JPH04286844A - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、透過型電子顕微鏡に関
する。

【０００２】

【従来の技術】透過型電子顕微鏡の観察中に、最終像に
おいて任意の位置間の距離を求めるためには、画像処理
装置等でいったん最終像を画像処理して画面上に映すな
どして、その画面上で距離を測定するか、もしくは観察
面上（例えば蛍光板上）にスケールとなるものをあらか
じめ描き入れておくことで対応していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来技術では、画像処
理装置等で最終像を画面上に投影する為の新たな装置が
必要であったり、画像処理装置の制限上、通常の観察よ
りも画像を処理するための時間がかかるため即時性が無
かったり、画像処理装置の受像装置（例えば撮像管）の
保護のため強い電子線（例えば電子回折図形のスポット
）を取り込むことができないなど操作性に問題があった
り、画像を取り込む際有限の画素であるため分解能が低
い等の問題があった。また観察面上にあらかじめスケー
ルとなる情報を描き込んでおく方法では、観察面上にあ
るスケールの向きや大きさなどを変化させることができ
ないため任意の方向を目的の精度で測定することができ
なかった。更に観察時に蛍光板を透過型電子顕微鏡の光
軸から傾ける必要が生じた場合には蛍光板上の最終像が
ゆがんでしまうために、蛍光体上に描かれたスケールで
は正しく距離等を測定することができないなどの問題を
かかえていた。

【０００４】本発明は透過型電子顕微鏡において、最終
像が結像される観察面（例えば蛍光板）上に、結像され
た電子線による像とは別にスケールとなる情報を投影す
ることにより、観察面上において任意の点間の距離など
を測定することを可能とするものである。

【０００５】また本発明の他の目的は、スケールとなる
図形の情報ばかりでなく観察面に任意の情報を表示する
ことである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】透過型電子顕微鏡におい
て、電子顕微鏡本体の電子銃と異なる光源により情報を
観察面上に投影するように投影装置を配置し、電子顕微
鏡制御装置から電子顕微鏡の動作状態についての情報を
得て、投影装置の動作状態を変化させるための制御装置
と、使用者が投影する情報を入力するための入力装置よ
りなる。

【０００７】

【作用】投影装置は情報を透過型電子顕微鏡の最終像を
観察する観察面に投影する。制御装置は投影装置によっ
て投影する情報の内容や倍率や位置や焦点距離等を制御
する。また制御装置は電子顕微鏡の制御装置より電子顕
微鏡の動作状態についての情報を得て、それに対応して
投影装置を制御する。入力装置からは制御装置の操作と
投影するための情報を入力する。

【０００８】

【実施例】以下図面を参照しつつ実施例を説明する。図
１は本発明の全体図を示したものである。１は投影装置
、２は投影装置の光軸、３は制御装置、４は入力装置、
５は観察面、６は画像記録装置、７は電子顕微鏡制御装
置、８は電子線の光線図、９は投影装置による情報の光
線図、１０は電子顕微鏡の光軸である。

【０００９】電子顕微鏡における電子線８による最終像
は観察面５に投影される。また電子顕微鏡の光軸上に画
像記録装置６を配置し必要に応じて最終像を記録するこ
とができる。電子顕微鏡の動作は電子顕微鏡制御装置７
によって制御されている。

【００１０】投影装置１は電子線を妨げない位置に配置
されている。投影装置は情報を投影するため例えばレン
ズと光源と情報の書き込まれたマスクなどからなる。投
影装置の光軸２は電子顕微鏡の光軸１０とほぼ平行にお
なじ位置に配置する。投影装置は制御装置３によって制
御される。制御装置は電子顕微鏡制御装置から電子顕微
鏡の動作状態の情報を得て、投影装置を制御する。また
入力装置４から制御装置を制御することが出来る。

【００１１】最終像を観察面で観察している際、投影装
置によって同時に情報（例えばあらかじめ用意されたス
ケールとなる図形）を観察面に投影することによって、
最終像において観察面上で任意点間の距離を測定するこ
とが出来る。また観察面上に投影される情報は、あらか
じめ用意されたものばかりでなく、入力装置から入力さ
れた情報や、電子顕微鏡本体の制御装置から得た情報な
どを投影することができる。

【００１２】図２は観察のために観察面を傾斜させた場
合の図である。電子顕微鏡の光軸に対して観察面に傾斜
させていない場合、観察面は５ａでは最終像は目的の位
置に情報が投影されている。観察のために観察面を傾斜
させた場合、観察面５ｂ上で最終像は一方向に拡大され
ているが、投影装置によって投影された情報も、投影装
置の光軸が電子顕微鏡の光軸とほぼ一致しているため同
様に一方向に拡大することになり、観察面を傾斜させた
時とさせない時とでお互いの位置の相関がくずれない。 そのため位置の確認や距離の測定を観察面の傾斜にかか
わらず行なうことができる。

【００１３】図３は画像記録装置を使用する場合の説明
図である。図のように観察面と画像記録装置の記録媒体
面との位置が異なる場合、制御装置は電子顕微鏡制御装
置より情報を得て、その投影位置と投影倍率と焦点距離
を適当なものに投影する。

【００１４】図４は、他の実施例である。図のような反
射鏡１３を用い、電子線を妨げないように配置すること
で電子顕微鏡の光軸と、投影装置の光軸を一致させるこ
とができる。例えば反射鏡はその中心に穴を開けたよう
な形状で、その配置する位置を、観察する電子線のクロ
スオーバーの位置に一致させることにより、その穴を小
さくでき、情報をもれなく投影することができる。

【００１５】また以上の実施例では、投影装置は電子顕
微鏡の真空内に配置したが、図５に示すように窓を介し
て真空外に配置することもできる。これによって容易に
投影装置の調整や操作ができるようになる。

【００１６】

【発明の効果】透過型電子顕微鏡の観察時の間隔測定の
容易化，高精度化や、画像観察手段が変わっても、目的
とする位置の確認が容易になる等効果が大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の全体図である。

【図２】観察のために観察面を傾斜させた場合の説明図
である。

【図３】画像記録装置を使用する場合の説明図である。

【図４】その他の実施例の説明図である。

【図５】その他の実施例の説明図である。

【符号の説明】

１…投影装置、２…投影装置の光軸、３…制御装置、４
…入力装置、５…観察面、６…画像記録装置、７…電子
顕微鏡制御装置、８…電子線による像の光線、９…投影
装置による像の光線、１０…電子顕微鏡の光軸、１１…
電子線による最終像、１２…投影装置により投影された
情報、１３…反射鏡。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透過型電子顕微鏡において、最終像を観察
   するための観察面に前記最終像を形成する電子線とは別
   に設けた光源によって、所定の情報を投影する投影装置
   を設けた透過型電子顕微鏡。
2. 【請求項２】請求項１において所定の情報とはスケール
   形状又は大きさが概知の図形であることを特徴とする透
   過型電子顕微鏡。
3. 【請求項３】前記投影装置においてその光軸を前記透過
   型電子顕微鏡の光軸とほぼ一致させることを特徴とした
   、請求項２記載の透過型電子顕微鏡。
4. 【請求項４】前記投影装置により投影された前記所定の
   情報を、画像記録装置等に前記最終像と同時に投影でき
   るように、その焦点位置および焦点距離等を調節する機
   構を設けたことを特徴とする、請求項２記載の透過型電
   子顕微鏡。
5. 【請求項５】前記透過型電子顕微鏡の使用状態に応じ、
   前記投影装置の投影位置，投影倍率およびその他の情報
   などを変化させる制御装置を設けたことを特徴とする、
   請求項２記載の透過型電子顕微鏡。