JPH05226536A - Manufacture of lead frame - Google Patents
Manufacture of lead frameInfo
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- JPH05226536A JPH05226536A JP5891292A JP5891292A JPH05226536A JP H05226536 A JPH05226536 A JP H05226536A JP 5891292 A JP5891292 A JP 5891292A JP 5891292 A JP5891292 A JP 5891292A JP H05226536 A JPH05226536 A JP H05226536A
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームの製造方
法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a lead frame.
【0002】[0002]
【従来の技術】リードフレームはエッチングあるいはプ
レス加工によって製造するが、ワイヤボンディング性を
良好にするためワイヤボンディング部に銀めっきを施し
て製品とする場合がある。この銀めっきはインナーリー
ドのワイヤボンディング面に施すもので、ワイヤボンデ
ィング面とは反対側の面をシールするとともにワイヤボ
ンディング面側では銀めっきを施す範囲を露出させるよ
うにマスクしてめっきする。図5はエッチング法によっ
てリードフレームを製造する場合で、リードフレーム材
2にレジストパターン3を形成し(図5(a) )、エッチ
ングしてリード4を形成し(図5(b) )、リードフレー
ムのワイヤボンディング面とは反対側の面をシールして
銀めっき5を施す(図5(c) )様子を示す。2. Description of the Related Art A lead frame is manufactured by etching or press working, but in order to improve the wire bonding property, the wire bonding portion may be silver plated to obtain a product. This silver plating is applied to the wire bonding surface of the inner lead. The surface opposite to the wire bonding surface is sealed, and the wire bonding surface is masked and plated to expose the area to be silver plated. FIG. 5 shows a case where a lead frame is manufactured by an etching method. A resist pattern 3 is formed on a lead frame material 2 (FIG. 5 (a)), and a lead 4 is formed by etching (FIG. 5 (b)). A state in which the surface opposite to the wire bonding surface of the frame is sealed and silver plating 5 is applied (FIG. 5 (c)) is shown.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】リードフレームに銀め
っきを施す際には上記のようにリードフレームのめっき
を施さない面をシールしてめっきするが、このめっきの
際にリード側面を完全にはシールできないことから銀め
っき液が反対側のめっきを施さない面に流れ出してリー
ドフレームの裏面に銀めっきがつく場合がある。リード
フレームに対してワイヤボンディングする場合はリード
フレームをヒーターブロックにのせてワイヤを打つよう
にするが、上記のようにリードフレームの裏面に銀めっ
きがついていると、ワイヤボンディングの際にリードフ
レームからヒーターブロックに銀が転写されてヒーター
ブロックに付着するという問題が生じる。When silver plating is applied to the lead frame, the non-plated surface of the lead frame is sealed and plated as described above, but the lead side surface is not completely removed during this plating. Since it is not possible to seal, the silver plating solution may flow out to the opposite surface, which is not plated, and the back surface of the lead frame may be silver-plated. When wire bonding to the lead frame, put the lead frame on the heater block and hit the wire, but if the back surface of the lead frame has silver plating as described above, it will be There is a problem that silver is transferred to the heater block and adheres to the heater block.
【0004】ワイヤボンディングを何回も繰り返すと徐
々にヒーターブロックに銀が蓄積していくが、このヒー
ターブロックに付着した銀はリードフレームをヒーター
ブロックにくっつける作用をなし、ワイヤボンディング
後にリードフレームをヒーターブロックから引き離しに
くくしてリードに変形を起こさせ、ボンディングワイヤ
がショートするといった問題を起こす。また、ワイヤボ
ンディングの際にはボンダーがインナーリード位置を認
識してボンディングするが、上記のようにヒーターブロ
ックに銀が付着するとヒーターブロックが白っぽくなり
インナーリードの銀めっき部分と識別しにくくなってイ
ンナーリードの誤認識が生じるといった問題点がある。When wire bonding is repeated many times, silver gradually accumulates in the heater block. The silver adhering to this heater block has a function of sticking the lead frame to the heater block, and the lead frame is heated after the wire bonding. This makes it difficult to separate the block from the block and causes deformation of the lead, causing a problem of short-circuiting of the bonding wire. In addition, when wire bonding, the bonder recognizes the position of the inner lead and performs bonding, but if silver adheres to the heater block as described above, the heater block becomes whitish and it is difficult to distinguish it from the silver-plated portion of the inner lead. There is a problem that the lead is erroneously recognized.
【0005】また、従来の銀めっき方法によるとリード
フレームの裏面をシールし他面側を露出させてめっきす
るから、図5のようにリードの側面全体が銀めっき5に
よって覆われ、これによって銀のマイグレーションが起
きやすいという問題点があった。そこで、本発明は上記
問題点を解消すべくなされたものであり、その目的とす
るところは、銀めっきの際にめっき液がリードフレーム
の裏面側に回り込むことを防止し、ヒーターブロックに
銀めっきが付着するという問題を解消して好適なワイヤ
ボンディングを行うことができるとともに、銀マイグレ
ーションの問題を解消するリードフレームの製造方法を
提供するにある。Further, according to the conventional silver plating method, the back surface of the lead frame is sealed and the other surface is exposed and plating is performed, so that the entire side surface of the lead is covered with the silver plating 5 as shown in FIG. However, there was a problem that migration was likely to occur. Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to prevent the plating solution from wrapping around to the back surface side of the lead frame during silver plating and to silver-plat the heater block. Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a lead frame, which can solve the problem of adhesion of silver and perform suitable wire bonding and can solve the problem of silver migration.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、リードフレーム
材にエッチングによりリードパターンが形成され、イン
ナーリードのボンディング面等の所要個所に銀めっきが
施されたリードフレームの製造方法において、前記リー
ドフレーム材の片面に、所要の銀めっきのパターンを形
成した後、該銀めっきのパターンを残して前記リードフ
レーム材をエッチングしてリードパターンを形成するこ
とを特徴とする。また、前記リードフレーム材の片面に
部分的に銀めっきを施し、銀めっきを含むリードフレー
ム材の両面にリードパターンにしたがってレジストパタ
ーンを形成した後、前記銀めっきおよびリードフレーム
材をエッチングしてリードパターンを形成することを特
徴とする。また、前記リードフレーム材の片面に所要の
銀めっきのパターンにしたがって銀めっきを施し、さら
にリードフレーム材にリードパターンにしたがってレジ
ストパターンを形成した後、前記リードフレーム材をエ
ッチングしてリードパターンを形成することを特徴とす
る。The present invention has the following constitution in order to achieve the above object. That is, in a method of manufacturing a lead frame in which a lead pattern is formed on a lead frame material by etching, and a required portion such as a bonding surface of an inner lead is plated with silver, one surface of the lead frame material is provided with a required silver plating. After forming the pattern, the lead frame material is etched by leaving the silver-plated pattern and forming the lead pattern. Also, one side of the lead frame material is partially silver-plated, resist patterns are formed on both sides of the lead frame material including silver plating according to the lead pattern, and then the silver plating and the lead frame material are etched to form leads. It is characterized by forming a pattern. Further, one side of the lead frame material is silver-plated according to a required silver plating pattern, a resist pattern is further formed on the lead frame material according to the lead pattern, and then the lead frame material is etched to form a lead pattern. It is characterized by doing.
【0007】[0007]
【作用】リードフレーム材を所定パターンでエッチング
してリードパターンを形成する際に、リードフレーム材
をエッチングする前段階であらかじめリードパターンに
したがって銀めっきを施した後、リードフレーム材をエ
ッチングすることによって所要のリードパターンを有す
るリードフレームを形成する。リードフレーム材にあら
かじめ銀めっきを施すことによってリードフレームの裏
面等に銀めっき液がまわり込むことを防止し、リードフ
レームの必要部位にのみ銀めっきを施したリードフレー
ムを得ることができる。When the lead frame material is etched in a predetermined pattern to form the lead pattern, silver is plated in accordance with the lead pattern before the lead frame material is etched, and then the lead frame material is etched. A lead frame having a required lead pattern is formed. By preliminarily silver-plating the lead frame material, it is possible to prevent the silver plating solution from wrapping around the back surface of the lead frame, etc., and it is possible to obtain a lead frame in which only necessary portions of the lead frame are plated with silver.
【0008】[0008]
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図1は本発明に係るリードフレ
ームの製造方法で第1の実施例を示す説明図である。こ
の実施例ではリードフレーム材の片面に部分的に銀めっ
きを施し、この銀めっきをエッチングして銀めっきのパ
ターンを形成してからリードフレーム材をエッチングし
てリードパターンを形成することを特徴とする。図1
(a) はリードフレーム材10の片面に部分的に銀めっき
12を施した状態である。図2(a) にリードフレーム材
10および部分的に施した銀めっき12の平面図を示
す。この銀めっき12はリードフレームに最終的に銀め
っきが必要な範囲に設ける。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an explanatory view showing a first embodiment of a lead frame manufacturing method according to the present invention. In this embodiment, one surface of the lead frame material is partially silver-plated, the silver plating is etched to form a silver plating pattern, and then the lead frame material is etched to form a lead pattern. To do. Figure 1
(a) is a state in which silver plating 12 is partially applied to one surface of the lead frame material 10. FIG. 2A shows a plan view of the lead frame material 10 and the silver plating 12 partially applied. The silver plating 12 is provided on the lead frame in a range where silver plating is finally required.
【0009】部分的に銀めっき12を施した後、形成す
べきリードパターンにしたがってリードフレーム材10
にレジストパターン14を形成する(図1(b) )。レジ
ストパターン14は図のようにリードフレーム材10の
両面に設ける。図2(b) はリードフレーム材10にレジ
ストパターン14を形成した状態を説明的に示す。次い
で、部分的に施した銀めっき12に対してエッチングを
行い銀めっき12をパターニングする。図1(c) に銀め
っき12をエッチングした状態を示す。銀めっき12を
エッチングすることによってリードフレーム材10のエ
ッチングする面がすべて露出するから、この状態でリー
ドフレーム材10をエッチングする。After the silver plating 12 is partially applied, the lead frame material 10 is formed according to the lead pattern to be formed.
A resist pattern 14 is formed on the surface (FIG. 1 (b)). The resist pattern 14 is provided on both sides of the lead frame material 10 as shown in the figure. FIG. 2B illustrates the state in which the resist pattern 14 is formed on the lead frame material 10. Next, the silver plating 12 that has been partially applied is etched to pattern the silver plating 12. FIG. 1 (c) shows a state where the silver plating 12 is etched. Since the surface of the lead frame material 10 to be etched is exposed by etching the silver plating 12, the lead frame material 10 is etched in this state.
【0010】図1(d) はリードフレーム材10をエッチ
ングしてリードパターン16を形成した状態である。こ
のリードフレーム材10をエッチングしてリードパター
ンを形成する方法は従来のエッチング法によるリードフ
レームの製造方法と同様である。リードフレーム材10
を両面からエッチングすることによって所定のリードパ
ターンを有するリードフレームを形成することができ
る。図1(e) はレジストパターン14を溶解除去して最
終製品とした状態である。このようにして銀めっき12
が施された所要のリードを有するリードフレームが得ら
れる。FIG. 1D shows a state in which the lead pattern material 16 is formed by etching the lead frame material 10. The method of etching the lead frame material 10 to form a lead pattern is the same as the conventional method of manufacturing a lead frame. Lead frame material 10
It is possible to form a lead frame having a predetermined lead pattern by etching from both sides. FIG. 1E shows a state in which the resist pattern 14 is dissolved and removed to form a final product. In this way silver plating 12
A lead frame having the required leads provided with is obtained.
【0011】本実施例の製造方法による場合は、部分的
に銀めっき12をリードパターン16を形成する前にリ
ードフレーム材10の片面に施すから従来のように銀め
っきを施す際にめっき液がリードフレームの裏面側に回
り込むといったことが完全に防止でき、銀めっき12が
リードフレームの裏面につくことを防止することができ
る。また、銀めっき12はリードの上面のボンディング
面に形成されリードの側面にはつかないから銀のマイグ
レーションといった問題を好適に回避することができ
る。なお、上記実施例では銀めっき12のエッチングと
リードフレーム材10のエッチングを分けて行ったが、
リードフレーム材10の材質によっては銀めっき12の
エッチングとリードフレーム材10のエッチングを同時
に行うことも可能である。According to the manufacturing method of this embodiment, since the silver plating 12 is partially applied to one surface of the lead frame material 10 before the lead pattern 16 is formed, the plating solution is conventionally used for silver plating. It is possible to completely prevent the lead frame from wrapping around on the back surface of the lead frame, and to prevent the silver plating 12 from adhering to the back surface of the lead frame. Further, since the silver plating 12 is formed on the bonding surface on the upper surface of the lead and does not adhere to the side surface of the lead, it is possible to preferably avoid the problem of silver migration. In the above embodiment, the etching of the silver plating 12 and the etching of the lead frame material 10 were performed separately.
Depending on the material of the lead frame material 10, it is possible to etch the silver plating 12 and the lead frame material 10 at the same time.
【0012】図3は本発明に係るリードフレームの製造
方法の第2の実施例を示す。本実施例ではまずリードフ
レーム材10に部分的に銀めっきを施す際に、あらかじ
め最終の銀めっきのパターンに従って銀めっきを施す。
図3(a) はリードフレーム材10の片面に銀めっきのパ
ターン20を形成した状態である。銀めっきのパターン
20はたとえばマスクシール法によって形成する。図4
(a) にリードフレーム材10に銀めっきのパターン20
を形成した様子を示す。本方法ではこのように銀めっき
を必要とする部分にのみまず銀めっきを施す。FIG. 3 shows a second embodiment of the lead frame manufacturing method according to the present invention. In this embodiment, first, when the lead frame material 10 is partially silver-plated, it is previously silver-plated in accordance with the final silver-plating pattern.
FIG. 3A shows a state in which a silver-plated pattern 20 is formed on one surface of the lead frame material 10. The silver-plated pattern 20 is formed by, for example, a mask sealing method. Figure 4
(a) Lead frame material 10 and silver-plated pattern 20
A state in which is formed is shown. In this method, the silver plating is first applied only to the portion requiring the silver plating.
【0013】銀めっきのパターン20を形成した後、エ
ッチングによってリードパターンを形成するためレジス
トを塗布し、露光、現像してレジストパターンを形成す
る。図3(b) はレジストパターン22を形成した状態で
ある。レジストパターン22は両面からエッチングする
ためリードフレーム材10の両面に形成している。銀め
っきのパターン20を形成した部分はレジストパターン
22で被覆されて保護される。図4(b) にレジストパタ
ーン22を形成した状態の平面図を示す。次いで、リー
ドフレーム材10をエッチングしてリードパターンを形
成する。図3(c) にエッチング後の状態を示す。さら
に、レジストパターン22を溶解除去して製品とする
(図3(d) )。After the silver-plated pattern 20 is formed, a resist is applied by etching to form a lead pattern, which is exposed and developed to form a resist pattern. FIG. 3B shows a state where the resist pattern 22 is formed. Since the resist pattern 22 is etched from both sides, it is formed on both sides of the lead frame material 10. The portion where the silver-plated pattern 20 is formed is covered and protected by the resist pattern 22. FIG. 4B is a plan view showing a state where the resist pattern 22 is formed. Then, the lead frame material 10 is etched to form a lead pattern. Figure 3 (c) shows the state after etching. Further, the resist pattern 22 is dissolved and removed to obtain a product (FIG. 3 (d)).
【0014】図3(d) で24はステージ、26はインナ
ーリード、20は銀めっきである。得られたリードフレ
ームは図のようにボンディング面等の必要個所に銀めっ
き20が施された製品となる。この実施例の方法の場合
もリードフレーム材10にまず銀めっきのパターン20
を形成してからリードフレーム材10をエッチングして
リードパターンを形成するから銀めっきがリードフレー
ムの裏面につくといった問題を解消することができる。
なお、本実施例では銀めっきのパターン20を形成した
後は、レジストパターン22の形成工程以降は、従来の
エッチング法によるリードフレームの製造方法をそのま
ま適用できるという利点がある。本発明に係るリードフ
レームの製造方法は、種々のリードパターンを有するリ
ードフレームに適用できるものであり、銀めっきを施す
部位も製品に応じて適宜設定して利用することができ
る。In FIG. 3 (d), 24 is a stage, 26 is an inner lead, and 20 is silver plating. The obtained lead frame is a product in which silver plating 20 is applied to necessary portions such as a bonding surface as shown in the figure. Also in the case of the method of this embodiment, first, the silver plating pattern 20 is formed on the lead frame material 10.
Since the lead frame material 10 is etched to form the lead pattern after the formation, the problem of silver plating on the back surface of the lead frame can be solved.
In this embodiment, after the silver-plated pattern 20 is formed, the lead frame manufacturing method by the conventional etching method can be applied as it is after the step of forming the resist pattern 22. INDUSTRIAL APPLICABILITY The lead frame manufacturing method according to the present invention can be applied to lead frames having various lead patterns, and the portion to be silver-plated can be appropriately set and used according to the product.
【0015】[0015]
【発明の効果】本発明に係るリードフレームの製造方法
によれば、上述したように、リード等に設ける銀めっき
がリードフレームの裏面につくことを完全に防止できる
から、ワイヤボンディングの際に用いるヒータブロック
にリードフレームから銀が転写されることがなくなり、
ワイヤボンディングの際にヒータブロックにリードフレ
ームがくっついたり、ワイヤボンディングの際にボンデ
ィング部を誤認識したりするといった問題を解消するこ
とができる。また、銀めっきはリードフレームのボンデ
ィング面のみに形成されリードの側面にはつかないから
銀のマイグレーションによる問題も解消することができ
る等の著効を奏する。As described above, according to the method of manufacturing a lead frame of the present invention, it is possible to completely prevent the silver plating provided on the lead or the like from adhering to the back surface of the lead frame. Silver is no longer transferred from the lead frame to the heater block,
It is possible to solve the problem that the lead frame sticks to the heater block during wire bonding and that the bonding portion is erroneously recognized during wire bonding. Further, the silver plating is formed only on the bonding surface of the lead frame and does not attach to the side surface of the lead, so that the problem due to silver migration can be solved, and so on.
【図1】リードフレームの製造方法の一実施例を示す説
明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing an example of a method of manufacturing a lead frame.
【図2】リードフレーム材に銀めっきを施した状態の説
明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which a lead frame material is plated with silver.
【図3】リードフレームの製造方法の他の実施例を示す
説明図である。FIG. 3 is an explanatory view showing another embodiment of the method of manufacturing the lead frame.
【図4】リードフレーム材に銀めっきのパターンを形成
した状態を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state where a silver plating pattern is formed on a lead frame material.
【図5】リードフレームに銀めっきを施す従来例を示す
説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a conventional example in which a lead frame is plated with silver.
2、10 リードフレーム材 3、14、22 レジストパターン 4 リード 5 銀めっき 12 銀めっき 16 リードパターン 20 銀めっきのパターン 24 ステージ 26 インナーリード 2, 10 Lead frame material 3, 14, 22 Resist pattern 4 Lead 5 Silver plating 12 Silver plating 16 Lead pattern 20 Silver plating pattern 24 Stage 26 Inner lead
Claims (3)
ードパターンが形成され、インナーリードのボンディン
グ面等の所要個所に銀めっきが施されたリードフレーム
の製造方法において、 前記リードフレーム材の片面に、所要の銀めっきのパタ
ーンを形成した後、 該銀めっきのパターンを残して前記リードフレーム材を
エッチングしてリードパターンを形成することを特徴と
するリードフレームの製造方法。1. A method of manufacturing a lead frame, wherein a lead pattern is formed on a lead frame material by etching, and silver plating is applied to a required portion such as a bonding surface of an inner lead. A method of manufacturing a lead frame, comprising forming a pattern of silver plating, and then etching the lead frame material while leaving the pattern of silver plating to form a lead pattern.
っきを施し、 銀めっきを含むリードフレーム材の両面にリードパター
ンにしたがってレジストパターンを形成した後、 前記銀めっきおよびリードフレーム材をエッチングして
リードパターンを形成することを特徴とする請求項1記
載のリードフレームの製造方法。2. A lead frame material is partially silver-plated on one surface, and a resist pattern is formed on both surfaces of the lead frame material including the silver plating according to the lead pattern, and then the silver plating and the lead frame material are etched. The lead frame is formed by forming a lead pattern.
きのパターンにしたがって銀めっきを施し、 さらにリードフレーム材にリードパターンにしたがって
レジストパターンを形成した後、 前記リードフレーム材をエッチングしてリードパターン
を形成することを特徴とする請求項1記載のリードフレ
ームの製造方法。3. A lead pattern is formed by applying silver plating on one surface of a lead frame material according to a required silver plating pattern, forming a resist pattern on the lead frame material according to the lead pattern, and then etching the lead frame material. The method for manufacturing a lead frame according to claim 1, wherein the lead frame is formed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5891292A JPH05226536A (en) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | Manufacture of lead frame |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5891292A JPH05226536A (en) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | Manufacture of lead frame |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05226536A true JPH05226536A (en) | 1993-09-03 |
Family
ID=13098033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5891292A Pending JPH05226536A (en) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | Manufacture of lead frame |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05226536A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009193997A (en) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Method of manufacturing partial plating lead frame |
-
1992
- 1992-02-12 JP JP5891292A patent/JPH05226536A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009193997A (en) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Method of manufacturing partial plating lead frame |
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