JPH04351714A - ディスク部材のディッピング用マガジン - Google Patents

ディスク部材のディッピング用マガジン

Info

Publication number
JPH04351714A
JPH04351714A JP15226391A JP15226391A JPH04351714A JP H04351714 A JPH04351714 A JP H04351714A JP 15226391 A JP15226391 A JP 15226391A JP 15226391 A JP15226391 A JP 15226391A JP H04351714 A JPH04351714 A JP H04351714A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magazine
disk member
disk
liquid
grooves
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15226391A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasunori Fukuyama
福山 保則
Hitoshi Mineo
峰尾 仁
Hisayoshi Ichikawa
久賀 市川
Kazuyoshi Ogasawara
小笠原 和義
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority to JP15226391A priority Critical patent/JPH04351714A/ja
Publication of JPH04351714A publication Critical patent/JPH04351714A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等からな
るディスク部材をディッピング液に浸漬させて、その表
面に塗膜を形成するために用いられるディスク部材のデ
ィッピング用マガジンに関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、磁気ディスクの製造工程におい
て、表面に磁性膜を塗布した上に潤滑膜を形成するが、
この潤滑膜を形成するための方式として、枚葉処理方式
とバッチ処理方式とがある。枚葉処理方式の代表的なも
のとしては、ディスク部材をスピンドルに装着して、こ
のスピンドルを高速で回転させる間に潤滑剤をノズルか
ら供給して、遠心力の作用によってこの潤滑剤をディス
ク部材の内周側から外周側に向けて拡散させることによ
って塗布するようにしたものである。また、バッチ処理
は、潤滑剤液槽内に多数のディスクを浸漬させることに
よって、潤滑膜を表面に形成するようにしたものである
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前述した2方式のうち
、枚葉処理方式は塗膜を精度良く形成することができる
が、処理スピードに劣るという難点がある。これに対し
て、バッチ処理方式では一度に大量のディスク部材を処
理することができるので処理効率の点からは有利である
。特に、潤滑膜の形成工程の前処理として、磁性膜形成
の形成後におけるバニッシング等の表面研磨が行われて
、この加工後に研磨粉を除去するために、超音波洗浄が
行われるが、この超音波洗浄は洗浄液に浸漬させた状態
にして行われるので、この超音波洗浄工程から連続して
バッチ処理により潤滑膜の形成を行うのが作業効率等の
観点から極めて優れている。
【0004】ここで、バッチ処理を行うに当たっては、
ディスク部材を保持するための治具としてマガジンを用
い、このマガジンに多数のディスク部材を収容させてお
き、このマガジンごと液に浸漬させるように構成してい
る。このマガジンとしては、通常、多数のディスク部材
を立てた状態となし、その左右の両側部より少し下方の
位置の2点の支持部と、下端部の1点の支持部との3点
で支持させる構成となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、マガジンを
用いたバッチ処理による塗膜形成方式にあっては、塗膜
の膜厚の均一化を図るのが比較的困難である。そこで、
この膜厚管理を厳格に行うようにするために、従来から
種々の工夫がなされている。この工夫の代表的なものと
しては、ディスク部材を支持する支持部の形状をディッ
ピング液が溜らないような構造にしたり、またディスク
部材の引き上げ速度を厳格に管理することによって、膜
厚を均一化しようとする試みもなされている。これらの
工夫により、ある程度は膜厚管理も可能ではあるものの
、必ずしも全てのディスク部材の膜厚を厳格に一定化す
ることができず、膜厚のばらつきを完全には防止できな
いのが現状である。ここで、ディスク部材に形成される
塗膜として、潤滑膜等の場合には、その膜厚に僅かでも
ばらつきがあると、磁気ヘッドと磁性膜との間のギャッ
プが変化して情報の書き込み及び読み出しに支障を来た
し、甚だしい場合には、クラッシュが発生して、磁気ヘ
ッドを損傷させる等の問題を生じることになる。従って
、このディッピングによるバッチ処理方式にあっては、
膜厚のばらつきという点から、製品の歩留りが悪いとい
う欠点がある。
【0006】そこで、本発明者は、ディッピングによる
バッチ処理方式でディスク部材の表面に塗膜を形成する
に当たって、その膜厚管理をより正確に行うことができ
るようにするために、種々研究を行ったところ、ディッ
ピング槽内へのディスク部材の浸漬時及び引き上げ時に
おいて、とりわけディスク部材の引き上げ時に槽内の液
が撹拌されたり、揺れたりして乱れると、その影響でデ
ィスク部材の表面への液の付着量が不均一になるという
知見を得て本発明を完成するに至った。
【0007】而して、本発明の目的とするところは、槽
内への浸漬時及びそれからの引き上げ時において、槽内
の液を撹拌させず、また槽から引き上げる時に余分な部
位に液が溜るようなことがない構造としたディスク部材
のディッピング用マガジンを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、本発明は、一対からなる端板間に3本の係合板を
架設し、これら両端板及び各係合板を垂直壁部と傾斜壁
部からなり、非水平,非凹状構造にすると共に、各係合
板にはディスク部材の外周エッジ部と点接触する多数の
V溝を所定のピッチ間隔をもってディスク接触位置から
斜め下方に傾斜するように形設し、これら各V溝にディ
スク部材を支承させたときに、その中心部からの水平方
向及び垂直方向の直交軸線における水平方向の線から下
方の部位において、垂直方向の線の左右いずれか一方側
の2点と、他方側の1点との3点でディスク部材に当接
する構成としたことをその特徴とするものである。
【0009】
【作用】このように、ディスク部材を支持するV溝を備
えた3本の係合板と、この係合板が取りつけられる一対
の端板だけの最小限の部材でマガジンを構成し、底板等
の部材を設けてはおらず、しかもこれらマガジンを構成
する部材は全て垂直壁部及び傾斜壁部とにより構成され
、水平方向の壁や凹部等を有さない構造となっているの
で、このマガジンを槽内に浸漬する際や、それから引き
上げる際において、槽内の液が撹拌されたり、揺れたり
する等、液の乱れを最小限に抑制し、マガジンを引き上
げる時におけるマガジンからの液切れが良好となる。 また、ディスク部材を位置決めするために、係合板のV
溝を3点でディスク部材の外周エッジに当接させるよう
にしており、しかもこのV溝をディスク接触位置から斜
め下方に傾斜させていることから、係合板とディスク部
材との接触面積が小さくなり、かつこの接触部に液が溜
るようなこともない。さらに、係合板におけるV溝がデ
ィスク部材に当接する位置としては、マガジンに立てた
状態での最下端部を避けていることから、ディスク部材
が槽内の液面から最後に離れるときに、表面張力の作用
によりディスク部材の表面に沿って流下する液が槽内液
面側に引き込まれることになり、ディスク部材表面から
余分な液を迅速かつ確実に除去することができる。以上
の結果、ディスク部材における膜厚は極めて均一な状態
となる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。まず、図1にディスク部材として、磁性膜を形成
し、かつバニッシング及びテクスチャ等といった研磨加
工後の磁気ディスクを超音波洗浄し、次いで潤滑膜の形
成を行う工程を示す。図中において、1は供給部、2は
超音波洗浄槽、3は潤滑剤槽、4は排出部をそれぞれ示
し、磁気ディスク5はマガジン6に多数立てた状態で収
容して、このマガジン6ごと超音波洗浄槽1に浸漬させ
て、超音波洗浄を行わせ、次いで潤滑剤槽2に浸漬させ
ることによって、磁気ディスク5の表面に潤滑膜を形成
する。このように、磁気ディスク5をマガジン6に収容
させた状態で、超音波洗浄槽2及び潤滑剤槽3に浸漬さ
せる、所謂バッチ処理を行うことによって、多数の磁気
ディスク5を効率的に処理することができ、しかも磁気
ディスク5を移し替えたりする手段等を必要としないこ
とから、潤滑膜の形成処理を行う機構の簡略化を図るこ
とができる。
【0011】ここで、前述した槽内浸漬によるバッチ処
理を行うことによって、潤滑膜の均一化を図るために、
マガジン6は図2及び図3に示した構成となっている。 即ち、同図に示したように、マガジン6は、前後の一対
からなる端板10,10と、この端板10,10間に架
設した3本の支持板11,12,13とからなる構造部
材を備えている。これら各支持板11,12,13には
、それぞれ等しいピッチ間隔をもって多数のV溝14,
15,16を形設した係合板17,18,19が連結さ
れており、磁気ディスク5はこのV溝14,15,16
の3点で支持されるようになっている。V溝14,15
,16は、図3から明らかなように、磁気ディスク5の
中心から水平方向及び垂直方向の直交線を描いたときに
、その水平方向の線Xより下方位置において、垂直方向
の線Yを中心として左右対称位置に係合板17及び18
のV溝14,15が配置されており、また係合板19の
V溝16は垂直方向の線Yから片側にずれた位置(図面
においては右方にずれた位置)に設けられている。従っ
て、マガジン6に磁気ディスク5を収容させたときに、
その下端部には何等の部材も当接していない状態に保持
される。
【0012】係合板17,18は、支持板11,12の
上面に接合されて、ボルト20で固着されており、また
係合板19は支持板13の側面にボルト21で連結・固
着されている。さらには、支持板11,12,13の両
端は端板10,10にやはりボルト22によって連結固
着されている。そして、このように組み立てられたマガ
ジン6を構成する壁部はいずれも水平方向の壁や凹状の
部分がなく、全て垂直な壁かまたは傾斜壁により形成さ
れている。即ち、端板10は、その上下の部位は内面側
から外面側に向けて傾斜する傾斜壁10a,10bが形
成されて、ナイフエッジ状となっている。また、支持板
11,12,13の下部も一側面が傾斜壁11a,12
a,13aとなって下端部がナイフエッジ状となってい
る。さらには、支持板13における上部も、係合板19
への連結部側の側面からその反対側の側面に向けて斜め
下方に傾斜している。また、支持板11,12の上面に
装着されている係合板17,18はその側面部は支持板
11,12と同一平面となっており、かつ上端側が内方
に傾斜した傾斜部17a,18aとなっている。この傾
斜部17a,18aはその先端に向かうに従って連続的
に薄肉化されており、その先端部にV溝14,15が形
設されている。一方、係合板19は、その上下の部位に
おいて、ナイフエッジ状となるように、その支持板13
への当接側とは反対側の側面側に向けて傾斜する傾斜壁
19a,19bを備えている。
【0013】さらに、V溝14,15は、それぞれ係合
板17,18の傾斜部17a,18aに形設され、また
V溝16は係合板19の上側の傾斜壁19aの先端部分
に形設されている。そして、V溝14,15は、傾斜部
17a,18aの上面側から下面側に向けて外向きとな
るように形成されており、従って、磁気ディスク5はこ
のV溝14,15の傾斜部17a,18aにおける上端
のエッジ部分に当接して、この当接部の位置から磁気デ
ィスク5から離間する方向に傾斜している。また、V溝
16は係合板19の傾斜壁19aの部位において、この
係合板19の支持板13への当接面とは反対側に向けて
斜め下方に傾斜する状態に設けられている。
【0014】なお、係合板17,18と支持板11,1
2との間を連結するボルト20は傾斜部17a,18a
から穿設したボルト孔23に挿通されているが、このボ
ルト孔23の部分に液溜りができるのを防止するために
、シール剤24が充填されている。
【0015】本実施例はこのように構成されるものであ
って、マガジン6におけるV溝14,15,16に支持
させた状態にして多数の磁気ディスク5を装架して、こ
のマガジン6をまず超音波洗浄槽2に浸漬させて、超音
波洗浄を行わせ、次いで潤滑剤槽3に浸漬させて潤滑膜
を形成させる。ここで、マガジン6には、水平な壁部や
凹部等がなく、垂直壁と傾斜壁とから構成されているの
で、また磁気ディスク5と当接するV溝14,15,1
6は、この磁気ディスク5への当接部から斜め下方に傾
斜しているので、超音波洗浄槽2から引き上げたときに
は、迅速に洗浄液から離間することになり、洗浄液が潤
滑剤槽3に持ち込まれて、この潤滑剤槽3の濃度が変化
するおそれはない。
【0016】次に、超音波洗浄槽2から引き上げたマガ
ジン6は潤滑剤槽3上に位置させて、これを下降させる
ことにより磁気ディスク5を装架したマガジン6を槽3
内に浸漬する。このときにおいて、マガジン6の下端部
には底板がなく、しかもこのマガジン6を構成する部材
の下端部は全てナイフエッジ状となっているので、液面
への接触を低速で行わせれば、液面が撹拌されたり、揺
れたりして乱れるようなことはない。そして、このマガ
ジン6を、低速状態を保ったまま、それに装架した磁気
ディスク5が完全に液中に沈降する状態にまで下降させ
る。而して、マガジン6を構成する部材には水平方向の
壁部や凹部のようなものはなく、全て垂直壁と傾斜壁と
から形成されているので、全く液面を乱すことなく磁気
ディスク5を潤滑剤液内に浸漬させることができる。
【0017】磁気ディスク5を所定時間槽内に浸漬させ
た後に、マガジン6ごと潤滑剤槽3から引き上げること
によって、磁気ディスク5の表面に潤滑剤を付着させて
、潤滑膜を形成するが、この引き上げも低速で行う。 従って、浸漬時と同様、この引き上げ時においても、こ
の潤滑剤槽3内の潤滑剤液が撹拌されたり、揺れたりし
て、液の乱れが生じることはなくなる。この結果、余分
な液は磁気ディスク5の表面から槽内に引き込まれて、
塗膜が均一化する。しかも、マガジン6において、直接
磁気ディスク5に接触するV溝14,15,16は、こ
の磁気ディスク5への当接部から斜め下方に傾斜してい
るので、このV溝14,15,16と磁気ディスク5と
の当接部に液が溜るようなことがなく、円滑かつ確実に
槽内に引き込まれることになる。このマガジン6の引き
上げにより磁気ディスク5が槽内の液から離れるが、最
後に液から離れる磁気ディスク5の最下端部にはマガジ
ン6におけるV溝等とは当接していないことから、表面
張力の作用によって余分な液が完全に槽内に引き込まれ
ることになって、磁気ディスク5からの液切れが極めて
良好となる。
【0018】以上の結果、磁気ディスク5の表面に形成
される潤滑膜の膜厚が極めて正確に一定化されることに
なり、膜厚のばらつきが生じることはなくなる。従って
、マガジン6に装架された多数の磁気ディスク5を同時
に均一な潤滑膜の形成を行うことができるようになり、
この工程の高速化,効率化が図られる。しかも、潤滑膜
の形成工程の前処理として超音波洗浄が行われるが、こ
の超音波洗浄は、磁気ディスク5をマガジンに装架させ
て行うのが一般的であり、このマガジンに装架されたま
ま潤滑膜を形成すると、途中で磁気ディスク5を移載し
たりする等の必要がなくなるので、処理の迅速化及びこ
の処理を行うための機構の簡素化が図られる。
【0019】なお、前述の実施例においては、処理対象
とするディスク部材を磁気ディスクとし、またこの磁気
ディスクに記録膜を形成した後に、超音波洗浄を行い、
然る後に潤滑膜を形成するものとして説明したが、本発
明によるマガジンは、要はディスク部材をディッピング
液に浸漬させて、このディスク部材の表面に塗膜を形成
するために、ディスク部材を装架してディッピング液に
浸漬させるものであり、前述した処理に限定されるもの
ではない。また、V溝を設けた係合板を支持板に固着す
るように構成したが、これらは一体物で形成することも
できる。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るマガ
ジンは、一対からなる両端板間に3本の係合板を架設す
ることにより構成し、これら両端板及び各係合板を垂直
壁部と傾斜壁部とからなり、非水平,非凹状構造にする
と共に、各係合板にはディスク部材の外周エッジ部と点
接触する多数のV溝を所定のピッチ間隔をもってディス
ク接触位置から斜め下方に傾斜するように形設し、これ
ら各V溝にディスク部材を支承させたときに、その中心
部からの水平方向及び垂直方向の直交軸線における水平
方向の線から下方の部位において、垂直方向の線の左右
いずれか一方側の2点と、他方側の1点との3点でディ
スク部材に当接する構成したので、このマガジンにディ
スク部材を装架させてディッピング液に浸漬させて、こ
のディスク部材の表面に塗膜を形成するに当たって、デ
ィッピング液の乱れを防止すると共に、ディッピング液
からの引き上げ時に余分な液の槽内への引き込みが円滑
に行われることになり、ディスク部材に形成される塗膜
の膜厚管理を極めて厳格に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のマガジンが用いられる処理工程の一例
を示す説明図である。
【図2】マガジンの一実施例を示す斜視図である。
【図3】マガジンの断面図である。
【符号の説明】
2  潤滑剤槽 5  磁気ディスク 6  マガジン 10  端板 11,12,13  支持板 14,15,16  V溝 17,18,19  係合板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  磁気ディスク等の記憶媒体を構成する
    ディスク部材をディッピング液に浸漬して、その表面に
    塗膜を形成する際に、多数のディスク部材を収容してデ
    ィッピング槽内に浸漬されるマガジンにおいて、一対か
    らなる両端板間に3本の係合板を架設し、これら両端板
    及び各係合板を垂直壁部と傾斜壁部とからなり、非水平
    ,非凹状構造にすると共に、各係合板にはディスク部材
    の外周エッジ部と点接触する多数のV溝を所定のピッチ
    間隔をもってディスク接触位置から斜め下方に傾斜する
    ように形設し、これら各V溝にディスク部材を支承させ
    たときに、その中心部からの水平方向及び垂直方向の直
    交軸線における水平方向の線から下方の部位において、
    垂直方向の線の左右いずれか一方側の2点と、他方側の
    1点との3点でディスク部材に当接する構成としたこと
    を特徴とするディスク部材のディッピング用マガジン。
JP15226391A 1991-05-29 1991-05-29 ディスク部材のディッピング用マガジン Pending JPH04351714A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15226391A JPH04351714A (ja) 1991-05-29 1991-05-29 ディスク部材のディッピング用マガジン

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15226391A JPH04351714A (ja) 1991-05-29 1991-05-29 ディスク部材のディッピング用マガジン

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04351714A true JPH04351714A (ja) 1992-12-07

Family

ID=15536669

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15226391A Pending JPH04351714A (ja) 1991-05-29 1991-05-29 ディスク部材のディッピング用マガジン

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04351714A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20060115599A1 (en) Method of lubricating multiple magnetic storage disks in close proximity
JP2004039210A (ja) 片面磁気記録ディスクの2枚のディスクを同時に処理するための方法
US4581260A (en) Electroless plating method and apparatus
US7083376B2 (en) Automated merge nest for pairs of magnetic storage disks
US8172954B2 (en) Apparatus for simultaneous two-disk scrubbing and washing
JPH04351714A (ja) ディスク部材のディッピング用マガジン
US20090269154A1 (en) Sheet-stack coring
CN210232505U (zh) 全口径抛光浸没式元件加工装置及抛光机
JP6631687B1 (ja) 半導体ウェーハの洗浄槽および洗浄方法
US3284324A (en) Substrate preparation method
US6365064B1 (en) Method for evenly immersing a wafer in a solution
JP3679893B2 (ja) 成膜用基板保持具およびこの保持具を用いた成膜方法、並びに、磁気記録媒体の製造用治具およびこの治具を用いた磁気記録媒体の製造方法
JPH06150307A (ja) 液体潤滑剤塗布工程で用いる磁気ディスクの保持具
JP2001195728A (ja) 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
JP3303028B2 (ja) ディスクの保管装置
JPH05347032A (ja) 光ディスク原盤製造装置
JP2919157B2 (ja) 半導体製造装置
JPH10277931A (ja) 硬質基板の製造方法およびその製造装置
JPH07334842A (ja) ディスク支持具
JP4304476B2 (ja) 浸漬処理用基板保持ユニットおよび浸漬処理用基板保持治具
JPS6156292A (ja) 電鋳装置
JPH04183890A (ja) ガラス原盤電鋳装置
JPS61226269A (ja) 砥粒固着方法
JP2614608B2 (ja) 感光層の端部剥離方法
JPH05314547A (ja) 基板の洗浄方法