
断されてＤｘ＝０を（ステップＳ３０３）それぞれ出力
する。
【００５６】これを図１９〜図２２を用いて説明する。
【００５７】図１９にはライン幅Ｗが太いラインＬにオ
ペレータＯＰが作用した場合である。この場合には次式
が成立している。
ペレータＯＰが作用した場合である。この場合には次式
が成立している。
【００５８】
【数６】
【００５９】よってα＝１に選べば数２，数４から次式
を得る。
を得る。
【００６０】
【数７】
【００６１】従って数５が成立し、この場合ラインはＸ
方向に走っていると判断される。ライン幅が細く、例え
ば図２０の場合には次式が成立する。
方向に走っていると判断される。ライン幅が細く、例え
ば図２０の場合には次式が成立する。
【００６２】
【数８】
【００６３】よって先と同様にして次式を得る。
【００６４】
【数９】
【００６５】従って数５が成立し、この場合もラインＬ
はＸ方向に走っていると判断される。
はＸ方向に走っていると判断される。
【００６６】次に図２１の様な細いラインＬのコーナー
付近の場合について考える。図２１においては次式が成
立している。
付近の場合について考える。図２１においては次式が成
立している。
【００６７】
【数１０】
【００６８】よって数１１が成立し、数５は満足され、
この場合もラインＬがＸ方向に走っていると判断され
る。
この場合もラインＬがＸ方向に走っていると判断され
る。
【００６９】
【数１１】
【００７０】一方、図１７及び図１８に戻って腕の長さ
ｃ，ｄとＯＮパターン判定データＡは比較器３７ａにお
いてその大小が比較され、下式が成立するか否か判断さ
れる（ステップＳ３０４）。
ｃ，ｄとＯＮパターン判定データＡは比較器３７ａにお
いてその大小が比較され、下式が成立するか否か判断さ
れる（ステップＳ３０４）。
【００７１】
【数１２】
【００７２】数１２が成立すればラインＬはＹ方向に走
っていると判断されてＤｙ＝１を（ステップＳ３０
５）、成立しなければラインＬはＹ方向に走っていない
と判断されてＤｙ＝０を（ステップＳ３０６）それぞれ
出力する。
っていると判断されてＤｙ＝１を（ステップＳ３０
５）、成立しなければラインＬはＹ方向に走っていない
と判断されてＤｙ＝０を（ステップＳ３０６）それぞれ
出力する。
【００７３】従って、本発明において不感領域Ａｑは図
２２のようになり、図５と比較して抑制されているのが
わかる。
２２のようになり、図５と比較して抑制されているのが
わかる。
【００７４】また図７ですでに説明したような細い曲線
ラインにおいても中心ＯがラインＬ上にあると判断して
ライン幅を求めることができる。この場合には数１３が
成立し、数１２が成立するので、中心ＯはＹ方向に走る
ラインＬ上にあると判断される。
ラインにおいても中心ＯがラインＬ上にあると判断して
ライン幅を求めることができる。この場合には数１３が
成立し、数１２が成立するので、中心ＯはＹ方向に走る
ラインＬ上にあると判断される。
【００７５】
【数１３】
【００７６】なおこの不感領域Ａｑはαの値を小さくと
ることによって小さくすることができるが、あまり小さ
くしすぎると本来ラインＬでないパターンＰをもライン
Ｌであると誤認することとなる。
ることによって小さくすることができるが、あまり小さ
くしすぎると本来ラインＬでないパターンＰをもライン
Ｌであると誤認することとなる。
【００７７】(D-4. データセレクト) 図２３にデータセ
レクト部３８の構成を、図２４にステップＳ４００の詳
細を示す。
レクト部３８の構成を、図２４にステップＳ４００の詳
細を示す。
【００７８】データセレクト部３８は主としてマルチプ
レクサ３８ａから成り、入力Ｑ１，Ｑ２に対して信号
Ｗ，ＩＮＨを出力する。表１にこの論理表を示す。
レクサ３８ａから成り、入力Ｑ１，Ｑ２に対して信号
Ｗ，ＩＮＨを出力する。表１にこの論理表を示す。
【００７９】
【表１】
【００８０】Ｑ１，Ｑ２にはそれぞれライン走行方向信
号Ｄｙ，Ｄｘが入力されているので、数１４が成立すれ
ばライン幅ＷとしてＷ２が（ステップＳ４０１，Ｓ４０
２，Ｓ４０４）、数１５が成立すればＷ１が（ステップ
Ｓ４０１，Ｓ４０５，Ｓ４１０）それぞれ出力される。
これらのとき禁止信号ＩＮＨは“０”である（ステップ
Ｓ４１２）。
号Ｄｙ，Ｄｘが入力されているので、数１４が成立すれ
ばライン幅ＷとしてＷ２が（ステップＳ４０１，Ｓ４０
２，Ｓ４０４）、数１５が成立すればＷ１が（ステップ
Ｓ４０１，Ｓ４０５，Ｓ４１０）それぞれ出力される。
これらのとき禁止信号ＩＮＨは“０”である（ステップ
Ｓ４１２）。
【００８１】
【数１４】
【００８２】
【数１５】
【００８３】即ちライン走行方向が認められた場合、こ
れと直交する方向のパターンイメージＰＩの幅をライン
幅Ｗとするのでる。
れと直交する方向のパターンイメージＰＩの幅をライン
幅Ｗとするのでる。
【００８４】一方、数１６が成立する場合がある。
【００８５】
【数１６】
【００８６】例えば図２５のような場合、数１７が成立
するので数１６が成立する。
するので数１６が成立する。
【００８７】
【数１７】
【００８８】しかしこのような場合には、ライン状でな
く、ランド状であるので、ライン幅の測定は行わず、禁
止信号ＩＮＨを“１”にする（ステップＳ４０１，Ｓ４
０５，Ｓ４１１）。
く、ランド状であるので、ライン幅の測定は行わず、禁
止信号ＩＮＨを“１”にする（ステップＳ４０１，Ｓ４
０５，Ｓ４１１）。
【００８９】また、次の〔Ｅ．変形例〕のところで述べ
る様にαを小さくした場合、例えばα＝０．４と認定す
ると数１８が成立する。
る様にαを小さくした場合、例えばα＝０．４と認定す
ると数１８が成立する。
【００９０】
【数１８】
【００９１】即ち、Ｄｘ＝Ｄｙ＝１となり、このような
場合においてもラインＬではないと判断して禁止信号Ｉ
ＮＨを“１”にする（ステップＳ４０１，Ｓ４０２，Ｓ
４１１）。なお、禁止信号ＩＮＨが“１”のときは、マ
ルチプレクサ３８ａの他の出力Ｗは不定であってもよ
い。禁止信号ＩＮＨが“１”のとき以外に、中心Ｏが
“０”の場合にもライン幅測定は行わないので、ゲート
３８ｂでこれらの場合を考慮した不測定信号ＮＣをＭＰ
Ｕ５０へ出力する（ステップＳ４１１，及び図１５のス
テップＳ１０１）。
場合においてもラインＬではないと判断して禁止信号Ｉ
ＮＨを“１”にする（ステップＳ４０１，Ｓ４０２，Ｓ
４１１）。なお、禁止信号ＩＮＨが“１”のときは、マ
ルチプレクサ３８ａの他の出力Ｗは不定であってもよ
い。禁止信号ＩＮＨが“１”のとき以外に、中心Ｏが
“０”の場合にもライン幅測定は行わないので、ゲート
３８ｂでこれらの場合を考慮した不測定信号ＮＣをＭＰ
Ｕ５０へ出力する（ステップＳ４１１，及び図１５のス
テップＳ１０１）。
【００９２】(D-5. ライン幅判定) 図２６に判定部３９
を、図２７にステップＳ５００の詳細をそれぞれ示す。
を、図２７にステップＳ５００の詳細をそれぞれ示す。
【００９３】判定部３９へはＭＰＵ５０からのライン幅
の最小許容値Ｗmin と最大許容値Ｗmax を、またデータ
セレクト部３８からライン幅Ｗを入力する。そしてこの
ライン幅Ｗが最小許容値Ｗmin と最大許容値Ｗmax の間
にあるか否かを判断し、（ステップＳ５０１）、許容値
の範囲内に収まれば判定信号ＯＫを“１”とし（ステッ
プＳ５０２）、そうでなければ判定信号ＯＫを“０”と
してＭＰＵ５０へ出力する。信号ＥＲＲは信号ＯＫの反
転値として、エラーであることを示す。
の最小許容値Ｗmin と最大許容値Ｗmax を、またデータ
セレクト部３８からライン幅Ｗを入力する。そしてこの
ライン幅Ｗが最小許容値Ｗmin と最大許容値Ｗmax の間
にあるか否かを判断し、（ステップＳ５０１）、許容値
の範囲内に収まれば判定信号ＯＫを“１”とし（ステッ
プＳ５０２）、そうでなければ判定信号ＯＫを“０”と
してＭＰＵ５０へ出力する。信号ＥＲＲは信号ＯＫの反
転値として、エラーであることを示す。
【００９４】判定部３９は上記のようにしてライン幅Ｗ
の良否を判定するが、最小許容値Ｗmin ，最大許容値Ｗ
max は判定部３９内に記憶するようにしてもよい。
の良否を判定するが、最小許容値Ｗmin ，最大許容値Ｗ
max は判定部３９内に記憶するようにしてもよい。
【００９５】〔Ｅ．変形例〕この発明は上記実施例に限
られるものではなく、例えば次のような変形も可能であ
る。
られるものではなく、例えば次のような変形も可能であ
る。
【００９６】(1) 上記実施例においてはＯＮパターン
判定データＡ，Ｂの作成において、α＝１と固定した
が、他の値にしてもよく、所定の条件によって異なる値
をとるようにしてもよい。例えば図２８に示すような場
合に、α＝１とすると、数１９が成立し、よって数５も
数１２も成立せずラインではないと判定してしまうこと
になる。
判定データＡ，Ｂの作成において、α＝１と固定した
が、他の値にしてもよく、所定の条件によって異なる値
をとるようにしてもよい。例えば図２８に示すような場
合に、α＝１とすると、数１９が成立し、よって数５も
数１２も成立せずラインではないと判定してしまうこと
になる。
【００９７】
【数１９】
【００９８】このような事態を避けるにはオペレータの
腕の最大長Ｈ（ここでは５）を大きくしてもよいが、上
述のように逆にαの値を小さくしてもよい。即ちライン
幅候補Ｗ１，Ｗ２のうち、いずれかが腕の最大長Ｈ＋１
を超えた場合にはα＝０．４とし、それ以外ではα＝１
とする等の切替えを行えばよい。先の例でいえば数２０
が成立し、数１２が成立して（数５は成立しない）ライ
ンＬがＹ方向に走っていると判断される。
腕の最大長Ｈ（ここでは５）を大きくしてもよいが、上
述のように逆にαの値を小さくしてもよい。即ちライン
幅候補Ｗ１，Ｗ２のうち、いずれかが腕の最大長Ｈ＋１
を超えた場合にはα＝０．４とし、それ以外ではα＝１
とする等の切替えを行えばよい。先の例でいえば数２０
が成立し、数１２が成立して（数５は成立しない）ライ
ンＬがＹ方向に走っていると判断される。
【００９９】
【数２０】
【０１００】即ちステップＳ２００を図２９のようなフ
ローチャートとすればよい。
ローチャートとすればよい。
【０１０１】(2) 上記実施例においてはオペレータＯ
Ｐとして４本の腕を有するものについて述べたが、Ｘ方
向、Ｙ方向に対して４５°，１３５°方向にも延びる腕
を有する、図３０のような８本の腕を有するオペレータ
を用いてもよい。また腕の長さを求めるのにプライオリ
ティエンコーダ３５ｂを用いたが、各腕Ｌ1 〜Ｌ8 をア
ドレスとするＲＯＭテーブルを用いてもよい。
Ｐとして４本の腕を有するものについて述べたが、Ｘ方
向、Ｙ方向に対して４５°，１３５°方向にも延びる腕
を有する、図３０のような８本の腕を有するオペレータ
を用いてもよい。また腕の長さを求めるのにプライオリ
ティエンコーダ３５ｂを用いたが、各腕Ｌ1 〜Ｌ8 をア
ドレスとするＲＯＭテーブルを用いてもよい。
【０１０２】
【発明の効果】以上説明したように本発明のプリント基
板のライン幅検査方法は、配線パターンのイメージの各
部分のうち、ひとつの方向へ連続する長さを求め、上記
ひとつの方向に直交する方向について、上記長さに比例
した長さ以上に連続した部分をライン部分として認識す
るので、不感領域を抑えたライン幅の検査を行うことが
できる。
板のライン幅検査方法は、配線パターンのイメージの各
部分のうち、ひとつの方向へ連続する長さを求め、上記
ひとつの方向に直交する方向について、上記長さに比例
した長さ以上に連続した部分をライン部分として認識す
るので、不感領域を抑えたライン幅の検査を行うことが
できる。
【図１】ＤＲＣ回路３４の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】従来のライン幅検査方法の説明図である。
【図３】従来のライン幅検査方法の説明図である。
【図４】従来のライン幅検査方法の説明図である。
【図５】従来のライン幅検査方法の説明図である。
【図６】従来のライン幅検査方法の説明図である。
【図７】従来のライン幅検査方法の説明図である。
【図８】この発明の一実施例を適用するパターン検査方
法の全体構成を示すブロック図である。
法の全体構成を示すブロック図である。
【図９】光電走査による読取りを示す概念図である。
【図１０】光電走査による読取りを示す概念図である。
【図１１】図９によって読取られた信号波形及びそれを
合成して得られるパターンを示す図である。
合成して得られるパターンを示す図である。
【図１２】パターン検査回路３０の構成を示すブロック
図である。
図である。
【図１３】ＤＲＣ回路３４の動作の流れを示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図１４】判定前処理部３５及びＯＮパターン判定デー
タ作成部３６の構成を示すブロック図である。
タ作成部３６の構成を示すブロック図である。
【図１５】判定前処理部３５及びＯＮパターン判定デー
タ作成部３６の動作を示すフローチャートである。
タ作成部３６の動作を示すフローチャートである。
【図１６】展開された信号ＰＩＳの概念図である。
【図１７】ＯＮパターン判定部３７の構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図１８】ステップＳ３００の詳細を示すフローチャー
トである。
トである。
【図１９】本発明の一実施例によるライン幅の測定の説
明図である。
明図である。
【図２０】本発明の一実施例によるライン幅の測定の説
明図である。
明図である。
【図２１】本発明の一実施例によるライン幅の測定の説
明図である。
明図である。
【図２２】本発明の一実施例によるライン幅の測定の説
明図である。
明図である。
【図２３】データセレクト部３８の構成を示すブロック
図である。
図である。
【図２４】ステップＳ４００の詳細を示すフローチャー
トである。
トである。
【図２５】本発明の一実施例によるライン幅の測定の説
明図である。
明図である。
【図２６】判定部３９のブロック図である。
【図２７】ステップＳ５００の詳細を示すフローチャー
トである。
トである。
【図２８】本発明の変形例を示す説明図である。
【図２９】本発明の変形例を示す説明図である。
【図３０】本発明の変形例を示す説明図である。
１１ プリント基板 Ｐ 配線パターン ＰＩＸ 画素 Ｌ ライン ＰＩ 配線パターンのイメージ Ｗ１ ライン幅候補 Ｗ２ ライン幅候補 α 倍数 Ｗ ライン幅 Ｗmin 最小許容値 Ｗmax 最大許容値
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年５月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】図２〜図７に画素オペレータの例として十
字オペレータＯＰを用いた場合を示す。
字オペレータＯＰを用いた場合を示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】
【作用】この発明においては、配線パターンのイメージ
の各部分のうち、ひとつの方向へ連続する長さを求め、
上記ひとつの方向に直交する方向へは上記長さに比例し
た長さ以上に連続した部分をライン部分として認識する
ことによって、ライン部分とそれ以外の部分とを区別す
る。ここでは、ライン幅として認識する基準となる長さ
が変化するため、ライン部分の不感領域を抑え、ライン
のコーナー付近についてもライン幅検査が可能である。
の各部分のうち、ひとつの方向へ連続する長さを求め、
上記ひとつの方向に直交する方向へは上記長さに比例し
た長さ以上に連続した部分をライン部分として認識する
ことによって、ライン部分とそれ以外の部分とを区別す
る。ここでは、ライン幅として認識する基準となる長さ
が変化するため、ライン部分の不感領域を抑え、ライン
のコーナー付近についてもライン幅検査が可能である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３３】スルーホール検査回路４０はプリント基板
１１上のランドＲとホールＨとの相対的位置関係を検出
し、これが設計上の値から逸脱しているかどうかを判定
することによってプリント基板１１の良否検査を行う回
路である。この検査方法については、たとえば本出願人
による特願平１−８２１１７号に開示されている。
１１上のランドＲとホールＨとの相対的位置関係を検出
し、これが設計上の値から逸脱しているかどうかを判定
することによってプリント基板１１の良否検査を行う回
路である。この検査方法については、たとえば本出願人
による特願平１−８２１１７号に開示されている。
フロントページの続き (72)発明者 熱田 均 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 配線パターンが形成されたプリント基板
を光電走査して画素ごとに読取った画像データに基づい
て、上記配線パターンに含まれるラインの幅の検査を行
う、プリント基板のライン幅検査方法であって、(a) 上
記画像データに基づいて、上記配線パターンのイメージ
を求める工程と、(b) 上記配線パターンのイメージの各
部分のうち、ひとつの方向へ連続する長さを求め、上記
ひとつの方向に直交する方向へは上記長さに比例した長
さ以上に連続した部分をライン部分として認識する工程
と、(c) 上記ひとつの方向について上記ライン部分のラ
イン幅を求める工程と、(d) 上記ライン幅が所定の範囲
内にあるか否かを判定することによって上記ライン幅に
ついての検査結果を得る工程と、を備えるプリント基板
のライン幅検査方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3039297A JPH0526641A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | プリント基板のライン幅検査方法 |
| US07/795,925 US5367467A (en) | 1990-11-27 | 1991-11-20 | Method of and apparatus for inspecting width of wiring line on printed board |
| DE69110627T DE69110627D1 (de) | 1990-11-27 | 1991-11-26 | Verfahren und Vorrichtung zum Inspektieren der Breite der Linien einer gedruckten Schaltung. |
| EP91120209A EP0488188B1 (en) | 1990-11-27 | 1991-11-26 | Method of and apparatus for inspecting the width of a wiring line on a printed board |
| KR1019910021445A KR960000344B1 (ko) | 1990-11-27 | 1991-11-27 | 프린트 기판의 배선폭 검사방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3039297A JPH0526641A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | プリント基板のライン幅検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526641A true JPH0526641A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=12549204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3039297A Pending JPH0526641A (ja) | 1990-11-27 | 1991-02-08 | プリント基板のライン幅検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526641A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101139080B1 (ko) * | 2009-07-22 | 2012-04-30 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 프린트 기판 시험 지원 장치, 프린트 기판 시험 지원 방법 및 프린트 기판 시험 지원 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 |
-
1991
- 1991-02-08 JP JP3039297A patent/JPH0526641A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101139080B1 (ko) * | 2009-07-22 | 2012-04-30 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 프린트 기판 시험 지원 장치, 프린트 기판 시험 지원 방법 및 프린트 기판 시험 지원 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 |
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