JPH05126298A - Liquid transferring device and liquid transferring method - Google Patents
Liquid transferring device and liquid transferring methodInfo
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- JPH05126298A JPH05126298A JP31136191A JP31136191A JPH05126298A JP H05126298 A JPH05126298 A JP H05126298A JP 31136191 A JP31136191 A JP 31136191A JP 31136191 A JP31136191 A JP 31136191A JP H05126298 A JPH05126298 A JP H05126298A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、液体移送装置及び液体
の移送方法に関するものであり、さらに詳しくは、液
体、例えば、刺激性の強い液体、劇物等を含む液体の脈
動を少なくし安定に移送する装置及び方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid transfer device and a liquid transfer method. More specifically, the present invention relates to a liquid transfer device and a liquid transfer method. And apparatus for transferring to
【0002】[0002]
【従来の技術】近時、エレクトロニクス工業の発達によ
り、処理、製造工程で超純水や薬液の液体を使用する機
会が増えたため、これらの液体を定量的に効率良く移送
することが要求されている。2. Description of the Related Art Recently, due to the development of the electronics industry, the chances of using liquids such as ultrapure water and chemical liquids in processing and manufacturing processes have increased. Therefore, it is required to transfer these liquids quantitatively and efficiently. There is.
【0003】例えば、半導体、光ディスク、ビデオディ
スク、光磁気ディスクなどの製造工程では超精密洗浄が
必要不可欠な工程である。また、この超精密洗浄には理
論超純水(25℃において比抵抗 18.25MΩ・c
m)級の水が使用されている。このような洗浄水の純度
をあげる手段としては、イオン交換樹脂塔を多段で使用
することが行われている。イオン交換樹脂は概ね高価な
ものであるから、一次純水(一般に比抵抗値が1MΩ・
cm以下の水)の製造においては、使い捨て型のイオン
交換樹脂ではなく、再生型のイオン交換樹脂が用いられ
る。通常アニオン交換樹脂の再生には数%の苛性ソー
ダ、カチオン交換樹脂の再生には数%の塩酸が用いられ
ている。For example, in the manufacturing process of semiconductors, optical disks, video disks, magneto-optical disks, etc., ultra-precision cleaning is an essential step. In addition, theoretical ultrapure water (specific resistance 18.25 MΩ · c at 25 ° C)
m) grade water is used. As a means for increasing the purity of such washing water, it is practiced to use an ion exchange resin tower in multiple stages. Ion exchange resins are generally expensive, so primary pure water (typically with a specific resistance of 1 MΩ
In the production of water (cm or less), a regenerated ion exchange resin is used instead of a disposable ion exchange resin. Usually, a few percent of caustic soda is used to regenerate the anion exchange resin, and a few percent of hydrochloric acid is used to regenerate the cation exchange resin.
【0004】これらの液体の輸送においては、種々多様
のポンプが使用されるが、液体を定量的に輸送したい場
合などでは、安価で信頼性の高いダイアフラム式の定量
ポンプを採用する場合が多い。Various types of pumps are used in the transportation of these liquids, but in the case where it is desired to quantitatively transport the liquid, an inexpensive and highly reliable diaphragm type metering pump is often adopted.
【0005】しかしながら、定量ポンプは比較的脈動が
大きいため、長時間稼働する場合、定量ポンプの脈動に
よって液体が脈動し配管継手部のゆるみが生じて、液漏
れ、薬液の噴出などの事故が発生するおそれがあり、ま
た、脈動により希釈液の濃度変動が生ずるという問題が
あった。However, since the metering pump has a relatively large pulsation, when it is operated for a long time, the pulsating of the metering pump causes the liquid to pulsate and the piping joint is loosened, resulting in an accident such as liquid leakage or chemical liquid ejection. There is also a problem that the pulsation causes fluctuations in the concentration of the diluent.
【0006】従って、定量ポンプの脈動による液体の脈
動をいかに軽減するかがプラントの配管を行う上で重要
である。Therefore, how to reduce the pulsation of the liquid due to the pulsation of the metering pump is important for the piping of the plant.
【0007】従来では、定量ポンプの脈動による液体の
脈動を防ぐため、エアチャンバーを使用する方法が行わ
れていた。Conventionally, in order to prevent the pulsation of the liquid due to the pulsation of the metering pump, a method of using an air chamber has been used.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エアチ
ャンバーを使用する方法では定量ポンプの吐出側の圧力
変動の監視が必要であるため手間がかかり、しかも、液
体の脈動を防ぐには不十分であった。However, in the method using the air chamber, it is necessary to monitor the pressure fluctuation on the discharge side of the metering pump, which is time-consuming and is not sufficient to prevent the pulsation of the liquid. It was
【0009】本発明は、以上の問題点に鑑みてなされた
ものであり、その目的は液体の脈動を少なくし、液体を
安定に移送する装置及び方法を提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an apparatus and method for reducing the pulsation of a liquid and stably transferring the liquid.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の課題
を解決するため鋭意検討した結果、本発明を完成するに
至ったものである。すなわち、本発明は、配管に定量ポ
ンプ及び圧力センサーを設け、該定量ポンプの吐出部側
配管から分岐した部分にガスチャンバーを設け、該ガス
チャンバーにガスを導入するための自動弁及び液体を排
出するための自動弁を設けたことを特徴とする液体移送
装置及び該液体移送装置を使用した液体の移送方法であ
る。The inventor of the present invention has completed the present invention as a result of extensive studies to solve the above problems. That is, according to the present invention, a metering pump and a pressure sensor are provided in a pipe, a gas chamber is provided in a portion branched from a discharge side pipe of the metering pump, and an automatic valve for introducing gas into the gas chamber and a liquid are discharged. A liquid transfer device and a liquid transfer method using the liquid transfer device, characterized in that an automatic valve for performing the operation is provided.
【0011】以下に、本発明をさらに詳細に説明する。The present invention will be described in more detail below.
【0012】本発明における液体移送装置は、配管に定
量ポンプ及び圧力センサーを設け、該定量ポンプの吐出
部側配管から分岐した部分にガスチャンバーを設け、該
ガスチャンバーにガスを導入するための自動弁及び液体
を排出するための自動弁を設けたものである。In the liquid transfer apparatus of the present invention, a pipe is provided with a metering pump and a pressure sensor, a gas chamber is provided in a portion branched from the discharge side pipe of the metering pump, and an automatic gas introducing system is introduced into the gas chamber. A valve and an automatic valve for discharging the liquid are provided.
【0013】液体を移送する配管には定量ポンプ及び圧
力センサーを設ける。A metering pump and a pressure sensor are provided in the pipe for transferring the liquid.
【0014】定量ポンプは特に限定するものではなく、
例えば、ダイヤフラム式定量ポンプがあげられ、また、
圧力センサーは特に限定するものではなく、例えば、タ
ンタル製圧力センサー(塩酸用)、SUS304製圧力
センサー(苛性ソーダ用)等があげられる。液体を移送
する配管の材質としては、移送する液体により適宜選べ
ばよいが、例えば、ステンレス、塩化ビニル、FRP、
PP、PE等があげられる。The metering pump is not particularly limited,
For example, there is a diaphragm type metering pump,
The pressure sensor is not particularly limited, and examples thereof include a tantalum pressure sensor (for hydrochloric acid) and a SUS304 pressure sensor (for caustic soda). The material of the pipe for transferring the liquid may be appropriately selected depending on the liquid to be transferred, and for example, stainless steel, vinyl chloride, FRP,
Examples include PP and PE.
【0015】定量ポンプの吐出部側配管から分岐した部
分にガスチャンバーを設け、さらに、配管とガスチャン
バーの間には、自動弁から導入するガスが配管内に逆流
しないように、チャッキ弁、例えば、スイング式チャッ
キ弁等を設ける。A gas chamber is provided in a portion branched from the discharge side pipe of the metering pump, and a check valve, for example, a check valve, is provided between the pipe and the gas chamber so that the gas introduced from the automatic valve does not flow back into the pipe. A swing type check valve, etc. will be provided.
【0016】ガスチャンバーは、移送液体の圧力と連動
して内圧が変化することにより、液体の脈動を少なくで
きるものであり、例えば、塩ビ製ガスチャンバー(塩酸
用)、SUS304製ガスチャンバー(苛性ソーダ用)
等があげられる。The gas chamber can reduce the pulsation of the liquid by changing the internal pressure in conjunction with the pressure of the transferred liquid. For example, a PVC gas chamber (for hydrochloric acid), a SUS304 gas chamber (for caustic soda). )
Etc.
【0017】ガスチャンバーに設けた自動弁は、ガスチ
ャンバーにガスを導入するための自動弁とガスチャンバ
ーから液体を排出するための自動弁である。The automatic valve provided in the gas chamber is an automatic valve for introducing gas into the gas chamber and an automatic valve for discharging liquid from the gas chamber.
【0018】さらに、配管には液体貯槽の液量によるヘ
ッドを補償するため、背圧弁等の弁を設けるのが好まし
い。Further, it is preferable to provide a valve such as a back pressure valve in the pipe in order to compensate the head due to the amount of liquid in the liquid storage tank.
【0019】一方、本発明における液体の移送方法は、
以上に説明した液体移送装置を用いて液体を移送する方
法である。On the other hand, the liquid transfer method according to the present invention is
It is a method of transferring a liquid using the liquid transfer device described above.
【0020】すなわち、配管内を液体が移送される際
に、ガスチャンバーにより液体の脈動が少なくなるが、
液体が移送されていくうちに、ガスチャンバーに液体が
混入することになり、それに伴って、液体の脈動が発生
し液体の圧力変動が生ずる。That is, when the liquid is transferred in the pipe, the pulsation of the liquid is reduced by the gas chamber,
While the liquid is being transferred, the liquid is mixed in the gas chamber, which causes the pulsation of the liquid and the pressure fluctuation of the liquid.
【0021】この移送する液体の圧力変動を圧力センサ
ーを用いて捕捉する。The pressure fluctuation of the liquid to be transferred is captured by using a pressure sensor.
【0022】この圧力センサーに設定した所定の圧力変
動を捕捉した場合、圧力センサーの指令により、ガスチ
ャンバーに設けたガスを導入するための自動弁からガス
を導入することとし、さらに、ガスチャンバーに設けた
自動弁から液体を排出するようにしたものである。な
お、ガスチャンバーから完全に液体を排出するために
は、ガスチャンバーに設けた自動弁から液体とガスを排
出することが好ましい。When a predetermined pressure fluctuation set in the pressure sensor is captured, the gas is introduced from an automatic valve for introducing the gas provided in the gas chamber according to a command from the pressure sensor. The liquid is discharged from an automatic valve provided. In order to completely discharge the liquid from the gas chamber, it is preferable to discharge the liquid and gas from an automatic valve provided in the gas chamber.
【0023】これにより、ガスチャンバー内に混入した
液体をガスチャンバー外に排出することができるので、
その後は、圧力変動をガスチャンバーに吸収させること
ができ、液体の脈動を少なくできるものである。As a result, the liquid mixed in the gas chamber can be discharged to the outside of the gas chamber.
After that, the pressure fluctuation can be absorbed in the gas chamber, and the pulsation of the liquid can be reduced.
【0024】従って、液体移送装置を使用して液体を移
送することにより、移送する液体の脈動を少なくでき、
しかも、安定に移送できるものである。Therefore, by transferring the liquid using the liquid transfer device, it is possible to reduce the pulsation of the liquid to be transferred,
Moreover, it can be transferred stably.
【0025】なお、圧力センサーをガスチャンバー内に
設けた液体移送装置を使用し、液体の脈動により発生す
るガスチャンバー内のガスの圧力変動を感知することに
よって、自動弁の開閉を行っても、液体の脈動を少なく
できるものである。Even if the automatic valve is opened and closed by using the liquid transfer device having the pressure sensor provided in the gas chamber and detecting the pressure change of the gas in the gas chamber caused by the pulsation of the liquid, Liquid pulsation can be reduced.
【0026】次に、本発明を図面によりさらに詳細に説
明する。Next, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
【0027】図1は本発明の液体移送装置の一例の概略
図であり、図において、1は薬液等の液体貯槽、2はイ
オン交換樹脂塔等の処理槽、3は定量ポンプ、4はチャ
ッキ弁、5はガスチャンバー、6は自動弁、7は自動
弁、8は圧力センサー、9は背圧弁を示す。FIG. 1 is a schematic view of an example of the liquid transfer device of the present invention. In the figure, 1 is a liquid storage tank for a chemical liquid or the like, 2 is a processing tank such as an ion exchange resin tower, 3 is a metering pump, and 4 is a check. Valve 5 is a gas chamber, 6 is an automatic valve, 7 is an automatic valve, 8 is a pressure sensor, and 9 is a back pressure valve.
【0028】定量ポンプ3の吐出部側配管から分岐した
部分にガスチャンバー5を設け、ガスチャンバー5と配
管の間にはチャッキ弁4を設けている。ガスチャンバー
5には自動弁6及び自動弁7を設けている。A gas chamber 5 is provided in a portion branched from the discharge side pipe of the metering pump 3, and a check valve 4 is provided between the gas chamber 5 and the pipe. The gas chamber 5 is provided with an automatic valve 6 and an automatic valve 7.
【0029】定量ポンプ3により吐出部側配管に排出さ
れた液体は、一部分岐してチャッキ弁4を経てガスチャ
ンバー5に達し、ガスチャンバー5内で内部のガス圧と
バランスして、液体の脈動を少なくする。The liquid discharged to the discharge side piping by the metering pump 3 partially branches and reaches the gas chamber 5 through the check valve 4, and in the gas chamber 5, balances with the internal gas pressure to pulsate the liquid. To reduce.
【0030】自動弁6はガスチャンバー5にガスを導入
するためのものである。また、自動弁7はガスチャンバ
ー5内に入っている余分な被移送液体をガスチャンバー
5の外に排出するためのものである。The automatic valve 6 is for introducing gas into the gas chamber 5. Further, the automatic valve 7 is for discharging excess liquid to be transferred contained in the gas chamber 5 out of the gas chamber 5.
【0031】この配管内の液体の圧力変動を圧力センサ
ー8により監視し、所定の幅を越えた圧力変動を感知し
た場合に、自動弁6、自動弁7に指令を発し、ガスチャ
ンバー5内に自動弁6からガスを導入し、自動弁7から
液体を排出して、ガス量を増減するなどの調節を行う。The pressure variation of the liquid in the pipe is monitored by the pressure sensor 8, and when a pressure variation exceeding a predetermined width is detected, a command is issued to the automatic valve 6 and the automatic valve 7 so that the gas chamber 5 can be controlled. Gas is introduced from the automatic valve 6 and liquid is discharged from the automatic valve 7 to adjust the gas amount.
【0032】[0032]
【実施例】図1に示した本発明の液体移送装置を用い
て、モノベッド型のイオン交換樹脂の再生運転を行っ
た。EXAMPLE Using the liquid transfer apparatus of the present invention shown in FIG. 1, a regeneration operation of a monobed type ion exchange resin was performed.
【0033】原料液はアニオン交換樹脂の再生の場合2
5%苛性ソーダであり、用いたイオン交換樹脂は強塩基
性陰イオン交換樹脂(II型第4級アンモニウム塩型樹
脂140リットル)であった。配管はステンレス(SU
S304)管を用いた。通液は140リットル/h、全
通薬量は110リットルで実施した。このときの流量の
変動は±10リットル/h未満で、圧力センサーによっ
てモニタリングされた圧力は2±0.2kg/cm2で
あった。自動弁6を経て行うガス(空気)供給指令は圧
力変動が±0.5kg/cm2を越えた時点とした。In the case of regeneration of anion exchange resin, the raw material liquid is 2
It was 5% caustic soda and the ion exchange resin used was a strongly basic anion exchange resin (140 liters of II type quaternary ammonium salt type resin). Piping is made of stainless steel (SU
S304) A tube was used. The liquid flow was 140 liters / h, and the total amount of the drug passed was 110 liters. The fluctuation of the flow rate at this time was less than ± 10 liter / h, and the pressure monitored by the pressure sensor was 2 ± 0.2 kg / cm 2 . The gas (air) supply command issued via the automatic valve 6 was at the time when the pressure fluctuation exceeded ± 0.5 kg / cm 2 .
【0034】一方、カチオン交換樹脂の再生の場合35
%塩酸であり、強酸性陽イオン交換樹脂(スルフォン酸
型樹脂70リットル)を用いた。配管は塩ビパイプをF
RPで被覆したものを用いた。通液は42リットル/
h、全通薬量は14リットルで実施した。このときの流
量の変動は±2リットル/h未満で、8によってモニタ
リングされた圧力は2±0.2kg/cm2であった。
自動弁6を経て行うガス(空気)供給指令は圧力変動が
±0.5kg/cm2を越えた時点とした。On the other hand, in the case of regenerating the cation exchange resin, 35
% Hydrochloric acid, and a strong acid cation exchange resin (70 liters of sulfonic acid type resin) was used. Piping is a PVC pipe
The one coated with RP was used. 42 liters /
h, the total amount of drug passed was 14 liters. The fluctuation of the flow rate at this time was less than ± 2 liter / h, and the pressure monitored by 8 was 2 ± 0.2 kg / cm 2 .
The gas (air) supply command issued via the automatic valve 6 was at the time when the pressure fluctuation exceeded ± 0.5 kg / cm 2 .
【0035】以上のようにして行った運転において、イ
オン交換樹脂の再生による通薬時間は苛性ソーダで48
分、塩酸で20分を要し、再生の頻度は一日に一回であ
った。上記したような設定で、苛性ソ−ダラインでは、
10回目の再生の時にガス供給がなされ、塩酸ラインで
は、8回目の再生の時にガス供給がなされた。イオン交
換塔の直前にて測定した移送液の流れは、脈動が少なく
安定した状態であることが確認された。In the operation performed as described above, the refilling time for regeneration of the ion exchange resin is 48 hours with caustic soda.
20 minutes with hydrochloric acid, and the frequency of regeneration was once a day. With the above settings, caustic soda line,
The gas was supplied during the 10th regeneration, and the hydrochloric acid line was supplied during the 8th regeneration. It was confirmed that the flow of the transfer liquid measured immediately before the ion exchange tower was in a stable state with little pulsation.
【0036】[0036]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の液
体移送装置及び方法を用いることにより、移送時の液体
の脈動を少なくできるので、薬液等の液体を安定に移送
できる効果を有するものであり、また、希釈液の濃度変
動を少なくできる効果を有するものである。As described in detail above, by using the liquid transfer apparatus and method of the present invention, it is possible to reduce the pulsation of the liquid during transfer, so that it is possible to stably transfer liquid such as chemical liquid. In addition, it has the effect of reducing fluctuations in the concentration of the diluent.
【図1】本発明の液体移送装置の一例の概略図。FIG. 1 is a schematic view of an example of a liquid transfer device of the present invention.
1 薬液等の液体貯槽 2 イオン交換樹脂塔等の処理槽 3 定量ポンプ 4 チャッキ弁 5 ガスチャンバー 6 自動弁 7 自動弁 8 圧力センサー 9 背圧弁 1 Liquid storage tank for chemicals, etc. 2 Treatment tank for ion exchange resin tower, etc. 3 Constant pump 4 Check valve 5 Gas chamber 6 Automatic valve 7 Automatic valve 8 Pressure sensor 9 Back pressure valve
Claims (2)
け、該定量ポンプの吐出部側配管から分岐した部分にガ
スチャンバーを設け、該ガスチャンバーにガスを導入す
るための自動弁及び液体を排出するための自動弁を設け
たことを特徴とする液体移送装置。1. A pipe is provided with a metering pump and a pressure sensor, a gas chamber is provided at a portion branched from a discharge side pipe of the metering pump, and an automatic valve for introducing gas into the gas chamber and a liquid are discharged. A liquid transfer device, which is provided with an automatic valve for
い、配管内の液体の圧力変動を圧力センサーで感知し、
該圧力センサーの指令により、ガスチャンバーに設けた
自動弁を開閉してガスチャンバーにガスを導入して液体
を排出し、ガスチャンバー内のガス量を調節することを
特徴とする液体の移送方法。2. The liquid transfer device according to claim 1, wherein a pressure sensor detects a pressure fluctuation of the liquid in the pipe,
A liquid transfer method comprising: opening and closing an automatic valve provided in the gas chamber to introduce gas into the gas chamber to discharge the liquid in response to a command from the pressure sensor to adjust the amount of gas in the gas chamber.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31136191A JPH05126298A (en) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | Liquid transferring device and liquid transferring method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31136191A JPH05126298A (en) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | Liquid transferring device and liquid transferring method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05126298A true JPH05126298A (en) | 1993-05-21 |
Family
ID=18016242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31136191A Pending JPH05126298A (en) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | Liquid transferring device and liquid transferring method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05126298A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005238145A (en) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Fuji Xerox Co Ltd | Immersion and coating method, immersion and coating apparatus, and production method for electrophotographic photoreceptor |
JP2008124462A (en) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Asml Netherlands Bv | Conduit system for lithographic apparatus, lithographic apparatus, pump, and method for substantially reducing vibration in conduit system |
-
1991
- 1991-10-31 JP JP31136191A patent/JPH05126298A/en active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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