JPH04340514A - X線顕微鏡 - Google Patents
X線顕微鏡Info
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- JPH04340514A JPH04340514A JP11166491A JP11166491A JPH04340514A JP H04340514 A JPH04340514 A JP H04340514A JP 11166491 A JP11166491 A JP 11166491A JP 11166491 A JP11166491 A JP 11166491A JP H04340514 A JPH04340514 A JP H04340514A
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 abstract description 3
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- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
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Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、試料の同一特定の部分
を、X線と可視光により簡単に観察できるX線顕微鏡に
関するものである。
を、X線と可視光により簡単に観察できるX線顕微鏡に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、放射光(SOR)光源やレーザー
プラズマ光源などの、白色・高輝度なX線光源の出現に
伴い、X線を利用した技術に対する関心が高まり、種々
なX線光学素子の開発が盛んになっている。また、これ
らのX線光学素子を応用した、X線顕微鏡システムやX
線望遠鏡システムの開発も進んでいる。斜入射光学系を
利用したウオ ルター型X線顕微鏡、2枚の凹凸面鏡に
X線多層膜鏡をコートしたシュワルツシルド型の顕微鏡
、そして、フレネルゾーンプレートを対物レンズに応用
したX線顕微鏡などが公知例としてある。
プラズマ光源などの、白色・高輝度なX線光源の出現に
伴い、X線を利用した技術に対する関心が高まり、種々
なX線光学素子の開発が盛んになっている。また、これ
らのX線光学素子を応用した、X線顕微鏡システムやX
線望遠鏡システムの開発も進んでいる。斜入射光学系を
利用したウオ ルター型X線顕微鏡、2枚の凹凸面鏡に
X線多層膜鏡をコートしたシュワルツシルド型の顕微鏡
、そして、フレネルゾーンプレートを対物レンズに応用
したX線顕微鏡などが公知例としてある。
【0003】ほかの関連技術としては、マルチチャンネ
ルプレートや光電子増倍管など各種のX線用の検出器の
提案がある。また最近、表面の保護膜を除去し、X線波
長領域まで感度がある高解像度のCCDの開発が注目さ
れている。このように、基礎技術、周辺技術が発達する
とともに、結像性能の向上のみならず、機能性もすぐれ
たX線顕微鏡に対する期待が高まっている。
ルプレートや光電子増倍管など各種のX線用の検出器の
提案がある。また最近、表面の保護膜を除去し、X線波
長領域まで感度がある高解像度のCCDの開発が注目さ
れている。このように、基礎技術、周辺技術が発達する
とともに、結像性能の向上のみならず、機能性もすぐれ
たX線顕微鏡に対する期待が高まっている。
【0004】
【発明が解決しようとする問題点】上記のように、X線
顕微鏡にも高機能性が追求される情勢において、要望の
強いものに、試料の同一特定の部分を、X線と可視光に
より簡単に観察できる顕微鏡システムの実現がある。こ
のような顕微鏡システムにより、我々がふだん見慣れて
いる可視光による透過顕微鏡像と、X線透過顕微鏡像と
を、簡単にしかも同時に直接比較することができる。そ
の結果、単にX線顕微鏡像のみを観察するの比べ、可視
光顕微鏡像と比較することにより、得られる情報量は格
段に多くなる。
顕微鏡にも高機能性が追求される情勢において、要望の
強いものに、試料の同一特定の部分を、X線と可視光に
より簡単に観察できる顕微鏡システムの実現がある。こ
のような顕微鏡システムにより、我々がふだん見慣れて
いる可視光による透過顕微鏡像と、X線透過顕微鏡像と
を、簡単にしかも同時に直接比較することができる。そ
の結果、単にX線顕微鏡像のみを観察するの比べ、可視
光顕微鏡像と比較することにより、得られる情報量は格
段に多くなる。
【0005】本発明では、これらの点に鑑み、可視光用
とX線用の光学系をそれぞれ独立に設けることなく、簡
単な機構で、試料の同一特定の部分を、X線と可視光に
より簡易に観察できる顕微鏡システムを提供することを
目的とする。
とX線用の光学系をそれぞれ独立に設けることなく、簡
単な機構で、試料の同一特定の部分を、X線と可視光に
より簡易に観察できる顕微鏡システムを提供することを
目的とする。
【0006】
【問題を解決するための手段及び作用】本発明のX線顕
微鏡は、X線及び可視光を含む光を発する光源装置から
出た光を物体に照射し、該物体からの光を集光光学系に
より検出器に導くようにしたX線顕微鏡において、前記
光源装置から検出器に至る光路中にX線をカットするロ
ーパスフイ ルターと可視光をカットするハイパスフイ
ルターとを選択的に挿脱可能に設けたことを特徴とす
るものである。
微鏡は、X線及び可視光を含む光を発する光源装置から
出た光を物体に照射し、該物体からの光を集光光学系に
より検出器に導くようにしたX線顕微鏡において、前記
光源装置から検出器に至る光路中にX線をカットするロ
ーパスフイ ルターと可視光をカットするハイパスフイ
ルターとを選択的に挿脱可能に設けたことを特徴とす
るものである。
【0007】以下、図1、図3及び図4に基づき、本発
明の原理を説明する。
明の原理を説明する。
【0008】可視光領域には、すぐれた光学フイ ルタ
ーが存在するが、X線領域に対しても、幾つかのすぐれ
たハイパスフイ ルターが存在する。例えば、Alの1
500Å厚の薄膜は、可視光領域の最大透過率が5×1
0−8であるのにもかかわらず、波長50ÅのX線の透
過率は40%にも及ぶ(図3参照)。また、複数の材料
を利用して、可視光をカットし、かつ、特定領域波長の
X線を通すバンドフイ ルターも可能である。図4はそ
の一例で、Alの1500Å厚の薄膜とTiの270Å
厚の薄膜とを重ねたフイ ルターの分光透過率を示す図
である。 透過率が複数のピークをもっており、この部分をバンド
フイ ルターとして用いることができる。
ーが存在するが、X線領域に対しても、幾つかのすぐれ
たハイパスフイ ルターが存在する。例えば、Alの1
500Å厚の薄膜は、可視光領域の最大透過率が5×1
0−8であるのにもかかわらず、波長50ÅのX線の透
過率は40%にも及ぶ(図3参照)。また、複数の材料
を利用して、可視光をカットし、かつ、特定領域波長の
X線を通すバンドフイ ルターも可能である。図4はそ
の一例で、Alの1500Å厚の薄膜とTiの270Å
厚の薄膜とを重ねたフイ ルターの分光透過率を示す図
である。 透過率が複数のピークをもっており、この部分をバンド
フイ ルターとして用いることができる。
【0009】上記のX線フイ ルターをX線顕微鏡に応
用すれば、可視光用とX線用を兼ねる光学系により、可
視光とX線の両方の顕微鏡像が得られる。図1は本発明
のX線顕微鏡の光学系の概略的な構成を示す図である。 図において、1は可視光、X線の両者を含む光を発する
光源で、SOR光源やレーザープラズマ光源のような白
色光源が好適である。2は光源1からの光を観察試料3
上に集光する集光レンズ、4は観察試料3の像を形成す
る結像レンズ、6は検出器である。ここで、集光レンズ
2及び結像レンズ4としては、可視光及びX線の両者を
集光、結像させることができるもの、例えば反射型光学
系などを用いる。5はフイ ルター面が複数の領域に分
割されている回転フイ ルターで、各領域がローパスフ
イ ルターまたはハイパスフイ ルターから構成されて
いる。そして、顕微鏡の光路外の回転軸の回りに回動す
ることにより、ローパスフイ ルターまたはハイパスフ
イ ルターの一方が、選択的に顕微鏡光路中に挿脱され
るようになっている。ローパスフイ ルターとしては、
図3、図4に示したような可視光をカットするフイ ル
ターを用いることができる。一方、ハイパスフイ ルタ
ーとしては、真空紫外線以下の短波長の光を、十分にカ
ットする厚みがある光学ガラスや有機材料を利用する。 検出器6には、X線領域まで感度があるCCDなどを用
いる。
用すれば、可視光用とX線用を兼ねる光学系により、可
視光とX線の両方の顕微鏡像が得られる。図1は本発明
のX線顕微鏡の光学系の概略的な構成を示す図である。 図において、1は可視光、X線の両者を含む光を発する
光源で、SOR光源やレーザープラズマ光源のような白
色光源が好適である。2は光源1からの光を観察試料3
上に集光する集光レンズ、4は観察試料3の像を形成す
る結像レンズ、6は検出器である。ここで、集光レンズ
2及び結像レンズ4としては、可視光及びX線の両者を
集光、結像させることができるもの、例えば反射型光学
系などを用いる。5はフイ ルター面が複数の領域に分
割されている回転フイ ルターで、各領域がローパスフ
イ ルターまたはハイパスフイ ルターから構成されて
いる。そして、顕微鏡の光路外の回転軸の回りに回動す
ることにより、ローパスフイ ルターまたはハイパスフ
イ ルターの一方が、選択的に顕微鏡光路中に挿脱され
るようになっている。ローパスフイ ルターとしては、
図3、図4に示したような可視光をカットするフイ ル
ターを用いることができる。一方、ハイパスフイ ルタ
ーとしては、真空紫外線以下の短波長の光を、十分にカ
ットする厚みがある光学ガラスや有機材料を利用する。 検出器6には、X線領域まで感度があるCCDなどを用
いる。
【0010】このように配置・構成して、適当な時間間
隔で回転フイ ルター5を回転し、ローパスフイ ルタ
ーまたはハイパスフイ ルターを択一的に光路中に挿入
すると、同一の光学系を用いてX線による観察試料の像
、可視光による観察試料の像が別々に得られる。
隔で回転フイ ルター5を回転し、ローパスフイ ルタ
ーまたはハイパスフイ ルターを択一的に光路中に挿入
すると、同一の光学系を用いてX線による観察試料の像
、可視光による観察試料の像が別々に得られる。
【0011】なお、ここでは結像レンズ4と検出器6と
の間に、フイ ルターを挿脱するようになっいるが、光
源1から検出器6に至る光路中のどこにフイ ルターを
配置しても、同様の効果が得られることは明らかである
。また、レーザープラズマ光源のようなパルス光源の場
合には、発光と同期して、回転フイ ルター5を回転す
ればよい。
の間に、フイ ルターを挿脱するようになっいるが、光
源1から検出器6に至る光路中のどこにフイ ルターを
配置しても、同様の効果が得られることは明らかである
。また、レーザープラズマ光源のようなパルス光源の場
合には、発光と同期して、回転フイ ルター5を回転す
ればよい。
【0012】
【実施例】図2は、シュワルツシルド型X線顕微鏡に、
この発明を適用した実施例である。1はレーザープラズ
マ光源で、YAGレーザーなどの強力なレーザー光9を
、真空中の金属ターゲットに照射して発光させる。2は
ウオ ルター型集光レンズ、3は観察試料、4はシュワ
ルツシルド型光学系、5は回転フイルターである。回転
フイ ルター5は、ローパスフイ ルター(例えば、厚
さ5mmのガラスBK7でできている)7と、ハイパス
フイ ルター(例えば、厚さ1000ÅのAlでできて
いる)8より構成されている。6はCCD(検出器)で
、表面の保護膜を除去し、X線波長領域まで感度のある
ものを用いる。
この発明を適用した実施例である。1はレーザープラズ
マ光源で、YAGレーザーなどの強力なレーザー光9を
、真空中の金属ターゲットに照射して発光させる。2は
ウオ ルター型集光レンズ、3は観察試料、4はシュワ
ルツシルド型光学系、5は回転フイルターである。回転
フイ ルター5は、ローパスフイ ルター(例えば、厚
さ5mmのガラスBK7でできている)7と、ハイパス
フイ ルター(例えば、厚さ1000ÅのAlでできて
いる)8より構成されている。6はCCD(検出器)で
、表面の保護膜を除去し、X線波長領域まで感度のある
ものを用いる。
【0013】レーザープラズマ光源1から発光した光は
、ウオ ルター型集光レンズ2を経て観察試料3を照明
する。観察試料3の像は、シュワルツシルド型光学系4
により回転フイ ルター5を介してCCD(検出器)6
に結像する。光路にハイパスフイルター8があるときは
、CCD(検出器)6にX線像を結像し、ローパスフイ
ルター7があるときは、CCD(検出器)6に可視光
像を結像する。この実施例では、結像光学系としてシュ
ワルツシルド光学系を用いているが、これに限らずウオ
ルター型などを用いることができる。
、ウオ ルター型集光レンズ2を経て観察試料3を照明
する。観察試料3の像は、シュワルツシルド型光学系4
により回転フイ ルター5を介してCCD(検出器)6
に結像する。光路にハイパスフイルター8があるときは
、CCD(検出器)6にX線像を結像し、ローパスフイ
ルター7があるときは、CCD(検出器)6に可視光
像を結像する。この実施例では、結像光学系としてシュ
ワルツシルド光学系を用いているが、これに限らずウオ
ルター型などを用いることができる。
【0014】
【発明の効果】可視光用とX線用の光学系をそれぞれ独
立に設けることなく、X線顕微鏡の光源と検出器の間に
、X線をカットするローパスフイ ルターと可視光をカ
ットするハイパスフイ ルターからなる回転フイ ルタ
ーを設けるだけの簡単な機構で、試料の同一特定の部分
を、X線と可視光により簡易に観察できる。
立に設けることなく、X線顕微鏡の光源と検出器の間に
、X線をカットするローパスフイ ルターと可視光をカ
ットするハイパスフイ ルターからなる回転フイ ルタ
ーを設けるだけの簡単な機構で、試料の同一特定の部分
を、X線と可視光により簡易に観察できる。
【図1】本発明の原理の説明図である。
【図2】シュワルツシルド型X線顕微鏡に本発明を適用
した実施例の説明図である。
した実施例の説明図である。
【図3】Al(1500Å厚)の透過特性図である。
【図4】Al(1500Å厚)/Ti(270Å厚)の
透過特性図である。
透過特性図である。
1 光源,レーザープラズマ光源2 集光
レンズ,ウオ ルター型集光レンズ3 観察試料 4 結像レンズ,シュワルツシルド型光学系5
回転フイ ルター 6 検出器,CCD 7 ローパスフイ ルター 8 ハイパスフイ ルター 9 レーザー光
レンズ,ウオ ルター型集光レンズ3 観察試料 4 結像レンズ,シュワルツシルド型光学系5
回転フイ ルター 6 検出器,CCD 7 ローパスフイ ルター 8 ハイパスフイ ルター 9 レーザー光
Claims (1)
- 【請求項1】 X線及び可視光を含む光を発する光源
装置から出た光を物体に照射し、該物体からの光を集光
光学系により検出器に導くようにしたX線顕微鏡におい
て、前記光源装置から検出器に至る光路中にX線をカッ
トするローパスフイ ルターと可視光をカットするハイ
パスフイ ルターとを選択的に挿脱可能に設けたことを
特徴とするX線顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11166491A JPH04340514A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | X線顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11166491A JPH04340514A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | X線顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04340514A true JPH04340514A (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=14567060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11166491A Withdrawn JPH04340514A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | X線顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04340514A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002097366A1 (en) * | 2001-05-25 | 2002-12-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Observation device using light and x-ray, exposure system and exposure method |
-
1991
- 1991-05-16 JP JP11166491A patent/JPH04340514A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002097366A1 (en) * | 2001-05-25 | 2002-12-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Observation device using light and x-ray, exposure system and exposure method |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |