JPH0469070A - 駆動装置 - Google Patents

駆動装置

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JPH0469070A
JPH0469070A JP2175544A JP17554490A JPH0469070A JP H0469070 A JPH0469070 A JP H0469070A JP 2175544 A JP2175544 A JP 2175544A JP 17554490 A JP17554490 A JP 17554490A JP H0469070 A JPH0469070 A JP H0469070A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は物体の駆動装置に関し、特に精密機器や映像機
器等に内蔵されている移動物体を駆動するための駆動装
置に関するものである。
[従来の技術] 精密機器や映像機器の一例としてたとえばビデオカメラ
等の撮影装置を例にとり、該装置に内蔵されているレン
ズ駆動装置を従来例として説明する。
第5図はビデオカメラ等に内蔵されている従来のズーム
レンズ機構の分解斜視図である。同図において、1はレ
ンズを保持している鏡筒であり、鏡筒1の外周面には水
平方向に突出した支持板部1hと腕1eとが形成されて
いる。支持板部1hの前方側と後方側の側縁にはレンズ
光軸と平行な孔1b及び1dが貫設されている突部1a
及びICが形成され、該孔1b及び1dには不図示の支
持部材に固定されているガイドバー2が相対摺動可能に
挿入されている。
また、突部1aの近傍の支持板部1hの下面には鉛直方
向に延在する従動ピン1gが突設されており、該ビン1
gは後述するカム板4のカム溝内に相対摺動可能に挿入
されるようになっている。
鏡筒1の腕1eの先端には横向きのり形溝1fが形成さ
れており、該溝1fには不図示の支持部材に固定されて
いるガイドバー3が相対摺動可能に挿通されている。従
って、鏡筒1はガイドバー2及び3に支持されてレンズ
光軸と平行に移動可能となっている。
鏡筒1の下方に配置された水平なカム板4には、ガイド
バー2及び3に対して直角な方向に延在する案内溝4a
と、該溝4aに対して斜行するカム溝4bと、が形成さ
れている。案内溝4aには不図示の静止部材上に突設さ
れた2木のガイドビン5及び6が該溝4aに対して相対
摺動可能に挿入されており、カム板4は不図示の静止部
材上に該講4aと平行に移動可能に支持されている。
カム板4の後縁にはラック歯4Cが形成され、このラッ
ク歯4Cにはギヤ5が噛み合っている。ギヤ5は段車形
ギヤ6の小径部と噛み合わされ、ギア6の大径部はモー
タ8の軸8aに固定されたピニオン7と噛み合わされて
いる。
カム板4の下面には絶縁板11を介して摺動接片9が固
定されており、摺動接片9の2本の腕9a及び9bのそ
れぞれの先端に形成された湾曲部9d及び9eは固定検
出板10の上に形成された導体部10aと抵抗体10b
とに各々接触している。
固定検出板10は絶縁材製基板10cの上に導体部10
aと抵抗体10bとを形成したものであり、導体部10
aはリート線を介して電源に接続され、抵抗体10bに
接続された2本のソート線10d及び10eは出力端子
を介して後述のマイクロコンピュータの入力端子に接続
されている。
前記の如き摺動接片9と固定検出板10とによって構成
された位置検出装置においては、摺動接片9の腕9bの
湾曲部9eが抵抗体10bのどの部分に接しているかに
よって出力か変化する。すなわち、リート線10fを介
して導体部10aに印加された電圧は抵抗体10bに該
湾曲部9eが接触する位置に応じて分圧され、分圧され
た出力がリード線10d及び10eに現れる。
次に、前記の如き構造を有した従来のズームレンズ機構
の動作について説明する。
不図示の制御装置によりモータ8が回転されると、ビニ
オン7、ギヤ6、ギヤ5が回転され、ギヤ5と噛み合う
ラック歯4Cによりカム板4はガイドバー2及び3に対
して直角方向にガイドピン5及び6で案内されつつ動か
される。このため、摺動接片9の2本の腕9a及び9b
もそれぞれ導体部10aと抵抗体10bの上を摺動する
。一方、カム板4が案内溝4aと平行に動かされるとカ
ム溝4bにより従動ピン1gはカム溝4b内を摺動し、
その結果、鏡筒1には従動ビン1gを介してレンズ光軸
と平行な方向にカム溝4bから力か加えられるため、レ
ンズ鏡筒1はガイドバー2及び3に案内されつつレンズ
光軸と平行に動かされる。そして、レンズ鏡筒1の刻々
の移動位置が摺動接片9と固定検出板10とから成る位
置検出装置により電気的に検出され、その検圧結果が当
初の設定値と等しくなった時に不図示の制御装置により
モータ8が停止され、その結果、鏡筒1内のレンズが所
望の位置に自動的に位置決めされる。
[発明が解決しようとする課題] 上述した従来の駆動機構は、モータ、ギヤ群、カム機構
、等の多くの部品を要するため体積及び重量共に大きく
、従って該駆動機構を備えた映像機器等の小型化及び軽
量化が困難であり、また、製造コストの大巾な低減も不
可能であった。その上、ギヤを使用しているのでギヤの
バックラッシュのため、レンズの高精度の位置決め及び
移動量制御も困難であった。
それ故、本発明の目的は、上述した従来の駆動機構より
も小型且つ軽量で、しかも、高精度の位置決め及び移動
量制御が可能であるとともに製造コストも安価となる新
規な駆動装置を提供することである。
[課題を解決するための手段] 本発明では前述のE!!!題を解決するために、千−夕
の代りに駆動力発生源として圧電素子を使用し、該圧電
素子の伸ひの速度と縮みの速度とを異らせるように圧電
素子に電圧を印加する手段を設けることにより、従来装
置よりも高精度の位置決めを行うことができるとともに
従来装置よりも小型化及び軽量化することが可能となる
[作   用コ 圧’を素子の伸びの速度と縮みの速度とを異らせる電圧
印加手段によって圧電素子を周期的に変形させ、物体を
間けつ的に微小送りする。
[実 施 例コ 以下に第1図乃至第4図を参照して本発明の実施例につ
いて説明する。
第1図乃至第2図は本発明を適用して構成されたレンズ
駆動装置の第1実施例を示した図である。第1図におい
て菓5図と同じ符号で表示されている部材は第5区に示
した部材と同じものであり、1は鏡筒、3は鏡筒1を支
持するとともに光軸方向に案内するガイドバー、である
。a第1の左側の突部1aの孔1bと突部ICの孔1d
には鏡筒1を支持するとともに鏡筒1を軸方向移動させ
る鏡筒支持部材兼駆動棒17が挿入されており、該駆動
棒17(以下には駆動棒と略記する)は駆動棒支持部材
13に形成された第1及び第2の直立部13a及び13
cの孔13b及び13dに軸方向移動可能に挿入さtて
いる。また駆動棒17は該支持部材の第2の直立部13
cよりも更に後方に突出しており、該駆動棒の後端は該
支持部材13の第3の直立部13eに後端を固着された
圧電素子12の前端に固定されている。
鏡筒1の突部1a及び1cの下面には鉛直なネジ孔が形
成され、それぞれのネジ孔の位置と一致するバカ孔+4
a及び14bを両端に有した長方形の板ハネ】4かビス
15及び16によって突部1a及び1cの下面に駆動棒
17と平行に取付けられている。板バネ14の中央には
上向かに突出した屈曲部14cが形成され、この屈曲部
14cは突部1aと1cとの中間位置において駆動棒1
7の下面に圧接されている。このため突部1aの孔1b
及び突部1cの孔1dのそれぞれの中で駆動棒17か上
の方へ片寄せされ、孔1b及び1dのそれぞれの上側の
内周面に駆動棒17の上側の外周面が板バネ14の弾発
力により圧接されている。従って、孔1b及び1dとf
fiam17との摩擦力及び屈曲部14cと駆動棒17
の摩擦力以下の軸方向力が駆動棒17に加えられた時に
は鏡筒1と駆動棒17とは一体となって動くが、該摩擦
力以上の軸方向力が駆動棒17に加わった時には駆動棒
17のみが軸方向に移動可能となる。なお、wl及びw
2は圧電素子12に給電するためのリード線である。
次に駆動棒17と鏡筒1を摩擦係合する板バネ14の作
用について説明する。
摩擦力を安定して発生させ、板バネ14による弾性力が
鏡筒1の変位方向に作用しないようにするために板ハネ
14の弾性力は駆動棒17に略垂直に加わるようになさ
れている。更に圧電素子12の伸縮により、板バネ14
が圧電素子12の伸縮方向に弾性変形すると駆動棒17
と鏡筒1との摩擦力か変化し、更に鏡筒1の変位方向に
弾性力が作用し、鏡筒1の変位が不安定になる。これを
防ぐため、板バネ14は圧電素子12の伸縮方向と平行
な平面部を有し、この方向には大きな剛性を有するよう
になされている。
鏡筒1の腕1eの下面には鏡筒1の軸線と平行な一対の
腕9a及び9bを有したコ字形の摺動接片9が配置され
、該摺動接片9は連結部9cにおいて絶縁板11に接着
され、絶縁板11は腕1eの下面に接着されている。
鏡筒1の移動径路の下方には、不図示の静止部材上に取
付けられた固定検出板1oが配置されている。この固定
検圧板10は絶縁材製の基板10cの上に摺動接片の腕
9aの先端部に摺接する導体$10aと、摺動接片9の
腕9bの先端部に摺接する抵抗体10bとが形成された
ものであり、導体部10aの一端はリード線10fを介
して電源に接続され、抵抗体10bの両端に接続された
リート線10d及び10eは不図示の出力端子に接続さ
れている。該出力端子には摺動接片9bが抵抗体10b
のどこに接触しているかを表わす電圧値が出力されるよ
うになっており、該出力端子は後述のマイクロコンピュ
ータの入力ボートに接続されている。
第2図は第1図に示した駆動装置の制御系を示した概略
図である。第2図において、18は圧電素子12に対し
て駆動電圧を印加する駆動回路、19は前述の摺動接片
9と固定検出板10とによって構成された鏡筒位置検出
器、20は該検出器19の出力を取込んで駆動回路18
を制御するマイクロコンピュータ、30は合焦を判別す
る合焦判別手段である。
第6図は、上記した制御系の動作を説明するフローチャ
ートである。
ステップ(S)−1おいて、合焦か否かを合焦判別手段
30にて調へる。仮に非合焦であると、S−2により、
どちらの方向にレンズをどれだけの量穆動すれば合焦と
なるかも検出する。
S−2において、前ピンと判断すると、S−3に進み、
後ピンと判断するとS−4に進む。
S−3は、前ピンの際の合焦方向である第1の方向へレ
ンズを駆動してS−5へ進み、S−4は後ピンの際の合
焦方向である第2の方向へレンズを駆動してS−6へ進
む。
S−5、S−6は、S−2において求められた合焦位置
までの移動量をレンズが移動したか否かをマイコン17
にて検出し、合焦するまでレンズを移動させ、終了する
この駆動方式では、駆動パルスと移動量との関係は振動
、姿勢差等により一致しない場合かあり、移動状態を実
際に鏡筒位置検出器19にて検出し、フィードバック(
閉ループ)して駆動させることは非常に有効である。
第3図は駆動回路18によって圧電素子12に印加され
る電圧波形を示したものであり、第3図(A)は第1図
において鏡筒1を右方向へ動かす時に圧電素子12に印
加される電圧波形を、第3図(B)は第1図において鏡
WJ1を左方向へ動かす時に圧電素子12に印加される
電圧波形を、それぞれ示している。
第3図(A)の如ぎ駆動パルスが圧電素子12に印加さ
れると、該パルスが電圧Aから電圧Cへ変化する垂直な
立上り部において圧電素子12は急激に伸びる。この時
、駆動棒17も圧電素子12の伸びの量と同し量たけ第
1図において左方向に移動する。この場合、鏡筒1の慣
性やカイトバー3と鏡筒1のU形溝1fとの摩擦などの
総和か駆動棒17に圧電素子12から与えられる駆動力
よりも大きいのて鏡筒1は動かない。
駆動パルスの電圧がCからAへとゆっくり変化するパル
ス立下り部りでは圧電素子12はゆっくり縮み、鏡筒1
と駆動棒2との摩擦力や板バネ14と駆動pJ2との摩
擦力により鏡筒1は第1図において右方向へ移動する。
そして、圧電素子12の縮みか終了した時点では第1図
において駆動棒17の右方向への動ぎは停止するが、鏡
筒1の運動エネルギーにより鏡筒1は第1図において右
方向へ動き続け、鏡筒1と駆動棒17との摩擦及び板バ
ネ14と駆動棒17との摩擦等によって上記の運動エネ
ルギーが消費された時に鏡筒1は停止する。
以上の運動が各パルス毎に繰り返されることによって鏡
筒1は第1図において右方向へ駆動される。この鏡筒1
の′8’lJ3位置は摺動接片9と固定検出板10とか
ら成る位置検圧器19て時時刻々に検出されて該検圧器
19の出力がマイクロコンピュータ20(以下にはマイ
コンと略記する)にフィードバックされ、マイコン20
は該検出器19からの入力信号か所定の設定値と等しく
なった時に駆動回路18に圧電素子12の駆動を停止さ
せる。
鏡筒1を第1図において左方向へ移動させる時にはマイ
コン20は第3図(B)の如き駆動パルスを圧電素子1
2に印加させるように駆動回路18を制御する。この場
合、圧電素子12に印加される駆動パルスは図示のよう
に前縁の立上り部がゆるやかて、後縁の立下り部が垂直
であるため、圧電素子12及び鏡筒1の動作は前述の場
合とは逆になる。すなわち、圧電素子12に印加される
電圧が電圧Aから電圧Cへゆるやかに変化してゆくパル
ス立上り部では圧電素子12はゆっくりと伸び、従って
、鏡筒1の孔1b及び1dと駆動棒17との摩擦、及び
板バネ14の屈曲部14cと駆動棒17との摩擦により
鏡筒1は駆動棒17と一体となって第1図において左方
向へ動き、圧電素子12の伸びか終了した時点(ift
圧Cになった時点)で駆動棒17の動きは停止するが、
鏡筒1は慣性により動ぎ続け、鏡筒1と駆動棒17とガ
イドバー3との摩擦や板バネ14と駆動棒17との摩擦
などの消費エネルギーの総和が鏡筒1などの運動エネル
ギーに等しくなった時に(鏡筒1などの運動エネルギー
が前記の摩擦によって消費された時に)a筒1が停止す
る。
そして、電圧がCからAへ急激に変化するパルス立下り
部では圧電素子12は急速に縮み、その結果、駆動棒1
7は第1図において右方向へ動く。この場合、鏡筒1と
駆動棒17との摩擦、及び駆動棒17と板バネ14との
摩擦により鏡筒1には右方向へ駆動される力か駆動棒1
7から加わるが、鏡筒1の質量による慣性や鏡筒1とガ
イドバー3との摩擦のため鏡筒1は静止した状態を保つ
。従って、第3図(B)の如きパルスが圧電素子12に
印加されると、鏡筒1は1パルス毎に上記の如き作用に
より第1図で左方向へ動かされてゆく。
第4図は本発明の第2実施例を示したものであり、本実
施例は本発明をステイルビデオカメラの磁気ヘッド駆動
装置に適用したものである。
第4図において第1図と同じ符号で表示されている部材
は第1実施例で説明した部材であり、これらの同一部材
についての説明は必要がないかぎり省略する。なお、第
4図に示す実施例においても制御系の構成は第1実施例
と同しであり、本実施例における制御系の構成は第2図
に示した構成となっているので制御系に関する説明も省
略する。また、圧電素子12に印加される駆動パルスも
第3図に示した駆動パルスと同じであり、動作も第1実
施例における動作と同じである。
第4図において、21は磁気ヘッド22が固定されてい
るヘッド担持体である。ヘット担持体21の左側の側縁
には前記駆動棒17を挿通させるための孔21c及び2
1dが貫設されている突部21a及び21bが突設され
ており、また、ヘット担持体21の右側の側縁にはガイ
ドバー3を挿通させるためのU形溝21fが形成された
腕21eが設けられている。
突部21a及び21bのそれぞれの下面にはビス15及
び16をねじ込むためのねし孔か形成されており、屈曲
部14cを中央部に有した板バネ14の両端のバカ孔1
4a及び14bにビス15及び16を挿通して該ビスを
該ねじ孔にねし込むことにより板バネ14が突部21a
及び21bの下面に固定されている。板バネ14の屈曲
部14cは突部21aと突部21bとの間で駆!I]棒
17の下面に圧接されて駆動棒17を上方へ押し上げて
おり、駆動棒17は孔21c及び21d内でそれぞれの
孔の上側の内周面に圧接されている。
腕21eの下面には絶縁板を介して摺動接片9が取付け
られており、この摺動接片9はヘッド担持体21の移動
径路の下方に配置された固定検出板とともにヘット担持
体21の時々刻々の位置を検出するための位置検出器1
9(第2図参照)を構成している。
12は圧電素子、13は駆動棒支持部材であり、これら
は第1実施例で説明したものと同じである。また、ヘッ
ド担持体21の動作及び制御系の動作も第1実施例と同
しである。
なお、前記実施例では被動部材たる鏡筒1やヘット担持
体21の時々刻々の位置をポテンショメータ式の位置検
出器で検出しているが、非接触式の検出器で検出するよ
うに構成してもよいことは当然である。
[発明の効果コ 以上に説明したように、本発明の駆動装置は駆動源とし
て圧電素子を用いているのてモータや減速機構やカム及
び送りねじ等が不要となり、従って、従来の駆動装置に
くらべて非常に小型化且つ軽量化することができるばか
りでな〈従来装置よりも高精度の位置決め制御が可能と
なり、しかも加工コストや組立コストも大巾に低減する
ことが可能となるため、本発明によれば従来の駆動装置
に内在する問題点を解決することがて籾る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を適用して構成された本発明の第1実施
例としての鏡筒駆動装置を示す分解斜視図、第2図は本
発明による駆動装置の制御計パルスの波形を示した図、
第4図は本発明の第2実施例としての磁気ヘット駆動装
置の分解斜視図、第5図は従来の駆動装置の一例として
のズームレンズ駆動装置の分解斜視図、第6図は第2図
に示す制御系の動作を説明するフローチャートである。 1・・・鏡筒 10・・・固定検出板 12・・・圧電素子 14・・・板バネ 21・・・ヘット担持体 9・・・摺動接片 11・・・絶縁板 13・・・駆動棒支持部材 17・・・駆動棒兼支持部材 22・・・磁気ヘッド 他4名 第3図 時  間 第 15R+

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被駆動物体もしくは該被駆動物体に連結されている
    部材に摩擦係合されるとともに静止部材に移動可能に支
    持されている駆動部材 と、該駆動部材に一端を固定されるとともに他端を動か
    ぬように該静止部材等に固定された圧電素子と、該圧電
    素子に伸びの速度と縮みの速度とを異らせるように電圧
    を印加する圧電素子駆動手段と、を有することを特徴と
    する駆動装置。 2 請求項1において、圧電素子の伸縮方向に沿って延
    びる平面部に押圧用のバネ作用部を設けた弾性部材を被
    駆動部材に配置し、該弾性部材のバネ作用部を駆動部材
    に当接することにより、該被駆動部材と該駆動部材とを
    該弾性部材の弾性により摩擦係合することを特徴とする
    駆動装置。
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Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04163431A (ja) * 1990-10-26 1992-06-09 Minolta Camera Co Ltd カメラのレンズ駆動機構
US5576894A (en) * 1993-10-21 1996-11-19 Minolta Co., Ltd. Zoom lens barrel based on the vari-focal optical system
US5589723A (en) * 1994-03-29 1996-12-31 Minolta Co., Ltd. Driving apparatus using transducer
US5783899A (en) * 1994-04-01 1998-07-21 Nikon Corporation Ultrasonic vibration motor and method for performing coarse and fine movements
US5907212A (en) * 1996-03-06 1999-05-25 Minolta Co., Ltd. Apparatus provided with electro-mechanical transducer
US5969464A (en) * 1989-04-18 1999-10-19 Minolta Co., Ltd. Drive device using electromechanical transducer and an apparatus employing the drive device
US6084363A (en) * 1997-01-17 2000-07-04 Minolta Co., Ltd. Drive pulse generating apparatus for drive device using electromechanical transducer
US6218765B1 (en) * 1998-05-27 2001-04-17 Minolta Co., Ltd. Driving device using an electromechanical transducer, and an apparatus having the driving device
US6774538B2 (en) 2001-07-23 2004-08-10 Minolta Co., Ltd. Multi-degree-of-freedom drive mechanism
JP2005302118A (ja) * 2004-04-09 2005-10-27 Konica Minolta Opto Inc 光ピックアップ装置
JP2006113874A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 Konica Minolta Opto Inc 位置決め装置
US7078846B2 (en) * 2001-09-26 2006-07-18 Mitsuba Corporation Rotary actuator and method of controlling an actuator
EP1753121A2 (en) * 2005-08-12 2007-02-14 Fujinon Corporation Actuator
WO2007032254A1 (ja) * 2005-09-12 2007-03-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 駆動機構および光ヘッド
US7199506B2 (en) 2004-06-11 2007-04-03 Fujinon Corporation Piezoelectric actuator for driving lens
US7221525B2 (en) 2004-01-13 2007-05-22 Seiko Epson Corporation Drive apparatus, lens unit, and camera
JP2008514979A (ja) * 2004-09-29 2008-05-08 ナノモーション エルティーディー. 台の搬送システム
US7424215B2 (en) 2004-09-22 2008-09-09 Fujinon Corporation Lens device and imaging device using the same
EP1995864A2 (en) 2007-05-07 2008-11-26 Sharp Kabushiki Kaisha Driving device
JP2009247163A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Nidec Copal Corp 駆動装置及びレンズ駆動装置
JP2009268241A (ja) * 2008-04-24 2009-11-12 Olympus Corp リニア駆動型超音波モータ
US7656073B2 (en) 2004-11-10 2010-02-02 Taiyo Yuden Co., Ltd. Driving device
US7772743B2 (en) 2006-01-13 2010-08-10 Taiyo Yuden Co., Ltd. Piezoelectric drive unit and piezoelectric drive element
US7791247B2 (en) 2005-07-28 2010-09-07 Panasonic Corporation Driving apparatus
US7813063B2 (en) 2008-08-01 2010-10-12 Sharp Kabushiki Kaisha Driving unit and optical pick-up device including the same
JP2011175282A (ja) * 2005-03-30 2011-09-08 Nanomotion Ltd 台の搬送システム
US9455394B2 (en) 2011-02-07 2016-09-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Displacement member, driving member, actuator, and driving device

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7646137B2 (en) 2004-06-11 2010-01-12 Fujinon Corporation Actuator and its control method and lens device
JP2006311789A (ja) 2005-03-31 2006-11-09 Fujinon Corp 駆動装置、撮像装置及び携帯電話
JP4809016B2 (ja) 2005-08-12 2011-11-02 富士フイルム株式会社 アクチュエータ
JP2007049875A (ja) 2005-08-12 2007-02-22 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2007049876A (ja) 2005-08-12 2007-02-22 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2007049873A (ja) * 2005-08-12 2007-02-22 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2007053826A (ja) 2005-08-15 2007-03-01 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2007114707A (ja) 2005-10-24 2007-05-10 Fujinon Corp レンズ装置
JP2007140294A (ja) * 2005-11-21 2007-06-07 Fujinon Corp 駆動制御装置及び駆動制御方法
EP1788644B1 (en) 2005-11-21 2008-08-06 Fujinon Corporation Actuator driving control device, actuator driving control method and portable optical apparatus
JP2007256819A (ja) 2006-03-24 2007-10-04 Sanyo Electric Co Ltd レンズ駆動装置及びこのレンズ駆動装置を備える光ピックアップ装置
JP4769616B2 (ja) 2006-03-27 2011-09-07 富士フイルム株式会社 駆動制御装置
JP2007274746A (ja) 2006-03-30 2007-10-18 Fujinon Corp 駆動装置
JP2007274777A (ja) 2006-03-30 2007-10-18 Fujinon Corp 圧電素子及び駆動装置
CN101443993A (zh) 2006-09-26 2009-05-27 Nec东金株式会社 透镜模块
JP4985945B2 (ja) 2007-02-20 2012-07-25 ミツミ電機株式会社 積層圧電素子の接着方法
JP2008243902A (ja) 2007-03-26 2008-10-09 Mitsumi Electric Co Ltd 積層圧電素子の接着方法
KR20080093877A (ko) 2007-04-17 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080093880A (ko) 2007-04-17 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080093882A (ko) 2007-04-17 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080093885A (ko) 2007-04-18 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080094572A (ko) 2007-04-19 2008-10-23 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
US7956513B2 (en) 2007-04-20 2011-06-07 Mitsumi Electric Co., Ltd. Method of driving a driving device
JP5051381B2 (ja) 2007-04-24 2012-10-17 ミツミ電機株式会社 駆動装置およびそれに使用される位置検出装置
US7884920B2 (en) * 2007-06-15 2011-02-08 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and pivotable structure assembly
EP2019439A3 (en) 2007-07-26 2011-07-20 Mitsumi Electric Co., Ltd. Position detecting device capable of improving detection accuracy
US9154055B2 (en) 2010-02-04 2015-10-06 Konica Minolta, Inc. Drive device
KR102500987B1 (ko) 2018-02-28 2023-02-17 엘지이노텍 주식회사 렌즈 구동장치

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5969464A (en) * 1989-04-18 1999-10-19 Minolta Co., Ltd. Drive device using electromechanical transducer and an apparatus employing the drive device
JPH04163431A (ja) * 1990-10-26 1992-06-09 Minolta Camera Co Ltd カメラのレンズ駆動機構
US5576894A (en) * 1993-10-21 1996-11-19 Minolta Co., Ltd. Zoom lens barrel based on the vari-focal optical system
US5589723A (en) * 1994-03-29 1996-12-31 Minolta Co., Ltd. Driving apparatus using transducer
US6111336A (en) * 1994-03-29 2000-08-29 Minolta Co., Ltd. Driving apparatus using transducer
US5783899A (en) * 1994-04-01 1998-07-21 Nikon Corporation Ultrasonic vibration motor and method for performing coarse and fine movements
US5907212A (en) * 1996-03-06 1999-05-25 Minolta Co., Ltd. Apparatus provided with electro-mechanical transducer
US6084363A (en) * 1997-01-17 2000-07-04 Minolta Co., Ltd. Drive pulse generating apparatus for drive device using electromechanical transducer
US6218765B1 (en) * 1998-05-27 2001-04-17 Minolta Co., Ltd. Driving device using an electromechanical transducer, and an apparatus having the driving device
US6774538B2 (en) 2001-07-23 2004-08-10 Minolta Co., Ltd. Multi-degree-of-freedom drive mechanism
US7078846B2 (en) * 2001-09-26 2006-07-18 Mitsuba Corporation Rotary actuator and method of controlling an actuator
US7221525B2 (en) 2004-01-13 2007-05-22 Seiko Epson Corporation Drive apparatus, lens unit, and camera
JP2005302118A (ja) * 2004-04-09 2005-10-27 Konica Minolta Opto Inc 光ピックアップ装置
US7199506B2 (en) 2004-06-11 2007-04-03 Fujinon Corporation Piezoelectric actuator for driving lens
US7424215B2 (en) 2004-09-22 2008-09-09 Fujinon Corporation Lens device and imaging device using the same
JP2008514979A (ja) * 2004-09-29 2008-05-08 ナノモーション エルティーディー. 台の搬送システム
JP2006113874A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 Konica Minolta Opto Inc 位置決め装置
US7656073B2 (en) 2004-11-10 2010-02-02 Taiyo Yuden Co., Ltd. Driving device
JP2011175282A (ja) * 2005-03-30 2011-09-08 Nanomotion Ltd 台の搬送システム
US7791247B2 (en) 2005-07-28 2010-09-07 Panasonic Corporation Driving apparatus
EP1753121A2 (en) * 2005-08-12 2007-02-14 Fujinon Corporation Actuator
EP1753121A3 (en) * 2005-08-12 2007-07-25 Fujinon Corporation Actuator
WO2007032254A1 (ja) * 2005-09-12 2007-03-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 駆動機構および光ヘッド
US7772743B2 (en) 2006-01-13 2010-08-10 Taiyo Yuden Co., Ltd. Piezoelectric drive unit and piezoelectric drive element
EP1995864A2 (en) 2007-05-07 2008-11-26 Sharp Kabushiki Kaisha Driving device
JP2009247163A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Nidec Copal Corp 駆動装置及びレンズ駆動装置
JP2009268241A (ja) * 2008-04-24 2009-11-12 Olympus Corp リニア駆動型超音波モータ
US7813063B2 (en) 2008-08-01 2010-10-12 Sharp Kabushiki Kaisha Driving unit and optical pick-up device including the same
US9455394B2 (en) 2011-02-07 2016-09-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Displacement member, driving member, actuator, and driving device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2633066B2 (ja) 1997-07-23

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