JPH0521551A - Testing apparatus for semiconductor device - Google Patents
Testing apparatus for semiconductor deviceInfo
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- JPH0521551A JPH0521551A JP3194845A JP19484591A JPH0521551A JP H0521551 A JPH0521551 A JP H0521551A JP 3194845 A JP3194845 A JP 3194845A JP 19484591 A JP19484591 A JP 19484591A JP H0521551 A JPH0521551 A JP H0521551A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイスの試験
装置に関する。より詳細には、本発明は、定加速度試験
と交流連続動作試験とを同時に行うことができる新規な
半導体デバイス試験装置の構成に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device testing apparatus. More specifically, the present invention relates to the configuration of a novel semiconductor device test apparatus capable of simultaneously performing a constant acceleration test and an AC continuous operation test.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、急速な発展を遂げた半導体デバイ
スの分野では、その用途の広がりと共に、半導体デバイ
スに対して要求される信頼性も極めて高度なものになっ
てきている。従って、出荷される半導体デバイスに対し
ては、物理的あるいは電気的な信頼性を保証するために
種々の評価試験が実施される。2. Description of the Related Art In recent years, in the field of semiconductor devices that have made rapid progress, their applications have expanded and the reliability required for semiconductor devices has become extremely high. Therefore, various evaluation tests are performed on the shipped semiconductor devices in order to guarantee physical or electrical reliability.
【０００３】信頼性確保のために実施される代表的な試
験方法のひとつに定加速度試験がある。図３は、この定
加速度試験を実施するために使用される装置の模式的な
構成を示す図である。A constant acceleration test is one of typical test methods carried out to ensure reliability. FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of an apparatus used for carrying out this constant acceleration test.
【０００４】同図に示すように、この試験装置は、回転
する主軸１を中心に対象に設けられた１対のアーム２
ａ、２ｂと、アーム２ａ、２ｂの端部に装着されたホル
ダ３ａ、３ｂとを備えている。As shown in the figure, this test apparatus has a pair of arms 2 provided around a rotating spindle 1.
a, 2b and holders 3a, 3b mounted on the ends of the arms 2a, 2b.
【０００５】この装置を使用するときは、ホルダ３ａ、
３ｂに、それぞれ半導体デバイス４ａ、４ｂを固定した
後、主軸１を回転させることにより、半導体デバイスに
対して大きな加速度を印加して、半導体デバイスの物理
的な信頼性を評価する。When using this device, the holder 3a,
After fixing the semiconductor devices 4a and 4b to 3b, respectively, the main shaft 1 is rotated to apply a large acceleration to the semiconductor device, and the physical reliability of the semiconductor device is evaluated.
【０００６】また、図４は、半導体デバイスに対する交
流連続動作試験を実施するために使用する装置の構成を
模式的に示す図である。FIG. 4 is a diagram schematically showing the structure of an apparatus used to carry out an AC continuous operation test on a semiconductor device.
【０００７】同図に示すように、この試験は、半導体デ
バイス４の端子のうちの何れかまたは複数に交流電源５
を接続し、半導体デバイス４に実際に電流を供給するこ
とにより、その半導体デバイス４の電気的な信頼性を評
価するものである。As shown in the figure, this test is carried out by applying an AC power supply 5 to any or a plurality of terminals of the semiconductor device 4.
Is connected and the current is actually supplied to the semiconductor device 4, so that the electrical reliability of the semiconductor device 4 is evaluated.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上述のような試験は、
製造された半導体デバイスに対してそれぞれ順次行うこ
とが一般的であるが、昨今の用途の拡大に呼応して飛躍
的に生産量の増加している半導体デバイスに対して各試
験をそれぞれ行うことは、実質的に生産性を低下させる
結果になっている。The test as described above is
It is common to perform each test on manufactured semiconductor devices one by one, but it is not , Has resulted in a substantial decrease in productivity.
【０００９】そこで、本発明は、上記従来技術の問題点
を解決し、複数の評価試験を同時に行うことができる新
規な試験装置を提供することをその目的としている。Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and to provide a new test apparatus capable of simultaneously performing a plurality of evaluation tests.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明に従うと、
電気信号の出力端子または入力端子を少なくともひとつ
具備する半導体デバイスの信頼性を評価するための試験
装置であって、半導体デバイスを保持することができる
ホルダを搭載し、回転可能に構成された円環状のターン
テーブルと、該ホルダに保持された半導体デバイスの少
なくともひとつの端子に対して電気的に接続され、該タ
ーンテーブルと共に回転するように構成された少なくと
もひとつの回転端子と、回転中の該回転端子に対して、
連続的または断続的に接触するように、該ターンテーブ
ルの内側に配置された少なくともひとつの固定端子とを
備え、試験に供する半導体デバイスを搭載した状態で該
ターンテーブルを回転させることにより、該半導体デバ
イスに対する定加速度試験を行いつつ、同時に、該固定
端子および該回転端子を介して該半導体デバイスに電力
を供給することにより該半導体デバイスに対する交流連
続動作試験を行うことができるように構成されているこ
とを特徴とする半導体デバイスの試験装置が提供され
る。That is, according to the present invention,
A test device for evaluating the reliability of a semiconductor device having at least one output terminal or input terminal for an electric signal, which is configured as a ring-shaped rotation holder equipped with a holder capable of holding the semiconductor device. A turntable and at least one rotating terminal electrically connected to at least one terminal of the semiconductor device held by the holder and configured to rotate with the turntable; For terminals
At least one fixed terminal arranged inside the turntable so as to make continuous or intermittent contact, and by rotating the turntable in a state in which a semiconductor device to be tested is mounted, the semiconductor While performing a constant acceleration test on the device, at the same time, by supplying power to the semiconductor device via the fixed terminal and the rotating terminal, it is possible to perform an AC continuous operation test on the semiconductor device. There is provided a semiconductor device test apparatus characterized by the above.
【００１１】[0011]
【作用】本発明に従う試験装置は、定加速試験と交流連
続動作試験とを同時に行うことができるように構成され
ている点にその主要な特徴がある。The test apparatus according to the present invention is characterized mainly in that the constant acceleration test and the AC continuous operation test can be simultaneously performed.
【００１２】即ち、本発明に係る試験装置は、試験に供
する半導体デバイスを搭載したまま回転可能なな環状の
ターンテーブルを備えており、さらに、このターンテー
ブルは、搭載した半導体デバイスの少なくともひとつの
端子と電気的に接続された回転端子を備えている。ま
た、この環状ターンテーブルの中央には、ターンテーブ
ル側に設けられた回転端子に対して断続的または連続的
に接触するような位置に配置されたひとつまたは複数の
固定端子が設けられている。従って、この固定端子を電
源に接続することにより、回転端子を介して、ターンテ
ーブル上の半導体デバイスに対して断続的または連続的
に電力を供給することができる。That is, the test apparatus according to the present invention comprises a rotatable annular turntable with the semiconductor device to be tested mounted, and this turntable has at least one of the mounted semiconductor devices. The rotary terminal is electrically connected to the terminal. Further, at the center of the annular turntable, one or a plurality of fixed terminals are provided which are arranged at positions where the rotary terminals provided on the turntable side are brought into intermittent or continuous contact. Therefore, by connecting the fixed terminal to the power source, it is possible to intermittently or continuously supply power to the semiconductor device on the turntable through the rotary terminal.
【００１３】以上のように構成された試験装置は、以下
のように使用される。The test apparatus constructed as described above is used as follows.
【００１４】即ち、ターンテーブル上のホルダに、試験
に供する半導体デバイスを固定した後、ターンテーブル
を回転させる。このとき、ターンテーブルの回転によっ
て、半導体デバイスには大きな加速度が印加される。That is, after fixing the semiconductor device to be tested to the holder on the turntable, the turntable is rotated. At this time, a large acceleration is applied to the semiconductor device due to the rotation of the turntable.
【００１５】また、ターンテーブルに設けられた回転端
子と、これに周期的または連続的に接触する固定端子と
を介して、半導体デバイスは固定端子に接続された電源
に、周期的または連続的に接続される。従って、固定端
子と回転端子との接続が断続的になるような構成の場
合、固定端子に直流電源を接続することにより、半導体
デバイスに印加される電圧は周期的に変化する。また、
固定端子と回転端子との接続が連続的になるような構成
の場合、固定端子に交流電源を接続することにより、半
導体デバイスには交流電圧が印加される。Further, the semiconductor device is periodically or continuously supplied to the power source connected to the fixed terminal through the rotary terminal provided on the turntable and the fixed terminal which comes into periodic or continuous contact with the rotary terminal. Connected. Therefore, in the case of a structure in which the fixed terminal and the rotary terminal are intermittently connected, by connecting a DC power supply to the fixed terminal, the voltage applied to the semiconductor device changes periodically. Also,
In the case of a structure in which the fixed terminal and the rotary terminal are continuously connected, an AC voltage is applied to the semiconductor device by connecting an AC power supply to the fixed terminal.
【００１６】以上のような独特の構成により、本発明に
係る試験装置を使用するならば、定加速試験と交流連続
動作試験とを同時に行うことができる。With the unique configuration as described above, if the test apparatus according to the present invention is used, the constant acceleration test and the AC continuous operation test can be simultaneously performed.
【００１７】以下、実施例を挙げて、本発明をより具体
的に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the following disclosure is merely an example of the present invention and does not limit the technical scope of the present invention.
【００１８】[0018]
【実施例】〔実施例１〕図１は、本発明に係る試験装置
の具体的な構成例を模式的に示す図である。[Embodiment 1] FIG. 1 is a diagram schematically showing a specific configuration example of a test apparatus according to the present invention.
【００１９】同図に示すように、この装置は、半導体デ
バイス10ａ、10ｂを保持する１対のホルダ11ａ、11ｂを
搭載した環状ターンテーブル12と、環状ターンテーブル
12の中心に配置され、後述する固定端子14ａ〜14ｃを装
備する円柱体15とから主に構成されている。As shown in the figure, this apparatus comprises an annular turntable 12 having a pair of holders 11a and 11b for holding semiconductor devices 10a and 10b, and an annular turntable.
It is arranged at the center of 12 and mainly comprises a columnar body 15 equipped with fixed terminals 14a to 14c described later.
【００２０】環状ターンテーブル12上には、ホルダ11
ａ、11ｂと共に、環状ターンテーブル12と共に回転する
１対の回転端子13ａ、13ｂが搭載されている。この回転
端子13ａ、13ｂは、ホルダ11ａ、11ｂに保持された半導
体デバイス10ａ、10ｂの少なくともひとつの端子に電気
的に接続されており、その一端が環状ターンテーブル12
の内側の端面に到達するように配置されている。A holder 11 is mounted on the annular turntable 12.
A pair of rotary terminals 13a and 13b that rotate together with the annular turntable 12 are mounted together with a and 11b. The rotary terminals 13a and 13b are electrically connected to at least one terminal of the semiconductor devices 10a and 10b held by the holders 11a and 11b, and one end of the rotary terminals 13a and 13b is an annular turntable 12.
It is arranged so as to reach the inner end surface of the.
【００２１】一方、円柱体15には、複数（本実施例では
３つ）の固定端子14ａ〜14ｃが設けられている。これら
の固定端子は、各々Ｖ1 からＶ3 までの独立した電源に
接続されており、環状ターンテーブル12が回転している
ときに、前述の回転端子13に対してそれぞれ周期的に接
触するように構成されている。On the other hand, the cylindrical body 15 is provided with a plurality of (three in this embodiment) fixed terminals 14a to 14c. Each of these fixed terminals is connected to an independent power source from V 1 to V 3 so as to make periodic contact with the above-mentioned rotary terminal 13 when the annular turntable 12 is rotating. Is configured.
【００２２】以上のように構成された試験装置は、以下
のように操作する。The test apparatus constructed as described above operates as follows.
【００２３】まず、環状ターンテーブル12上のホルダ11
ａ、11ｂに、試験に供する半導体デバイス10ａ、10ｂを
装着する。このとき同時に、半導体デバイス10ａ、10ｂ
の各端子のうちのひとつが、回転端子13ａ、13ｂに接続
される。続いて、環状ターンテーブル12を回転させる
と、遠心力により、半導体デバイス10ａ、10ｂには、環
状ターンテーブル12の回転に応じた所定の加速度が印加
される。First, the holder 11 on the annular turntable 12
The semiconductor devices 10a and 10b to be tested are mounted on a and 11b. At this time, at the same time, the semiconductor devices 10a and 10b
One of the terminals is connected to the rotary terminals 13a and 13b. Then, when the annular turntable 12 is rotated, a predetermined acceleration corresponding to the rotation of the annular turntable 12 is applied to the semiconductor devices 10a and 10b by the centrifugal force.
【００２４】また、環状ターンテーブル12が回転する
と、円柱体15側に固定された固定端子14ａ〜14ｃに回転
端子13ａ、13ｂが順次接触する。従って、回転端子13
ａ、13ｂに接続されている半導体デバイス10の端子には
Ｖ1 〜Ｖ3 の直流電圧が、順次、周期的に印加される。When the annular turntable 12 rotates, the rotary terminals 13a and 13b sequentially contact the fixed terminals 14a to 14c fixed to the columnar body 15 side. Therefore, the rotary terminal 13
Direct current voltages V 1 to V 3 are sequentially and periodically applied to the terminals of the semiconductor device 10 connected to a and 13b.
【００２５】以上のような状態を所定の時間維持するこ
とにより、上記半導体デバイス10ａ、10ｂに対する定加
速度試験と交流連続動作試験とが同時に行われる。By maintaining the above state for a predetermined time, the constant acceleration test and the AC continuous operation test for the semiconductor devices 10a and 10b are simultaneously performed.
【００２６】〔実施例２〕図２は、本発明に係る試験装
置の他の実施態様を模式的に示す図である。尚、図１に
示した装置と同じ構成要素には、同じ参照番号を付して
いる。[Embodiment 2] FIG. 2 is a diagram schematically showing another embodiment of the test apparatus according to the present invention. The same components as those of the apparatus shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.
【００２７】同図に示すように、この装置は、基本的に
は図１に示した試験装置と同じ構成であるが、環状ター
ンテーブル12に搭載された回転電極13と円柱体15側に設
けられた固定電極14との形状並びに構成が異なってい
る。As shown in the figure, this device has basically the same configuration as the test device shown in FIG. 1, but is provided on the side of the rotary electrode 13 mounted on the annular turntable 12 and the columnar body 15. The fixed electrode 14 has a different shape and configuration.
【００２８】即ち、本実施例においては、回転電極13
は、環状ターンテーブル12の外まで延在しており、円柱
体15の上側端面上に環状に連続して設けられた固定電極
14に接触している。従って、この試験装置では、固定電
極14と回転電極13とが常時導通している。That is, in this embodiment, the rotating electrode 13
Is a fixed electrode that extends outside the annular turntable 12 and is continuously provided in an annular shape on the upper end surface of the cylindrical body 15.
Touching 14. Therefore, in this test device, the fixed electrode 14 and the rotary electrode 13 are always in conduction.
【００２９】以上のように構成された試験装置では、固
定電極14に交流電源を接続することにより、定加速度試
験中の半導体デバイス10に対して任意の交流電力を常時
供給することができる。In the test apparatus configured as described above, by connecting an AC power source to the fixed electrode 14, it is possible to constantly supply an arbitrary AC power to the semiconductor device 10 during the constant acceleration test.
【００３０】尚、上記実施例１および２においては、試
験に供する半導体デバイス10をターンテーブル12の上面
に固定しているが、実際には、ターンテーブル12を構成
する円筒体の内壁面等にセットするような構成が実用的
である。In the first and second embodiments, the semiconductor device 10 to be tested is fixed on the upper surface of the turntable 12. It is practical to set it up.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る試験
装置は、その独特の構成により、定加速度試験と交流連
続動作試験とを同時に行うことができる。これにより、
半導体デバイスの製造工程における信頼性評価のための
試験工程に要する時間を著しく短縮することができる。As described above, the test apparatus according to the present invention can simultaneously perform the constant acceleration test and the AC continuous operation test due to its unique configuration. This allows
It is possible to significantly reduce the time required for the test process for reliability evaluation in the semiconductor device manufacturing process.
【図１】本発明に係る半導体デバイスの試験装置の具体
的な構成例を模式的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a specific configuration example of a semiconductor device testing apparatus according to the present invention.
【図２】本発明に係る半導体デバイスの試験装置の具体
的な他の構成例を模式的に示す図である。FIG. 2 is a diagram schematically showing another specific configuration example of the semiconductor device testing apparatus according to the present invention.
【図３】従来から一般的に使用されている半導体デバイ
スの定加速度試験装置の構成を模式的に示す図である。FIG. 3 is a diagram schematically showing a configuration of a constant acceleration test apparatus for a semiconductor device which has been generally used conventionally.
【図４】従来から一般的に使用されている半導体デバイ
スの交流連続動作試験装置の構成を模式的に示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram schematically showing the configuration of an AC continuous operation test device for a semiconductor device that has been commonly used in the past.
１ 主軸 ２ａ、２ｂ アーム ３、３ａ、３ｂ、11 ホルダ ４ａ、４ｂ、10 半導体デバイス 12 環状ターンテーブル 13、13ａ 回転端子 14、14ａ〜14ｃ 固定端子 15 円柱体 1 Spindle 2a, 2b Arm 3, 3a, 3b, 11 Holder 4a, 4b, 10 Semiconductor device 12 Annular turntable 13, 13a Rotating terminal 14, 14a-14c Fixed terminal 15 Cylindrical body
Claims (1)
くともひとつ具備する半導体デバイスの信頼性を評価す
るための試験装置であって、 半導体デバイスを保持することができるホルダを搭載
し、回転可能に構成された円環状のターンテーブルと、 該ホルダに保持された半導体デバイスの少なくともひと
つの端子に対して電気的に接続され、該ターンテーブル
と共に回転するように構成された少なくともひとつの回
転端子と、 回転中の該回転端子に対して、連続的または断続的に接
触するように、該ターンテーブルの内側に配置された少
なくともひとつの固定端子とを備え、 試験に供する半導体デバイスを搭載した状態で該ターン
テーブルを回転させることにより、該半導体デバイスに
対する定加速度試験を行いつつ、同時に、該固定端子お
よび該回転端子を介して該半導体デバイスに電力を供給
することにより該半導体デバイスに対する交流連続動作
試験を行うことができるように構成されていることを特
徴とする半導体デバイスの試験装置。Claim: What is claimed is: 1. A test apparatus for evaluating the reliability of a semiconductor device having at least one output terminal or input terminal for an electric signal, the holder being capable of holding the semiconductor device. An annular turntable that is mounted and rotatably configured, and at least one that is electrically connected to at least one terminal of the semiconductor device held by the holder and that is configured to rotate together with the turntable. A semiconductor device provided with one rotating terminal and at least one fixed terminal arranged inside the turntable so as to make continuous or intermittent contact with the rotating rotating terminal A constant acceleration test can be performed on the semiconductor device by rotating the turntable with the At the same time, by supplying electric power to the semiconductor device via the fixed terminal and the rotating terminal, an AC continuous operation test can be performed on the semiconductor device. Test equipment.
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3194845A JPH0521551A (en) | 1991-07-09 | 1991-07-09 | Testing apparatus for semiconductor device |
| CA002073078A CA2073078A1 (en) | 1991-07-09 | 1992-07-03 | Semiconductor device testing apparatus |
| EP19920111290 EP0522460A3 (en) | 1991-07-09 | 1992-07-03 | Semiconductor device testing apparatus |
| US07/909,686 US5410261A (en) | 1991-07-09 | 1992-07-07 | Semiconductor device testing apparatus |
| AU19541/92A AU648420B2 (en) | 1991-07-09 | 1992-07-08 | Semiconductor device testing apparatus |
| US08/371,773 US5457401A (en) | 1991-07-09 | 1995-01-12 | Semiconductor device testing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3194845A JPH0521551A (en) | 1991-07-09 | 1991-07-09 | Testing apparatus for semiconductor device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0521551A true JPH0521551A (en) | 1993-01-29 |
Family
ID=16331236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3194845A Withdrawn JPH0521551A (en) | 1991-07-09 | 1991-07-09 | Testing apparatus for semiconductor device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521551A (en) |
-
1991
- 1991-07-09 JP JP3194845A patent/JPH0521551A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981008 |