JPH0517918U - Deuterium discharge tube - Google Patents

Deuterium discharge tube

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JPH0517918U
JPH0517918U JP6529391U JP6529391U JPH0517918U JP H0517918 U JPH0517918 U JP H0517918U JP 6529391 U JP6529391 U JP 6529391U JP 6529391 U JP6529391 U JP 6529391U JP H0517918 U JPH0517918 U JP H0517918U
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隆之 亀谷
博 岡垣
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一也 阿部
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江東電気株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【目的】一様な短波長側スペクトル強度が得られ、ほぼ一様な吸光度を保つことができる、特性がよい重水素放電管を得ることを目的とする。 (57) Abstract: OBJECTIVE uniform short wavelength side the spectral intensity is obtained, it is possible to maintain a substantially uniform absorbance characteristics aims to obtain a good deuterium discharge tube. 【構成】バルブ8の一部に設けた紫外線透過窓7の内側の光軸上に、5.8eV以上の紫外連続スペクトルエネルギーを吸収する誘電体物質を、フィルタ6として設ける。 [Configuration] on the inside of the optical axis of the UV radiation transmission window 7 provided in a part of the valve 8, a dielectric material that absorbs ultraviolet continuous spectrum energy of more than 5.8 eV, provided as a filter 6.

Description

【考案の詳細な説明】 Description of the invention]

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION

本考案は、吸光分析分光光度計に用いる、紫外連続スペクトル特性を向上させ た重水素放電管に関するものである。 This invention is used in the absorption spectroscopy spectrophotometer relates deuterium discharge tube having an improved ultraviolet continuous spectrum characteristics.

【0002】 [0002]

【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION

紫外連続スペクトルを用いる吸光分析分光光度計の光源には、主に重水素放電 管が使用されている。 The light source of the absorption analysis spectrophotometer using ultraviolet continuous spectrum is primarily deuterium discharge tube is used. 重水素放電管は図4(a)に示すような外観であるが、A −Aにおける断面を図4(b)に示す。 Although deuterium discharge tube is an external as shown in FIG. 4 (a), shows a cross section taken along A -A in Figure 4 (b). 図示のように、陽極2の四囲を金属の隔 壁3で囲み、一方の壁面に設けたピンホール4を通して、上記陽極2と熱陰極1 との間に放電路を形成する構造の2極放電管である。 As shown, the four sides of the anode 2 enclosed in intervals wall 3 of metal, through pinholes 4 provided on one of the walls, two-pole discharge structure forming the discharge path between the anode 2 and the hot cathode 1 it is a tube. 上記放電管はバルブ8内に 数百Paの高純度重水素を封入し、バルブ8の紫外線透過窓7には、紫外連続ス ペクトルを透過する石英ガラスまたは合成石英が用いられている。 The discharge tube is filled with high purity deuterium hundreds Pa in the valve 8, the UV radiation transmission window 7 of the valve 8, quartz glass or synthetic quartz for transmitting ultraviolet continuous spectrum is used. 上記紫外線透 過窓7からバルブ8外に放射される紫外連続スペクトルは、90〜168nm波 長域の状態から基底状態への一重項遷移のLymanバンドが強いバンドスペクトル と、三重項遷移の170〜400nm波長域の連続スペクトルが放射されるほか 、真空紫外域にLyman系列、可視域にBalmar系列の水素原子の輝線スペクトル が現われる。 Ultraviolet continuous spectrum emitted from the ultraviolet transparently windows 7 on the outer valve 8, and Lyman band strong band spectrum of singlet transition from the state of 90~168nm wave length region to the ground state, triplet transitions 170 to in addition to the continuous spectrum of the 400nm wavelength range is emitted, Lyman series, bright line spectrum of the hydrogen atom of Balmar sequence in the visible region appears in the vacuum ultraviolet region. これらの放射エネルギーがそれぞれの物質に作用することは避けら れず、それに伴って種々の現象を生じることになる。 It avoids et al are not these radiant energy is applied to each of the substances will result in a variety of phenomena accordingly. 物質の検索に必要な情報を 得るために紫外エネルギーを用いる重水素放電管においても、上記紫外エネルギ ーが紫外線透過窓7を透過する場合には、上記紫外線透過窓7を形成する誘電体 のエネルギー帯構造に大きく依存し、価電子帯と伝導帯との間に位置する禁制帯 のエネルギーギャップに起因して、光の透過、吸収、発光が行われる。 Also in deuterium discharge tube using ultraviolet energy in order to obtain information necessary for the search of material, when the ultraviolet energy is transmitted through the UV radiation transmission window 7, the energy of the dielectric forming the UV radiation transmission window 7 highly dependent on the band structure, due to the energy gap of the forbidden band located between the valence band and the conduction band, the transmission of light, absorption, light is emitted.

【0003】 石英ガラスSiO 2 (シリカガラス)ではシリコン原子(Si)の3S、3P電 子がSP 3混成軌道を形成して4つの酸素原子(O)と結合し、O原子は2P軌 道が2つのSi原子とσ結合を形成している。 [0003] 3S quartz glass SiO 2 (silica glass) in the silicon atoms (Si), combined with 3P electronic may form an SP 3 hybrid orbital four oxygen atoms (O), O atoms 2P orbital is form a bond and sigma 2 one Si atom. Oの残った2P電子は孤立電対を 作っている。 O of the remaining 2P electrons are making an isolated thermocouple. 1つのSi原子と4つのO原子からなるSiO 4四面体構造が長距離 秩序を保ちながら、規則的に配置されているときは結晶シリカである。 While SiO 4 tetrahedra in which one Si atom and consisting of four O atoms maintaining long-range order, when being regularly arranged in a crystalline silica. しかし、 一般の石英ガラスは立体配列が不規則であり、上記長距離秩序が失われた状態で ある。 However, in general the quartz glass is a three-dimensional array is irregular, a state in which the long-range order is lost. 上記SiO 4は四面体構造が互いに頂点を共有しながら、ランダムにつなが った三次元の網目状構造であり、この構造は不純物の混入ばかりでなく、製造に おいてもSiO 4四面体という近距離秩序が保てない場合があり、そこが欠陥の中 心(常磁性欠陥)となり、酸素空孔が正孔を取込むことにより生じる。 While the SiO 4 share a vertex tetrahedral structure with each other, a net-like structure of three-dimensional that Tsu tethered randomly, this structure is not only mixing of impurities, Oite to manufacture even near that SiO 4 tetrahedra may distance order can not be maintained, which is caused by the center of the defect (paramagnetic defects), and the oxygen vacancy capture hole.

【0004】 酸素の供給が不足する状態で合成された石英ガラスは、上記酸素空孔を含むこ とになる。 [0004] Oxygen quartz glass supply is synthesized in a state of lack of will and this containing oxygen vacancies. 酸素空孔に起因する吸収帯には、163nm(7.6eV)、245n m(5.0eV)、また発光帯として285nm(4.3eV)と460nmに現わ れる。 The absorption bands due to oxygen vacancies, 163nm (7.6eV), 245n m (5.0eV), also 460nm Genwa is in a 285 nm (4.3 eV) as the emission band. この現象は重水素放電管の紫外線透過窓7に石英ガラスを用いる限り避け られず、図5に示すように放射エネルギーと格子欠陥との相互関係から、スペク トル強度が紫外短波長側で時間とともに増進する。 This phenomenon is inevitable as long as the use of quartz glass to UV radiation transmission window 7 deuterium discharge tube, the mutual relationship between the radiant energy and lattice defects as shown in FIG. 5, spectral intensity with time in an ultraviolet short-wavelength side promoting to. 現在、超臨界抽出分野で波長 200〜230nmの放射強度が重要視されているが、これらの使用波長範囲に おけるスペクトル強度の減少が顕著なことは、この分野の研究に対し憂慮される ことである。 Currently, emission intensity of the wavelength 200~230nm supercritical extraction field is important, a decrease in spectral intensity Notably the definitive out of the use wavelength range, it is concerned to research in this field is there.

【0005】 また、重水素放電管の紫外線透過窓を、紫外連続スペクトルが透過した以降の 外気雰囲気との関係によって、オゾンが形成され、その結果、紫外連続スペクト ル強度に図6に見られるように、ノイズと揺らぎを生じるという現象がある。 Further, the UV radiation transmission window of the deuterium discharge tube, the relationship between the outside air atmosphere after which ultraviolet continuous spectrum is transmitted, ozone is formed, as a result, as seen in Figure 6 the ultraviolet continuous spectrum intensity in, there is a phenomenon that results in a noise and fluctuations. こ の現象は、重水素放電管の点灯温度で外気雰囲気に揺れを生じ、それに伴ってオ ゾンの発生密度が揺れを生じるためである。 This phenomenon results in swinging the outside air atmosphere at a temperature for lighting the deuterium discharge tube, generation density of ozone is to produce shaking accordingly. 上記オゾンの生成は、紫外連続スペ クトルエネルギー5.8eV以上の紫外線を大気中の酸素分子が吸収して、2個の 酸素原子に解離するが、上記酸素原子は極めて酸化力が強く、酸素分子と出合う とこれを酸化させてオゾン(O 3 )を作る。 Generating the ozone, ultraviolet continuous space-vector energy 5.8eV or more ultraviolet absorbing oxygen molecules in the atmosphere, but dissociates into two oxygen atoms, the oxygen atom is extremely oxidizing power stronger, oxygen molecules When the meet and was oxidized to make the ozone (O 3) it is. 上記オゾンは波長230〜300n mの紫外連続スペクトルを吸収して元の酸素分子に解離するが、200nm以下 の紫外連続スペクトルのエネルギーがある以上は、上記現象は均衡を得るまで繰 返される。 The ozone dissociates into original oxygen molecules absorb ultraviolet continuous spectrum of wavelengths 230~300N m, but more than there is in the ultraviolet energy of continuous spectrum 200nm, said phenomenon is returned Repetitive until a balance. オゾンの発生根元である酸素分子の解離を絶つ方向に、5.8eV以上 の紫外連続スペクトルを極力減少させることによって、オゾンの発生を制御する ことができる。 In the direction of cutting off the dissociation of oxygen molecules are generated root of ozone, by as much as possible to reduce the ultraviolet continuous spectrum above 5.8 eV, it is possible to control the generation of ozone.

【0006】 [0006]

【考案が解決しようとする課題】 [Challenges devised to be Solved]

上記のように重水素放電管の紫外線透過窓を透過した紫外連続スペクトルは、 該連続スペクトルが上記紫外線透過窓を透過することにより生じる現象によって 、特性の劣化を生じることがある。 Ultraviolet continuous spectrum that has passed through the UV radiation transmission window of the deuterium discharge tube as described above, by a phenomenon caused by the continuous spectrum is transmitted through the UV radiation transmission window, resulting in deterioration of the characteristics.

【0007】 本考案は、上記紫外線透過窓の透過以前における紫外連続スペクトルエネルギ ーを5.8eV未満とするように照射率を制御し、スペクトル強度と吸光率の経時 変化がほぼ一様な安定した特性が得られる重水素放電管を得ることを目的とする 。 [0007] The present invention is an ultraviolet continuous spectrum energy in the transmission earlier the UV radiation transmission window by controlling the irradiation rate to less than 5.8 eV, time course of spectral intensity and extinction rate is substantially steady and and to obtain a deuterium discharge tube characteristics.

【0008】 [0008]

【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]

上記目的は、紫外連続スペクトルの発生源である重水素放電管において、上記 放電管のバルブの一部に設けた紫外線透過窓の内側の光軸上に、5.8eV以上の 紫外連続スペクトルエネルギーを吸収する誘電体物質を、フィルタとして設ける ことにより達成される。 The above objects are achieved by a deuterium discharge tube is ultraviolet source of continuous spectrum, on the inside of the optical axis of the UV radiation transmission window formed in a portion of the valve of the discharge tube, ultraviolet continuous spectrum energy than 5.8eV a dielectric material that absorbs, is achieved by providing a filter.

【0009】 [0009]

【作用】 [Action]

重水素放電管は、上記のように通常石英ガラスの紫外線透過窓を備えているが 、上記石英ガラスは製造時に酸素供給量が不足すると酸素空孔を含み、上記空孔 が正孔を取込むことにより、上記石英ガラスは欠陥を生じて、吸収エネルギーの 損失がおこる。 Deuterium discharge tube is provided with the UV radiation transmission window of normal quartz glass, as described above, the quartz glass contains oxygen vacancies when oxygen supply is insufficient at the time of manufacture, the vacancy capture holes it makes the quartz glass caused defects occurs loss of the absorbed energy.

【0010】 また、紫外連続スペクトルエネルギーが5.8eV以上の紫外線は大気中でオゾ ンを形成するが、このオゾンは紫外連続スペクトル強度にノイズと揺らぎを生じ させる。 [0010] Although ultraviolet continuous spectrum energy more UV 5.8eV to form ozone in the atmosphere, ozone causes noise and fluctuations in the ultraviolet continuous spectrum intensity. したがって、特性がすぐれた紫外連続スペクトルを得るためには、重水 素放電管で生じる5.8eV以上の紫外連続スペクトルエネルギーを、石英ガラス で形成された紫外線透過窓を透過する以前に抑制する必要がある。 Therefore, in order to obtain the ultraviolet continuous spectrum characteristics excellent, the ultraviolet continuous spectrum energy than 5.8eV occurring deuterium discharge tube, it is necessary to suppress before transmitting the UV radiation transmission window made of quartz glass is there. そのために本 考案では、上記エネルギーを吸収する誘電体物質をフィルタとして、上記紫外線 透過窓の内側光軸上に設ける。 The present invention in order that the dielectric material that absorbs the energy as a filter, provided on the inner optical axis of the UV radiation transmission window. 本考案では所望する誘電体物質は、3.5mmの 厚さにおける紫外線透過率が、波長250nmで66%、225nmで13%、 210nmで1%の特性を有し、上記透過率は250nmから指数関数的に減少 している。 Dielectric material desired in the present invention, the ultraviolet transmittance at a thickness of 3.5mm is, a 66% at a wavelength of 250nm, 13% for 225 nm, 1% of properties in 210 nm, the transmittance index from 250nm It is a function decreasing. 上記特性の誘電体材料を用いて、波長185nmの紫外連続スペクト ル強度の照射率が10%以下になるように厚さを調整することにより、上記5. 8eV以上の紫外連続スペクトルエネルギーを制御する紫外線透過ガラスフィル タを得ることができ、良好な紫外連続スペクトル特性が得られる。 Using dielectric materials having the characteristics described above, the irradiation rate of the ultraviolet continuous spectrum intensity of the wavelength 185nm is by adjusting the way that the thickness becomes 10% or less, and controls the 5. ultraviolet continuous spectrum energy over 8eV it is possible to obtain an ultraviolet transmitting glass filter, good ultraviolet continuous spectrum characteristic is obtained.

【0011】 [0011]

【実施例】 【Example】

つぎに本考案の実施例を図面とともに説明する。 Next a description will be given of an embodiment of the present invention in conjunction with the accompanying drawings. 図1は本考案による重水素放 電管の一実施例を示す図で、(a)は正面図、(b)はA−A断面図、図2は上 記実施例における透過紫外連続スペクトル強度の経時変化を示す図、図3は上記 実施例の波長225nmにおけるオゾンにより生じる紫外連続スペクトル強度の ノイズと揺らぎの状態を示す図である。 Figure 1 is a diagram showing an embodiment of the deuterium discharge collector tube according the present invention, (a) represents a front view, (b) is a sectional view taken along A-A, transmission ultraviolet continuous spectrum intensity 2 in the upper Symbol Example shows the time course of, FIG. 3 is a view showing a state of noise and fluctuations in the ultraviolet continuous spectrum intensity generated by the ozone at the wavelength 225nm of the above embodiment.

【0012】 重水素放電管は図1に示すように、構造体を蔽うバルブ8の内部に数百Paの 高純度重水素を封入し、それぞれ金属隔壁で囲んで設置した熱陰極1と陽極2と の間に放電路を形成し、該放電路を上記両隔壁の境界壁の一部に設けたピンホー ル4で細く絞ることにより、紫外連続スペクトルを発生させている。 [0012] Deuterium discharge tube as shown in FIG. 1, the hot cathode 1 inside sealed high purity deuterium hundreds Pa, respectively placed enclosed in a metal partition wall of the valve 8 to cover the structure and the anode 2 a discharge path is formed between the, the dissipating path by squeezing thin in pinholes 4 formed in a portion of the boundary wall of the both partition walls, thereby generating ultraviolet continuous spectrum. 上記紫外連 続スペクトルを、バルブ8の一部に設けた石英ガラスからなる紫外線透過窓7を 透過させて外部に取り出しているが、本考案の実施例では、図1に示すように上 記紫外線透過窓7を通過する以前の紫外連続スペクトルの光軸上にフィルタ6を 設け、上記紫外線透過窓7を透過する紫外連続スペクトルのエネルギーが、5. 8eV未満になるように制御している。 The ultraviolet continuous spectrum, but by transmitting UV radiation transmission window 7 made of quartz glass which is provided on a part of the valve 8 is taken out to the outside, in the embodiment of the present invention, the upper Symbol UV as shown in FIG. 1 the filter 6 is provided on the optical axis of the previous ultraviolet continuous spectrum that passes through the transmission window 7, ultraviolet energy of continuous spectrum that transmits the UV radiation transmission window 7, 5. is controlled to less than 8 eV.

【0013】 上記フィルタ6は、3.5mmの厚さにおける紫外線透過率が、波長250n mで66%、225nmで13%、210nmで1%というように、波長250 nm以下で透過率が指数関数的に減少する誘電体材料である紫外線透過ガラスを 、波長185nmにおける紫外連続スペクトル強度の照射率が10%以下になる ように、厚さを調整して形成し、上記フィルタ6を光軸に直角に、石英ガラスの 放射面内に対して平行か、あるいは上記紫外線透過ガラスのブルースター角に維 持して、上記紫外線透過窓7の内側に支持する。 [0013] The filter 6, the transmittance of ultraviolet light at a thickness of 3.5mm is 66% at a wavelength of 250 n m, 13% for 225 nm, so that 1% 210 nm, the transmittance is exponential with a wavelength 250 nm or less an ultraviolet transmitting glass is a dielectric material that reduces manner, as the irradiation rate of the ultraviolet continuous spectrum intensity at a wavelength of 185nm is 10% or less, formed by adjusting the thickness, perpendicular to the filter 6 to the optical axis in, or parallel to the emission plane of the quartz glass, or in maintaining the Brewster angle of the ultraviolet ray transmitting glass, it is supported inside of the UV radiation transmission window 7.

【0014】 上記のように構成することにより5.8eV以上の紫外連続スペクトルのエネル ギーを抑制することができるので、紫外線透過窓7に用いる石英ガラスが常磁性 欠陥をもち、吸収エネルギーの損失を招くのを減少させることができ、従来技術 のようにスペクトル強度が紫外線短波長側で時間とともに増加することがなく、 図2に示すように190nmから240nmの間では時間の変化に対するスペク トル強度の変化がなく、一様なスペクトル強度を保持することができる。 [0014] it is possible to suppress the arrangement ultraviolet energy of the continuous spectrum of the above 5.8eV by as described above, the quartz glass used for the UV radiation transmission window 7 has a paramagnetic defects, loss of absorbed energy causing the can to reduce the spectral intensity as in the prior art without having to increase with time, UV short wavelength side, the spectral intensity for the time varied between 240nm from 190nm as shown in FIG. 2 change without can hold a uniform spectral intensity. 波長2 40〜400nmの間では一部に増発現象があるが、上記波長域では石英ガラス 窓が紫外線による清掃効果によって清浄化され、スペクトル強度が一様に増加し ている。 There are issuance phenomenon part between the wavelength 2 40 to 400 nm, quartz glass window in the wavelength region is cleaned by the cleaning effect by ultraviolet rays, the spectrum intensity has increased uniformly. また、上記紫外連続スペクトルエネルギーを5.8eV未満とすることは 、大気中におけるオゾンの形成を制限することができるので、ノイズや揺らぎに 厳しい225nmの波長に対して実施したにもかかわらず、図3に示すように時 間の経過に対しほぼ一様の吸光度を保つことができ、特性の向上を確認すること ができた。 Further, to the ultraviolet continuous spectrum energy less than 5.8eV, since it is possible to limit the formation of ozone in the atmosphere, even though carried out with respect to the wavelength of the harsh 225nm noise or vibration, FIG. substantially uniform absorbance to elapse between time as indicated in 3 can be maintained, it was possible to confirm the improvement of the characteristics.

【0015】 なお、重水素放電管のバルブ8を上記フィルタ6の材料を使用して形成し、紫 外線透過窓7の厚さを調整することは、機械的強度に制約があるため、本考案の 効果と同様の特性向上を望むことは難しい。 [0015] Since the valve 8 of the deuterium discharge tube formed by using a material of the filter 6, by adjusting the thickness of the ultraviolet transmitting window 7, there is a restriction on the mechanical strength, the present invention it is difficult to hope the same characteristic improvement and the effect of.

【0016】 [0016]

【考案の効果】 Effects of the invention]

上記のように本考案による重水素放電管は、紫外連続スペクトルの発生源であ る重水素放電管において、上記放電管のバルブの一部に設けた紫外線透過窓の内 側の光軸上に、5.8eV以上の紫外連続スペクトルエネルギーを吸収する誘電体 物質を、フィルタとして設けることにより、紫外線短波長側では時間経過に対し て一様なスペクトル強度が保持でき、また、ほぼ一様な吸光度を保つことができ るので、紫外連続スペクトル特性を向上させることが可能である。 Deuterium discharge tube according to the present invention as described above, the source der Ru deuterium discharge tube of the ultraviolet continuous spectrum, on the optical axis of the side of the UV radiation transmission window formed in a portion of the valve of the discharge tube , a dielectric material that absorbs ultraviolet continuous spectrum energy of more than 5.8 eV, by providing a filter, a UV short wavelength side can hold uniform spectral intensity is relative to the elapsed time, also substantially uniform absorbance Runode can be maintained, it is possible to improve the ultraviolet continuous spectrum characteristics.

【提出日】平成3年10月7日 [Filing date] 1991 October 7

【手続補正1】 [Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0014 [Correction target item name] 0014

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0014】 上記のように構成することにより5.8eV以上の紫外連続スペクトルのエネ ルギーを抑制することができるので、紫外線透過窓7に用いる石英ガラスが常磁 性欠陥をもち、吸収エネルギーの損失を招くのを減少させることができ、従来技 術のようにスペクトル強度が紫外線短波長側で時間とともに減少することがなく 、図2に示すように190nmから240nmの間では時間の変化に対するスペ クトル強度の変化がなく、一様なスペクトル強度を保持することができる。 [0014] Since it is possible to suppress the energy of ultraviolet continuous spectrum above 5.8eV By configuring as described above, the quartz glass used for the UV radiation transmission window 7 has a normal magnetic defects, loss of absorbed energy can be reduced to lead to, without spectrum intensity decreases with time in UV short wavelength side as in the conventional technology, space for the time varies from 190nm to 240nm, as shown in FIG. 2 vector no change in intensity, it is possible to hold a uniform spectral intensity. 波長 240〜400nmの間では一部に増発現象があるが、上記波長域では石英ガラ ス窓が紫外線による清掃効果によって清浄化され、スペクトル強度が一様に増加 している。 There are issuance phenomenon part between the wavelength 240~400Nm, quartz glass window in the wavelength region is cleaned by the cleaning effect by ultraviolet rays, the spectrum intensity has increased uniformly. また、上記紫外連続スペクトルエネルギーを5.8eV未満とするこ とは、大気中におけるオゾンの形成を制限することができるので、ノイズや揺ら ぎに厳しい225nmの波長に対して実施したにもかかわらず、図3に示すよう に時間の経過に対しほぼ一様の吸光度を保つことができ、特性の向上を確認する ことができた。 Also, the child and less than 5.8eV the ultraviolet continuous spectrum energy, it is possible to limit the formation of ozone in the atmosphere, even though carried out with respect to the wavelength of the harsh 225nm noise Ya rocking technique can be kept substantially uniform absorbance to the passage of time as shown in FIG. 3, it was possible to confirm the improvement of the characteristics.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本考案による重水素放電管の一実施例を示す図で、(a)は正面図、(b)はA−A断面図である。 [1] a diagram showing one embodiment of a deuterium discharge tube according to the present invention, (a) is a front view, (b) is a sectional view taken along A-A.

【図2】上記実施例における透過紫外連続スペクトル強度の経時変化を示す図である。 2 is a diagram showing changes with time of the transmission ultraviolet continuous spectrum intensity in the above embodiment.

【図3】上記実施例の波長225nmにおけるオゾンによる紫外連続スペクトル強度のノイズと揺らぎの状態を示す図である。 3 is a diagram showing a state of noise and fluctuations in the ultraviolet continuous spectrum intensity with ozone at a wavelength 225nm of the above embodiment.

【図4】従来の重水素放電管を示す図で、(a)は正面図、(b)はA−A断面図である。 [Figure 4] a view showing a conventional deuterium discharge tube, (a) is a front view, (b) is a sectional view taken along A-A.

【図5】透過紫外連続スペクトル強度の従来の経時変化を示す図である。 5 is a diagram showing a conventional aging of transmission ultraviolet continuous spectrum intensity.

【図6】オゾンによる紫外連続スペクトル強度の、従来におけるノイズと揺らぎの状態を示す図である。 [6] The ultraviolet continuous spectrum strength with ozone is a diagram showing a state of noise and fluctuations in the prior art.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

6 フィルタ 7 紫外線透過窓 8 バルブ 6 filter 7 UV radiation transmission window 8 Valve

───────────────────────────────────────────────────── ────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】 [Procedure amendment]

【提出日】平成3年10月7日 [Filing date] 1991 October 7

【手続補正2】 [Amendment 2]

【補正対象書類名】図面 [Correction target document name] drawings

【補正対象項目名】図5 [Correction target item name] FIG. 5

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【図5】 [Figure 5]

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 阿部 一也 埼玉県浦和市西堀7丁目9番1号 江東電 気株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72), Saitama Prefecture Urawa inventor Kazuya Abe Nishibori 7-chome No. 9 No. 1 Jiang TEPCO care within Co., Ltd.

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】 [Range of utility model registration request]
  1. 【請求項1】紫外連続スペクトルの発生源である重水素放電管において、上記放電管のバルブの一部に設けた紫外線透過窓の内側の光軸上に、5.8eV以上の紫外連続スペクトルエネルギーを吸収する誘電体物質を、フィルタとして設けたことを特徴とする重水素放電管。 1. A deuterium discharge tube is ultraviolet source of continuous spectrum, on the inside of the optical axis of the UV radiation transmission window formed in a portion of the valve of the discharge tube, or more ultraviolet continuous spectrum energy 5.8eV deuterium discharge tube, characterized in that the dielectric material that absorbs, provided as a filter.
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