JPH05109866A - Wafer transfer robot - Google Patents

Wafer transfer robot

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JPH05109866A
JPH05109866A JP26663991A JP26663991A JPH05109866A JP H05109866 A JPH05109866 A JP H05109866A JP 26663991 A JP26663991 A JP 26663991A JP 26663991 A JP26663991 A JP 26663991A JP H05109866 A JPH05109866 A JP H05109866A
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JP
Japan
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shaft
pulley
arm
fixed
gear
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Application number
JP26663991A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuo Soma
勝男 相馬
Original Assignee
Nec Corp
日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To transfer a wafer at half of the backward and forward movement of the number of slots of a wafer cassette and to quickly transfer the wafer by a method wherein two arm parts for transfer use and two wands are installed.
CONSTITUTION: A wafer-cassette transfer robot 50 is composed of arm parts 51, 52 and wands 17, 32. When a fourth motor is turned and a fourth arm 22 is turned at α° directly from a position L, a fifth arm 26 is turned at -2α° with reference to the fourth arm 22 because the gear ratio of a fifth pulley 21 to a sixth pulley 25 is 2 : 1. A sixth arm 31 is turned at α° because the gear ratio of a seventh pulley 27 to an eighth pulley 30 is 1:2. The action in the radial direction of the arm part 51 is performed in this manner, and the action in the radial direction and the rotation direction of the arm part 52 can be performed in the same manner. Consequently, when a wafer is transferred from a first wafer cassette 60 to a second wafer cassette 61, the wafer can be transferred at half of the forward and backward movement of the number of slots of the wafer cassette.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は半導体シリコンウェハの移載に用いるロボットに関し、特に移載用のアームを2 The present invention relates to an robot used for mounting transfer of the semiconductor silicon wafer, in particular arms for transfer 2
本、ウォンドを2個備えたウェハ移載ロボットに関する。 This relates to two with the wafer transfer robot and the wand.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、この種のウェハ移載ロボットは、 Conventionally, this kind of the wafer transfer robot,
図5に示すように、第1ウェハカセット60から第2ウェハカセット61にウェハを移載するのに対し、ウェハカセット移載ロボット62には1個のウォンドを持つ1 As shown in FIG. 5, while to transfer the wafer to a second wafer cassette 61 from the first wafer cassette 60, the wafer cassette transfer robot 62 with a single wand 1
本のアーム部63のみしか有していなかった。 Only it did not have only the arm portion 63 of the.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェハ移載ロボットは、アーム部が1本しかなかったので、第1ウェハカセットから第2ウェハカセットにウェハを移載する場合には、ウェハ移載ロボットは例えば25スロットのウェハカセットでは25往復ハンドリングする必要があり、ウェハの移載に時間がかかる欠点がある。 [SUMMARY OF THE INVENTION] Conventional wafer transfer robot described above, since the arm there is only one, in the case of transferring the wafer from the first wafer cassette in the second wafer cassette, the wafer transfer placing the robot must be 25 reciprocally handling a wafer cassette, for example, 25 slots, there is a disadvantage that it takes time to transfer the wafer.

【0004】 [0004]

【課題を解決するための手段】本発明のウェハ移載ロボットは、上下方向に移動可能なZ軸可動ベースと、前記Z軸可動ベースに回転保持される第1中空シャフトと、 Means for Solving the Problems] wafer transfer robot according to the present invention includes a Z-axis movable base movable in the vertical direction, a first hollow shaft which is rotated held on the Z-axis movable base,
前記第1中空シャフト内で回転可能な第2中空シャフトと、前記第2中空シャフト内で回転可能な第3中空シャフトと、前記第3中空シャフト内で回転可能な第4シャフトと、前記第1中空シャフトに固定される第1プーリと、前記第2中空シャフトに固定される第1アームと、 A second hollow shaft rotatable within the first hollow shaft, and a third hollow shaft rotatable within said second hollow shaft, a fourth shaft rotatable within said third hollow shaft, said first a first pulley fixed to a hollow shaft, a first arm fixed to the second hollow shaft,
前記第1アームに回転保持される第5シャフトと、前記第5シャフトと同軸で第1タイミングベルトにより前記第1プーリと連結され前記第1プーリの半分の歯数の第2プーリと、前記第5シャフトに固定される第2アームと、前記第2アーム内で前記第5シャフトに固定され前記第2プーリと同歯数の第3プーリと、前記第5シャフトに対し前記第1中空シャフトとの軸間距離に等しく第2アーム内に回転保持される第6シャフトと、前記第6 A fifth shaft which is rotated held by the first arm, and the fifth second pulley is connected to the first pulley by the first timing belt shaft coaxially number of teeth half of the first pulley, the second a second arm fixed to the 5 shaft, and the second third pulley secured to the fifth shaft in the arm the second pulley and the same number of teeth, said first hollow shaft to said fifth shaft a sixth shaft is rotating and holding equal within the second arm in the axial distance between the sixth
シャフトと同軸で前記第3プーリと第2タイミングベルトで連結され前記第1プーリと同歯数の第4プーリと、 Said third pulley and the fourth pulley of the first pulley and the same number of teeth are connected by a second timing belt shaft coaxially,
前記第6シャフトに固定される第3アームと、前記第3 A third arm fixed to the sixth shaft, the third
アームに固定される第1ウォンドと、前記第3中空シャフトに固定される第5プーリと、前記第4シャフトに固定される第4アームと、前記第4アームに回転保持される第7シャフトと、前記第7シャフトと同軸で第3タイミングベルトにより前記第5プーリと連結され前記第5 A first wand is fixed to the arm, a fifth pulley fixed to the third hollow shaft, and a fourth arm fixed to the fourth shaft, and a seventh shaft is rotated held in the fourth arm the seventh is connected to the fifth pulley by a third timing belt shaft coaxially the fifth
プーリの半分の歯数の第6プーリと、前記第7シャフトに固定される第5アームと、前記第5アーム内で前記第7シャフトに固定され前記第6プーリと同歯数の第7プーリと、前記第7シャフトに対し前記第3中空シャフトとの軸間距離に等しく第5アーム内に回転保持される第8シャフトと、前記第8シャフトと同軸で前記第7プーリと第4タイミングベルトで連結され前記第5プーリと同歯数の第8プーリと、前記第8シャフトに固定される第6アームと、前記第6アームに固定される第2ウォンドと、前記第1中空シャフトの下部に固定される第1歯車と、前記第1歯車とかみ合う第2歯車と、前記Z軸可動ベースに固定され前記第2歯車を駆動する第1モータと、前記第2中空シャフトの下部に固定される第3歯車と、前記第3歯車 A sixth pulley number of teeth half pulley, said a fifth arm 7 is fixed to the shaft, the fifth fixed to the seventh shaft in the arm and the sixth pulley and the seventh pulley of the same number of teeth If, eighth shaft and the seventh pulley and a fourth timing belt by the eighth shaft coaxial with the rotary holding equal to the fifth inside arm center distance between the seventh the third hollow shaft to the shaft and the eighth pulley is connected to the fifth pulley and the number of teeth in the sixth arm fixed to the eighth shaft, and a second wand fixed to the sixth arm, the lower portion of the first hollow shaft a first gear fixed to a second gear meshing with said first gear, a first motor for driving the second gear is fixed to the Z-axis movable base is secured to a lower portion of the second hollow shaft a third gear that, the third gear かみ合う第4歯車と、前記第1歯車に固定され前記第4歯車を駆動する第2モータと、前記第3中空シャフトの下部に固定される第5歯車と、前記第5歯車とかみ合う第6歯車と、前記Z軸可動ベースに固定され前記第6歯車を駆動する第3モータと、前記第4シャフトの下部に固定される第7歯車と、前記第7歯車とかみ合う第8歯車と、前記第5歯車に固定され前記第8歯車を駆動する第4モータと、前記Z軸可動ベースが摺動する固定ベースと、前記固定ベースに固定され前記Z軸可動ベースを駆動するボールねじおよび第5モータとを備えている。 Meshes with the fourth gear, the second motor in which the first is fixed to the gear to drive the fourth gear, the fifth gear is fixed to a lower portion of the third hollow shaft, sixth gear that meshes with the fifth gear When a third motor being fixed to the Z-axis movable base driving the sixth gear, a seventh gear that is fixed to a lower portion of the fourth shaft, and an eighth gear meshing with the seventh gear, the first 5 a fourth motor is fixed to the gear driving said eighth gear, and a fixed base which the Z-axis movable base slides, ball screws and the fifth motor fixed to the fixed base to drive the Z-axis movable base It is equipped with a door.

【0005】 [0005]

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明する。 EXAMPLES Next, will be described with reference to the drawings the present invention.

【0006】図1は本発明の一実施例の斜視図、図2は本実施例を詳細に示す断面図、図3は本実施例の片方のアーム部を示す平面図、図4は本実施例によってウェハをハンドリングする動作を示す平面図でる。 [0006] Figure 1 is a perspective view of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view showing an embodiment in detail, FIG. 3 is a plan view showing the arm portion of one of the present example, FIG. 4 is exemplary out plan view showing an operation of handling the examples wafer.

【0007】本実施例は次のように構成される。 [0007] The present embodiment is constructed as follows. 上下方向に移動可能なZ軸可動ベース1に回転保持される第1 First rotated held that the Z-axis movable base 1 movable in the vertical direction
中空シャフト2には、その中で回転可能な第2中空シャフト3が内蔵される。 The hollow shaft 2, the second hollow shaft 3 rotatable is incorporated therein. 第2中空シャフト3の中には同じく回転可能な第3中空シャフト4が、また、第3中空シャフト4の中には同じく回転可能な第4シャフト5が内蔵される。 Third hollow shaft 4 which also rotatable in the second hollow shaft 3, also, the fourth shaft 5 rotatable also be built into the third hollow shaft 4. 第1中空シャフト2には第1プーリ6が固定される。 The first hollow shaft 2 first pulley 6 is fixed. 第2中空シャフト3には第1アーム7が固定される。 The second hollow shaft 3 first arm 7 is fixed. 第1アーム7には第5シャフト8が回転保持される。 The first arm 7 fifth shaft 8 is rotated retained. 第5シャフト8には同軸で第1タイミングベルト9 Coaxially to the fifth shaft 8 first timing belt 9
により第1プーリ6と連結され第1プーリ6の半分の歯数の第2プーリ10が固定される。 Half second pulley 10 the number of teeth of the first pulley 6 first pulley 6 is connected with is fixed by. また、第5シャフト8には第2アーム11と第2プーリ10と同歯数の第3 Further, the fifth shaft 8 the second arm 11 and the second pulley 10 and the third of the same number of teeth
プーリ12が固定される。 Pulley 12 is fixed. 第2アーム11内には、第5 In the second arm 11, the fifth
シャフト8に対し、第1中空シャフト2との軸間距離を等しくして、第6シャフト14が回転保持される。 To the shaft 8, at equal center distance between the first hollow shaft 2, the sixth shaft 14 is rotated retained. また、第6シャフト14には同軸で第3プーリ12と第2 Further, the sixth shaft 14 and the third pulley 12 coaxially second
タイミングベルト13で連結され第1プーリ6と同歯数の第4プーリ15が固定される。 The fourth pulley 15 of the first pulley 6 is connected the number of teeth is secured by the timing belt 13. 第6シャフト14には第3アーム16が固定され、また、第3アーム16には第1ウォンド17が固定される。 The sixth shaft 14 third arm 16 is fixed, also the third arm 16 is first wand 17 is fixed.

【0008】第3中空シャフト4には第5プーリ21が固定される。 [0008] The third hollow shaft 4 fifth pulley 21 is fixed. 第4シャフト5には第4アーム22が固定される。 The fourth shaft 5 fourth arm 22 is fixed. 第4アーム22には第7シャフト23が回転保持される。 The fourth arm 22 is the seventh shaft 23 is rotated retained. 第7シャフト23には同軸で第3タイミングベルト24により第5プーリ21と連結され第5プーリ21の半分の歯数の第6プーリ25が固定される。 The sixth pulley 25 of the number half of the teeth of the fifth pulley 21 is connected to the fifth pulley 21 by a third timing belt 24 coaxially is fixed to the seventh shaft 23. また、第7シャフト23には第5アーム26と第6プーリ25と同歯数の第7プーリ27が固定される。 The seventh pulley 27 and the fifth arm 26 of the sixth pulley 25 and the number of teeth on the seventh shaft 23 is fixed. 第5アーム26内には、第7シャフト23に対し、第3中空シャフト4との軸間距離を等しくして、第8シャフト28が回転保持される。 In the fifth arm 26, to the seventh shaft 23, at equal center distance between the third hollow shaft 4, eighth shaft 28 is rotated retained. また、第8シャフト28には同軸で第7プーリ27と第4タイミングベルト29で連結され第5プーリ21と同歯数の第8プーリ30が固定される。 Further, the eighth pulley 30 of the seventh pulley 27 and the same number of teeth and the fifth pulley 21 are connected by a fourth timing belt 29 coaxially is fixed to the eighth shaft 28.
第8シャフト28には第6アーム31が固定され、また、第6アーム31には第2ウォンド32が固定される。 The eighth shaft 28 is fixed sixth arm 31, also in the sixth arm 31 has a second wand 32 is fixed.

【0009】第1中空シャフト2の下部には第1歯車3 [0009] The lower portion of the first hollow shaft 2 first gear 3
3が固定され、第1歯車33とかみ合う第2歯車34 3 is fixed, a second gear 34 meshing with the first gear 33
は、Z軸可動ベース1に固定される第1モータ35に固定される。 It is fixed to the first motor 35 fixed to the Z-axis movable base 1. 第2中空シャフト3の下部には第3歯車36 The lower portion of the second hollow shaft 3 third gear 36
が固定され、第3歯車36とかみ合う第4歯車37は第1歯車33に固定される第2モータ38に固定される。 There is fixed, the fourth gear 37 meshing with the third gear 36 is fixed to the second motor 38 which is fixed to the first gear 33.
第3中空シャフト4の下部には第5歯車39が固定され、第5歯車39とかみ合う第6歯車40は、Z軸可動ベース1に固定される第3モータ41に固定される。 The lower portion of the third hollow shaft 4 fifth gear 39 is fixed, the sixth gear 40 meshing with the fifth gear 39 is fixed to the third motor 41 which is fixed to the Z-axis movable base 1. 第4シャフト5の下部には第7歯車42が固定され、第7 The lower portion of the fourth shaft 5 seventh gear 42 is fixed, the seventh
歯車42とかみ合う第8歯車43は第5歯車39に固定される第4モータ44に固定される。 Eighth gear 43 meshing with the gear 42 is fixed to the fourth motor 44 which is secured to the fifth gear 39. Z軸可動ベース1 Z-axis movable base 1
は固定ベース45を摺動可能であり、Z軸可動ベース1 Slidable fixing base 45, Z-axis movable base 1
を駆動するボールねじ46と第5モータ47は固定ベース45に固定される。 A ball screw 46 for driving the fifth motor 47 is fixed to the fixed base 45.

【0010】次に、本実施例の動作を説明する。 [0010] Next, the operation of this embodiment will be described. Z軸可動ベース1は、第5モータ47及びボールねじ46により、上下方向に動作し本実施例のウェハカセット移載ロボット50のZ軸となる。 Z-axis movable base 1, the fifth motor 47 and the ball screw 46 operates in the vertical direction becomes a Z-axis of the wafer cassette transfer robot 50 of the present embodiment. ウェハカセット移載ロボット50の半径(R)方向と回転(θ)方向の動作については、ウェハカセット移載ロボット50の片方のアーム部51(第4アーム22と第5アーム26と第6アーム3 Rotation radius (R) direction of the wafer cassette transfer robot 50 for (theta) direction of movement, one of the arm portions 51 of the wafer cassette transfer robot 50 (the fourth arm 22 and fifth arm 26 sixth arm 3
1)を示した図3と本実施例の断面図の図2を用いて説明する。 It will be described with reference 1) and FIG. 3 shows the Figure 2 cross-sectional view of the embodiment. 先に、半径(R)方向の動作について説明する。 Previously, the radius (R) direction of the operation will be described. 第5プーリ21の中心と第8プーリ30の中心を結んだ直線をLとする。 The connecting it straight center center and the eighth pulley 30 of the fifth pulley 21 and L. 第4モータ44が回転し、第8歯車43及び第7歯車42により、第4アーム22が直線Lよりα度回転したとき、第5プーリ21と第6プーリ25の歯数比は2:1なので第5アーム26は第4アーム22に対し−2α度回転する。 The fourth motor 44 is rotated, the eighth gear 43 and the seventh gear 42, when the fourth arm 22 is rotated α degrees from the straight line L, the fifth pulley 21 the gear ratio of the sixth pulley 25 is 2: 1 Since the fifth arm 26 is rotated -2α degrees relative to the fourth arm 22. また、第6アーム31 In addition, the sixth arm 31
は第7プーリ27と第8プーリ30の歯数比が1:2なのでα度回転する。 Gear ratio of the seventh pulley 27 eighth pulley 30 is 1: rotates 2 because α degrees. よって、第6アーム31は、第4モータ44の回転により、直線L上を動き、ウェハカセット移載ロボット50の片方のアーム部51の半径(R) Therefore, the sixth arm 31, by the rotation of the fourth motor 44, the motion on the straight line L, the radius of one of the arm portions 51 of the wafer cassette transfer robot 50 (R)
方向の動作となる。 The direction of the operation. 同様に、他方のアーム部52(第1 Similarly, the other arm portion 52 (first
アーム7と第2アーム11と第3アーム16)も、第2 Arm 7 and the second arm 11 and third arm 16) is also a second
モータ38の回転により、半径(R)方向の動作を行なう。 By the rotation of the motor 38 performs a radius (R) direction of movement.

【0011】次に、回転(θ)方向の動作について説明する。 [0011] Next, a description will be given rotation (theta) direction of movement. 第1モータ35が回転すると、第1歯車33と第2歯車34により、第1アーム7が回転し、これが、ウェハカセット移載ロボット50の他方のアーム部52の回転(θ)方向の動作となる。 When the first motor 35 rotates, the first gear 33 second gear 34, the first arm 7 is rotated, this rotation of the other arm portion 52 of the wafer cassette transfer robot 50 (theta) direction of movement and Become. なお、第2モータ38は第1歯車33に固定されているので第1モータ35が回転しても、半径(R)方向に他方のアーム部52は動作しない。 Incidentally, the second motor 38 be the first motor 35 rotates because it is fixed to the first gear 33, the other arm portion 52 in the radial (R) direction does not operate. 第3モータ41が回転すると、第5歯車39と第6歯車40により、第4アーム22が回転し、これが、ウェハカセット移載ロボット50の片方のアーム部51の回転(θ)方向の動作となる。 When the third motor 41 is rotated, the fifth gear 39 and the sixth gear 40, the fourth arm 22 is rotated, this rotation of one arm portion 51 of the wafer cassette transfer robot 50 (theta) direction of movement and Become. なお、第4モータ44は第5歯車39に固定されているので第3モータ4 The third motor 4 since the fourth motor 44 is fixed to the fifth gear 39
1が回転しても、半径(R)方向に片方のアーム部51 Even 1 is rotated, the one radially (R) direction arm portion 51
は動作しない。 It does not work.

【0012】以上により、ウェハカセット移載ロボット50の片方のアーム部51と他方のアーム部52は個々に、半径(R)方向と回転(θ)方向に動作可能である。 [0012] With the above, one of the arm portions 51 and the other arm portion 52 of the wafer cassette transfer robot 50 is individually operable and radius (R) rotating (theta) direction. よって、図4に示すように、第1ウェハカセット6 Therefore, as shown in FIG. 4, the first wafer cassette 6
0から第2ウェハカセット61にウェハを移載する場合には、ウェハカセット移載ロボット50は例えば25スロットのウェハカセットでは12.5往復分でハンドリングすることができる。 0 when transferring the wafer to a second wafer cassette 61, the wafer cassette transfer robot 50 in the wafer cassette of example 25 slots can be handled in 12.5 round trip.

【0013】 [0013]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、移載用のアーム部を2本とウォンドを2個設けることにより、ウェハを移載する場合に、ウェハカセットのスロット数の2分の1の往復分でハンドリングすることができ、ウェハの移載が迅速に行える効果がある。 The present invention described above, according to the present invention, by providing two two and wand arm portion for mounting transfer, when transferring the wafer, one-half of the number of wafer cassette slot of can be handled in reciprocation, mounting transfer of the wafer is rapidly performed effectively.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の一実施例の斜視図である。 1 is a perspective view of an embodiment of the present invention.

【図2】本実施例を詳細に示す断面図である。 2 is a sectional view showing in detail the present embodiment.

【図3】本実施例の片方のアーム部を示す平面図である。 3 is a plan view showing the arm portion of one of the present embodiment.

【図4】本実施例によってウェハをハンドリングする動作を示す平面図である。 4 is a plan view showing an operation of handling the present examples wafer.

【図5】従来のウェハ移載ロボットがウェハをハンドリングする動作を示す平面図である。 [5] Conventional wafer transfer robot is a plan view showing an operation of handling the wafers.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 Z軸可動ベース 2 第1中空シャフト 3 第2中空シャフト 4 第3中空シャフト 5 第4シャフト 6 第1プーリ 7 第1アーム 8 第5シャフト 9 第1タイミングベルト 10 第2プーリ 11 第2アーム 12 第3プーリ 13 第2タイミングベルト 14 第6シャフト 15 第4プーリ 16 第3アーム 17 第1ウォンド 21 第5プーリ 22 第4アーム 23 第7シャフト 24 第3タイミングベルト 25 第6プーリ 26 第5アーム 27 第7プーリ 28 第8シャフト 29 第4タイミングベルト 30 第8プーリ 31 第6アーム 32 第2ウォンド 33 第1歯車 34 第2歯車 35 第1モータ 36 第3歯車 37 第4歯車 38 第2モータ 39 第5歯車 40 第6歯車 41 第3モータ 42 第7歯車 43 第8歯車 44 第4モ 1 Z-axis movable base 2 first hollow shaft 3 and the second hollow shaft 4 third hollow shaft 5 fourth shaft 6 first pulley 7 first arm 8 fifth shaft 9 first timing belt 10 second pulley 11 and the second arm 12 the third pulley 13 the second timing belt 14 sixth shaft 15 fourth pulley 16 third arm 17 first wand 21 fifth pulley 22 fourth arm 23 seventh shaft 24 third timing belt 25 sixth pulley 26 fifth arm 27 the seventh pulley 28 eighth shaft 29 fourth timing belt 30 eighth pulley 31 sixth arm 32 second wand 33 first gear 34 second gear 35 first motor 36 third gear 37 the fourth gear 38 the second motor 39 a 5 gear 40 sixth gear 41 third motor 42 seventh gear 43 eighth gear 44 4th mode タ 45 固定ベース 46 ボールねじ 47 第5モータ 50 ウェハカセット移載ロボット 51 ウェハカセット移載ロボットの片方のアーム部 52 ウェハカセット移載ロボットの他方のアーム部 60 第1ウェハカセット 61 第2ウェハカセット 62 従来のウェハカセット移載ロボット 63 アーム部 R ウェハカセット移載ロボットの半径方向 θ ウェハカセット移載ロボットの回転方向 L 第5プーリ21の中心と第8プーリ30の中心を結んだ直線 α 第4アーム22が直線Lより回転したときの角度 Motor 45 fixed base 46 ball screw 47 fifth motor 50 wafer cassette transfer robot 51 wafer cassette transfer robot of one arm portion 52 wafer cassette other arm portion 60 first wafer transfer robot cassette 61 second wafer cassette 62 conventional wafer cassette transfer robot 63 arm portion R wafer cassette transfer radially θ wafer cassette connecting the rotational direction L fifth pulley 21 around the center and the eighth pulley 30 of the transfer robot linear α fourth arm of the robot angle when 22 is rotated from the straight line L

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 上下方向に移動可能なZ軸可動ベースと、前記Z軸可動ベースに回転保持される第1中空シャフトと、前記第1中空シャフト内で回転可能な第2中空シャフトと、前記第2中空シャフト内で回転可能な第3 1. A and Z-axis movable base movable in the vertical direction, a first hollow shaft which is rotated held on the Z-axis movable base, a second hollow shaft rotatable within the first hollow shaft, said the rotatable within the second hollow shaft 3
    中空シャフトと、前記第3中空シャフト内で回転可能な第4シャフトと、前記第1中空シャフトに固定される第1プーリと、前記第2中空シャフトに固定される第1アームと、前記第1アームに回転保持される第5シャフトと、前記第5シャフトと同軸で第1タイミングベルトにより前記第1プーリと連結され前記第1プーリの半分の歯数の第2プーリと、前記第5シャフトに固定される第2アームと、前記第2アーム内で前記第5シャフトに固定され前記第2プーリと同歯数の第3プーリと、前記第5シャフトに対し前記第1中空シャフトとの軸間距離に等しく第2アーム内に回転保持される第6シャフトと、 A hollow shaft, a fourth shaft rotatable within said third hollow shaft, a first pulley fixed to the first hollow shaft, a first arm fixed to the second hollow shaft, the first a fifth shaft which is rotated held the arm, and the fifth second pulley is connected to the first pulley by the first timing belt shaft coaxially number of teeth half the first pulley, to the fifth shaft axis-to-axis of the second arm is fixed, and the second third pulley secured to the fifth shaft in the arm of the second pulley and the same number of teeth, the first hollow shaft to said fifth shaft and equal second sixth shaft is rotated held in the arm at a distance,
    前記第6シャフトと同軸で前記第3プーリと第2タイミングベルトで連結され前記第1プーリと同歯数の第4プーリと、前記第6シャフトに固定される第3アームと、 And the sixth shaft coaxially with the third pulley and the fourth pulley is connected to the first pulley and the same number of teeth in the second timing belt, and a third arm fixed to the sixth shaft,
    前記第3アームに固定される第1ウォンドと、前記第3 A first wand fixed to the third arm, the third
    中空シャフトに固定される第5プーリと、前記第4シャフトに固定される第4アームと、前記第4アームに回転保持される第7シャフトと、前記第7シャフトと同軸で第3タイミングベルトにより前記第5プーリと連結され前記第5プーリの半分の歯数の第6プーリと、前記第7 A fifth pulley fixed to the hollow shaft, and a fourth arm fixed to the fourth shaft, and a seventh shaft is rotated held in the fourth arm, the third timing belt by the seventh shaft coaxially a sixth pulley number of teeth half of the fifth pulley and is connected to the fifth pulley, the seventh
    シャフトに固定される第5アームと、前記第5アーム内で前記第7シャフトに固定され前記第6プーリと同歯数の第7プーリと、前記第7シャフトに対し前記第3中空シャフトとの軸間距離に等しく第5アーム内に回転保持される第8シャフトと、前記第8シャフトと同軸で前記第7プーリと第4タイミングベルトで連結され前記第5 A fifth arm which is fixed to the shaft, and the fifth fixed to the seventh shaft in the arm and the sixth pulley and the seventh pulley of the same number of teeth, and the third hollow shaft relative to the seventh shaft an eighth shaft is rotated held equal to the fifth inside arm in the axial distance between the eighth coupled with the seventh pulley and a fourth timing belt shaft coaxially the fifth
    プーリと同歯数の第8プーリと、前記第8シャフトに固定される第6アームと、前記第6アームに固定される第2ウォンドと、前記第1中空シャフトの下部に固定される第1歯車と、前記第1歯車とかみ合う第2歯車と、前記Z軸可動ベースに固定され前記第2歯車を駆動する第1モータと、前記第2中空シャフトの下部に固定される第3歯車と、前記第3歯車とかみ合う第4歯車と、前記第1歯車に固定され前記第4歯車を駆動する第2モータと、前記第3中空シャフトの下部に固定される第5歯車と、前記第5歯車とかみ合う第6歯車と、前記Z軸可動ベースに固定され前記第6歯車を駆動する第3モータと、前記第4シャフトの下部に固定される第7歯車と、 An eighth pulley of the same number of teeth and the pulley, and the sixth arm fixed to the eighth shaft, and a second wand fixed to the sixth arm, a first fixed to the lower portion of the first hollow shaft a gear, a second gear meshing with said first gear, a first motor fixed to the Z-axis movable base for driving said second gear, a third gear fixed to a lower portion of the second hollow shaft, wherein a fourth gear meshing with the third gear, a second motor fixed to the first gear for driving said fourth gear, a fifth gear fixed to a lower portion of the third hollow shaft, said fifth gear and a sixth gear meshing, the third motor is fixed to the Z-axis movable base driving the sixth gear, a seventh gear that is fixed to a lower portion of the fourth shaft,
    前記第7歯車とかみ合う第8歯車と、前記第5歯車に固定され前記第8歯車を駆動する第4モータと、前記Z軸可動ベースが摺動する固定ベースと、前記固定ベースに固定され前記Z軸可動ベースを駆動するボールねじおよび第5モータとを含んだことを特徴とするウェハ移載ロボット。 And an eighth gear meshing with the seventh gear, a fourth motor for driving the fixed to the fifth gear and the eighth gear, the Z-axis movable base is fixed and stationary base which slides in the fixed base the wafer transfer robot, characterized in that it includes a ball screw and a fifth motor for driving the Z-axis movable base.
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