JPH05231816A - Interferometer - Google Patents

Interferometer

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JPH05231816A
JPH05231816A JP4073489A JP7348992A JPH05231816A JP H05231816 A JPH05231816 A JP H05231816A JP 4073489 A JP4073489 A JP 4073489A JP 7348992 A JP7348992 A JP 7348992A JP H05231816 A JPH05231816 A JP H05231816A
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polarization
splitting surface
polarization splitting
quarter
wave plate
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Masashi Sueyoshi
正史 末吉
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Abstract

PURPOSE:To reduce the measurement error of an interferometer even when a temperature difference occurs between optical members. CONSTITUTION:A prism body 11 in which a polarization beam splitter surface 11a and reflecting surface 11b intersect each other at right angles is used. A laser beam from a laser light source 1 is divided on the surface 11a into a first beam which advances toward a first moving mirror 15 through a quarter- wave plate 14 and second beam which advances toward a rectangular prism 17 and the second beam is made incident to the upper section of the surface 11a through a halfwave plate 18 after the beam is reflected on the prism 17. Then the second beam passing through the surface 11a is made incident to a second moving mirror 16 through the quarter-wave plate 14.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば高温での安定性
の高い干渉計に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an interferometer having high stability at high temperature, for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】第1の点と第2の点との相対的な距離の
変化量を高精度に計測できる装置としてレーザー干渉計
が知られている。レーザー干渉計は、第1の点から反射
された第1のレーザービームの光路長と第2の点から反
射された第2のレーザービームの光路長との差が変化す
るときの干渉縞の変化又はビート信号の変化を計数パル
ス等に変換するものであり、例えばこの計数パルスを積
算計数することにより両者の相対的な距離を求めること
ができる。
2. Description of the Related Art A laser interferometer is known as a device capable of measuring a relative distance change amount between a first point and a second point with high accuracy. The laser interferometer changes the interference fringes when the difference between the optical path length of the first laser beam reflected from the first point and the optical path length of the second laser beam reflected from the second point changes. Alternatively, a change in the beat signal is converted into a counting pulse or the like, and the relative distance between the two can be obtained by integrating and counting the counting pulse, for example.

【0003】この場合、光路長はレーザービームの光路
の実際の長さとこのビームが通過する媒体の屈折率との
積である。例えば特開昭63−228003号公報に開
示されているように、一般に、光路長は屈折率の小さい
(1に近い)空気中を通過するレーザービームの多数の
光路に起因する部分と、屈折率の高いガラス等の媒体中
を通過するレーザービームの多数の光路に起因する部分
とから構成されている。従って、周囲の温度変化又は支
持部材の熱変化等によりそのガラス等の媒体の内部の温
度が変化して屈折率が変化すると、第1の点と第2の点
との相対的な距離が変化していないにも拘らず光路長の
差が変化して、レーザー干渉計により距離の変化が誤っ
て検出される虞がある。
In this case, the optical path length is the product of the actual length of the optical path of the laser beam and the refractive index of the medium through which the beam passes. For example, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-228003, the optical path length is generally a portion having a small refractive index (close to 1) due to a large number of optical paths of a laser beam passing through air, and a refractive index. And a portion caused by a large number of optical paths of a laser beam passing through a medium such as high glass. Therefore, when the temperature inside the medium such as the glass changes due to the ambient temperature change or the heat change of the support member and the refractive index changes, the relative distance between the first point and the second point changes. Although not done, the difference in optical path length may change and the change in distance may be erroneously detected by the laser interferometer.

【0004】近時は、レーザー干渉計は半導体素子製造
用の投影露光装置の変位検出部などのように、極めて高
い測定精度が要求される用途に使用されており、熱的な
要因による測定誤差をできるだけ排除することが望まれ
ている。そして、上記の特開昭63−228003号公
報においては、熱的な要因による測定誤差を少なくでき
高温でも高い精度で距離の変化を検出できる干渉計とし
て、以下のような干渉計が提案されている。
Recently, laser interferometers are used in applications requiring extremely high measurement accuracy, such as displacement detectors of projection exposure apparatuses for manufacturing semiconductor devices, and measurement errors due to thermal factors are caused. Is desired to be eliminated as much as possible. In the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 63-228003, the following interferometer is proposed as an interferometer capable of reducing a measurement error due to a thermal factor and detecting a change in distance with high accuracy even at a high temperature. There is.

【0005】図3(a)はその従来の干渉計を示し、こ
の図3(a)において、1は2周波レーザー用のレーザ
ー光源であり、レーザー光源1からは図3(a)の紙面
に平行な方向に直線偏光した周波数f1の第1ビームと
図3(a)の紙面に垂直な方向に直線偏光した周波数f
2(f2≠f1)の第2ビームとが混合した形でX方向
に射出される。2は、直角プリズム3と図3(a)の紙
面に平行な面が平行四辺形の平行六面体4とを貼り合わ
せてなるプリズム体を示し、直角プリズム3と平行六面
体4との貼り合わせ面が偏光ビームスプリッター面2a
となり、この面2aと平行な平行六面体の1面が反射面
2bとなっている。反射面2bは全反射を利用したミラ
ーでもよい。即ち、そのプリズム体2は、偏光ビームス
プリッター面2aと反射面2bとを平行に配置した光学
部材ともみなすことができる。その偏光ビームスプリッ
ター面2aが図3(a)の紙面に垂直で且つX方向に4
5°で交差するように、そのプリズム体2が配置されて
いる。
FIG. 3 (a) shows the conventional interferometer. In FIG. 3 (a), reference numeral 1 denotes a laser light source for a two-frequency laser, and from the laser light source 1 on the paper surface of FIG. 3 (a). The first beam of frequency f1 linearly polarized in the parallel direction and the frequency f linearly polarized in the direction perpendicular to the paper surface of FIG.
The second beam of 2 (f2 ≠ f1) is mixed and emitted in the X direction. Reference numeral 2 denotes a prism body formed by bonding a right-angle prism 3 and a parallelepiped 4 having a parallelogram whose surface parallel to the paper surface of FIG. 3A is bonded, and the bonding surface between the right-angle prism 3 and the parallelepiped 4 is Polarizing beam splitter surface 2a
Therefore, one surface of the parallelepiped parallel to the surface 2a is the reflecting surface 2b. The reflecting surface 2b may be a mirror using total reflection. That is, the prism body 2 can be regarded as an optical member in which the polarization beam splitter surface 2a and the reflection surface 2b are arranged in parallel. The polarization beam splitter surface 2a is perpendicular to the paper surface of FIG.
The prism bodies 2 are arranged so as to intersect at 5 °.

【0006】レーザー光源1からのレーザービーム(第
1ビーム及び第2ビーム)はそのプリズム体2の偏光ビ
ームスプリッター面2aに45°の入射角で入射する。
その内の第1ビームは面2aに対してP偏光でありその
まま面2aを透過して1/4波長板5を介して基準鏡6
に入射し、この基準鏡6で反射された第1ビームは1/
4波長板5を介して再びプリズム体2の偏光ビームスプ
リッター面2aに入射する。この際に、1/4波長板5
を往復したことにより第1ビームは面2aに対してS偏
光になっているため、第1ビームは面2aで反射されて
コーナーキューブ7に向かう。
The laser beam (first beam and second beam) from the laser light source 1 is incident on the polarization beam splitter surface 2a of the prism body 2 at an incident angle of 45 °.
The first beam among them is P-polarized with respect to the surface 2a, is transmitted through the surface 2a as it is, and is transmitted through the quarter-wave plate 5 to the reference mirror 6
The first beam incident on the reference mirror 6 and reflected by the reference mirror 6 is 1 /
It again enters the polarization beam splitter surface 2 a of the prism body 2 via the four-wave plate 5. At this time, the quarter-wave plate 5
Since the first beam is S-polarized with respect to the surface 2a by going back and forth, the first beam is reflected by the surface 2a and goes to the corner cube 7.

【0007】コーナーキューブ7により反射された第1
ビームは1/2波長板8により偏光面が90°回転され
た後にプリズム体2の偏光ビームスプリッター面2aに
入射する。この面2aへの入射位置は射出位置に対して
図3(a)の紙面に平行な方向にずれた位置である。こ
の場合、第1ビームは1/2波長板8によりP偏光にな
っているので、そのまま面2aを透過した後に反射面2
bで反射されてから1/4波長板5を介して基準鏡6に
入射する。再びこの基準鏡6で反射された第1ビームは
1/4波長板5を経てプリズム体2の反射面2bで反射
されて偏光ビームスプリッター面2aに入射する。今回
は1/4波長板5を往復することにより、第1ビームは
S偏光になっているので、その面2aで反射されてレシ
ーバ10に入射する。レシーバ10にはアナライザ及び
受光素子が内蔵されている。
First reflected by corner cube 7
The beam is incident on the polarization beam splitter surface 2 a of the prism body 2 after the polarization plane is rotated by 90 ° by the ½ wavelength plate 8. The incident position on the surface 2a is a position displaced from the emitting position in the direction parallel to the paper surface of FIG. In this case, since the first beam is P-polarized by the half-wave plate 8, it is transmitted through the surface 2a as it is and then the reflection surface 2
After being reflected by b, it enters the reference mirror 6 through the quarter-wave plate 5. The first beam reflected by the reference mirror 6 again passes through the quarter-wave plate 5 and is reflected by the reflection surface 2b of the prism body 2 to enter the polarization beam splitter surface 2a. Since the first beam is S-polarized by reciprocating the quarter-wave plate 5 this time, it is reflected by the surface 2a and enters the receiver 10. The receiver 10 incorporates an analyzer and a light receiving element.

【0008】一方、レーザー光源1からプリズム体2の
偏光ビームスプリッター面2aに入射するレーザービー
ムの内の第2ビームは面2aに対してS偏光であり、こ
の第2ビームは面2aで反射された後に反射面2bで反
射される。その後第2ビームは1/4波長板5を介して
移動鏡9に入射する。移動鏡9は基準鏡6よりも幅が広
く、且つX方向にずれた領域にX方向に移動自在に保持
されている。この移動鏡9で反射された第2ビームは1
/4波長板を経て再びプリズム体2の反射面2bで反射
されて偏光ビームスプリッター面2aに入射する。この
際に、1/4波長板5を往復したことにより第2ビーム
は面2aに対してP偏光になっているため、第2ビーム
は面2aを透過してコーナーキューブ7に向かう。
On the other hand, the second beam of the laser beams incident on the polarization beam splitter surface 2a of the prism body 2 from the laser light source 1 is S-polarized with respect to the surface 2a, and this second beam is reflected by the surface 2a. After being reflected, it is reflected by the reflecting surface 2b. After that, the second beam is incident on the movable mirror 9 via the quarter-wave plate 5. The movable mirror 9 is wider than the reference mirror 6 and is held in a region displaced in the X direction so as to be movable in the X direction. The second beam reflected by the moving mirror 9 is 1
After passing through the / 4 wavelength plate, it is reflected again by the reflecting surface 2b of the prism body 2 and enters the polarization beam splitter surface 2a. At this time, since the second beam is P-polarized with respect to the surface 2a by reciprocating the quarter-wave plate 5, the second beam passes through the surface 2a and goes to the corner cube 7.

【0009】コーナーキューブ7により反射された第2
ビームは1/2波長板8により偏光面が90°回転され
た後にプリズム体2の偏光ビームスプリッター面2aに
入射する。この場合、第2ビームは1/2波長板8によ
りS偏光になっているので、その面2aで反射されてか
ら1/4波長板5を介して移動鏡9に入射する。再びこ
の移動鏡9で反射された第2ビームは1/4波長板5を
経てプリズム体2の偏光ビームスプリッター面2aに入
射する。今回は1/4波長板5を往復することにより、
第2ビームはP偏光になっているので、その面2aを透
過してレシーバ10に入射する。レシーバ10において
は、基準鏡6で2回反射された第1ビームと移動鏡9で
2回反射された第2ビームとがアナライザにより偏光方
向が揃えられて受光素子に入射する。
Second reflected by corner cube 7
The beam is incident on the polarization beam splitter surface 2 a of the prism body 2 after the polarization plane is rotated by 90 ° by the ½ wavelength plate 8. In this case, since the second beam is S-polarized by the half-wave plate 8, the second beam is reflected by the surface 2a and then enters the movable mirror 9 through the quarter-wave plate 5. The second beam reflected by the movable mirror 9 again passes through the quarter-wave plate 5 and enters the polarization beam splitter surface 2a of the prism body 2. This time, by reciprocating the quarter wave plate 5,
Since the second beam is P-polarized, it passes through the surface 2a and enters the receiver 10. In the receiver 10, the first beam reflected twice by the reference mirror 6 and the second beam reflected twice by the movable mirror 9 are incident on the light receiving element with their polarization directions aligned by the analyzer.

【0010】レシーバ10の受光素子からは、移動鏡9
が停止している状態では、周波数が(f1−f2)のビ
ート信号が出力され、移動鏡9が移動すると周波数が変
調されたビート信号が出力される。従って、この周波数
の変化を積算することにより、移動鏡9の基準鏡6に対
するX方向の移動量を検出することができる。
From the light receiving element of the receiver 10, the moving mirror 9
When the moving mirror 9 moves, a beat signal having a frequency of (f1-f2) is output, and a beat signal having a frequency modulated is output. Therefore, the amount of movement of the movable mirror 9 in the X direction with respect to the reference mirror 6 can be detected by integrating the change in the frequency.

【0011】図3(b)は、図3(a)の干渉計のプリ
ズム体2を示し、このプリズム体2のX方向の幅をd1
1、X方向に直交する方向の長さをd12とすると、次
の関係がある。 d12=2・d11 また、レーザービームのビーム径をφとすると、幅d1
1は2φ程度以上である必要がある。
FIG. 3B shows the prism body 2 of the interferometer of FIG. 3A, and the width of the prism body 2 in the X direction is d1.
1, and the length in the direction orthogonal to the X direction is d12, the following relationship is established. d12 = 2 · d11 Further, when the beam diameter of the laser beam is φ, the width d1
1 needs to be about 2φ or more.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】図3(a)の干渉計の
中のプリズム体2の中の第1ビームと第2ビームとの光
路について図3(b)を用いて検討する。図3(b)に
示すように、プリズム体2の内の平行六面体4の内部で
は、共通の光路を除いて第1ビーム及び第2ビームの光
路はそれぞれT11及びT21であり、直角プリズム3
の内部では、共通の光路を除いて第1ビーム及び第2ビ
ームの光路はそれぞれT12及びT22である。そし
て、T11+T12=T21+T22が成立しているの
で、プリズム体2全体としては第1ビームの光路と第2
ビームの光路とは等しい。
The optical paths of the first beam and the second beam in the prism body 2 in the interferometer of FIG. 3 (a) will be examined with reference to FIG. 3 (b). As shown in FIG. 3B, in the inside of the parallelepiped 4 of the prism body 2, the optical paths of the first beam and the second beam are T11 and T21, respectively, except for the common optical path.
Inside, the optical paths of the first beam and the second beam are T12 and T22, respectively, except for the common optical path. Since T11 + T12 = T21 + T22 holds, the prism body 2 as a whole has the optical path of the first beam and the second beam.
The optical path of the beam is equal.

【0013】しかしながら、平行六面体4と直角プリズ
ム3とを個別に検討すると、平行六面体4についてはT
11>T21が成立し、且つ直角プリズム3については
T12<T22が成立している。従って、平行六面体4
及び直角プリズム3の屈折率が等しい場合でも、仮に両
者の温度が異なるようになった場合には、第1ビームと
第2ビームとの光路差に変化が生じ、移動鏡9が停止し
ているにも拘らず、移動量が変化したものとして検出さ
れてしまう。即ち、図3(a)の構成では、プリズム体
2を構成する光学部材間に温度差が生じると、測定誤差
が生ずる不都合がある。
However, when the parallelepiped 4 and the right-angled prism 3 are individually examined, the parallelepiped 4 has T
11> T21 holds, and for the rectangular prism 3, T12 <T22 holds. Therefore, the parallelepiped 4
Even when the refractive indexes of the right-angled prism 3 are the same, if the temperatures of the right-angled prism 3 and the right-angled prism 3 become different, the optical path difference between the first beam and the second beam changes, and the movable mirror 9 is stopped. Nevertheless, it is detected that the movement amount has changed. That is, in the configuration of FIG. 3A, there is a disadvantage that a measurement error occurs when a temperature difference occurs between the optical members forming the prism body 2.

【0014】また、図3(b)に示すように、プリズム
体2のX方向の幅はd11であるが、この幅d11の間
を平行に2本のレーザービームが通過しなければならな
いため幅d11が大きくなり、プリズム体2自体が大き
いという不都合もある。このようにプリズム体2が大き
いことは、内部の温度差が更に大きくなり易いことを意
味する。本発明は斯かる点に鑑み、光学部材の間に温度
差が生じても測定誤差が少ない干渉計を提供することを
目的とする。
As shown in FIG. 3 (b), the width of the prism body 2 in the X direction is d11. Since two laser beams must pass in parallel between the widths d11, the width is d11. There is also a disadvantage that the d11 becomes large and the prism body 2 itself is large. The fact that the prism body 2 is large in this way means that the internal temperature difference is likely to be further increased. The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an interferometer that has a small measurement error even if a temperature difference occurs between optical members.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明による第1の干渉
計は、例えば図1に示す如く、コヒーレントなビームを
供給する光源(1)と、第1偏光分離面(11a)と第
1反射面(11b)とが互いに直交して設けられ、その
第1偏光分離面によってその光源からのビームを第1方
向(X方向)の第1ビームと第2方向の第2ビームとに
分離する第1光学部材(11の下半分)と、その第1偏
光分離面とその第1反射面とで形成される稜線方向に並
設されると共に、その第1偏光分離面と平行な第2偏光
分離面(11a)とその第1反射面と平行な第2反射面
(11b)とが互いに直交して設けられた第2光学部材
(11の上半分)と、その第1偏光分離面とその第1反
射面とに対し45゜傾いた第1基準面と平行に設けられ
た第1の4分の1波長板(14a)及び第2の4分の1
波長板(14b)と、その第1基準面と平行でかつその
第2偏光分離面とその第2反射面とに対し45゜傾いた
第2基準面と平行に設けられた第3の4分の1波長板
(14c)及び第4の4分の1波長板(14d)と、そ
の第1偏光分離面によってその第1方向に分離されたそ
の第1ビームをその第1の4分の1波長板を介して反射
させて再びその第1偏光分離面へ戻すと共に、その第1
偏光分離面に戻ったその第1ビームをその第1反射面及
びその第2の4分の1波長板を介して反射させてその第
1偏光分離面へ戻す第1反射部材(15)と、この第1
反射部材の2回の反射によってその第1偏光分離面に戻
されることによりその第2方向に導かれるその第1ビー
ムとその第1偏光分離面にてその第2方向に分割される
その光源からのその第2ビームとを各々偏向させてその
第2偏光分離面へ導く偏向光学部材(17)と、その第
2偏光分離面にてその第1ビームをその第1方向へ、そ
の第2ビームをその第2方向へそれぞれ分離するため
に、その第1偏光分離面からその第2方向に射出したそ
の第1ビーム及びその第ビーム2がその偏向光学部材に
よってその第2偏光分離面へ至るまでにその第1ビーム
及びその第2ビームの偏光面を各々90度回転させる偏
光面回転手段(18)と、その第2偏光分離面によって
その第2方向に導かれたその第2ビームをその第2反射
面及びその第3の4分の1波長板を介して反射させて再
びその第2偏光分離面へ戻すと共に、その第2偏光分離
面へ戻ったその第2ビームをその第4の4分の1波長板
を介して反射させてその第2偏光分離面へ戻す第2反射
部材(16)と、この第2反射部材の2回の反射によっ
てその第2偏光分離面に戻されることによりその第2偏
光分離面にてその第2方向に導かれるその第1ビームと
その第2偏光分離面にてその第2方向に導かれるその第
2ビームとを受光する受光手段(10)とを有し、その
第1反射部材(15)とその第2反射部材(16)との
相対的な移動量を検出するものである。
A first interferometer according to the present invention comprises a light source (1) for supplying a coherent beam, a first polarization splitting surface (11a) and a first reflection, as shown in FIG. A surface (11b) orthogonal to each other, and a first polarization separation surface for separating a beam from the light source into a first beam in a first direction (X direction) and a second beam in a second direction. 1 optical member (lower half of 11), 2nd polarization separation parallel to the 1st polarization separation surface while being installed in parallel in the ridgeline direction formed by the 1st polarization separation surface and the 1st reflection surface A second optical member (upper half of 11) provided with a surface (11a) and a second reflecting surface (11b) parallel to the first reflecting surface thereof at right angles to each other, a first polarization splitting surface thereof, and a first polarization splitting surface thereof. 1st quarter provided parallel to the 1st reference plane inclined at 45 ° with respect to 1 reflection surface Long plate (14a) and second quarter
The wave plate (14b) and a third quadrant provided parallel to the first reference plane and parallel to the second reference plane which is inclined by 45 ° with respect to the second polarization splitting plane and the second reflection plane. The first quarter wave plate (14c) and the fourth quarter wave plate (14d), and the first beam separated in the first direction by the first polarization splitting surface of the first quarter wave plate (14c). The light is reflected through the wave plate and returned to the first polarization separation surface, and
A first reflecting member (15) for returning the first beam returning to the polarization splitting surface to the first polarization splitting surface by reflecting the first beam through the first reflecting surface and the second quarter-wave plate. This first
From the first beam guided in the second direction by being returned to the first polarization splitting surface by the reflection of the reflecting member twice and from the light source split in the second direction by the first polarization splitting surface. A deflection optical member (17) for respectively deflecting the second beam of the first beam to the second polarization splitting surface, and the second beam of the first beam in the first direction at the second polarization splitting surface. The first beam and the second beam 2 emitted from the first polarization separation surface in the second direction in order to separate the light beams into the second polarization separation surface by the deflection optical member. A polarization plane rotating means (18) for rotating the polarization planes of the first beam and the second beam by 90 degrees, and the second beam guided in the second direction by the second polarization splitting plane. 2 reflective surfaces and their 3rd 4 Reflected through the 1-wave plate and returned to the second polarization splitting surface again, and the second beam returning to the second polarization splitting surface is reflected through the fourth quarter-wave plate. A second reflecting member (16) for returning to the second polarized light splitting surface, and by returning to the second polarized light splitting surface by two reflections of this second reflecting member, the second polarized light splitting surface The first reflecting member (15) has a light receiving means (10) for receiving the first beam guided in two directions and the second beam guided in the second direction at the second polarization splitting surface thereof. ) And the relative movement amount of the second reflection member (16) are detected.

【0016】また、本発明による第2の干渉計は、例え
ば図2に示すように、コヒーレントなビームを供給する
光源(1)と、第1偏光分離面(11a)と第1反射面
(11b)とが互いに直交して設けられ、その第1偏光
分離面によってその光源からのビームを第1方向(X方
向)の第1ビームと第2方向の第2ビームとに分離する
第1光学部材(11の下半分)と、その第1偏光分離面
とその第1反射面とで形成される稜線方向に並設される
と共に、その第1偏光分離面と平行な第2偏光分離面
(11a)とその第1反射面と平行な第2反射面(11
b)とが互いに直交して設けられた第2光学部材(11
の上半分)と、その第1偏光分離面とその第1反射面と
に対し45゜傾いた第1基準面と平行に設けられた第1
の4分の1波長板(14a)及び第2の4分の1波長板
(14b)と、その第1基準面と平行でかつその第2偏
光分離面とその第2反射面とに対し45゜傾いた第2基
準面と平行に設けられた第3の4分の1波長板(14
c)及び第4の4分の1波長(14d)と、その第1偏
光分離面によってその第1方向に分離されたその第1ビ
ームをその第1の4分の1波長板を介して反射させて再
びその第1偏光分離面へ戻すと共に、その第1偏光分離
面に戻ったその第1ビームをその第1反射面及びその第
2の4分の1波長板を介して反射させてその第1偏光分
離面へ戻す第1反射部材(15)と、この第1反射部材
の2回の反射によってその第1偏光分離面に戻されるこ
とによりその第2方向に導かれるその第1ビームとその
第1偏光分離面にてその第2方向に分割されるその光源
からのその第2ビームとを各々偏向させてその第2偏光
分離面へ導く第1偏向光学部材(17)と、その第2偏
光分離面にてその第1ビームをその第1方向へ、その第
2ビームをその第2方向へそれぞれ分割するために、そ
の第1偏光分離面からその第2方向に射出したその第1
ビーム及びその第2ビームがその第1偏向光学部材によ
ってその第2偏光分離面へ至るまでにその第1ビーム及
びその第2ビームの偏光面を各々90度回転させる偏光
面回転手段(18A)と、その第2偏光分離面によって
その第2方向に導かれたその第2ビームをその第2反射
面及びその第3の4分の1波長板を介して反射させて再
びその第2偏光分離面へ戻すと共に、その第2偏光分離
面へ戻ったその第2ビームをその第4の4分の1波長板
を介して反射させてその第2偏光分離面へ戻す第2反射
部材(16)と、この第2反射部材の2回の反射によっ
てその第2偏光分離面に戻されることによりその第2偏
光分離面にてその第2方向に導かれるその第1ビームと
その第2偏光分離面にてその第2方向に導かれるとその
第2ビームとを再びその第2偏光分離面へ向けて偏向さ
せ、その第1及び第2ビームが各々辿った逆の光路と平
行な並列光路に各々ずらす第2偏向光学部材(23)
と、この第2偏向光学部材によってその第1及び第2ビ
ームが辿った逆の光路と平行な並列光路を辿ってその第
1偏光分離面を射出したその第1及び第2ビームを受光
する受光手段(10)とを有し、その第1反射部材(1
5)とその第2反射部材(16)との相対的な移動量を
検出するものである。
Further, the second interferometer according to the present invention is, for example, as shown in FIG. 2, a light source (1) for supplying a coherent beam, a first polarization splitting surface (11a) and a first reflecting surface (11b). ) Are orthogonal to each other, and separate the beam from the light source into a first beam in the first direction (X direction) and a second beam in the second direction by the first polarization separation surface thereof. (Lower half of 11), a first polarization splitting surface and a second reflection surface parallel to the first polarization splitting surface (11a ) And a second reflection surface (11
b) and the second optical member (11
Upper half) and a first reference plane that is inclined by 45 ° with respect to the first polarization splitting surface and the first reflecting surface thereof.
And the second quarter-wave plate (14a) and the second quarter-wave plate (14b) of the second quarter-wave plate (14a) and the second quarter-wave plate (14b) which are parallel to the first reference plane and the second polarization splitting surface and the second reflecting surface thereof. A third quarter-wave plate (14
c) and the fourth quarter-wave (14d) and its first beam separated in its first direction by its first polarization splitting surface are reflected through the first quarter-wave plate. And returning to the first polarization splitting surface again, the first beam returning to the first polarization splitting surface is reflected through the first reflecting surface and the second quarter-wave plate, and A first reflecting member (15) returning to the first polarization splitting surface, and the first beam guided in the second direction by being returned to the first polarization splitting surface by two reflections of the first reflecting member. A first deflection optical member (17) for deflecting the second beam from the light source, which is split in the second direction by the first polarization splitting surface, to guide it to the second polarization splitting surface; and The first beam is directed to the first direction and the second beam is directed to the second direction at the two-polarization separation surface. To divide each direction, the first emitted from the first polarization separating surface thereof in its second direction 1
Polarization plane rotating means (18A) for rotating the polarization planes of the first beam and the second beam by 90 degrees until the beam and the second beam reach the second polarization separation plane by the first deflection optical member. , The second beam guided in the second direction by the second polarization separation surface is reflected through the second reflection surface and the third quarter-wave plate, and again the second polarization separation surface. A second reflecting member (16) for returning the second beam returning to the second polarization splitting surface to the second polarization splitting surface by reflecting the second beam through the fourth quarter-wave plate. , The second beam is guided to the second direction by the second polarization splitting surface by being returned to the second polarization splitting surface by the second reflection of the second reflecting member. When it is guided in the second direction, the second beam and Its second toward the polarization separation surface is deflected, respectively shifting the second deflection optical member in the reverse optical path and parallel to the parallel optical path of the first and second beams are traced respectively (23)
And a light receiving device for receiving the first and second beams emitted from the first polarization splitting surface by following a parallel optical path parallel to the reverse optical paths followed by the first and second beams by the second deflection optical member. Means (10), the first reflecting member (1
5) and the relative movement amount of the second reflecting member (16) are detected.

【0017】また、それら第1及び第2の干渉計におい
て、その第1光学部材(11の下半分)とその第2光学
部材(11の上半分)とを一体で構成するようにしても
よい。
In the first and second interferometers, the first optical member (lower half of 11) and the second optical member (upper half of 11) may be integrally formed. ..

【0018】[0018]

【作用】斯かる本発明の第1の干渉計によれば、第1反
射部材(15)と第2反射部材(16)とは、第1ビー
ムの進行方向である第1方向(X方向)に対して垂直な
方向にずらして配置することができる。そして、第1反
射部材(15)で2回反射された第1ビームと第2反射
部材(16)で2回反射された第2ビームとが受光手段
(10)で混合して受光される。従って、第1反射部材
(15)と第2反射部材(16)とのX方向の相対位置
が変化すると、第1ビームと第2ビームとの光路長が変
化して受光手段(10)における干渉縞又はビート信号
が変化することから、両部材(15,16)の相対的な
移動量を検出することができる。
According to the first interferometer of the present invention, the first reflecting member (15) and the second reflecting member (16) are the first direction (X direction) which is the traveling direction of the first beam. It is possible to displace them in a direction perpendicular to. Then, the first beam reflected twice by the first reflecting member (15) and the second beam reflected twice by the second reflecting member (16) are mixed and received by the light receiving means (10). Therefore, when the relative position of the first reflecting member (15) and the second reflecting member (16) in the X direction changes, the optical path lengths of the first beam and the second beam change, and the interference in the light receiving means (10) occurs. Since the stripe or the beat signal changes, the relative movement amount of both members (15, 16) can be detected.

【0019】この場合、第1光学部材及び第2光学部材
は、例えば図1(b)に示すように、偏光分離面(11
a)と反射面(11b)とが直交して配置されている。
そして、第1光学部材及び第2光学部材のX方向の幅を
d1とすると、これらの部材のX方向に垂直な方向の長
さd2については、d2=2・d1の関係がある。ま
た、本発明ではその幅d1の間を1個のビームが通過で
きればよいので、幅d1は図3(b)の従来のプリズム
体2の幅d11の1/2程度にすることができる。従っ
て、第1光学部材及び第2光学部材の全体の体積は従来
のプリズム体2の体積の1/2程度となり、内部の温度
差は少なくなるので、温度差に起因する測定誤差は少な
くなる。
In this case, the first optical member and the second optical member are, for example, as shown in FIG.
a) and the reflecting surface (11b) are arranged orthogonally.
If the widths of the first optical member and the second optical member in the X direction are d1, the lengths d2 of these members in the direction perpendicular to the X direction have a relationship of d2 = 2 · d1. Further, in the present invention, since it is sufficient that one beam can pass through the width d1, the width d1 can be set to about ½ of the width d11 of the conventional prism body 2 of FIG. 3B. Therefore, the total volume of the first optical member and the second optical member is about 1/2 of the volume of the conventional prism body 2, and the internal temperature difference is small, so that the measurement error due to the temperature difference is small.

【0020】特に、第1光学部材と第2光学部材とを一
体化して光学部材(11)とした場合には、第1ビーム
と第2ビームとはその光学部材(11)の上下で同じ長
さの光路を通過する。従って、光学部材(11)の温度
が変化しても両者の光路差は変わらず、より高精度に測
定ができる。
Particularly, when the first optical member and the second optical member are integrated to form the optical member (11), the first beam and the second beam have the same length above and below the optical member (11). Sano's optical path is passed. Therefore, even if the temperature of the optical member (11) changes, the optical path difference between the two does not change, and the measurement can be performed with higher accuracy.

【0021】また、本発明の第2の干渉計によれば、第
1反射部材(15)で2回反射された第1ビームは第2
偏向光学部材(23)により反射された後に、再び第1
反射部材(15)で2回反射されて受光手段(10)に
入射する。同様に、第2反射部材(16)で2回反射さ
れた第2ビームも第2偏向光学部材(23)により反射
された後に、再び第2反射部材(16)で2回反射され
て受光手段(10)に入射する。従って、受光手段(1
0)では、第1反射部材(15)で4回反射された第1
ビームと第2反射部材(16)で4回反射された第2ビ
ームとが混合して受光されるので、第1の干渉計に比べ
て相対的な移動量の検出分解能が2倍に改善される。
According to the second interferometer of the present invention, the first beam reflected twice by the first reflecting member (15) is the second beam.
After being reflected by the deflection optics (23), the first
The light is reflected twice by the reflecting member (15) and enters the light receiving means (10). Similarly, the second beam reflected twice by the second reflecting member (16) is also reflected by the second deflecting optical member (23) and then again twice by the second reflecting member (16) to receive light. It is incident on (10). Therefore, the light receiving means (1
0), the first reflection member (15) reflects the first reflection four times.
Since the beam and the second beam reflected by the second reflecting member (16) four times are mixed and received, the detection resolution of the relative movement amount is improved twice as compared with the first interferometer. It

【0022】この場合でも、第1光学部材と第2光学部
材とを一体化して光学部材(11)とした場合には、光
学部材(11)の温度が変化しても両者の光路差は変わ
らず、より高精度に測定ができる。
Even in this case, when the first optical member and the second optical member are integrated into the optical member (11), the optical path difference between the two changes even if the temperature of the optical member (11) changes. Therefore, the measurement can be performed with higher accuracy.

【0023】[0023]

【実施例】以下、本発明による干渉計の一実施例につき
図1を参照して説明する。本例のレーザー光源1及びレ
シーバ10は図3(a)に示した従来例で使用されてい
るものと同じものである。図1(a)は本例のレーザー
干渉計の要部を示し、この図1(a)において、11は
第1の直角プリズム12と第2の直角プリズム13とを
貼り合わせてなるプリズム体である。このプリズム体1
1は、図1(b)に示すように、直交する辺の長さがd
1の直角プリズム12の斜辺と斜辺の長さがd2(=2
・d1)の直角プリズム13の直交する2辺の内の1辺
とを貼り合わせたものである。そして、その貼り合わせ
面を偏光ビームスプリッター面11aとして、直角プリ
ズム13の直交する2辺の内の他の辺を反射面11bと
する。この反射面11bは全反射を利用してもよい。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the interferometer according to the present invention will be described below with reference to FIG. The laser light source 1 and the receiver 10 of this example are the same as those used in the conventional example shown in FIG. FIG. 1 (a) shows a main part of the laser interferometer of this example. In FIG. 1 (a), reference numeral 11 is a prism body formed by bonding a first rectangular prism 12 and a second rectangular prism 13 together. is there. This prism body 1
1 has a length of an orthogonal side of d as shown in FIG.
The oblique side of the right-angled prism 12 of No. 1 and the length of the oblique side are d2 (= 2
* D1) one of the two orthogonal sides of the right-angle prism 13 is pasted together. The bonding surface is used as the polarization beam splitter surface 11a, and the other side of the two orthogonal sides of the rectangular prism 13 is used as the reflection surface 11b. The reflection surface 11b may utilize total reflection.

【0024】従って、プリズム体11は偏光ビームスプ
リッター面11aと反射面11bとが直交して配置され
たものであればよい。例えば、図1(c)に示すよう
に、3個の直角プリズム20〜22を貼り合わせてプリ
ズム体19を構成し、直角プリズム20と21との貼り
合わせ面を偏光ビームスプリッター面19aとして、直
角プリズム22の外部の面を反射面19bとすれば、こ
のプリズム体19をプリズム体11の代わりに使用する
ことができる。
Therefore, the prism body 11 may be one in which the polarization beam splitter surface 11a and the reflection surface 11b are arranged orthogonally to each other. For example, as shown in FIG. 1C, three right-angle prisms 20 to 22 are bonded to each other to form a prism body 19, and the bonding surface of the right-angle prisms 20 and 21 is a polarization beam splitter surface 19a. If the outer surface of the prism 22 is the reflecting surface 19b, the prism body 19 can be used in place of the prism body 11.

【0025】図1(a)に戻り、レーザー光源1から周
波数の異なる2本のレーザービーム(第1ビーム及び第
2ビーム)が射出される方向をX方向として、プリズム
体11の偏光ビームスプリッター面11aがX方向に4
5°で交差するように、プリズム体11を配置する。ま
た、X方向に1/4波長板14を配置し、その次にそれ
ぞれ平面鏡よりなる第1の移動鏡15及び第2の移動鏡
16をX方向に移動自在に配置する。これら移動鏡15
及び16はX方向に垂直な方向にずらして配置する。
Returning to FIG. 1A, the polarization beam splitter surface of the prism body 11 is defined as a direction in which two laser beams (first beam and second beam) having different frequencies are emitted from the laser light source 1. 11a is 4 in the X direction
The prism bodies 11 are arranged so as to intersect at 5 °. Further, the quarter wave plate 14 is arranged in the X direction, and then the first movable mirror 15 and the second movable mirror 16 each of which is a plane mirror are arranged so as to be movable in the X direction. These moving mirrors 15
And 16 are arranged so as to be shifted in the direction perpendicular to the X direction.

【0026】また、プリズム体11の偏光ビームスプリ
ッター面11aの領域P11でレーザー光源1からのレ
ーザービームが反射される方向に直角プリズム17を配
置する。この場合、直角プリズム17内の2回の全反射
によりレーザービームがその偏光ビームスプリッター面
11aの領域P13に戻されるものとして、プリズム体
11の偏光ビームスプリッター面11aと反射面11b
との稜線に対して領域P11と領域P13とは平行な直
線上に位置するように、その直角プリズム17の位置決
めを行う。また、プリズム体11と直角プリズム17と
の間の一方の光路の途中に1/2波長板18を配置す
る。ただし、この1/2波長板18の代わりに、直角プ
リズム17の入射及び射出面の全面を覆うように1/4
波長板を配置してもよい。また、偏光ビームスプリッタ
ー面11aの領域P13で直角プリズム17からのレー
ザービームを反射した方向にレシーバ10を配置する。
Further, the rectangular prism 17 is arranged in a direction in which the laser beam from the laser light source 1 is reflected in the region P11 of the polarization beam splitter surface 11a of the prism body 11. In this case, it is assumed that the laser beam is returned to the region P13 of the polarization beam splitter surface 11a by the two total reflections in the right-angled prism 17, and the polarization beam splitter surface 11a and the reflection surface 11b of the prism body 11 are assumed.
The rectangular prism 17 is positioned so that the region P11 and the region P13 are located on a straight line parallel to the ridge line of. Further, the half-wave plate 18 is arranged in the middle of one optical path between the prism body 11 and the right-angle prism 17. However, instead of the half-wave plate 18, a quarter is formed so as to cover the entire entrance and exit surfaces of the rectangular prism 17.
A wave plate may be arranged. Further, the receiver 10 is arranged in the direction in which the laser beam from the rectangular prism 17 is reflected in the region P13 of the polarization beam splitter surface 11a.

【0027】次に、本例の動作につき説明する。先ず、
レーザー光源1からのレーザービーム(第1ビーム及び
第2ビーム)はプリズム体11の偏光ビームスプリッタ
ー面11aの領域P11に45°の入射角で入射する。
その内の面11aに対してP偏光の第1ビームは、その
まま面11aを透過して1/4波長板14を介して第1
の移動鏡15の領域P21に入射し、この移動鏡15で
反射された第1ビームは1/4波長板14を介して再び
プリズム体11の偏光ビームスプリッター面11aに入
射する。この際に、1/4波長板14を往復したことに
より第1ビームは面11aに対してS偏光になっている
ため、第1ビームは面11aの領域P11で反射されて
反射面11bの領域P12に向かう。
Next, the operation of this example will be described. First,
The laser beams (first beam and second beam) from the laser light source 1 are incident on the region P11 of the polarization beam splitter surface 11a of the prism body 11 at an incident angle of 45 °.
The first beam of P-polarized light with respect to the surface 11 a therein passes through the surface 11 a as it is and is transmitted through the quarter-wave plate 14 to the first beam.
The first beam reflected by the movable mirror 15 and reflected by the movable mirror 15 again enters the polarization beam splitter surface 11 a of the prism body 11 via the quarter wavelength plate 14. At this time, since the first beam is S-polarized with respect to the surface 11a by reciprocating the quarter-wave plate 14, the first beam is reflected by the area P11 of the surface 11a and is reflected by the area of the reflecting surface 11b. Head to P12.

【0028】この反射面11bで反射された第1ビーム
は1/4波長板14を介して第1の移動鏡15の領域P
22に入射し、この領域P22で反射された第2ビーム
は1/4波長板14及びプリズム体11の反射面11b
の領域P12を経て偏光ビームスプリッター面11aの
領域P11に入射する。この場合、第1ビームはP偏光
になっているのでそのまま偏光ビームスプリッター面1
1aを透過して直角プリズム17に向かう。
The first beam reflected by the reflecting surface 11b passes through the quarter-wave plate 14 and the area P of the first movable mirror 15 is reached.
The second beam incident on the area 22 and reflected by the region P22 is the quarter wave plate 14 and the reflecting surface 11b of the prism body 11.
And enters the region P11 of the polarization beam splitter surface 11a through the region P12. In this case, since the first beam is P-polarized, the polarization beam splitter surface 1
The light passes through 1a and goes toward the rectangular prism 17.

【0029】この直角プリズム17により反射された第
1ビームは1/2波長板18により偏光面が90°回転
された後にプリズム体11の偏光ビームスプリッター面
11aの領域P13に入射する。この場合、第1ビーム
は1/2波長板18によりS偏光になっているので、そ
の面11aの領域P13で反射されてレシーバ10に入
射する。
The first beam reflected by the rectangular prism 17 is incident on the region P13 of the polarization beam splitter surface 11a of the prism body 11 after the polarization plane is rotated by 90 ° by the ½ wavelength plate 18. In this case, since the first beam is S-polarized by the half-wave plate 18, it is reflected by the area P13 of the surface 11a and enters the receiver 10.

【0030】一方、レーザー光源1からプリズム体11
の偏光ビームスプリッター面11aの領域P11に入射
するレーザービームの内の面11aに対してS偏の第2
ビームは、面11aの領域P11で反射されて直角プリ
ズム17に向かう。この直角プリズム17で反射された
第2ビームは、1/2波長板18を介してプリズム体1
1の偏光ビームスプリッター面11aの領域P13に入
射する。1/2波長板18により第2ビームはP偏光と
なっているので、第2ビームはそのまま面11aの領域
P13を透過した後に反射面11bの領域P14で反射
される。その後第2ビームは1/4波長板14を介して
第2の移動鏡16の領域P31に入射する。
On the other hand, from the laser light source 1 to the prism body 11
Of the polarization beam splitter surface 11a of the second laser beam S-polarized with respect to the surface 11a of the laser beam incident on the area P11.
The beam is reflected by the area P11 of the surface 11a and travels to the rectangular prism 17. The second beam reflected by the rectangular prism 17 is transmitted through the half-wave plate 18 to the prism body 1.
It is incident on the region P13 of the first polarization beam splitter surface 11a. Since the second beam is P-polarized by the half-wave plate 18, the second beam passes through the area P13 of the surface 11a as it is and is then reflected by the area P14 of the reflecting surface 11b. After that, the second beam enters the region P31 of the second movable mirror 16 through the quarter-wave plate 14.

【0031】この第2の移動鏡16の領域P31で反射
された第2ビームは1/4波長板14を経て再びプリズ
ム体11の反射面11bの領域P14で反射されて偏光
ビームスプリッター面11aの領域P13に入射する。
この際に、1/4波長板14を往復したことにより第2
ビームは面11aに対してS偏光になっているため、第
2ビームは面11aの領域P13で反射される。その
後、第2ビームは1/4波長板14を介して第2の移動
鏡16の領域P32に入射し、この領域P32で反射さ
れた第2ビームは1/4波長板14を介してプリズム体
11の偏光ビームスプリッター面11aの領域P13に
戻る。今回は1/4波長板14を往復することにより、
第2ビームはP偏光になっているので、その面11aの
領域P13を透過してレシーバ10に入射する。レシー
バ10においては、第1の移動鏡15で2回反射された
第1ビームと第2の移動鏡16で2回反射された第2ビ
ームとがアナライザにより偏光方向が揃えられて受光素
子に入射する。
The second beam reflected by the area P31 of the second movable mirror 16 passes through the quarter-wave plate 14 and is again reflected by the area P14 of the reflecting surface 11b of the prism body 11 and is reflected by the polarization beam splitter surface 11a. It is incident on the region P13.
At this time, the second wave is generated by reciprocating the quarter wave plate 14.
Since the beam is S-polarized with respect to the surface 11a, the second beam is reflected by the area P13 of the surface 11a. After that, the second beam enters the area P32 of the second movable mirror 16 through the quarter-wave plate 14, and the second beam reflected by this area P32 passes through the quarter-wave plate 14 and forms a prism body. The area 11 of the polarization beam splitter surface 11a of 11 is returned to. This time, by reciprocating the quarter-wave plate 14,
Since the second beam is P-polarized, it passes through the region P13 of the surface 11a and enters the receiver 10. In the receiver 10, the first beam reflected twice by the first moving mirror 15 and the second beam reflected twice by the second moving mirror 16 have their polarization directions aligned by the analyzer and enter the light receiving element. To do.

【0032】レシーバ10の受光素子からは、第1の移
動鏡15と第2の移動鏡16とがX方向に相対的に停止
している状態では、周波数が(f1−f2)のビート信
号が出力され、両者がX方向に相対的に移動すると周波
数が変調されたビート信号が出力される。従って、この
周波数の変化を積算することにより、第1の移動鏡15
と第2の移動鏡16とのX方向の相対的な移動量を検出
することができる。
From the light receiving element of the receiver 10, when the first movable mirror 15 and the second movable mirror 16 are relatively stopped in the X direction, a beat signal having a frequency (f1-f2) is generated. When they are output and both move relatively in the X direction, a beat signal whose frequency is modulated is output. Therefore, by accumulating the change in this frequency, the first movable mirror 15
It is possible to detect the relative movement amount of the second moving mirror 16 in the X direction.

【0033】この場合、本例では図1(a)より明かな
ように、プリズム体11の直角プリズム12の内部では
第1ビームと第2ビームとは同一の光路を通過する。ま
た、プリズム体11の直角プリズム13の内部では、第
1ビームと第2ビームとは上下に離れた同じ長さの光路
(即ち、図1(b)に示す光路T)を通過する。従っ
て、直角プリズム12と直角プリズム12との間に温度
差が生じても、第1ビームと第2ビームとの光路長の差
は変化しない。また、第1ビーム及び第2ビームのビー
ム径をφとすると、図1(b)において、本例のプリズ
ム体11の幅d1はφ程度であればよい。
In this case, in this example, as is clear from FIG. 1A, the first beam and the second beam pass through the same optical path inside the rectangular prism 12 of the prism body 11. Further, inside the right-angle prism 13 of the prism body 11, the first beam and the second beam pass through an optical path of the same length vertically separated (that is, the optical path T shown in FIG. 1B). Therefore, even if a temperature difference occurs between the right-angled prism 12 and the right-angled prism 12, the difference in optical path length between the first beam and the second beam does not change. Further, assuming that the beam diameters of the first beam and the second beam are φ, in FIG. 1B, the width d1 of the prism body 11 of this example may be approximately φ.

【0034】これに対して、従来の図3(a)のプリズ
ム体2の幅d11は2φ程度は必要であり、本例のプリ
ズム体11の内部の両ビームの光路は従来のプリズム体
2の内部の両ビームの光路の1/2程度になるため、内
部の温度のばらつきによる光路長の差も小さくなる。従
って、常に高精度な変位検出を行うことができる。ま
た、プリズム体11の体積はプリズム体2の体積の1/
2程度になり、本例によれば干渉計全体をより小型化す
ることができる。
On the other hand, the width d11 of the conventional prism body 2 of FIG. 3 (a) needs to be about 2φ, and the optical paths of both beams inside the prism body 11 of this example are the same as those of the conventional prism body 2. Since it is about ½ of the optical paths of both internal beams, the difference in optical path length due to variations in internal temperature is also small. Therefore, it is possible to always perform highly accurate displacement detection. Further, the volume of the prism body 11 is 1 / the volume of the prism body 2.
According to this example, the entire interferometer can be further downsized.

【0035】なお、図1(a)の実施例では、1/4波
長板14を1枚で構成した場合について説明したが、第
1の移動鏡15の各領域P21,P22及び第2の移動
鏡16の各領域P31,P32の反射により往復する4
つの往復光路中に点線に示す如き1/4波長板14a〜
14dを各々配置しても良いことは言うまでもない。ま
た、図1(a)に示した実施例では、互いに直交した2
つの面を持つ直角プリズム12の第1の面側にレーザー
光源1とレシーバ10とが配置され、第2の面側に1/
2波長板18と直角プリズム17とが配置されている。
しかしながら、第2の面側にレーザー光源1とレシーバ
10とを配置し、第1の面側に1/2波長板18と直角
プリズム17とを配置してもよく、さらには、レーザー
光源1とレシーバ10との位置を入れ換えても良い。
In the embodiment of FIG. 1 (a), the case where the 1/4 wavelength plate 14 is constituted by one sheet has been described, but the respective regions P21, P22 and the second movement of the first movable mirror 15 are explained. Reciprocating by reflection of each region P31, P32 of the mirror 16 4
1/4 wavelength plate 14a as shown by the dotted line in one round-trip optical path
It goes without saying that 14d may be arranged respectively. Moreover, in the embodiment shown in FIG.
The laser light source 1 and the receiver 10 are arranged on the first surface side of the right-angled prism 12 having two surfaces, and 1 / on the second surface side.
A two-wave plate 18 and a right-angle prism 17 are arranged.
However, the laser light source 1 and the receiver 10 may be arranged on the second surface side, and the ½ wavelength plate 18 and the rectangular prism 17 may be arranged on the first surface side. The position of the receiver 10 may be exchanged.

【0036】次に、本発明の他の実施例につき図2を参
照して説明する。本例は図1の例を更に高分解能にした
ものであり、図2において図1に対応する部分には同一
符号を付してその詳細説明を省略する。図2は本例のレ
ーザー干渉計の要部の構成を示し、この図2において、
23は直角プリズムである。この直角プリズム23で、
プリズム体11の偏光ビームスプリッター面11aの領
域P13から射出される第1ビーム及び第2ビームを反
射して偏光ビームスプリッター面11aの領域P15に
入射させる。領域P15は、領域P13に対して偏光ビ
ームスプリッター面11aと反射面11bとの稜線に平
行な位置にある。また、図1の円形の1/2波長板18
を矩形の1/2波長板18Aで置き換える。
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this example, the resolution of the example of FIG. 1 is further increased. In FIG. 2, parts corresponding to those of FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. FIG. 2 shows the configuration of the main part of the laser interferometer of this example. In FIG.
Reference numeral 23 is a right-angle prism. With this right angle prism 23,
The first beam and the second beam emitted from the region P13 of the polarization beam splitter surface 11a of the prism body 11 are reflected and made incident on the region P15 of the polarization beam splitter surface 11a. The region P15 is located at a position parallel to the ridge of the polarization beam splitter surface 11a and the reflecting surface 11b with respect to the region P13. Also, the circular half-wave plate 18 of FIG.
Is replaced with a rectangular half-wave plate 18A.

【0037】更に、偏光ビームスプリッター面11aの
領域P15から直角プリズム17に向い、この直角プリ
ズム17で反射されたレーザービームが偏光ビームスプ
リッター面11aに入射する位置を領域P16とする
と、この領域P16で反射した方向にレシーバ10を配
置する。
Further, when the position of the laser beam reflected by the right-angle prism 17 from the region P15 of the polarization beam splitter surface 11a toward the right-angle prism 17 and incident on the polarization beam splitter surface 11a is a region P16, this region P16 is obtained. The receiver 10 is arranged in the reflected direction.

【0038】本例の動作につき説明する。先ず、レーザ
ー光源1からプリズム体11の偏光ビームスプリッター
面11aの領域P13までの光路の動作は図1の例と同
じである。そして、偏光ビームスプリッター面11aの
領域P13から直角プリズム23に向かった第1ビーム
は、直角プリズム23で反射されて偏光ビームスプリッ
ター面11aの領域P15に入射する。第1ビームはS
偏光であるため、この偏光ビームスプリッター面11a
で反射されて1/2波長板18Aを介して直角プリズム
17に向かう。この直角プリズム17で反射された第1
ビームはプリズム体11の偏光ビームスプリッター面1
1aの領域P16に入射する。1/2波長板18Aによ
りP偏光になった第1ビームはそのまま面11aの領域
P16を透過した後に反射面11bの領域P17に入射
し、この領域P17で反射された後に、1/4波長板1
4を介して第1の移動鏡15の領域P23に入射する。
The operation of this example will be described. First, the operation of the optical path from the laser light source 1 to the region P13 of the polarization beam splitter surface 11a of the prism body 11 is the same as in the example of FIG. Then, the first beam traveling from the region P13 of the polarization beam splitter surface 11a toward the right-angle prism 23 is reflected by the right-angle prism 23 and enters the region P15 of the polarization beam splitter surface 11a. First beam is S
Since it is polarized light, this polarization beam splitter surface 11a
And is directed to the rectangular prism 17 via the half-wave plate 18A. The first reflected by this right-angle prism 17
The beam is the polarization beam splitter surface 1 of the prism body 11.
The light enters the region P16 of 1a. The first beam that is P-polarized by the half-wave plate 18A passes through the region P16 of the surface 11a as it is, then enters the region P17 of the reflecting surface 11b, is reflected by this region P17, and then is the quarter-wave plate. 1
The light enters the region P23 of the first movable mirror 15 via the beam line 4.

【0039】この第1の移動鏡15から反射された第1
ビームは1/4波長板14及び反射面11bの領域P1
7を経て偏光ビームスプリッター面11aの領域P16
に入射し、この面11aで反射される。その後、第1ビ
ームは1/4波長板14を経て第1の移動鏡15の領域
P24に入射し、この第1の移動鏡15で反射された第
1ビームは1/4波長板14を介して偏光ビームスプリ
ッター面11aの領域P16に戻る。第1ビームはP偏
光になっているので、そのまま面11aを透過してレシ
ーバ10に入射する。
The first light reflected from the first moving mirror 15
The beam is a quarter wavelength plate 14 and a region P1 of the reflecting surface 11b.
7 through area P16 of the polarization beam splitter surface 11a
And is reflected by this surface 11a. Then, the first beam enters the area P24 of the first moving mirror 15 through the quarter-wave plate 14, and the first beam reflected by the first moving mirror 15 passes through the quarter-wave plate 14. And returns to the region P16 of the polarization beam splitter surface 11a. Since the first beam is P-polarized, it directly passes through the surface 11a and enters the receiver 10.

【0040】一方、偏光ビームスプリッター面11aの
領域P13から直角プリズム23に向かった第2ビーム
は、直角プリズム23で反射されて偏光ビームスプリッ
ター面11aの領域P15に入射する。第1ビームはP
偏光であるため、この偏光ビームスプリッター面11a
を透過して1/4波長板14を介して第2の移動鏡16
の領域P33に入射する。この第2の移動鏡16で反射
された第2ビームは、1/4波長板14を経て偏光ビー
ムスプリッター面11aの領域P15に入射してこの面
11aで反射される。その後、第2ビームは反射面11
bの領域P18で反射された後に、1/4波長板14を
経て第2の移動鏡16の領域P34に入射し、この領域
P34で反射された第2ビームは1/4波長板14及び
反射面11bの領域P18を経て偏光ビームスプリッタ
ー面11aの領域P15に入射する。
On the other hand, the second beam traveling from the area P13 on the polarization beam splitter surface 11a to the right-angle prism 23 is reflected by the right-angle prism 23 and enters the area P15 on the polarization beam splitter surface 11a. The first beam is P
Since it is polarized light, this polarization beam splitter surface 11a
Through the quarter wave plate 14 and the second movable mirror 16
Is incident on the area P33. The second beam reflected by the second movable mirror 16 passes through the quarter-wave plate 14 and enters the region P15 of the polarization beam splitter surface 11a and is reflected by this surface 11a. After that, the second beam is reflected by the reflecting surface 11.
After being reflected by the region P18 of b, it is incident on the region P34 of the second movable mirror 16 through the quarter-wave plate 14 and the second beam reflected by this region P34 is reflected by the quarter-wave plate 14 and the reflection. The light enters the region P15 of the polarization beam splitter surface 11a through the region P18 of the surface 11b.

【0041】今回は第2ビームはP偏光となっているの
でそのまま領域P15を透過して、1/2波長板18A
を介して直角プリズム17に入射し、この直角プリズム
17で反射された第2ビームはプリズム体11の偏光ビ
ームスプリッター面11aの領域P16に入射する。第
2ビームは1/2波長板18AによりS偏光となってい
るので、その面11aの領域P16で反射されてレシー
バ10に入射する。レシーバ10には、第1の移動鏡1
5で4回反射された第1ビームと第2の移動鏡16で4
回反射された第2ビームとが混合されて入射する。従っ
て、第1の移動鏡15と第2の移動鏡16との相対的な
X方向の所定の移動量に対して、図1の例では例えばN
カウントの計数パルスが得られるとすると、図2の例で
は2Nカウントの倍の計数パルスが得られる。従って、
図2の例では分解能が2倍に改善されている。
Since the second beam is P-polarized this time, it passes through the region P15 as it is, and the half-wave plate 18A
The second beam reflected by the right-angled prism 17 is incident on the region P16 of the polarization beam splitter surface 11a of the prism body 11 via the. Since the second beam is S-polarized by the half-wave plate 18A, it is reflected by the area P16 on the surface 11a and enters the receiver 10. The receiver 10 has a first moving mirror 1
The first beam reflected four times by 5 and the second beam by the second moving mirror 16
The second beam that has been reflected once is mixed and incident. Therefore, in the example of FIG. 1, for example, N is set with respect to a predetermined relative movement amount in the X direction between the first movable mirror 15 and the second movable mirror 16.
Assuming that counting pulses for counting are obtained, in the example of FIG. 2, counting pulses twice as many as 2N counts are obtained. Therefore,
In the example of FIG. 2, the resolution is doubled.

【0042】また、図2の例でも第1ビームと第2ビー
ムとのプリズム体11を構成する直角プリズム12及び
13の内部における光路の長さはそれぞれ等しい。従っ
て、直角プリズム12と直角プリズム13との温度差が
生じても両ビームの光路長の差は変化することがなく、
計測誤差が生じない。なお、図2において、レシーバ1
0が配置されている位置に更に別の直角プリズム又はコ
ーナーキューブを配置して、レシーバ10の位置をずら
すことにより、分解能をより改善することができる。
Also in the example of FIG. 2, the lengths of the optical paths inside the rectangular prisms 12 and 13 forming the prism body 11 of the first beam and the second beam are equal to each other. Therefore, even if the temperature difference between the right-angle prism 12 and the right-angle prism 13 occurs, the difference in the optical path lengths of both beams does not change,
No measurement error occurs. In FIG. 2, the receiver 1
The resolution can be further improved by disposing another right-angle prism or corner cube at the position where 0 is disposed and shifting the position of the receiver 10.

【0043】また、図2の実施例では、1/4波長板1
4を1枚で構成した場合を示しているが、点線に示す如
く、第1の移動鏡15の各領域P21,P24の反射に
より往復する2つの往復光路中に1/4波長板14a、
第1の移動鏡15の各領域P22,P23の反射により
往復する2つの往復光路中に1/4波長板14b、第2
の移動鏡16の各領域P31,P34の反射により往復
する2つの往復光路中に1/4波長板14c、第2の移
動鏡16の各領域P32,P33の反射により往復する
2つの往復光路中に1/4波長板14dを分割的に配置
しても良いことは言うまでもない。
In the embodiment shown in FIG. 2, the quarter wave plate 1 is used.
4 shows a case of being constituted by one sheet, but as shown by a dotted line, the quarter wave plate 14a in the two reciprocating optical paths reciprocating by the reflection of the respective regions P21 and P24 of the first moving mirror 15,
The quarter wave plate 14b and the second wavelength plate 14b are provided in the two reciprocating optical paths that reciprocate by the reflection of the regions P22 and P23 of the first movable mirror 15.
In the two reciprocating optical paths reciprocating by the reflection of the respective regions P31, P34 of the movable mirror 16 in the two reciprocating optical paths reciprocating by the reflection of the quarter wavelength plate 14c and the respective regions P32, P33 of the second moving mirror 16. Needless to say, the quarter-wave plate 14d may be dividedly arranged.

【0044】なお、上述実施例はヘテロダイン方式のレ
ーザー干渉計に本発明を適用したものであるが、本発明
はホモダイン方式の干渉計にも同様に適用することがで
きる。また、直角プリズム17及び23の代わりにコー
ナーキューブ等を使用してもよい。このように、本発明
は上述実施例に限定されず本発明の要旨を逸脱しない範
囲で種々の構成を取り得る。
Although the present invention is applied to the heterodyne type laser interferometer in the above-mentioned embodiment, the present invention can be applied to a homodyne type interferometer. Further, corner cubes or the like may be used instead of the right-angle prisms 17 and 23. As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various configurations can be taken without departing from the gist of the present invention.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明の第1の干渉計によれば、第1光
学部材及び第2光学部材をそれぞれ構成する光学部材の
間に温度差が生じても測定誤差が少ない利点がある。ま
た、第1光学部材及び第2光学部材を合わせた容積が従
来のプリズム体の容積よりも小さくなり、干渉計が全体
として小型化できる。
According to the first interferometer of the present invention, there is an advantage that a measurement error is small even if a temperature difference occurs between the optical members forming the first optical member and the second optical member. Further, the combined volume of the first optical member and the second optical member becomes smaller than the volume of the conventional prism body, and the interferometer can be downsized as a whole.

【0046】また、第2の干渉計によれば、第2偏向光
学部材が設けられているので、更に分解能が2倍に改善
される利点がある。更に、第1光学部材と第2光学部材
とを一体化した場合には、光学部材の間に温度差が生じ
ても測定誤差がより小さい利点がある。
Further, according to the second interferometer, since the second deflecting optical member is provided, there is an advantage that the resolution is further doubled. Further, when the first optical member and the second optical member are integrated, there is an advantage that the measurement error is smaller even if a temperature difference occurs between the optical members.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)は本発明による干渉計の一実施例を示す
斜視図、(b)は実施例のプリズム体11の平面図、
(c)は実施例のプリズム体の他の例を示す平面図であ
る。
1A is a perspective view showing an embodiment of an interferometer according to the present invention, FIG. 1B is a plan view of a prism body 11 of the embodiment, FIG.
(C) is a plan view showing another example of the prism body of the embodiment.

【図2】本発明の他の実施例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.

【図3】(a)は従来の干渉計を示す構成図、(b)は
従来のプリズム体2の平面図である。
FIG. 3A is a configuration diagram showing a conventional interferometer, and FIG. 3B is a plan view of a conventional prism body 2.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザー光源 10 レシーバ 11 プリズム体 12,13 直角プリズム 14 1/4波長板 15 第1の移動鏡 16 第2の移動鏡 17 直角プリズム 18,18A 1/2波長板 23 直角プリズム 1 Laser Light Source 10 Receiver 11 Prism Body 12, 13 Right Angle Prism 14 1/4 Wave Plate 15 First Moving Mirror 16 Second Moving Mirror 17 Right Angle Prism 18, 18A 1/2 Wave Plate 23 Right Angle Prism

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 コヒーレントなビームを供給する光源
と、 第1偏光分離面と第1反射面とが互いに直交して設けら
れ、前記第1偏光分離面によって前記光源からのビーム
を第1方向の第1ビームと第2方向の第2ビームとに分
離する第1光学部材と、 前記第1偏光分離面と前記第1反射面とで形成される稜
線方向に並設されると共に、前記第1偏光分離面と平行
な第2偏光分離面と前記第1反射面と平行な第2反射面
とが互いに直交して設けられた第2光学部材と、 前記第1偏光分離面と前記第1反射面とに対し45゜傾
いた第1基準面と平行に設けられた第1及び第2の4分
の1波長板と、 前記第1基準面と平行でかつ前記第2偏光分離面と前記
第2反射面とに対し45゜傾いた第2基準面と平行に設
けられた第3及び第4の4分の1波長板と、 前記第1偏光分離面によって前記第1方向に分離された
前記第1ビームを前記第1の4分の1波長板を介して反
射させて再び前記第1偏光分離面へ戻すと共に、前記第
1偏光分離面に戻った前記第1ビームを前記第1反射面
及び前記第2の4分の1波長板を介して反射させて前記
第1偏光分離面へ戻す第1反射部材と、 該第1反射部材の2回の反射によって前記第1偏光分離
面に戻されることにより前記第2方向に導かれる前記第
1ビームと前記第1偏光分離面にて前記第2方向に分割
される前記光源からの前記第2ビームとを各々偏向させ
て前記第2偏光分離面へ導く偏向光学部材と、 前記第2偏光分離面にて前記第1ビームを前記第1方向
へ、前記第2ビームを前記第2方向へそれぞれ分離する
ために、前記第1偏光分離面から前記第2方向に射出し
た前記第1ビーム及び前記第ビーム2が前記偏向光学部
材によって前記第2偏光分離面へ至るまでに前記第1ビ
ーム及び前記第2ビームの偏光面を各々90度回転させ
る偏光面回転手段と、 前記第2偏光分離面によって前記第2方向に導かれた前
記第2ビームを前記第2反射面及び前記第3の4分の1
波長板を介して反射させて再び前記第2偏光分離面へ戻
すと共に、前記第2偏光分離面へ戻った前記第2ビーム
を前記第4の4分の1波長板を介して反射させて前記第
2偏光分離面へ戻す第2反射部材と、 該第2反射部材の2回の反射によって前記第2偏光分離
面に戻されることにより前記第2偏光分離面にて前記第
2方向に導かれる前記第1ビームと前記第2偏光分離面
にて前記第2方向に導かれる前記第2ビームとを受光す
る受光手段とを有し、 前記第1反射部材と前記第2反射部材との相対的な移動
量を検出する事を特徴とする干渉計。
1. A light source for supplying a coherent beam, a first polarization splitting surface and a first reflection surface are provided orthogonal to each other, and the beam from the light source is directed in a first direction by the first polarization splitting surface. A first optical member that separates a first beam and a second beam in a second direction; and a first optical member that is arranged in parallel in a ridge direction formed by the first polarization splitting surface and the first reflecting surface, A second optical member provided with a second polarized light separating surface parallel to the polarized light separating surface and a second reflective surface parallel to the first reflecting surface orthogonal to each other; the first polarized light separating surface and the first reflection surface; A first and a second quarter-wave plate provided parallel to the first reference plane inclined by 45 ° with respect to the plane, and parallel to the first reference plane and the second polarization splitting surface and the first reference plane. The third and fourth quarter-waves provided in parallel with the second reference plane inclined by 45 ° with respect to the two reflection surfaces A plate, and the first beam separated by the first polarization splitting surface in the first direction is reflected through the first quarter-wave plate and returned to the first polarization splitting surface again, A first reflecting member that reflects the first beam returning to the first polarization splitting surface through the first reflecting surface and the second quarter-wave plate and returns the first beam to the first polarization splitting surface; The first beam guided in the second direction by being returned to the first polarization splitting surface by two reflections of the first reflecting member and split in the second direction by the first polarization splitting surface. A deflection optical member that deflects the second beam from the light source and guides the second beam to the second polarization splitting surface; and the second beam splitting surface that directs the first beam in the first direction and the second beam. Are separated from each other in the second direction from the first polarization splitting surface. The polarization planes of the first beam and the second beam are rotated by 90 degrees until the first beam and the second beam 2 emitted in the second direction reach the second polarization separation plane by the deflection optical member. A polarization plane rotating means and the second beam guided in the second direction by the second polarization splitting surface to the second reflection surface and the third quarter.
The light beam is reflected through the wave plate and returned to the second polarization separation surface, and the second beam returned to the second polarization separation surface is reflected through the fourth quarter wave plate and A second reflecting member that returns to the second polarized light splitting surface, and is guided to the second direction by the second polarized light splitting surface by being returned to the second polarized light splitting surface by two reflections of the second reflecting member. A light receiving unit that receives the first beam and the second beam guided in the second direction by the second polarization splitting surface, and the first reflecting member and the second reflecting member are relative to each other. An interferometer characterized by detecting various movement amounts.
【請求項2】 コヒーレントなビームを供給する光源
と、 第1偏光分離面と第1反射面とが互いに直交して設けら
れ、前記第1偏光分離面によって前記光源からのビーム
を第1方向の第1ビームと第2方向の第2ビームとに分
離する第1光学部材と、 前記第1偏光分離面と前記第1反射面とで形成される稜
線方向に並設されると共に、前記第1偏光分離面と平行
な第2偏光分離面と前記第1反射面と平行な第2反射面
とが互いに直交して設けられた第2光学部材と、 前記第1偏光分離面と前記第1反射面とに対し45゜傾
いた第1基準面と平行に設けられた第1及び第2の4分
の1波長板と、 前記第1基準面と平行でかつ前記第2偏光分離面と前記
第2反射面とに対し45゜傾いた第2基準面と平行に設
けられた第3及び第4の4分の1波長板と、 前記第1偏光分離面によって前記第1方向に分離された
前記第1ビームを前記第1の4分の1波長板を介して反
射させて再び前記第1偏光分離面へ戻すと共に、前記第
1偏光分離面に戻った前記第1ビームを前記第1反射面
及び前記第2の4分の1波長板を介して反射させて前記
第1偏光分離面へ戻す第1反射部材と、 該第1反射部材の2回の反射によって前記第1偏光分離
面に戻されることにより前記第2方向に導かれる前記第
1ビームと前記第1偏光分離面にて前記第2方向に分割
される前記光源からの前記第2ビームとを各々偏向させ
て前記第2偏光分離面へ導く第1偏向光学部材と、 前記第2偏光分離面にて前記第1ビームを前記第1方向
へ、前記第2ビームを前記第2方向へそれぞれ分割する
ために、前記第1偏光分離面から前記第2方向に射出し
た前記第1ビーム及び前記第2ビームが前記第1偏向光
学部材によって前記第2偏光分離面へ至るまでに前記第
1ビーム及び前記第2ビームの偏光面を各々90度回転
させる偏光面回転手段と、 前記第2偏光分離面によって前記第2方向に導かれた前
記第2ビームを前記第2反射面及び前記第3の4分の1
波長板を介して反射させて再び前記第2偏光分離面へ戻
すと共に、前記第2偏光分離面へ戻った前記第2ビーム
を前記第4の4分の1波長板を介して反射させて前記第
2偏光分離面へ戻す第2反射部材と、 該第2反射部材の2回の反射によって前記第2偏光分離
面に戻されることにより前記第2偏光分離面にて前記第
2方向に導かれる前記第1ビームと前記第2偏光分離面
にて前記第2方向に導かれると前記第2ビームとを再び
前記第2偏光分離面へ向けて偏向させ、前記第1及び第
2ビームが各々辿った逆の光路と平行な並列光路に各々
ずらす第2偏向光学部材と、 該第2偏向光学部材によって前記第1及び第2ビームが
辿った逆の光路と平行な並列光路を辿って前記第1偏光
分離面を射出した前記第1及び第2ビームを受光する受
光手段とを有し、 前記第1反射部材と前記第2反射部材との相対的な移動
量を検出する事を特徴とする干渉計。
2. A light source for supplying a coherent beam, a first polarization splitting surface and a first reflection surface are provided orthogonal to each other, and the beam from the light source is directed in a first direction by the first polarization splitting surface. A first optical member that separates a first beam and a second beam in a second direction; and a first optical member that is arranged in parallel in a ridge direction formed by the first polarization splitting surface and the first reflecting surface, A second optical member provided with a second polarized light separating surface parallel to the polarized light separating surface and a second reflective surface parallel to the first reflecting surface orthogonal to each other; the first polarized light separating surface and the first reflection surface; A first and a second quarter-wave plate provided parallel to the first reference plane inclined by 45 ° with respect to the plane, and parallel to the first reference plane and the second polarization splitting surface and the first reference plane. The third and fourth quarter-waves provided in parallel with the second reference plane inclined by 45 ° with respect to the two reflection surfaces A plate, and the first beam separated by the first polarization splitting surface in the first direction is reflected through the first quarter-wave plate and returned to the first polarization splitting surface again, A first reflecting member that reflects the first beam returning to the first polarization splitting surface through the first reflecting surface and the second quarter-wave plate and returns the first beam to the first polarization splitting surface; The first beam guided in the second direction by being returned to the first polarization splitting surface by two reflections of the first reflecting member and split in the second direction by the first polarization splitting surface. A first deflecting optical member for respectively deflecting the second beam from the light source and guiding the second beam to the second polarization splitting surface; and a second polarization splitting surface for directing the first beam in the first direction. In order to split the two beams in the second direction, the first polarization splitting surface From the first beam and the second beam emitted in the second direction to the second polarization splitting surface by the first deflection optical member, the polarization planes of the first beam and the second beam are respectively 90 degrees. A polarization plane rotation means for rotating the second beam by the second polarization splitting surface in the second direction, and the second reflection surface and the third quarter.
The light beam is reflected through the wave plate and returned to the second polarization separation surface, and the second beam returned to the second polarization separation surface is reflected through the fourth quarter wave plate and A second reflecting member that returns to the second polarized light splitting surface, and is guided to the second direction by the second polarized light splitting surface by being returned to the second polarized light splitting surface by two reflections of the second reflecting member. When the first beam and the second polarization separation surface are guided in the second direction, the second beam is deflected again toward the second polarization separation surface, and the first and second beams trace each other. A second deflecting optical member that shifts to a parallel optical path that is parallel to the opposite optical path, and the first optical path that follows the parallel optical path that is parallel to the opposite optical paths that the first and second beams follow by the second deflecting optical member. Receiver for receiving the first and second beams emitted from the polarization splitting surface Has the door, interferometer, characterized in that for detecting the amount of relative movement between said second reflecting member and the first reflecting member.
【請求項3】 前記第1光学部材と前記第2光学部材と
が一体的に設けられている事を特徴とする請求項1又は
2記載の干渉計。
3. The interferometer according to claim 1, wherein the first optical member and the second optical member are integrally provided.
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