JPH0482689U - - Google Patents
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- JPH0482689U JPH0482689U JP12416790U JP12416790U JPH0482689U JP H0482689 U JPH0482689 U JP H0482689U JP 12416790 U JP12416790 U JP 12416790U JP 12416790 U JP12416790 U JP 12416790U JP H0482689 U JPH0482689 U JP H0482689U
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- nitrogen
- liquefied
- liquefier
- liquefied nitrogen
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- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 4
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 3
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Description
第１図は、空気分離装置の複式精留塔と組合さ
れた本考案による超高純度液化窒素製造装置の一
実施例のフローシート、第２図は、液化窒素貯槽
と組合された他の実施例のフローシート、第３図
は、従来技術による超高純度液化窒素製造装置の
一実施例のフローシートである。 １……複式精留塔、２……中圧塔、３……低圧
塔、４……蒸発凝縮器、５……液化すべき窒素ガ
ス管路、６……フイルター、７……精製器、８…
…液化器、９……液化窒素貯槽、１０……冷媒液
化窒素管路、１１……製品管路、１２……製品液
化窒素貯槽、１３……ブースター、１４……蒸発
器、１５……膨張弁、１６……排出ガス管路。
れた本考案による超高純度液化窒素製造装置の一
実施例のフローシート、第２図は、液化窒素貯槽
と組合された他の実施例のフローシート、第３図
は、従来技術による超高純度液化窒素製造装置の
一実施例のフローシートである。 １……複式精留塔、２……中圧塔、３……低圧
塔、４……蒸発凝縮器、５……液化すべき窒素ガ
ス管路、６……フイルター、７……精製器、８…
…液化器、９……液化窒素貯槽、１０……冷媒液
化窒素管路、１１……製品管路、１２……製品液
化窒素貯槽、１３……ブースター、１４……蒸発
器、１５……膨張弁、１６……排出ガス管路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 不純物含有量が１０ｐｐｍ程度の窒素ガスか
ら不純物含有量１〜１０ｐｐｂ程度の超高純度液
化窒素を製造するために、窒素ガス精製器、及び
前記精製器通過後の相対的に高圧の超高純度窒素
ガスを相対的に低圧の液化窒素との間接熱交換に
よつて液化する液化器を有する装置において、液
化すべき窒素ガス管路が、複式精留塔の中圧塔頂
部から前記精製器を経て前記液化器の液化通路に
接続され、冷媒液化窒素管路が、液化窒素貯槽か
ら前記液化器の気化通路を経て前記複式精留塔の
低圧塔頂部に接続されることを特徴とする超高純
度液化窒素製造装置。 ２ 冷媒液化窒素管路が、液化窒素貯槽から前記
液化器の気化通路に接続され、液化すべき窒素ガ
ス管路が、前記液化器の気化通路出口からブース
ター及び前記精製器を経て前記液化器の液化通路
に接続されることを特徴とする請求項１記載の超
高純度液化窒素製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12416790U JPH0482689U (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12416790U JPH0482689U (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0482689U true JPH0482689U (ja) | 1992-07-17 |
Family
ID=31871829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12416790U Pending JPH0482689U (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0482689U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010538236A (ja) * | 2007-08-30 | 2010-12-09 | リンデ・エルエルシー | 滅菌低温流体を製造する方法 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP12416790U patent/JPH0482689U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010538236A (ja) * | 2007-08-30 | 2010-12-09 | リンデ・エルエルシー | 滅菌低温流体を製造する方法 |
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