JPH05240803A - Device for detecting surface information of object to be inspected - Google Patents

Device for detecting surface information of object to be inspected

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JPH05240803A
JPH05240803A JP3964292A JP3964292A JPH05240803A JP H05240803 A JPH05240803 A JP H05240803A JP 3964292 A JP3964292 A JP 3964292A JP 3964292 A JP3964292 A JP 3964292A JP H05240803 A JPH05240803 A JP H05240803A
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Koji Oka
護俊 安藤
浩司 岡
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Abstract

PURPOSE: To correctly detect surface information in the title device by utilizing fluorescence generating from a part irradiated with a laser beam.
CONSTITUTION: A return reflection-imaging means 31 for forming an image again by retroreflecting a laser beam 11c on the surface of a ceramic substrate 2 in which a via hole of an object to be inspected is formed is provided, and a pinhole member 37 is provided at an image reproduction position 36. The pinhole member 37 is so constituted as to pass through the light from an irradiation spot 17 of the beam 11c, shield the light from the part around the spot 17 in order to prevent its effect.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は検査対象物の表面情報をここから発生する螢光を利用して検知する装置に関する。 The present invention relates to a device for detecting by using a fluorescent light generated from this surface information of the inspection object.

【0002】例えば、バイヤホールを形成した段階のセラミック基板のバイヤホールの形成状態の検査は、セラミック基板の表面から発する螢光を利用してバイヤホールの形成状態などのセラミック基板の表面の状態を検知し、この検知した情報に基づいて行っている。 [0002] For example, examination of the state of formation of the via hole of the ceramic substrate stage forming a via hole, the state of the ceramic substrate surface, such as the state of formation of the via hole by utilizing the fluorescence emitted from the surface of the ceramic substrate detected, it is carried out on the basis of the detected information.

【0003】検査を正確に行うためには、セラミック基板の表面の状態を正確に検知することが重要である。 [0003] In order to accurately test, it is important to accurately detect the state of the surface of the ceramic substrate. 検知を正しく行うためには、検知装置は、その時の検査の対象場所である局部から発生した螢光に限定して検知しうる構成であることが望ましい。 In order to perform detection correctly, detection device is preferably a structure that can detect is limited to fluorescence generated from the local is the subject location of the test at that time.

【0004】 [0004]

【従来の技術】図11は従来の1例のセラミック基板のバイヤホール検知装置1を示す。 BACKGROUND ART Figure 11 shows a via hole detecting device 1 of the ceramic substrate of the conventional example.

【0005】2は被検査対象物である製造途中の段階のセラミック基板であり、矢印A方向に移動するステージ3上に載置固定されている。 [0005] 2 is a ceramic substrate in the process of production is inspected object stage, and is placed and fixed on the stage 3 moves in the arrow A direction.

【0006】セラミック基板2は、図12に示すように、上面に金属配線4(図14(A)参照)が形成されたセラミック基板本体5の上面にポリイミド膜6が形成され、このポリイミド膜6にバイヤホール7が多数形成された状態にある。 [0006] Ceramic substrate 2, as shown in FIG. 12, the metal wire 4 (see FIG. 14 (A)) on the upper surface of polyimide film 6 is formed on the upper surface of the ceramic substrate body 5 is formed, the polyimide film 6 a state where via holes 7 are formed large number.

【0007】図11中、レーザ光源10より発したレーザ光11は、ビームエクスパンダ12、反射ミラー13 [0007] In FIG. 11, the laser beam 11 emitted from the laser light source 10, beam expander 12, reflecting mirror 13
を介して、回転多面鏡14に到り、水平面内で偏向され、スキャンレンズ15、反射ミラー16を経て集光され、セラミック基板2上にスポット17を形成する。 Through, lead to a rotary polygon mirror 14 is deflected in the horizontal plane, the scan lens 15, is condensed through the reflecting mirror 16, and forms a spot 17 on the ceramic substrate 2. このスポット17(レーザ光11a)が矢印18方向に走査される。 The spot 17 (the laser beam 11a) is scanned in the arrow 18 direction.

【0008】スポット17の大きさは、図14(A)に示すようにバイヤホール7よりも相当に小さい。 [0008] The size of the spot 17 is considerably smaller than the via hole 7 as shown in FIG. 14 (A).

【0009】レーザ光11がポリイミド膜6を照射すると、螢光19を発生する。 [0009] When the laser beam 11 irradiates the polyimide film 6, it generates fluorescence 19.

【0010】20は光センサであり、図14(A)に併せて示すように、セラミック基板2に対向して斜めの向きでセラミック基板2に対向して配してある。 [0010] 20 is a light sensor, as also shown in FIG. 14 (A), are arranged to face the ceramic substrate 2 in the oblique direction so as to face the ceramic substrate 2.

【0011】この光センサ20の前面側に、フィルタ2 [0011] on the front side of the optical sensor 20, the filter 2
1が設けてある。 1 is provided.

【0012】フィルタ21は、図13に線22で示す特性を有している。 [0012] Filter 21 has a characteristic indicated by the line 22 in FIG. 13.

【0013】同図中、線23は上記のレーザ光11のスペクトルを示し、線23は上記の螢光19のスペクトルを示す。 [0013] In the figure, a line 23 represents the spectrum of the laser beam 11, the line 23 shows the spectrum of the above fluorescence 19.

【0014】上記のフィルタ20は、レーザ光11は通さず、螢光19は通す。 [0014] The filter 20, the laser beam 11 is not through, fluorescence 19 passes.

【0015】光センサ20は、セラミック基板2から発する螢光19を検知し、セラミック基板2の表面の状態(バイヤホール)に関する情報である螢光検知信号を出力する。 The optical sensor 20 detects the fluorescent light 19 emanating from the ceramic substrate 2, and outputs the fluorescence detection signal, which is information about the state of the surface of the ceramic substrate 2 (via holes). これが検査装置本体(図示せず)に送られ、ここで、バイヤホールの良否が判断される。 This is sent to the main testing device (not shown), where the quality of via hole is determined.

【0016】 [0016]

【発明が解決しようとする課題】図14(A)に示すように、レーザ光11(スポット17)が矢印18方向に走査し、バイヤホール7の底面7aの金属配線4を照射した時点を考えてみる。 [SUMMARY OF THE INVENTION As shown in FIG. 14 (A), the laser beam 11 (spot 17) is scanned in the arrow 18 direction, consider the time of irradiating the metal wire 4 on the bottom surface 7a of the via hole 7 Try. レーザ光11は符号11bで示すように乱反射し、これがバイヤホール7の周壁面7b The laser beam 11 is irregularly reflected as shown by reference numeral 11b, which peripheral wall 7b of the via hole 7
に当たり、螢光19aが発生することがある。 Strikes, fluorescence 19a may occur.

【0017】周壁面7bから発生する螢光19aはノイズであり、不用なものであるけれども、発生することは避けられない。 [0017] The fluorescent light 19a generated from the peripheral wall 7b is the noise, but are those of waste, it is inevitable to occur.

【0018】この螢光19aの一部がフィルタ21を通って光センサ20に入射してしまう。 [0018] become incident on the light sensor 20 portion of the fluorescence 19a passes through the filter 21.

【0019】このため、螢光検知信号は、本来は、図1 [0019] Therefore, fluorescence detection signal is originally Figure 1
4(B)中、符号25で示すようにバイヤホール7の場所では、GNDレベルとなるべきところが、符号26で示すようになり、GNDレベルよりaだけ上がったものとなってしまう。 In 4 (B), at the location of the via hole 7 as shown by reference numeral 25, when it should GND level, is as shown by reference numeral 26, becomes that rises from the GND level by a.

【0020】この螢光検知信号26は、図15に示すように、バイヤホール7内にポリイミドの残渣27がある場合に出力されるべき信号である。 [0020] The fluorescence detection signal 26, as shown in FIG. 15, a signal to be output when the buyer hole 7 polyimides residue 27.

【0021】このように、正しくない螢光検知信号が出力される場合があった。 [0021] Thus, there are cases where incorrect fluorescence detection signal is output.

【0022】そこで、本発明は、スポットの場所から発生する螢光だけが光センサに入射するようにし、スポットの周りの部分から発生する螢光は光センサに入射しないようにして、スポットの周辺の部分から発生する螢光による悪影響を無くしうるようにした被検査対象物の表面情報検知装置を提供することを目的とする。 [0022] Therefore, the present invention, only fluorescence generated from the spot locations to be incident on the light sensor, fluorescence generated from the area around the spot so as not to enter the optical sensor, nearby places and to provide a surface information detection apparatus of the inspected object which is to be eliminated adverse effects of fluorescence generated from the portion of the.

【0023】 [0023]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、レーザ光を検査対象物に集光させてスポットとして照射させ、該スポットを走査させて、このとき該検査対象物から発生する螢光を、検知手段が上記検査対象物の表面情報として検知する構成の検査対象物の表面情報検知装置であって、上記レーザ光を上記検査対象物の表面で再帰反射させて再結像させる再帰反射結像手段を設けると共に、上記の再結像される位置に、ピンホール部材を設け、該ピンホール部材の後側に上記検知手段を設けた構成としたものである。 Means for Solving the Problems of claims 1 invention, by focusing the laser beam to the inspection object is irradiated as a spot, by scanning the spot, this time fluorescence generated from the inspection target was converted, detecting means a surface information detection apparatus of the inspection target configuration for detecting a surface information of the inspection object, retroreflective be re-imaged by the laser light is retro-reflected by the surface of the test object provided with an imaging means, the position to be re-imaged above, the pinhole member is provided, in which the structure provided with the detecting means on the rear side of the pinhole member.

【0024】請求項2の発明は、請求項1の装置において、上記レーザ光のスポットの周囲の部分からの拡散光を検知する拡散光検知信号取得手段を更に有する構成としたものである。 The invention of claim 2 is the apparatus of claim 1, in which the arrangement further comprising a diffuse light detection signal obtaining means for detecting a diffused light from the area surrounding the spot of the laser beam.

【0025】請求項3の発明は、請求項1の装置において、上記レーザ光のスポットからの反射光を検知する反射光検知信号取得手段を更に有する構成としたものである。 The invention of claim 3 is the device of claim 1, in which the arrangement further comprising a reflected light detection signal obtaining means for detecting the reflected light from the spot of the laser beam.

【0026】 [0026]

【作用】請求項1の再帰反射結像手段は、再結像位置を動かない定点として、ピンホール部材の配設を可能とするように作用する。 SUMMARY OF retroreflective imaging means according to claim 1, as a fixed point does not move the reimaging position, it acts to enable the arrangement of the pinhole member.

【0027】ピンホール部材は、検査対象物上のスポットの部分から発した光のみを通し、このスポットの周辺の部分から発する光を遮蔽するように作用する。 The pinhole member through only light emitted from the spot portion on the inspection object, which acts to shield the light emitted from the portion of the periphery of the spot.

【0028】請求項2の拡散光検知手段は、スポットの周辺の部分から拡散光を検知するように作用する。 The diffused light detecting means of claim 2 acts to detect diffused light from a portion of the periphery of the spot.

【0029】請求項3の反射光検知手段は、スポットの個所からの反射光全体を検知するように作用する。 The reflected light detecting unit of claim 3 acts to detect the entire reflected light from the spot locations.

【0030】 [0030]

【実施例】図1は、本発明の第1実施例になる検査対象物の表面情報検査装置30を示す。 DETAILED DESCRIPTION FIG. 1 shows the surface information inspection system 30 of the inspection object comprising a first embodiment of the present invention.

【0031】図2(A)は、図1中の要部を示す。 FIG. 2 (A) shows the main part in FIG.

【0032】各図中、図11に示す構成部分と実質上同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。 [0032] In each figure, the same reference numerals are given to components substantially the same parts shown in FIG. 11, a description thereof will be omitted.

【0033】回転多面鏡14が回転することにより、レーザ光11c(スポット17)がセラミック基板2上を矢印18方向に走査する。 [0033] By rotating polygon mirror 14 is rotated, the laser beam 11c (spot 17) scans the ceramic substrate 2 in the arrow 18 direction. レーザ光11cはセラミック基板2に対して垂直である。 Laser beam 11c is perpendicular to the ceramic substrate 2.

【0034】31は再帰反射・結像手段であり、レーザ光11cを再帰反射させてミラー13に向う戻りの光3 [0034] 31 is a retro-reflection and imaging means, the return of light 3 that the laser beam 11c by retroreflected towards the mirror 13
2とするスキャンレンズ15及び回転多面鏡14と、回転多面鏡14と反射鏡13との間に配してあり、戻りの光32を分岐させるビームスプリッタ33と、ビームスプリッタ33によって分岐された光34を再結像させる再結像用レンズ35とよりなる。 A scan lens 15 and the rotary polygon mirror 14, 2, a rotating polygon mirror 14 Yes by disposing between the reflecting mirror 13, a beam splitter 33 that splits a return light 32, light branched by the beam splitter 33 34 becomes more and re-imaging lens 35 to re-image the.

【0035】光34は、位置36に集光され、ここにスポット17の像が再結像され、その後拡がって光センサ(光電子増倍管)20に入射する。 [0035] Light 34 is collected at a position 36, where the image of the spot 17 is re-imaged, then spread it enters the optical sensor (photomultiplier tube) 20.

【0036】レーザ光11c(スポット17)が上記のように走査しても、再結像位置36は動かない。 The laser beam 11c (spot 17) be scanned as described above, re-imaging position 36 does not move.

【0037】再結像位置36は定点である。 The re-imaging position 36 is a fixed point.

【0038】このことを利用して、ピンホール部材37 [0038] By utilizing this, pinhole member 37
が再結像位置36に設けてある。 There is provided a re-imaging position 36.

【0039】図3に示すように、ピンホール38の径d As shown in FIG. 3, the diameter of the pinhole 38 d
1は、スポット17(バイヤホール7より十分に小さい)の像39の径d 2より多少大きい程度であり、バイヤホール7の像40(乱反射したレーザ光11bが周壁面7で反射した光等によって形成される)より十分に小さい。 1 is a degree slightly larger than the diameter d 2 of the image 39 of spot 17 (sufficiently smaller than the via holes 7), by light such as an image 40 (the laser beam 11b which is diffuse reflection of via hole 7 is reflected by the peripheral wall face 7 formed to) from sufficiently small. ピンホール部材37は上記の像40より十分に大きい。 Pinhole member 37 is sufficiently larger than the image 40 of the.

【0040】従って、このピンホール部材37は、スポット17から反射した光だけを通過させ、スポット17 [0040] Thus, the pinhole member 37 passes the only light reflected from the spot 17, spot 17
の周辺部分から発した光は遮蔽する機能を有する。 The light emitted from the peripheral portion of having a function of shielding.

【0041】また、フィルタ21は、ビームスプリッタ33とレンズ35との間に設けてある。 Further, the filter 21, is provided between the beam splitter 33 and the lens 35.

【0042】次に、上記装置30の動作について説明する。 Next, the operation of the apparatus 30.

【0043】図2(A)の左側部分に示すように、レーザ光11cがバイヤホール以外の部位を照射しているときには、反射レーザ光41とポリイミド膜6より発生した螢光42が再帰反射結像手段31に入り込み、螢光4 As shown in the left part of FIG. 2 (A), when the laser beam 11c is irradiated with a site other than the via hole is fluorescence 42 generated from the reflected laser beam 41 and the polyimide film 6 retroreflective imaging It enters the image unit 31, the fluorescence 4
2だけがフィルタ21を通過し、レンズ35、ピンホール部材37を通って光センサ20に入射する。 Only 2 passes through the filter 21, lens 35, passes through the pinhole member 37 enters the optical sensor 20.

【0044】光センサ20は、図2(B)中、符号43 The optical sensor 20, in FIG. 2 (B), the reference numeral 43
で示す高いレベルの螢光検知信号を出力する。 It outputs a high level fluorescence detection signal shown by.

【0045】次に、図2(A)の中央部分に示すように、レーザ光11cがバイヤホール7を照射した時点について説明する。 Next, as shown in the middle portion of FIG. 2 (A), it will be described when the laser beam 11c is irradiated with via holes 7.

【0046】図14(A)に示すと同様に、レーザ光が乱反射し、乱反射したレーザ光11bによってバイヤホール7の周壁面7bの部分から螢光19aが発生する。 [0046] Similar to that shown in FIG. 14 (A), the laser light is irregularly reflected, fluorescence 19a is generated from the portion of the peripheral wall surface 7b of the via hole 7 by a laser beam 11b which is diffusely reflected.

【0047】反射したレーザ光41に加えて上記の螢光19aが再帰反射結像手段31内に入り込む。 [0047] The fluorescence 19a in addition to the laser beam 41 reflected from entering the retroreflective imaging means 31.

【0048】フィルタ21によってレーザ光41は吸収され、フィルタ21より先には螢光19aだけが進む。 The laser beam 41 by the filter 21 are absorbed, only fluorescence 19a progresses before the filter 21.

【0049】しかし、この螢光19aは、スポット17 [0049] However, the fluorescence 19a, the spot 17
より発したものではなく、スポット17の周辺部分から発したものであるため、ピンホール38内ではなく、ピンホール38の周囲の部分に結像され、ピンホール部材37により遮光される。 Not an More emitted, since they are emitted from the peripheral portion of the spot 17, rather than in the pinhole 38 is focused around the portion of the pin hole 38 is blocked by the pinhole member 37.

【0050】従って、上記の螢光19aは光センサ20 [0050] Therefore, the above fluorescence 19a is an optical sensor 20
には到らず、螢光検知信号は図2(B)中、符号44で示すようになり、GNDレベルとなる。 It not became too in, fluorescence detection signal in FIG. 2 (B), the result as shown by reference numeral 44, the GND level. この信号は、図2(A)のバイヤホール7の状態を正しく検知した信号となっている。 This signal has a correct detection signal of the state of the via hole 7 of FIG. 2 (A).

【0051】次に、図4(A)及び図15に示すように、ポリイミド残渣45を有するバイヤホール7を照射した場合について説明する。 Next, as shown in FIG. 4 (A) and FIG. 15, a case of irradiating the via holes 7 having a polyimide residue 45.

【0052】スポット17はポリイミド残渣45上に形成され、レーザ光41及び前記の螢光19aに加えて、 [0052] Spot 17 is formed on the polyimide residue 45, in addition to the fluorescence 19a of the laser beam 41 and the,
スポット17より発した螢光46が、上記再帰反射結像手段31内に入り込む。 Fluorescence 46 emitted from the spot 17 enters to the retroreflective imaging means 31. この螢光46は、反射レーザ光41の方向と一致する。 The fluorescence 46 is consistent with the direction of the reflected laser beam 41.

【0053】フィルタ21以後は、螢光19aと46とが進む。 [0053] The filter 21 thereafter, proceeds and fluorescence 19a and 46.

【0054】螢光46は、反射レーザ光41と方向が一致しているため、ピンホール部材37のピンホール38 [0054] Fluorescence 46, the reflected laser beam 41 and the direction are the same, the pin of the pinhole member 37 hole 38
内に結像され、螢光46はピンホール部材37を通過して光センサ20に入射する。 Is imaged within, fluorescence 46 passes through the pinhole member 37 enters the optical sensor 20.

【0055】これにより、螢光検出信号は、図4(B) [0055] Thus, fluorescence detection signal, and FIG. 4 (B)
中、符号47で示す如くになり、あるレベルVaを有する。 Among, becomes as indicated by reference numeral 47, has a certain level Va. この信号は、図4(A)のバイヤホール7の状態を正しく検知している。 This signal is correctly detecting the state of the via hole 7 of FIG. 4 (A).

【0056】この結果、バイヤホールの状態を正しく検知した信号が取り出され、セラミック基板2は正しく検査される。 [0056] As a result, the signal correctly detecting the state of the via hole is removed, the ceramic substrate 2 is correctly inspected.

【0057】なお、図1中、フィルタ21の配設個所は同図に示す位置に限るものではなく、レンズ35とピンホール部材37との間でもよく、また、ピンホール部材37と光センサ20との間でもよい。 [0057] In FIG. 1, distribution 設個 plant filter 21 is not limited to the position shown in the figure, may be between the lens 35 and the pinhole member 37, also the pinhole member 37 and the light sensor 20 it may be in between.

【0058】また、ビームスプリッタ33として、図3 [0058] Further, as the beam splitter 33, FIG. 3
中、波長λ 1以上の光を反射させるような波長選択性を有するものを使用すれば、上記のフィルタ21は不用である。 Among, the use of those having wavelength selectivity such as to reflect the wavelength lambda 1 or the light, the above filter 21 is unnecessary.

【0059】次に、本発明の別の実施例について図5を参照して説明する。 Next, it will be described with reference to FIG. 5 for another embodiment of the present invention.

【0060】以下の実施例は、上記の螢光検知信号に加えて別の光の信号も併せて検知しうるようにしたものである。 [0060] The following examples, in which as can be detected in addition also another optical signal in addition to the above fluorescence detection signal.

【0061】図5は、本発明の第2実施例による検査対象物の表面情報検知装置50を示す。 [0061] Figure 5 shows the surface information detection apparatus 50 of the inspection object according to a second embodiment of the present invention.

【0062】同図中、図1に示す構成部分と実質上同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。 [0062] In the figure, the same reference numerals are given to the constituent portions substantially the same parts as shown in FIG. 1, a description thereof will be omitted.

【0063】フィルタ21が光センサ20の直前の位置に設けてある。 [0063] Filter 21 is provided at a position immediately before the light sensor 20.

【0064】ビームスプリッタ33とフィルタ21との間に、二つのビームスプリッタ51と52とが設けてあり、分岐光34を更に分岐する。 [0064] Between the beam splitter 33 and filter 21, it is provided with and the two beam splitters 51 and 52, further branches the branched light 34.

【0065】ビームスプリッタ51は、ビームスプリッタ33とレンズ35との間に設けてあり、ビームスプリッタ52は、ピンホール部材37とフィルタ21との間に設けてある。 [0065] Beam splitter 51 is provided with between the beam splitter 33 and the lens 35, the beam splitter 52, is provided between the pinhole member 37 and the filter 21.

【0066】ビームスプリッタ51により分岐された光53は、レンズ54、図6に示す遮光型空間フィルタ5 [0066] Light 53, which is split by the beam splitter 51, lens 54, the light blocking spatial filter 5 shown in FIG. 6
5を経て光センサ56に入射する。 5 through the incident on the light sensor 56.

【0067】遮光型空間フィルタ55は、図6に示すように、中央に遮光部55a、この周囲に透過部55bを有し、その他を遮光部55cとした構成である。 [0067] shielding spatial filter 55, as shown in FIG. 6, the central light shielding portion 55a, has a transmission portion 55b in the periphery, a structure in which the other light shielding portion 55c.

【0068】このフィルタ55は、再結像位置36aに設けてある。 [0068] The filter 55 is provided to the re-imaging position 36a.

【0069】スポット17の周りの部分から発生した光が、透過部55bを通過する。 [0069] Light generated from the area around the spot 17 passes through the transmissive portion 55b.

【0070】光センサ56は図7(A)に示す拡散光検知信号57を出力する。 [0070] Light sensor 56 outputs the diffused light detection signal 57 shown in FIG. 7 (A).

【0071】ビームスプリッタ51、レンズ54、遮光型空間フィルタ55及び光センサ56が、スポット17 [0071] Beam splitter 51, lens 54, the light blocking type spatial filter 55 and optical sensor 56, the spot 17
の周りの部分から発した拡散光を検知する拡散光検知信号取得手段58を構成する。 Constituting the diffuse light detection signal acquiring unit 58 for detecting the diffused light emitted from a portion around.

【0072】この拡散光検知信号取得手段58を設けたことにより、レーザ光11cの照射点であるスポット1 [0072] Spot 1 by the provision of the diffused light detection signal acquiring unit 58, which is an irradiation point of the laser beam 11c
7の周囲の部分の状態が検知される。 State 7 around the portion of is detected.

【0073】また、ビームスプリッタ52により分岐された光60は、光センサ61に入射する。 [0073] Also, the light 60 which is branched by the beam splitter 52 is incident on the light sensor 61.

【0074】この光センサ61は、図7(B)に示す反射光検知信号62を出力する。 [0074] The optical sensor 61 outputs a reflected light detection signal 62 shown in Figure 7 (B).

【0075】ビームスプリッタ52及び光センサ61 [0075] Beam splitter 52 and the light sensor 61
が、反射光検知信号取得手段63を構成する。 But constitute a reflected light detection signal acquiring unit 63.

【0076】この反射光検知信号取得手段63を設けたことにより、レーザ光11cの照射点であるスポット1 [0076] Spot 1 by providing the reflected light detection signal acquiring unit 63, which is an irradiation point of the laser beam 11c
7の部分の状態が検知される。 7 part of the state of is detected.

【0077】従って、上記の装置50によれば、図7 [0077] Thus, according to the above-mentioned apparatus 50, FIG. 7
(C)及び図2(B)に示す螢光検知信号に加えて、上記の二つ信号57,62が得られ、より多くの表面情報が検知され、これらを利用してセラミック基板はより正しく検査される。 In addition to fluorescence detection signal shown in (C) and FIG. 2 (B), the above-mentioned two signals 57 and 62 is obtained, more surface information is detected, the ceramic substrate is more correct to use these It is examined. 図8は本発明の第3実施例になる検査対象物の表面情報検知装置70を示す。 Figure 8 shows the surface information detection apparatus 70 of the inspection object according to a third embodiment of the present invention. 同図中、図5に示す構成部分と対応する部分には同一符号を付す。 In the figure, the same numerals are assigned to portions corresponding to components shown in FIG.

【0078】71は反射型のピンホール部材であり、短軸がm、長軸がnの楕円形のピンホール72を有する。 [0078] 71 is a pinhole member reflective, minor axis m, the major axis having a pinhole 72 oval n.

【0079】このピンホール部材71は、再結像位置3 [0079] The pinhole member 71, re-imaging position 3
6に図10に示すように、角度θ傾斜させて設けてある。 6 as shown in FIG. 10, is provided by an angle θ inclined.

【0080】角度θは、 [0080] angle θ is,

【0081】 [0081]

【数1】 [Number 1]

【0082】を満足する角度である。 [0082] is the angle that satisfies.

【0083】ピンホール部材71の反射光73が光センサ56に入射する。 [0083] reflected beam 73 of the pinhole member 71 is incident on the light sensor 56.

【0084】反射型ピンホール部材71及び光センサ5 [0084] reflection type pinhole member 71 and the light sensor 5
6が拡散光検知信号取得手段58Aを構成する。 6 constitutes the diffused light detection signal acquiring unit 58A.

【0085】この装置70は、図5の装置に比べて部品点数を削減して構成され、図5の装置と同じ検知信号4 [0085] The apparatus 70 is constructed to reduce the number of parts as compared with the apparatus of FIG. 5, the same detection signal 4 and the device of FIG. 5
3,44,57,62を得ることができる。 3,44,57,62 can be obtained.

【0086】また、上記各実施例において、回転多面鏡14に代えて、ガルバノミラーのような光走査機構を用いることもできる。 [0086] In each of the above embodiments, instead of the rotary polygon mirror 14, it is also possible to use an optical scanning mechanism, such as a galvanometer mirror.

【0087】また、検査対象物は、セラミック基板に限るものではなく、表面が、螢光を発する材料の所定のパターンで形成されたものであればよい。 [0087] Furthermore, the inspection object is not limited to the ceramic substrate, the surface may be one formed in a predetermined pattern of material that emits fluorescence.

【0088】 [0088]

【発明の効果】以上説明した様に、請求項1の発明によれば、検査対象物上のスポットの周辺の部分から発する螢光による影響を受けないようにすることが出来、上記スポットの場所の情報を正しく取り出すことが出来、検査対象物の表面の情報を正確に検知することが出来る。 As has been described above, according to the first aspect of the present invention, it is possible not affected by fluorescence emanating from a portion of the periphery of the spot on the test object, the spot locations of information can be a take out correctly, it is possible to accurately detect the information of the surface of the test object.

【0089】請求項2の発明によれば、スポットの場所に限らず、スポットの周辺の部分の情報を併せて検知することが出来、検査対象物の表面の情報を請求項1の発明に比べてより正確に検知することが出来る。 [0089] According to the invention of claim 2, not only the location of the spot, can be detected together information portion of the periphery of the spot, compared with information of the surface of the inspection object to the first aspect of the present invention more accurate detection to it can be Te.

【0090】請求項3の発明によれば、スポットの個所からの螢光を含めた全部の反射光を併せて検知することが出来、検査対象物の表面の情報を、請求項1の発明に比べてより正確に検知することが出来る。 [0090] According to the invention of claim 3, can be detected together the reflected light all including fluorescence from the spot locations, the information of the surface of the inspection object, the invention of claim 1 compared to it is possible to detect more accurately.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の第1実施例にてる検査対象物の表面情報検査装置を示す図である。 1 is a diagram showing a surface information inspection system of the inspection object light of the first embodiment of the present invention.

【図2】ポリイミド残渣無しのバイヤホールからの螢光の発生及び螢光検知信号を示す図である。 2 is a diagram illustrating the generation and fluorescence detection signal in fluorescence from via hole without polyimide residue.

【図3】図1中のピンホール部材を示す図である。 3 is a diagram illustrating a pinhole member in FIG.

【図4】ポリイミド残渣有りのバイヤホールからの螢光の発生及び螢光検知信号を示す図である。 4 is a diagram illustrating the generation and fluorescence detection signal in fluorescence from via hole polyimide remaining 渣有Ri.

【図5】本発明の第2実施例の装置を示す図である。 5 is a diagram showing an apparatus of a second embodiment of the present invention.

【図6】図5中の遮光型空間フィルタを示す図である。 6 is a diagram showing a light shielding type spatial filter in FIG.

【図7】図5の装置が出力する信号を示す図である。 7 is a diagram showing a signal device outputs in FIG.

【図8】本発明の第3実施例の装置を示す図である。 8 is a diagram showing an apparatus of a third embodiment of the present invention.

【図9】図8中の反射型ピンホール部材を示す図である。 9 is a diagram showing the reflection-type pinhole member in FIG.

【図10】反射型ピンホール部材の配設を示す図である。 10 is a diagram showing an arrangement of a reflection type pinhole member.

【図11】従来の1例のセラミック基板のバイヤホール検知装置を示す図である。 11 is a diagram illustrating a via hole detecting device of the ceramic substrate of the conventional example.

【図12】セラミック基板を示す図である。 12 is a diagram illustrating a ceramic substrate.

【図13】図11中のフィルタの特性及びレーザ光及び螢光のスペクトルを示す図である。 13 is a diagram showing the spectral characteristics of the filter of FIG. 11 and the laser beam and fluorescence.

【図14】バイヤホール壁面からの螢光の発生及び螢光検知信号を示す図である。 14 is a diagram showing the generation and fluorescence detection signal in fluorescence from via hole wall.

【図15】ポリイミド残渣を有するバイヤホールを示す図である。 15 is a diagram illustrating a via hole having a polyimide residue.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

2 セラミック基板 3 ステージ 4 金属配線 5 セラミック基板本体 6 ポリイミド膜 7 バイヤホール 7a 底面 7b 周壁面 10 レーザ光源 11,11c レーザ光 11b 乱反射したレーザ光 12 ビームエクスパンダ 13 反射ミラー 14 回転多面鏡 15 スキャンレンズ 17 スポット 18 スポットの走査方向を示す矢印 19 螢光 19a 周壁面から発する螢光 20 光センサ 21 フィルタ 30,50,70 検査対象物の表面情報検知装置 31 再帰反射・結像手段 32 戻りの光 33 ビームスプリッタ 34 分岐された光 35 再結像用レンズ 36 再結像位置 37 ピンホール部材 38 ピンホール 39 スポットの像 40 バイヤホールの像 41 反射レーザ光 42 螢光 43,44 螢光検知信号 45 ポリイミド残渣 46 スポッ 2 ceramic substrate 3 stage 4 metal wiring 5 ceramic substrate body 6 polyimide film 7 via holes 7a bottom surface 7b circumferential wall surface 10 a laser light source 11,11c laser beam 12 beam laser light 11b reflected diffusely expander 13 reflecting mirror 14 rotating polygon mirror 15 scanning lens 17 spot 18 fluorescence 20 optical sensor 21 surface information detection apparatus of the filters 30, 50, 70 inspection object 31 retroreflector, imaging means 32 return light 33 emanating from the arrow 19 fluorescent 19a peripheral wall surface showing a scanning direction of the spot beam splitter 34 split optical 35 reimaging lens 36 re-imaging position 37 the pinhole member 38 pinhole 39 spot image 40 via hole image 41 reflected laser beam 42 fluorescence 43,44 fluorescence detection signal 45 polyimide of residue 46 spot ト17の個所から発生した螢光 51,52 ビームスプリッタ 53 分岐された光 54 レンズ 55 遮光型空間フィルタ 55a,55c 遮光部 55b 透過部 56 光センサ 57 拡散光信号 58,58A 拡散光検知信号取得手段 60 分岐された光 61 光センサ 62 反射光検知信号 63 反射光検知信号取得手段 71 反射型ピンホール部材 72 楕円形ピンホール 73 反射光 Fluorescence 51, 52 the beam splitter 53 split optical 54 lens 55 light-blocking spatial filter 55a generated from locations of bets 17, 55c light shielding portion 55b transmitting unit 56 light sensor 57 diffuse light signal 58,58A diffuse light detection signal acquiring means 60 branched optical 61 optical sensor 62 reflected light detection signal 63 reflected light detection signal acquiring unit 71 reflective pinhole member 72 oval pinhole 73 reflected light

Claims (3)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 レーザ光を検査対象物に集光させてスポットとして照射させ、該スポットを走査させて、このとき該検査対象物から発生する螢光を、検知手段が上記検査対象物の表面情報として検知する構成の検査対象物の表面情報検知装置であって、 上記レーザ光を上記検査対象物の表面で再帰反射させて再結像させる再帰反射結像手段(31)を設けると共に、 上記の再結像される位置(36)に、ピンホール部材(37)を設け、 該ピンホール部材(37)の後側に上記検知手段(2 1. A by condensing the laser beam to the inspection object is irradiated as a spot, by scanning the spot, the surface of this time the fluorescence generated from the test object, detection means the inspection object a surface information detection apparatus of the inspection target configuration for detecting the information, the laser beam provided with a retro-reflective imaging means (31) for re-imaging by retro-reflected from the surface of the inspection object, the the position to be re-imaged (36), the pinhole member (37) is provided, said detecting means on the rear side of the pinhole member (37) (2
    0)を設けた構成としたことを特徴とする検査対象物の表面情報検知装置。 0) surface information detection apparatus of the inspection object, wherein the structure and the providing the.
  2. 【請求項2】 請求項1の装置において、上記レーザ光のスポット(18)の周囲の部分からの拡散光を検知する拡散光検知信号取得手段(58)を更に有する構成としたことを特徴とする装置。 2. A device according to claim 1, and characterized in that the structure further comprises a diffuse light detection signal obtaining means for detecting a diffused light (58) from the portion of the periphery of the spot (18) of the laser beam device that.
  3. 【請求項3】 請求項1の装置において、上記レーザ光のスポットからの反射光を検知する反射光検知信号取得手段(63)を更に有する構成としたことを特徴とする装置。 3. A device according to claim 1, apparatus is characterized in that the arrangement further comprising a reflected light detection signal obtaining means for detecting the reflected light (63) from the spot of the laser beam.
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