JPH0499886A - ドライエッチング装置の磁場発生用コイル - Google Patents
ドライエッチング装置の磁場発生用コイルInfo
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- JPH0499886A JPH0499886A JP21761790A JP21761790A JPH0499886A JP H0499886 A JPH0499886 A JP H0499886A JP 21761790 A JP21761790 A JP 21761790A JP 21761790 A JP21761790 A JP 21761790A JP H0499886 A JPH0499886 A JP H0499886A
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- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 8
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- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 8
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
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- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はドライエツチング装置の磁場発生用コイルに
係り、詳しくは、その本体コイルを冷却するための技術
に関する。
係り、詳しくは、その本体コイルを冷却するための技術
に関する。
従来から、マグ不トロンＲＩＥ（反応性イオンエソチン
グ）装置のようなドライエツチング装置においては、複
数個（図では、６個）の磁場発生用コイルを用いて回転
磁界を発生させることが一般的に行われており、第４図
で示すように、これらの磁場発生用コイル１０，・・・
はエソチングチャンパー１１の外側周囲を取り囲むよう
にして配置されている。そして、個々の磁場発生用コイ
ル１０は、第５図及び第６図で示すように、冷却水Ｗが
流通しうる箱体状に形成されたポビン１２と、このポビ
ン１２に巻回された本体コイル１３と、ポビン１２の外
面を支持する磁性体金属製のシールド板１４とから構成
されており、このシールド板１４の左右両端縁それぞれ
に形成された接続部１４ａ．１４ａを互いに連結するこ
とによって複数個の磁場発生用コイル１０，・・・が一
体化されるようになっている。なお、これらの図におけ
る符号１５はポビン１２に取り付けられた冷却水Ｗの給
水管であり、１６はその排水管である。
グ）装置のようなドライエツチング装置においては、複
数個（図では、６個）の磁場発生用コイルを用いて回転
磁界を発生させることが一般的に行われており、第４図
で示すように、これらの磁場発生用コイル１０，・・・
はエソチングチャンパー１１の外側周囲を取り囲むよう
にして配置されている。そして、個々の磁場発生用コイ
ル１０は、第５図及び第６図で示すように、冷却水Ｗが
流通しうる箱体状に形成されたポビン１２と、このポビ
ン１２に巻回された本体コイル１３と、ポビン１２の外
面を支持する磁性体金属製のシールド板１４とから構成
されており、このシールド板１４の左右両端縁それぞれ
に形成された接続部１４ａ．１４ａを互いに連結するこ
とによって複数個の磁場発生用コイル１０，・・・が一
体化されるようになっている。なお、これらの図におけ
る符号１５はポビン１２に取り付けられた冷却水Ｗの給
水管であり、１６はその排水管である。
すなわち、この磁場発生用コイル１０は、その本体コイ
ル１３の通電時に発生ずるジュール熱をボビン１２内を
流通する冷却水Ｗによって奪い取ることにより、本体コ
イル１３の発熱を低減するように構成されている。また
、このとき、各磁場発生用コイル１０を構成し、かつ、
接続部１４ａ１４ａを介して互いに連結されたシールド
板１４のそれぞれは、各本体コイル１３によって発生し
た磁界をシールドする機能を果たしていることになる。
ル１３の通電時に発生ずるジュール熱をボビン１２内を
流通する冷却水Ｗによって奪い取ることにより、本体コ
イル１３の発熱を低減するように構成されている。また
、このとき、各磁場発生用コイル１０を構成し、かつ、
接続部１４ａ１４ａを介して互いに連結されたシールド
板１４のそれぞれは、各本体コイル１３によって発生し
た磁界をシールドする機能を果たしていることになる。
ところで、前記従来構造の磁場発生用コイル１０におい
ては、そのボビン１２内を流通する冷却水Ｗによって本
体コイル１３の発熱を低減させるのであるから、ボビン
１２の水漏れ防止対策や錆止め処理などを充分に施して
おく必要があった。
ては、そのボビン１２内を流通する冷却水Ｗによって本
体コイル１３の発熱を低減させるのであるから、ボビン
１２の水漏れ防止対策や錆止め処理などを充分に施して
おく必要があった。
また、このような水冷方式を採用していることから、磁
場発生用コイル１０の重量や外形が大きくなって構造が
複雑化するとともに、外形の割には本体コイル１３の巻
数が少ないというような不都合が生じることにもなって
いた。
場発生用コイル１０の重量や外形が大きくなって構造が
複雑化するとともに、外形の割には本体コイル１３の巻
数が少ないというような不都合が生じることにもなって
いた。
この発明は、このような不都合に鑑みて創案されたもの
であって、軽量・小型化とともに構造の簡素化を図るこ
とができ、しかも、本体コイルの巻数を増やすことが可
能なドライエツチング装置の磁場発生用コイルを提供す
ることを目的としている。
であって、軽量・小型化とともに構造の簡素化を図るこ
とができ、しかも、本体コイルの巻数を増やすことが可
能なドライエツチング装置の磁場発生用コイルを提供す
ることを目的としている。
本発明に係るドライエツチング装置の磁場発生用コイル
は、このような目的を達成するために、鉄心に巻回され
た本体コイルの周囲を磁性体金属からなる箱体によって
取り囲むとともに、この箱体の内部に高圧空気を供給し
て前記本体コイルを強制的に冷却する構造を採用したこ
とを特徴とするものである。なお、この際、本体コイル
をその巻回方向に沿って複数個に分割して配置すること
が好ましい。
は、このような目的を達成するために、鉄心に巻回され
た本体コイルの周囲を磁性体金属からなる箱体によって
取り囲むとともに、この箱体の内部に高圧空気を供給し
て前記本体コイルを強制的に冷却する構造を採用したこ
とを特徴とするものである。なお、この際、本体コイル
をその巻回方向に沿って複数個に分割して配置すること
が好ましい。
上記構成によれば、箱体の内部に供給された高圧空気は
本体コイルに対して吹きつけられたうえ、この本体コイ
ルの露出した表面に沿って流通しながら、その通電時に
発生したジュール熱を奪い取＝４ ることになる。そして、このとき、本体コイルがその巻
回方向に沿って複数個に分割して配置されていれば、本
体コイルの放熱しうる表面積が増えることになり、高圧
空気の流通による冷却効率が高まることになる。
本体コイルに対して吹きつけられたうえ、この本体コイ
ルの露出した表面に沿って流通しながら、その通電時に
発生したジュール熱を奪い取＝４ ることになる。そして、このとき、本体コイルがその巻
回方向に沿って複数個に分割して配置されていれば、本
体コイルの放熱しうる表面積が増えることになり、高圧
空気の流通による冷却効率が高まることになる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図はドライエツチング装置における磁場発生用コイ
ルの配置状態を示す平断面図、第２図は磁場発生用コイ
ル単体の概略構造を示す正面図であり、第３図は第２図
のｌｌｌ−１［［線に沿う切断状態を示す側断面図であ
る。そして、これらの図における符号１は回転磁界を発
生する磁場発生用コイルであり、ドライエツチング装置
を構成するエツチングチャンバー１１の外側周囲にはこ
れを取り囲むようにして複数個（図では、６個）の磁場
発生用コイル１．・・・が配置されている。・本実施例
に係る個々の磁場発生用コイル１は、第２図及び第３図
で示すように、フェライトなどからなる鉄心２に巻回さ
れた本体コイル３を備えており、この本体コイル３はそ
の巻回方向に沿う複数個（図では、３個）に分割して配
置されている。なお、この分割された本体コイル３が電
気的に直列接続されていることはいうまでもないが、こ
れらの図においては、本体コイル３の接続線及び本体コ
イル３に通電するための口出し線の図示を省略している
。
ルの配置状態を示す平断面図、第２図は磁場発生用コイ
ル単体の概略構造を示す正面図であり、第３図は第２図
のｌｌｌ−１［［線に沿う切断状態を示す側断面図であ
る。そして、これらの図における符号１は回転磁界を発
生する磁場発生用コイルであり、ドライエツチング装置
を構成するエツチングチャンバー１１の外側周囲にはこ
れを取り囲むようにして複数個（図では、６個）の磁場
発生用コイル１．・・・が配置されている。・本実施例
に係る個々の磁場発生用コイル１は、第２図及び第３図
で示すように、フェライトなどからなる鉄心２に巻回さ
れた本体コイル３を備えており、この本体コイル３はそ
の巻回方向に沿う複数個（図では、３個）に分割して配
置されている。なお、この分割された本体コイル３が電
気的に直列接続されていることはいうまでもないが、こ
れらの図においては、本体コイル３の接続線及び本体コ
イル３に通電するための口出し線の図示を省略している
。
そして、この本体コイル３の周囲は鋼板などのような磁
性体金属からなる断面視正方形状（第２図参照）の箱体
４によって密閉状に取り囲まれており、その内板４ａ、
すなわち、エツチングチャンバー１１と対面する内板４
ａの中心点位置からは本体コイル３の磁束密度を増大さ
せる鉄心２の内端面が露出している。また、この鉄心２
の外端面は箱体４を構成する外板４ｂによって覆われて
おり、この外板４ｂが本体コイル３によって発生する磁
界のシールド機能を果たすようになっている。なお、各
磁場発生用コイル１を構成する箱体４の外板４ｂそれぞ
れは、第１図で示すように、互いに接続板５を介して連
結されることによって一体化されている。なお、この箱
体４の断面視形状は必ずしも正方形に限られるものでは
なく、円形などであってもよい。
性体金属からなる断面視正方形状（第２図参照）の箱体
４によって密閉状に取り囲まれており、その内板４ａ、
すなわち、エツチングチャンバー１１と対面する内板４
ａの中心点位置からは本体コイル３の磁束密度を増大さ
せる鉄心２の内端面が露出している。また、この鉄心２
の外端面は箱体４を構成する外板４ｂによって覆われて
おり、この外板４ｂが本体コイル３によって発生する磁
界のシールド機能を果たすようになっている。なお、各
磁場発生用コイル１を構成する箱体４の外板４ｂそれぞ
れは、第１図で示すように、互いに接続板５を介して連
結されることによって一体化されている。なお、この箱
体４の断面視形状は必ずしも正方形に限られるものでは
なく、円形などであってもよい。
さらに、この箱体４を構成する４つの側板のうち、互い
に対向する２つの側板４ｃ、４ｄにおける対角線上位置
それぞれには、高圧空気Ａの供給管６と、その排出管７
とが取り付けられている。
に対向する２つの側板４ｃ、４ｄにおける対角線上位置
それぞれには、高圧空気Ａの供給管６と、その排出管７
とが取り付けられている。
そして、この供給管６は、半導体製造工場における一般
的な設備である高圧空気本管、すなわち、乾燥状態の高
圧空気Ａが流通する高圧空気本管（図示していない）に
接続されている。なお、図においては、供給管６及び排
出管７を上下に位置する側板４ｃ、４ｄに取り付けるも
のとしているが、これに限定されるものではない。
的な設備である高圧空気本管、すなわち、乾燥状態の高
圧空気Ａが流通する高圧空気本管（図示していない）に
接続されている。なお、図においては、供給管６及び排
出管７を上下に位置する側板４ｃ、４ｄに取り付けるも
のとしているが、これに限定されるものではない。
そこで、本体コイル３を収納した箱体４の内部には、供
給管６を通じて高圧空気入が供給されることになり、供
給された高圧空気Ａは箱体４内を排出管７に向かって流
通することになる。そして、このとき、箱体４の内部に
供給された高圧空気Ａは本体コイル３に対して吹きつけ
られたうえで、この本体コイル３の露出した表面に沿っ
て流通することになる。そのため、本体コイル３の通電
時に発生したジュール熱は箱体４の内部を流通する高圧
空気Ａによって奪い取られることになり、この本体コイ
ル３は高圧空気Ａによって強制的に冷却されることにな
る。なお、この際、箱体４から高圧空気Ａが漏洩するこ
ともあり得るが、漏洩したとしても空気であるから不都
合を招く恐れはない。
給管６を通じて高圧空気入が供給されることになり、供
給された高圧空気Ａは箱体４内を排出管７に向かって流
通することになる。そして、このとき、箱体４の内部に
供給された高圧空気Ａは本体コイル３に対して吹きつけ
られたうえで、この本体コイル３の露出した表面に沿っ
て流通することになる。そのため、本体コイル３の通電
時に発生したジュール熱は箱体４の内部を流通する高圧
空気Ａによって奪い取られることになり、この本体コイ
ル３は高圧空気Ａによって強制的に冷却されることにな
る。なお、この際、箱体４から高圧空気Ａが漏洩するこ
ともあり得るが、漏洩したとしても空気であるから不都
合を招く恐れはない。
ところで、以上の説明においては、本体コイル３がその
巻回方向に沿って複数個に分割して配置されているもの
としているが、必ずしも分割されていなくてもよいこと
はいうまでもない。しかしながら、この本体コイル３が
分割して配置されていれば、互いの隙間にも高圧空気Ａ
が流入することになり、本コイル３の放熱しうる表面積
が増えることになるので、高圧空気Ａの流通による冷却
効率が高まるという利点がある。そこで、本体コイル３
の分割数を多くずればするほど、冷却効率の向上が図れ
ることになる。
巻回方向に沿って複数個に分割して配置されているもの
としているが、必ずしも分割されていなくてもよいこと
はいうまでもない。しかしながら、この本体コイル３が
分割して配置されていれば、互いの隙間にも高圧空気Ａ
が流入することになり、本コイル３の放熱しうる表面積
が増えることになるので、高圧空気Ａの流通による冷却
効率が高まるという利点がある。そこで、本体コイル３
の分割数を多くずればするほど、冷却効率の向上が図れ
ることになる。
以上説明したように、本発明によれば、鉄心に巻回され
た本体コイルの周囲を磁性体金属からなる箱体によって
取り囲み、かつ、この箱体の内部に高圧空気を供給する
空冷方式を採用したので、本体コイルは箱体の内部を流
通する高圧通気によって強制的に冷却されることになる
。そして、このとき、本体コイルをその巻回方向に沿っ
て複数個に分割しておけば、本体コイルの放熱しうる表
面積が増えて高圧空気の流通による冷却効率が高まるこ
とになる。
た本体コイルの周囲を磁性体金属からなる箱体によって
取り囲み、かつ、この箱体の内部に高圧空気を供給する
空冷方式を採用したので、本体コイルは箱体の内部を流
通する高圧通気によって強制的に冷却されることになる
。そして、このとき、本体コイルをその巻回方向に沿っ
て複数個に分割しておけば、本体コイルの放熱しうる表
面積が増えて高圧空気の流通による冷却効率が高まるこ
とになる。
したがって、従来例では必要不可欠であった水冷構造の
ボビンを用いる必要はなくなり、その水漏れ防止対策や
錆止め処理などが不要となるのは勿論のこと、磁場発生
用コイルそのものの軽量・小型化とともに全体構造の簡
素化を図ることができる。また、このことにより、外形
に比した場合における本体コイルの巻数を増やすことが
でき、巻線効率の向上によるエネルギー節約も可能とな
ボビンを用いる必要はなくなり、その水漏れ防止対策や
錆止め処理などが不要となるのは勿論のこと、磁場発生
用コイルそのものの軽量・小型化とともに全体構造の簡
素化を図ることができる。また、このことにより、外形
に比した場合における本体コイルの巻数を増やすことが
でき、巻線効率の向上によるエネルギー節約も可能とな
第１図ないし第３図は本発明の一実施例に係り、第１図
はドライエツチング装置における磁場発生用コイルの配
置状態を示す平断面図、第２図は磁場発生用コイル単体
の概略構造を示す正面図であり、第３図は第２図のｍ−
ｍ線に沿う切断状態を示す側断面図である。また、第４
図ないし第６図は従来例に係り、第４図は磁場発生用コ
イルの配置状態を示ず平断面図、第５図は磁場発生用コ
イル単体の外観形状を示す斜視図であり、第６図は第５
図のｖｒ−ｖｔ線に沿う切断状態を示す側断面図である
。 図における符号１は磁場発生用コイル、２は鉄心、３は
本体コイル、４は箱体、Ａは高圧空気である。
はドライエツチング装置における磁場発生用コイルの配
置状態を示す平断面図、第２図は磁場発生用コイル単体
の概略構造を示す正面図であり、第３図は第２図のｍ−
ｍ線に沿う切断状態を示す側断面図である。また、第４
図ないし第６図は従来例に係り、第４図は磁場発生用コ
イルの配置状態を示ず平断面図、第５図は磁場発生用コ
イル単体の外観形状を示す斜視図であり、第６図は第５
図のｖｒ−ｖｔ線に沿う切断状態を示す側断面図である
。 図における符号１は磁場発生用コイル、２は鉄心、３は
本体コイル、４は箱体、Ａは高圧空気である。
Claims (2)
- （１）鉄心に巻回された本体コイルの周囲を磁性体金属
からなる箱体によって取り囲むとともに、この箱体の内
部に高圧空気を供給して前記本体コイルを強制的に冷却
することを特徴とするドライエッチング装置の磁場発生
用コイル。 - （２）本体コイルをその巻回方向に沿って複数個に分割
して配置したことを特徴とする前記請求項１記載のドラ
イエッチング装置の磁場発生用コイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21761790A JPH0499886A (ja) | 1990-08-18 | 1990-08-18 | ドライエッチング装置の磁場発生用コイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21761790A JPH0499886A (ja) | 1990-08-18 | 1990-08-18 | ドライエッチング装置の磁場発生用コイル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0499886A true JPH0499886A (ja) | 1992-03-31 |
Family
ID=16707102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21761790A Pending JPH0499886A (ja) | 1990-08-18 | 1990-08-18 | ドライエッチング装置の磁場発生用コイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0499886A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012228666A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Toray Eng Co Ltd | マイクロ流路閉塞防止装置およびそれを用いた方法 |
| JP2016189388A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 国立大学法人東北大学 | 電磁石 |
-
1990
- 1990-08-18 JP JP21761790A patent/JPH0499886A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012228666A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Toray Eng Co Ltd | マイクロ流路閉塞防止装置およびそれを用いた方法 |
| JP2016189388A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 国立大学法人東北大学 | 電磁石 |
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