JPH05149380A - Vibration isolator - Google Patents

Vibration isolator

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Publication number
JPH05149380A
JPH05149380A JP33418691A JP33418691A JPH05149380A JP H05149380 A JPH05149380 A JP H05149380A JP 33418691 A JP33418691 A JP 33418691A JP 33418691 A JP33418691 A JP 33418691A JP H05149380 A JPH05149380 A JP H05149380A
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JP
Japan
Prior art keywords
base
horizontal
vibration
load
support
Prior art date
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Pending
Application number
JP33418691A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seiji Fukuhara
聖司 福原
Original Assignee
Tokkyo Kiki Kk
特許機器株式会社
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Publication date
Application filed by Tokkyo Kiki Kk, 特許機器株式会社 filed Critical Tokkyo Kiki Kk
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Publication of JPH05149380A publication Critical patent/JPH05149380A/en
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Abstract

PURPOSE:To effectively absorb an impulsive rotational load in the horizontal direction without deteriorating vibration isolation performance as well as lightening construction work of a vibration isolator without imposing a burden on the body structure of a building, improving the vibration isolation performance and making it needless to add excessive mass which is not essentially necessary to the vibration isolator. CONSTITUTION:A base 2 is installed on a floor surface 1, a support board 4 to hold a load is arranged on the base 2 and horizontal damping systems 6 arranged between the base 2 and the support board 4 and to elastically support the support board 4 by an elastic support body 5 and to relax impulsive force in the horizontal direction applied on the support board 4 are installed on the base 2 and the support board 4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、縦型軸流ファ
ンのように起動時、回転起動トルクによる水平衝撃荷重
を発生させるような加振源機器に最適な防振装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optimum vibration isolator for a vibration source device such as a vertical axial fan that generates a horizontal impact load due to a rotational starting torque when starting.
【0002】[0002]
【従来の技術】縦型軸流ファンのような回転装置では、
前述のように起動時に水平衝撃荷重が発生する。従来の
防振装置では、このような水平衝撃荷重は、ストッパに
よって機械的に水平変位を止めていた。しかしながら、
半導体製造工場のように極めて厳格な振動制御が必要と
されている場所では、この時の衝突振動が工場内に伝播
して製造装置に影響を与え、機器の精度を一時的に低下
させて製品の歩留まりを低下させるというような半導体
製造上非常に重要な問題を発生する。
2. Description of the Related Art In a rotary device such as a vertical axial fan,
As described above, a horizontal impact load is generated at startup. In the conventional vibration isolator, such horizontal impact load mechanically stops the horizontal displacement by the stopper. However,
In places where extremely strict vibration control is required, such as semiconductor manufacturing plants, the collision vibration at this time propagates inside the plant and affects the manufacturing equipment, temporarily lowering the accuracy of the equipment and This causes a very important problem in semiconductor manufacturing such as a decrease in yield of semiconductors.
【0003】そこで従来技術では、防振装置のストッパ
部にゴム材などを使用し、水平変位に対する衝突緩衝部
材を組み込む事で衝突振動を緩衝する方法をとってい
た。しかしながら、この方法では衝突荷重の吸収に限界
があり、しかも部材のクリアランス調整を厳格に行わね
ばわずかな接触で衝突緩衝部材のばね定数が防振装置の
固有振動数を引き上げる結果となり、本来、防振装置に
求められていた防振性能を劣化させてしまう事になって
いた。
Therefore, in the prior art, a method of buffering the collision vibration by using a rubber material or the like for the stopper portion of the vibration isolator and incorporating a collision buffer member for horizontal displacement has been adopted. However, this method has a limit in absorbing the collision load, and if the clearance of the member is not strictly adjusted, the spring constant of the collision buffering member will raise the natural frequency of the vibration isolator with a slight contact, and originally It was supposed to deteriorate the anti-vibration performance required of the vibration device.
【0004】そのために、防振装置の性能を保証する方
法として、負荷を担持する防振装置の防振台本体部分を
コンクリート製にするなど防振装置自身に過大な質量を
負荷する事によって、回転装置の起動トルクに対して防
振装置の質量比バランスを大きくする事で全体の慣性モ
ーメントを大きくし、回転衝撃荷重に対して回転し難く
して回転装置の起動時の水平回転変位量を小さくすると
いう方法が取られていた。
Therefore, as a method of guaranteeing the performance of the vibration isolator, by applying an excessive mass to the vibration isolator itself, for example, by making the vibration isolator base body of the vibration isolator carrying a load into concrete, By increasing the mass ratio balance of the anti-vibration device with respect to the starting torque of the rotating device, the overall moment of inertia is increased, making it difficult to rotate with respect to the rotational impact load and reducing the amount of horizontal rotational displacement when starting the rotating device. The method of making it small was taken.
【0005】処が、このような方法を取ると前述のよう
に重錘によって防振装置そのものの自重が過大になるた
め、回転装置と防振装置を支えるための基礎架台も必然
的に大きく且つ強固にせざるを得ず、全体形状が極めて
大きくなるばかりか、建物の躯体構造もそれに合わせて
大きくしなければならず、当然施工も大掛かりなものと
なりそのための費用も漠大なものになると言う問題点が
あった。
However, if such a method is adopted, the weight of the vibration isolator itself becomes excessively large due to the weight as described above. Therefore, the base frame for supporting the rotating device and the vibration isolator is inevitably large and The problem is that not only must it be made solid, the overall shape must be extremely large, but the structure of the building structure must be enlarged accordingly, which naturally requires a large amount of construction work, and the costs therefor are also vague. There was a point.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明の前記問題に対
する解決課題は、建物の躯体構造に負担をかける事な
く、防振装置の施工工事も軽便にし、しかも、その防振
性能を高める事にあり、そのためには防振装置に本来不
要である過大な質量を付加する必要をなくすようにする
と共に防振性能を劣化させる事なく水平方向の衝撃回転
荷重を効果的に吸収出来るようにする必要がある。
The problem to be solved by the present invention is to make the construction work of the vibration isolator easy and to increase its vibration isolation performance without burdening the structure of the building. For that purpose, it is necessary to eliminate the need to add an excessively large mass to the anti-vibration device, and to be able to effectively absorb the impact rotational load in the horizontal direction without degrading the anti-vibration performance. There is.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】前記、課題を達成するた
めに、本発明に掛かる防振装置は、 床面(1)に設置されたベース(2)と、 負荷(3)を担持するための支持台(4)と、 ベース(2)上に載置され、支持台(4)を弾性的に支持
する弾性支持体(5)と、 支持台(4)に加わる水平方向の衝撃力を緩和するた
めの水平減衰機構(6)とで構成された事を特徴とする。 これにより、負荷(3)の垂直荷重を弾性支持体(5)が支持
し、水平方向の回転衝撃荷重を水平減衰機構(6)が受け
持つことになるので、水平減衰機構(6)で始動時の水平
方向の衝撃荷重を効果的に減衰させる事が出来、従来の
ように防振装置(A)に不要な重錘を着けて自重を大きく
するというような事が必要なくなり、装置全体軽量化ば
かりか防振装置(A)の軽量化も達成する事ができた。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above-mentioned problems, a vibration isolator according to the present invention is for carrying a base (2) installed on a floor surface (1) and a load (3). Of the support base (4), the elastic support (5) placed on the base (2) and elastically supporting the support base (4), and the horizontal impact force applied to the support base (4). It is characterized by being configured with a horizontal damping mechanism (6) for alleviation. As a result, the elastic support (5) supports the vertical load of the load (3), and the horizontal damping mechanism (6) bears the horizontal rotational impact load, so that the horizontal damping mechanism (6) starts up. The impact load in the horizontal direction can be effectively dampened, and it is no longer necessary to attach an unnecessary weight to the anti-vibration device (A) to increase its own weight as in the past, thus reducing the overall weight of the device. Not only was it possible to reduce the weight of the anti-vibration device (A).
【0008】[0008]
【実施例】以下、本発明を図示実施例に従って詳述す
る。図1は本発明にかかる防振装置(A)の平面図、図2
は正面図、図3は側面図、図4は断面図である。ベース
(2)は、床面(1)に設置されるベースプレート(2a)と、弾
性支持体(5)を支持する昇降プレート(2b)とで構成され
ており、昇降プレート(2b)の4隅にはレベリングボルト
(2c)が螺着されており、ベースプレート(2a)の中央に配
置されている。ベースプレート(2a)の4隅には、箱型の
耐震ストッパ取付台(2d)が設けられており、耐震ストッ
パボルト(2e)が立設されている。
The present invention will be described in detail below with reference to the illustrated embodiments. FIG. 1 is a plan view of a vibration isolator (A) according to the present invention, and FIG.
Is a front view, FIG. 3 is a side view, and FIG. 4 is a sectional view. base
(2) is composed of a base plate (2a) installed on the floor surface (1) and an elevating plate (2b) that supports the elastic support (5), and is provided at four corners of the elevating plate (2b). Is a leveling bolt
(2c) is screwed and is arranged in the center of the base plate (2a). At the four corners of the base plate (2a), box-shaped seismic stopper mounts (2d) are provided, and seismic stopper bolts (2e) are erected.
【0009】負荷(3)を担持するための支持台(4)は、逆
U型の矩形台(4a)と矩形台(4a)の下面中央に装着された
オイルダンパ取付アーム(4b)と矩形台(4a)とオイルダン
パ取付アーム(4b)との入隅に取り付けられたストッパプ
レート(4c)とで構成されている。矩形台(4a)は、昇降プ
レート(2b)の直上に配置されており、その間に弾性支持
体(5)が配置されている。弾性支持体(5)は、本実施例で
は6本の圧縮コイネバネであり、その上下端部にゴム座
(5a)が介装され、出荷時には、ストッパボルト(2e)にて
所定の初期圧縮がかけられている。
The supporting base (4) for carrying the load (3) is a rectangular base (4a) of an inverted U shape, an oil damper mounting arm (4b) mounted in the center of the lower surface of the rectangular base (4a), and a rectangular shape. It is composed of a stand (4a) and a stopper plate (4c) attached to an entry corner of the oil damper attachment arm (4b). The rectangular base (4a) is arranged directly above the lifting plate (2b), and the elastic support body (5) is arranged between them. The elastic supports (5) are six compression coil springs in this embodiment, and rubber seats are provided at the upper and lower ends thereof.
(5a) is interposed, and a predetermined initial compression is applied by the stopper bolt (2e) at the time of shipping.
【0010】耐震ストッパボルト(2e)は、前述のように
ベースプレート(2a)の4隅に設けた箱型の耐震ストッパ
取付台(2d)に立設されており、その頭部がストッパプレ
ート(4c)の通孔(4d)に挿入されている。前記通孔(4d)
は、耐震ストッパボルト(2e)の直径よりかなり大きく穿
孔されており、通常は通孔(4d)の孔縁に耐震ストッパボ
ルト(2e)が接触しないようになっている。(2f)は耐震ス
トッパボルトに装着された固定ナットであり、その上部
は円錘状に加工されている。防振装置(A)の搬送時や取
り付け時など、防振装置(A)を使用していない場合には
ストッパプレート(4c)を両側から締め付け固定するよう
になっている。(2g)は耐震ストッパボルト(2e)を耐震ス
トッパ取付台(2d)に固定するためのロックナットであ
る。
The seismic resistant stopper bolts (2e) are erected on the box-shaped seismic resistant stopper mounts (2d) provided at the four corners of the base plate (2a) as described above, and the heads thereof are the stopper plates (4c). ) Is inserted into the through hole (4d). Through hole (4d)
Has a diameter considerably larger than the diameter of the seismic stopper bolt (2e) so that the seismic stopper bolt (2e) normally does not contact the hole edge of the through hole (4d). (2f) is a fixed nut attached to the earthquake-proof stopper bolt, and the upper part of which is processed into a conical shape. When the anti-vibration device (A) is not used, such as when the anti-vibration device (A) is transported or attached, the stopper plate (4c) is tightened and fixed from both sides. (2g) is a lock nut for fixing the seismic stopper bolt (2e) to the seismic stopper mounting base (2d).
【0011】水平減衰装置(6)はオイルダンパのような
もので、支持台(4)に加わる水平方向の衝撃力を緩和す
るためのもので、その断面構造を図4に示す。この水平
減衰装置(6)は、抵抗パイプ(6a)とケーシングパイプ(6
b)とで構成されており、ケーシングパイプ(6b)内には抵
抗用の粘性オイル(6c)が収納されており、抵抗パイプ(6
a)のパイプ部(6d)が粘性オイル(6c)内に挿入されてい
る。ケーシングパイプ(6b)はベースプレート(2a)に装着
されており、抵抗パイプ(6a)は取付アーム(4b)に装着さ
れている。粘性オイル(6c)の粘度は、これに限られない
が本実施例では300,000cSt(センチストークス)であり、
本実施例ではシリンコオイルが使用されている。(6e)は
抵抗パイプの上端鍔部であり、その下側にはパッキン(6
g)が装着されており、出荷時にはケーシングパイプ(6b)
に強く当接することによって粘性オイルをシール状態と
している。(6f)は取付アームボルトである。
The horizontal damping device (6) is like an oil damper and serves to reduce the horizontal impact force applied to the support base (4), and its sectional structure is shown in FIG. This horizontal damping device (6) consists of a resistance pipe (6a) and a casing pipe (6
b) and the casing pipe (6b) contains the viscous oil (6c) for resistance.
The pipe part (6d) of a) is inserted in the viscous oil (6c). The casing pipe (6b) is attached to the base plate (2a), and the resistance pipe (6a) is attached to the mounting arm (4b). The viscosity of the viscous oil (6c) is not limited to this, but is 300,000 cSt (centistokes) in this embodiment,
Circo oil is used in this example. (6e) is the upper flange of the resistance pipe, and the packing (6
g) is installed, and the casing pipe (6b) is shipped.
The viscous oil is brought into a sealed state by strongly abutting against. (6f) is a mounting arm bolt.
【0012】防振装置(A)が適用される回転装置(3)は、
例えば縦型軸流ファンのようなもので、起動時に水平回
転方向に衝撃荷重が発生するようなものである。ここで
は、軸流ファンを例にとって説明する事にする。
The rotation device (3) to which the vibration isolation device (A) is applied is
For example, it is a vertical axial fan, and an impact load is generated in the horizontal rotation direction at the time of startup. Here, an axial fan will be described as an example.
【0013】しかして、工場の床面(1)に穿設された軸
流ファン挿入用の配置孔(7)の孔縁に所定間隔で防振装
置(A)を設置する。
Then, the vibration isolator (A) is installed at a predetermined interval on the edge of the arrangement hole (7) for inserting the axial fan formed on the floor surface (1) of the factory.
【0014】続いて、軸流ファン(3)の下部を軸流ファ
ン配置孔(7)に挿入し、軸流ファン(3)の側面から突出し
た取付フィン(3a)を防振装置(A)の矩形台(4a)上に設置
し、矩形台(4a)の取付孔(4e)に取付フィン(3a)をボルト
固定する。これにより、軸流ファン(3)は防振装置(A)に
て全周から支持された状態となる。防振装置(A)はこの
時点ではストッパボルト(2e)と上部を円錘状に加工され
た固定ナット(2f)にてストッパプレート(4c)を両側から
締め付け、全方向固定状態となっており作業性を高めて
いる。
Then, the lower part of the axial fan (3) is inserted into the axial fan placement hole (7), and the mounting fins (3a) protruding from the side surface of the axial fan (3) are attached to the vibration isolator (A). It is installed on the rectangular base (4a), and the mounting fin (3a) is bolted to the mounting hole (4e) of the rectangular base (4a). As a result, the axial fan (3) is supported by the vibration isolator (A) from the entire circumference. At this point, the anti-vibration device (A) is in a fixed state in all directions by tightening the stopper plate (4c) from both sides with the stopper bolt (2e) and the fixing nut (2f) that has been processed into a conical shape at the top. Improves workability.
【0015】然る後、オイルダンパ上端鍔部(6e)を上昇
させる。上昇量は上端部(6e)がケーシングパイプ(6b)の
上端からある程度(本実施例では10mm程度)浮き上がった
状態にセットされる。次に、固定ナット(2f)を緩め、耐
震ストッパボルト(2e)もストッパプレート(4c)から遊離
している状態にする。これで縦型軸流ファン(3)は弾性
体(5)のみで支持されている状態となる。最後に、必要
があれば、レベリングボルト(2c)を操作して弾性支持体
(5)にて軸流ファン(3)が水平に支持されるように支持台
(4)を調節する。
After that, the upper end flange portion (6e) of the oil damper is raised. The amount of ascent is set such that the upper end (6e) is lifted to some extent (about 10 mm in this embodiment) from the upper end of the casing pipe (6b). Next, the fixing nut (2f) is loosened so that the seismic resistant stopper bolt (2e) is also separated from the stopper plate (4c). As a result, the vertical axial fan (3) is supported only by the elastic body (5). Finally, if necessary, operate the leveling bolts (2c) to adjust the elastic support.
Support stand so that the axial fan (3) is supported horizontally at (5)
Adjust (4).
【0016】ここで、軸流ファン(3)を起動させると、
内部ファン(図示せず)の始動により縦型軸流ファン(3)
全体に回転方向の衝撃荷重が発生し、軸流ファン(3)を
内部ファンの回転方向とは逆方向に回転させようとす
る。
When the axial fan (3) is started,
Vertical axial fan (3) by starting internal fan (not shown)
An impact load in the rotation direction is generated on the whole, and the axial fan (3) tries to rotate in the direction opposite to the rotation direction of the internal fan.
【0017】この水平方向の回転衝撃荷重の発生と共に
水平減衰装置(6)の抵抗パイプ(6a)がケーシングパイプ
(6b)内を移動しようとするが、ケーシングパイプ(6b)内
の粘性オイル(6c)が抵抗となって抵抗パイプ(6a)の移動
を妨げ、この衝撃荷重を吸収する。時間の経過と共に衝
撃荷重は急速に小さくなり、抵抗パイプ(6a)はケーシン
グパイプ(6b)の中央に戻る。この間、弾性支持体(5)は
軸流ファン(3)の垂直荷重を支持している。縦型軸流フ
ァン(3)の起動トルクは、出力によって相違するので、
取付アームボルト(6f)の長さを調節して抵抗パイプ(6a)
を上下させる事で浸漬量の調整を行い、最も有効な減衰
量の位置に調整する。
When the horizontal impact load is generated, the resistance pipe (6a) of the horizontal damping device (6) becomes a casing pipe.
When trying to move inside the (6b), the viscous oil (6c) inside the casing pipe (6b) acts as a resistance to impede the movement of the resistance pipe (6a) and absorb this impact load. The impact load decreases rapidly with the passage of time, and the resistance pipe (6a) returns to the center of the casing pipe (6b). During this time, the elastic support (5) supports the vertical load of the axial fan (3). Since the starting torque of the vertical axial fan (3) differs depending on the output,
Adjust the length of the mounting arm bolt (6f) to make the resistance pipe (6a)
Adjust the immersion amount by moving up and down to adjust to the most effective attenuation position.
【0018】尚、水平減衰装置(6)は前述のように円柱
状の抵抗パイプ(6a)が粘性オイル(6c)内に垂直に浸漬さ
れ、且つ、底面が解放しているので、抵抗パイプ(6a)の
内部迄粘性オイル(6c)が浸入しており、そのために垂直
方向の減衰抵抗はほとんどないが、水平方向には、粘性
オイルへの圧縮抵抗が作用し、水平方向の変位量が大き
ければ大きい程過大な減衰が働くことになる。
In the horizontal damping device (6), as described above, the cylindrical resistance pipe (6a) is vertically immersed in the viscous oil (6c), and the bottom surface is open. The viscous oil (6c) has penetrated to the inside of 6a), so there is almost no vertical damping resistance, but in the horizontal direction, the compression resistance to the viscous oil acts and the horizontal displacement amount is large. The larger the value, the more the damping will work.
【0019】[0019]
【効果】本発明の防振装置は、床面に設置されたベース
と、負荷を担持するための支持台と、ベース上に載置さ
れ、支持台を弾性的に支持する弾性支持体と、支持台に
加わる水平方向の衝撃力を緩和するための水平減衰装置
とで構成されているので、負荷の垂直方向の荷重を弾性
支持体で支持し、水平方向の衝撃荷重を水平減衰装置で
吸収する事ができ、従来のように負荷の慣性モーメント
を大きくする必要がなく、従って、負荷全体の荷重並び
に大きさをコンパクトにまとめる事ができて負荷を支え
る建物にも過大の負担を強いる必要がないという利点が
ある。
The vibration isolator of the present invention includes a base installed on the floor, a support for supporting a load, an elastic support placed on the base and elastically supporting the support. Since it is composed of a horizontal damping device to mitigate the horizontal impact force applied to the support base, the load in the vertical direction of the load is supported by an elastic support, and the horizontal impact load is absorbed by the horizontal damping device. Therefore, it is not necessary to increase the load's moment of inertia as in the past, so the load and size of the entire load can be compacted and the building supporting the load must not be overloaded. There is an advantage that there is no.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本発明の防振装置の一実施例の平面図FIG. 1 is a plan view of an embodiment of a vibration isolation device of the present invention.
【図2】図1の正面図FIG. 2 is a front view of FIG.
【図3】図1の側面図FIG. 3 is a side view of FIG.
【図4】本発明に使用した水平減衰装置の一部断面図FIG. 4 is a partial cross-sectional view of a horizontal damping device used in the present invention.
【図5】本発明の防振装置を軸流ファンに装着した時の
正面図
FIG. 5 is a front view of the vibration isolator of the present invention when mounted on an axial fan.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
(A)…防振装置 (1)…床面 (2)…ベース (3)…負荷 (4)…支持台 (5)…弾性支持体 (6)…水平ダンパ (A) ... Anti-vibration device (1) ... Floor surface (2) ... Base (3) ... Load (4) ... Support base (5) ... Elastic support (6) ... Horizontal damper

Claims (1)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 床面に設置されたベースと、負荷
    を担持するための支持台と、ベース上に載置され、支持
    台を弾性的に支持する弾性支持体と、支持台に加わる水
    平方向の衝撃力を緩和するための水平減衰機構とで構成
    された事を特徴とする防振装置。
    1. A base installed on the floor, a support for supporting a load, an elastic support placed on the base to elastically support the support, and a horizontal direction applied to the support. A vibration damping device comprising a horizontal damping mechanism for alleviating the impact force of the.
JP33418691A 1991-11-22 1991-11-22 Vibration isolator Pending JPH05149380A (en)

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