JPH0435408Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、シート状物を効率的に低温プラズマ
処理しうる低温プラズマ発生用電極に関するもの
である。

近年、低温プラズマ雰囲気中において、有機高
分子シート状物質、例えば塩化ビニル、ナイロ
ン、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレ
ン等のフイルムあるいは布帛（以下シート状物質
という。）を処理し、その親水性、印刷性、接着
性などの表面特性を改良向上させる方法が研究さ
れ、それの工業的応用のための装置が開発されつ
つある。

この装置は、通常、真空容器の内部に、平行に
対向する一対の面状の電極（以下平行電極とい
う。）を設け、この平行電極の間に高周波電圧を
印加させることにより低温プラズマを発生させ、
この低温プラズマゾーンの中を連続的にシート状
物質を走行通過させて処理するよう構成されてい
る。

かかる低温プラズマ処理において、処理効果に
影響を与える種々の要因のうち、装置的な要因と
して重要なものは、処理時間と高周波出力であ
る。

処理時間は、シート状物質の走行速度と電極の
面積とに関連するが、生産性を高めるため走行速
度を速くすると処理時間が短くなつて、処理効果
が低下することになる。これは電極面積を大きく
することによつて、ある程度補うことができる
が、装置全体が大きくなつて設備コストと設置面
積が増大することになる。

又、高周波出力は、これを高めると処理効果が
向上し、処理時間の短縮もはかれるが、通常の平
行電極では、一定限度以上に高めるとスパーク放
電が起こつて、処理中のシート状物質を損傷させ
るという問題が発生する。

本考案は、以上のごとき問題を解決しうる低温
プラズマ発生用電極を提供することを目的とする
ものである。

即ち本考案は、平行に対向した一対の面状の電
極からなり、該電極間を通過するシート状物質に
低温プラズマ処理を施す低温プラズマ発生用電極
において、前記一対の電極の少なくとも一方の両
端部を絶縁物質で被覆したことを特徴とする低温
プラズマ発生用電極である。

以下に本考案を詳細に説明する。

第１図は、本考案にかかる低温プラズマ発生用
電極を配設した低温プラズマ処理装置の一例を示
す簡略断面図である。真空を保持しうる罐体１内
部に、一対の面状の平行電極２ａ，２ｂが配設さ
れ、該平行電極２ａ，２ｂは各両端部が絶縁物質
３ａ，３′ａ，３ｂ，３′ｂにより被覆されてい
る。平行電極の一方２ａは高周波発生装置４に、
又他の一方２ｂはアーム５にそれぞれ接続されて
いる。罐体１は、排気口６から、図示しない真空
ポンプにより、内部の気体が排気されて、通過
0.01〜2Torr程度の真空に保持される。又必要に
応じてガス供給口７から処理ガスを供給する。さ
らにシート状物質Ｆは罐体１内に設けられた巻取
軸８，８′の駆動により、平行電極２ａ，２ｂ間
を走行通過して処理される。９，９′はガイドで
ある。

上記の装置において、平行電極２ａに高周波電
圧を印加すれば、平行電極２ａ，２ｂ間で低温プ
ラズマが発生し、シート状物質Ｆは処理される
が、本考案では、平行電極２ａ，２ｂの両端部が
絶縁物質３ａ，３′ａ，３ｂ，３′ｂで被覆されて
いるため、処理速度を速めるべく高周波出力を高
めても、スパーク放電が発生してシート状物質を
損傷させるごときトラブルは発生しない。

第１図の例のごとく、絶縁物質による平行電極
２ａ，２ｂの両端部の被覆は、平行電極２ａ，２
ｂの両者について行うのが、スパーク放電を防止
するうえで最も効果的であるが、場合によつて
は、平行電極２ａ，２ｂのいずれか一方だけに行
つても良く、両電極の両端部を被覆する場合より
若干効果が劣るが、無被覆の場合に比べてその効
果は原著である。

第２図は、本考案の低温プラズマ発生用電極を
配設した低温プラズマ処理装置の他の一例を示す
簡略断面図であり、真空を保持するための罐体を
省略したものである。アース（図示せず。）接続
側電極２ｂを円筒型とし、高周波発生装置（図示
せず。）接続側電極２ａを円弧型とし、円筒型電
極２ｂの周囲に円弧型電極２ａを同心円的に平行
に配設したもので、円弧型電極２ａの両端部が絶
縁物質３ａ，３′ａで被覆されている。シート状
物質Ｆは円筒型電極２ｂの周囲に巻掛けられ、図
示しない巻取軸に巻取られることによつて、円弧
型電極２ａと円筒型電極２ｂとの間を通過して処
理される。

平行電極の両端部を被覆する絶面物質として
は、耐熱性の高周波不導体、例えば弗素系樹脂、
セラミツク等を用いる。

本考案の低温プラズマ発生用電極は、上記のご
とく、平行電極の両端部が絶縁物質により被覆さ
れているため、尖端放電が防止されて、処理速度
を速めるため従来より遥かに高い高周波出力を印
加しても、従来の如きスパーク放電を生じて処理
中のシート状物質を損傷させるようなことは発生
しない。従つて低温プラズマ処理装置の平行電極
の面積拡大等の設備コスト増大やシート状物質に
損傷を与える等のトラブルの発生を伴うことな
く、シート状物質の処理速度を格段に高めて生産
性を向上させることができ、生産コストの低減を
可能にする等の格別の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の低温プラズマ発生用電極を用
いた低温プラズマ処理装置の一例を示す簡略断面
図であり、第２図は同じく本考案の低温プラズマ
発生用電極を用いた低温プラズマ処理装置の他の
一例を示す簡略断面図である。 Ｆ……シート状物質、１……罐体、２ａ，２ｂ
……平行電極、３ａ，３′ａ，３ｂ，３′ｂ……絶
縁物質、４……高周波発生装置、５……アース。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 平行に対向した一対の面状の電極からなり、該
   電極間を通過するシート状物質に低温プラズマ処
   理を施す低温プラズマ発生用電極において、前記
   一対の電極の少なくとも一方の両端部を絶縁物質
   で被覆したことを特徴とする低温プラズマ発生用
   電極。