JPH04258389A - Laser beam machine - Google Patents

Laser beam machine

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Publication number
JPH04258389A
JPH04258389A JP3014626A JP1462691A JPH04258389A JP H04258389 A JPH04258389 A JP H04258389A JP 3014626 A JP3014626 A JP 3014626A JP 1462691 A JP1462691 A JP 1462691A JP H04258389 A JPH04258389 A JP H04258389A
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JP
Japan
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laser beam
processing
laser
optical system
output
Prior art date
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Application number
JP3014626A
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Japanese (ja)
Inventor
Toru Nakada
亨 中田
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH04258389A publication Critical patent/JPH04258389A/en
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  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

PURPOSE:To alway execute the optimum working even if the output loss value of the laser beam is changed on the optical system on the laser beam machine. CONSTITUTION:The laser beam B from the laser oscillator 29 is introduced with the optical system 31 having the bender mirror 30, irradiates the material 27 to be machined on the moving table. It is controlled with the numerical controller 34 based on the machining condition set preliminarily. Before the beginning of the machining, the light in the visible region of laser beam is outputted from the visible light of laser oscillator 35 to the optical route of the laser beam B, and its intensity of illumination is detected with the 1st and the 2nd illumination detecting sensors 36 and 37. Based on this detection, the value of output loss of the laser beam B on the optical system can be estimated and detected, the above machining condition is corrected corresponding to them.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

[発明の目的] [Purpose of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は金属板材などの被加工物
に溶接や切断,穴あけなどの加工を行うレーザ加工装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing apparatus for processing workpieces such as metal plates by welding, cutting, drilling, etc.

【0002】0002

【従来の技術】例えば金属板材などの加工に用いられて
いるレーザ加工装置の一例を図2に示す。このものは、
レーザ発振器1から出力されたレーザビームBが、複数
個のベンダーミラー2を備える光学系3により加工ヘッ
ド4に導かれ、加工ヘッド4内に設けられたレンズ5に
より集束されてノズル4aから被加工物6の加工点に照
射されるようになっている。また、加工ヘッド4には、
加工ガス供給装置7から加工ガスが供給され、レーザビ
ームBと同時にノズル4aから吹出されるようになって
いる。一方、被加工物6がセットされる移動テーブル8
は、X軸移動用モータ9及びY軸移動用モータ10によ
り、水平方向に自在に移動されるようになっている。
2. Description of the Related Art FIG. 2 shows an example of a laser processing apparatus used for processing, for example, metal plate materials. This thing is
A laser beam B output from a laser oscillator 1 is guided to a processing head 4 by an optical system 3 including a plurality of bender mirrors 2, is focused by a lens 5 provided in the processing head 4, and is directed from a nozzle 4a to a workpiece. It is designed to irradiate the processing point of the object 6. In addition, the processing head 4 has
A processing gas is supplied from a processing gas supply device 7, and is blown out from a nozzle 4a at the same time as the laser beam B. On the other hand, a moving table 8 on which the workpiece 6 is set
can be freely moved in the horizontal direction by an X-axis moving motor 9 and a Y-axis moving motor 10.

【0003】そして、かかるレーザ加工装置には、マイ
クロコンピュータなどから構成された数値制御装置11
が設けられている。この数値制御装置11は、予め作業
者により設定された加工速度(移動テーブル8の各軸方
向への移動速度),レーザビームBの出力値,周波数,
パルス幅,加工ガスの圧力や流量といった加工条件に基
づいて、前記レーザ発振器1,加工ガス供給装置7,X
軸移動用モータ9及びY軸移動用モータ10を制御する
ようになっており、これにて加工作業が自動的に実行さ
れるようになっている。
[0003] Such a laser processing apparatus includes a numerical control device 11 composed of a microcomputer or the like.
is provided. This numerical control device 11 controls the processing speed (the speed of movement of the moving table 8 in each axis direction), the output value and frequency of the laser beam B, which are set in advance by the operator.
Based on processing conditions such as pulse width, processing gas pressure and flow rate, the laser oscillator 1, processing gas supply device 7,
The motor 9 for moving the axis and the motor 10 for moving the Y-axis are controlled, so that the machining work is automatically executed.

【0004】0004

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
なレーザ加工装置にあって、光学系3を構成するベンダ
ーミラー2は、使用開始当初は非常に優れた反射率を有
するものであるが、長期間の使用に伴い、物理的,化学
的な劣化や表面の汚れが生じて反射率が低下してくるよ
うになる。このようにベンダーミラー2の反射率が低下
すると、レーザ発振器1から加工に適した出力値にてレ
ーザビームBを出力しても、光学系3を通る間に比較的
大きなレーザビームBの出力損失が起こって最適な加工
ができなくなってしまう不具合が生ずる。かかる不具合
は、特に厚板切断,ファインカット,特種溶接などの特
殊加工において大きな問題となる。
By the way, in the laser processing apparatus as described above, the bender mirror 2 constituting the optical system 3 has an extremely excellent reflectance at the beginning of use. With long-term use, physical and chemical deterioration and surface stains occur, resulting in a decrease in reflectance. If the reflectance of the bender mirror 2 decreases in this way, even if the laser beam B is output from the laser oscillator 1 at an output value suitable for processing, the output loss of the laser beam B will be relatively large while passing through the optical system 3. This causes a problem in which optimal machining cannot be performed. Such defects become a big problem especially in special processing such as thick plate cutting, fine cutting, and special welding.

【0005】このような不具合に対処するには、ベンダ
ーミラー2を清掃することがひとつの対策ではあるが、
ある程度の反射率の回復は望めるものの、清掃によって
は使用開始当初までに反射率を回復させることは困難で
ある。もちろん、新たなベンダーミラー2に交換すれば
良いが、これでは経済的不利が大きすぎる。従って、ベ
ンダーミラー2の反射率が低下した場合には、加工の種
類は変わらないにもかかわらず、レーザ発振器1のレー
ザビームBの出力値などの加工条件を、新たに数値制御
装置11に設定し直さなくてはならず、作業者に大きな
負担を強いることになっていた。
One way to deal with such problems is to clean the bender mirror 2, but
Although it is possible to recover the reflectance to some extent, it is difficult to recover the reflectance by the time the product is first used, depending on cleaning. Of course, it would be possible to replace it with a new vendor mirror 2, but this would be economically disadvantageous. Therefore, when the reflectance of the bender mirror 2 decreases, processing conditions such as the output value of the laser beam B of the laser oscillator 1 are newly set in the numerical control device 11, even though the type of processing does not change. This would have to be redone, placing a heavy burden on the workers.

【0006】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
、その目的は、光学系におけるレーザビームの出力損失
の度合いが変化することがあっても、常に最適な出力値
にてレーザ加工を行うことができるレーザ加工装置を提
供するにある。 [発明の構成]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and its purpose is to always perform laser processing at the optimum output value even if the degree of output loss of the laser beam in the optical system changes. Our goal is to provide a laser processing device that can. [Structure of the invention]

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のレーザ加工装置
は、レーザ発振器と、このレーザ発振器から出力された
レーザビームを加工点に導くための光学系とを備え、予
め設定された加工条件に基づいて被加工物にレーザビー
ムを照射してその加工を行うようにしたものであって、
光学系におけるレーザビームの出力損失を検出する手段
と、この検出手段の検出に基づいて加工条件を補正する
制御手段とを設けたところに特徴を有するものである。
[Means for Solving the Problems] A laser processing apparatus of the present invention includes a laser oscillator and an optical system for guiding a laser beam outputted from the laser oscillator to a processing point, and is configured to meet processing conditions set in advance. Based on this, the workpiece is processed by irradiating the workpiece with a laser beam,
The present invention is characterized in that it is provided with a means for detecting the output loss of the laser beam in the optical system, and a control means for correcting the processing conditions based on the detection by the detecting means.

【0008】[0008]

【作用】上記手段によれば、レーザ発振器から出力され
たレーザビームは、光学系によって加工点に導かれ、被
加工物の加工が行われる。このとき、光学系における反
射率低下等の劣化があると、その光学系を通過する際に
レーザビームの出力が損失されるが、その出力損失は検
出手段により検出されるようになる。そして、その検出
に基づいて、補正手段により予め設定されている加工条
件が補正され、補正された加工条件により被加工物の加
工が行われるようになる。従って、光学系におけるレー
ザビームの出力損失の度合いが変化することがあっても
、最適なレーザビーム出力にて加工を行うことができる
According to the above means, the laser beam output from the laser oscillator is guided to the processing point by the optical system, and the workpiece is processed. At this time, if there is deterioration such as a decrease in reflectance in the optical system, the output of the laser beam will be lost when passing through the optical system, but this output loss will be detected by the detection means. Then, based on the detection, the preset machining conditions are corrected by the correcting means, and the workpiece is machined using the corrected machining conditions. Therefore, even if the degree of laser beam output loss in the optical system changes, processing can be performed with the optimum laser beam output.

【0009】[0009]

【実施例】以下本発明の一実施例について、図1を参照
して説明する。この図1は本実施例に係るレーザ加工装
置21の全体構成を概略的に示すもので、ここで、22
は移動テーブルであり、これは、図示しない基台上に設
けられY軸移動用モータ23によりY軸方向に移動する
Y軸移動テーブル24と、このY軸移動テーブル24上
に設けられX軸用移動モータ25によりX軸方向に移動
するX軸移動テーブル26とから構成されている。この
移動テーブル22(X軸移動テーブル26)上には、例
えば金属板材などの被加工物27がセットされるように
なっており、以て、この被加工物27は前記両モータ2
3,25の駆動により、水平方向に自在に移動されるよ
うになっている。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 schematically shows the overall configuration of a laser processing apparatus 21 according to this embodiment, and here, 22
is a moving table, which includes a Y-axis moving table 24 provided on a base (not shown) and moved in the Y-axis direction by a Y-axis moving motor 23, and an X-axis moving table 24 provided on this Y-axis moving table 24. It is composed of an X-axis moving table 26 that is moved in the X-axis direction by a moving motor 25. A workpiece 27 such as a metal plate is set on the moving table 22 (X-axis moving table 26), and the workpiece 27 is
3 and 25, it can be freely moved in the horizontal direction.

【0010】一方、この移動テーブル22の上方には、
加工ヘッド28が固定的に設けられている。この加工ヘ
ッド28には、レーザ発振器29から出力されたレーザ
ビームBが、この場合3個のベンダーミラー30を有し
てなる光学系31により折返されつつ導かれるようにな
っていると共に、加工ガス供給装置32からの加工ガス
(シールドガス)が供給されるようになっている。そし
て、この加工ヘッド28は、光学系31を介して導入さ
れた前記レーザビームBを、内蔵するレンズ33により
集束して先端のノズル28aから被加工物27の加工点
Aに照射するようになっていると共に、該ノズル28a
からその加工点A部分に向けて加工ガスを吹付けるよう
になっている。
On the other hand, above the moving table 22,
A processing head 28 is fixedly provided. A laser beam B output from a laser oscillator 29 is guided to the processing head 28 while being reflected by an optical system 31 comprising three bender mirrors 30, and a processing gas Processing gas (shielding gas) is supplied from a supply device 32. The processing head 28 focuses the laser beam B introduced through the optical system 31 using a built-in lens 33, and irradiates the processing point A of the workpiece 27 from the nozzle 28a at the tip. and the nozzle 28a
Processing gas is sprayed from there toward the processing point A.

【0011】そして、かかるレーザ加工装置21には、
マイクロコンピュータなどから構成された数値制御装置
34が設けられている。この数値制御装置34は、予め
作業者により設定された加工速度(ピアッシング時間や
移動テーブル22の各軸方向への移動速度),レーザビ
ームBの出力値,周波数,パルス幅,加工ガスの圧力や
流量などの加工条件に基づいて、前記レーザ発振器29
,加工ガス供給装置32,X軸移動用モータ25及びY
軸移動用モータ23を制御するようになっており、これ
にて加工作業が自動的に実行されるようになっている。 この場合、これらの加工条件は、レーザ加工装置21の
使用開始当初即ち各ベンダーミラー30の反射率がほぼ
100%のときを基準として、被加工物27に所望の加
工を行う際して最適なものとなるように設定される。
[0011]The laser processing device 21 includes:
A numerical control device 34 composed of a microcomputer or the like is provided. This numerical control device 34 controls the machining speed (piercing time and moving speed of the moving table 22 in each axis direction), the output value, frequency, pulse width, and machining gas pressure set by the operator in advance. Based on processing conditions such as flow rate, the laser oscillator 29
, processing gas supply device 32, X-axis movement motor 25 and Y
The shaft moving motor 23 is controlled so that machining operations are automatically executed. In this case, these processing conditions are optimal for performing the desired processing on the workpiece 27, with reference to the beginning of use of the laser processing device 21, that is, when the reflectance of each bender mirror 30 is approximately 100%. set to become something.

【0012】さて、以上のように構成されたレーザ加工
装置21には、前記光学系31におけるレーザビームB
の出力損失を検出するための手段が設けられる。本実施
例では、この検出手段として、可視光レーザを利用して
その照度を測定することによりベンダーミラー30の反
射率を検出し、これに基づいて間接的にレーザビームB
の出力損失の度合いを検出する機構を設けている。
Now, in the laser processing apparatus 21 configured as described above, the laser beam B in the optical system 31 is
Means are provided for detecting a power loss of. In this embodiment, as this detection means, the reflectance of the bender mirror 30 is detected by measuring the illuminance using a visible light laser, and based on this, the laser beam B is indirectly detected.
A mechanism is provided to detect the degree of output loss.

【0013】即ち、前記レーザ発振器29には、可視光
レーザ(He−Neレーザ)発振器35が組込まれてお
り、前記レーザビームBの光路と一致した光路にて可視
光レーザビームを出力できるようになっている。そして
、この可視光レーザビームの光路(レーザビームBの光
路)のうち、レーザ発振器29の直後の部位に位置して
第1の照度検出センサ36が設けられており、最後のベ
ンダーミラー30の通過後の部位に位置して第2の照度
検出センサ37が設けられている。これら第1及び第2
の照度検出センサ36及び37は、夫々その検出部を光
路中に移動可能な状態(二点鎖線で示す)に設けられ、
その位置における可視光レーザビームの照度を検出し得
るようになっている。
That is, a visible light laser (He-Ne laser) oscillator 35 is incorporated in the laser oscillator 29, and is configured to output a visible light laser beam along an optical path that coincides with the optical path of the laser beam B. It has become. In the optical path of this visible laser beam (the optical path of laser beam B), a first illuminance detection sensor 36 is provided at a position immediately after the laser oscillator 29, and a first illuminance detection sensor 36 is provided in the optical path of the visible laser beam (the optical path of the laser beam B). A second illuminance detection sensor 37 is provided at the rear portion. These first and second
The illuminance detection sensors 36 and 37 are each provided in such a manner that its detection portion can be moved into the optical path (indicated by a two-dot chain line),
The illuminance of the visible laser beam at that position can be detected.

【0014】そして、これら第1及び第2の照度検出セ
ンサ36及び37の検出データは、加工条件演算補正装
置38に入力されるようになっている。この加工条件演
算補正装置38は、上記2つの照度検出センサ36及び
37の検出した照度の差から、光学系31における照度
の減少の度合い(ベンダーミラー30の反射率)を演算
することにより、レーザビームBの光学系31における
出力損失の度合いを推測するようになっている。この加
工条件演算補正装置38により算出された出力損失のデ
ータは前記数値制御装置34に入力され、数値制御装置
34はこの出力損失に基づいて上記加工条件を補正し、
この補正された加工条件に基づいて各機構を制御するよ
うになっている。これにて、数値制御装置34が本発明
にいう制御手段として機能するようになっている。
The detection data from the first and second illuminance detection sensors 36 and 37 are input to a processing condition calculation and correction device 38. This processing condition calculation correction device 38 calculates the degree of decrease in illuminance in the optical system 31 (reflectance of the bender mirror 30) from the difference in illuminance detected by the two illuminance detection sensors 36 and 37, The degree of output loss of the beam B in the optical system 31 is estimated. The output loss data calculated by the processing condition calculation correction device 38 is input to the numerical control device 34, and the numerical control device 34 corrects the processing conditions based on this output loss,
Each mechanism is controlled based on the corrected machining conditions. In this way, the numerical control device 34 functions as a control means according to the present invention.

【0015】また、前記数値制御装置34は、上記出力
損失が予め設定されたしきい値を越えたときには、表示
装置39に、ベンダーミラー30を清掃すべきあるいは
交換すべき旨のメッセージを表示するようになっている
Furthermore, when the output loss exceeds a preset threshold, the numerical control device 34 displays a message on the display device 39 to the effect that the bender mirror 30 should be cleaned or replaced. It looks like this.

【0016】次に、上記構成の作用について述べる。被
加工物27に対する所定の加工の作業を開始するにあた
り、まず、可視光レーザ発振器35を駆動させて、レー
ザビームBの光路に可視光レーザビームを出力する。こ
の可視光レーザビームの照度が、まず、レーザ発振器2
9から出力された直後の位置において第1の照度検出セ
ンサ35により測定され、次に、可視光レーザビームが
光学系31を構成する3個のベンダーミラー30により
折返された位置において、その照度が第2の照度検出セ
ンサ36により測定される。
Next, the operation of the above configuration will be described. In starting a predetermined processing operation on the workpiece 27, first, the visible light laser oscillator 35 is driven to output a visible light laser beam to the optical path of the laser beam B. First, the illuminance of this visible laser beam is
The illuminance is measured by the first illuminance detection sensor 35 at the position immediately after the visible light laser beam is output from the optical system 31. It is measured by the second illuminance detection sensor 36.

【0017】これら第1及び第2の照度検出センサ36
及び37の検出データは、加工条件演算補正装置38に
入力されるようになり、加工条件演算補正装置38は、
それらの照度の差から光学系31における照度の減少の
度合い(ベンダーミラー30の反射率)を演算してレー
ザビームBの光学系31における出力損失の度合いを推
測演算する。これにより、数値制御装置34に予め入力
されているベンダーミラー30の反射率を略100%と
したときの、加工速度(ピアッシング時間や移動テーブ
ル22の各軸方向への移動速度),レーザビームBの出
力値,周波数,パルス幅,加工ガスの圧力や流量などの
加工条件が補正されるのである。
These first and second illuminance detection sensors 36
The detection data of
From the difference in illuminance, the degree of decrease in illuminance in the optical system 31 (reflectance of the bender mirror 30) is calculated, and the degree of output loss of the laser beam B in the optical system 31 is estimated. As a result, when the reflectance of the bender mirror 30 input in advance to the numerical control device 34 is approximately 100%, the processing speed (piercing time and moving speed of the moving table 22 in each axis direction), the laser beam B Processing conditions such as output value, frequency, pulse width, and processing gas pressure and flow rate are corrected.

【0018】この後、補正された加工条件に基づいて、
前記レーザ発振器29,加工ガス供給装置32,X軸移
動用モータ25及びY軸移動用モータ23が、数値制御
装置34により制御されて被加工物27に対する所定の
加工が行われるのである。このとき、光学系31を構成
するベンダーミラー30の反射率が、物理的,化学的な
劣化や表面の汚れにより、使用開始当初に比較して低下
していることがあっても、現時点の光学系31における
出力損失に見合った最適な加工条件により加工作業が行
われるものである。
After that, based on the corrected processing conditions,
The laser oscillator 29, the processing gas supply device 32, the X-axis movement motor 25, and the Y-axis movement motor 23 are controlled by the numerical control device 34, and a predetermined process is performed on the workpiece 27. At this time, even if the reflectance of the bender mirror 30 that constitutes the optical system 31 has decreased compared to when it was first used due to physical or chemical deterioration or surface dirt, the current optical The machining work is performed under optimal machining conditions commensurate with the output loss in the system 31.

【0019】また、このときベンダーミラー30の反射
率がしきい値を越えている場合には、表示装置39にそ
の旨が表示され、作業者はその表示によりベンダーミラ
ー30の交換あるいは清掃をすべき時期を知ることがで
きるものである。
Furthermore, if the reflectance of the bender mirror 30 exceeds the threshold value at this time, a message to that effect is displayed on the display device 39, and the operator is instructed to replace or clean the bender mirror 30 based on the display. This allows you to know when the right time is.

【0020】このように本実施例によれば、ベンダーミ
ラー30の反射率が低下するなどの光学系31における
レーザビームBの出力損失があっても、その出力損失の
大きさに応じて加工条件が補正されるようになる。従っ
て、ベンダーミラー2の反射率が低下した場合には加工
条件を新たに数値制御装置11に設定し直さなくてはな
らなかった従来のものと異なり、作業者に負担を強いる
ことなしに、常に最適な加工条件によりレーザ加工の作
業を行うことができるものである。
As described above, according to this embodiment, even if there is an output loss of the laser beam B in the optical system 31 due to a decrease in the reflectance of the bender mirror 30, the processing conditions can be adjusted according to the magnitude of the output loss. will be corrected. Therefore, unlike the conventional method, in which the processing conditions had to be newly set in the numerical control device 11 when the reflectance of the bender mirror 2 decreased, the processing conditions can be constantly set without imposing a burden on the operator. Laser processing can be performed under optimal processing conditions.

【0021】また、特に本実施例では、検出された出力
損失に応じて表示装置39にベンダーミラー30の交換
あるいは清掃すべき旨の表示を行うようにしたので、作
業者が容易に清掃時期や交換時期を知ることができる利
点も得られるものである。
Furthermore, in this embodiment in particular, a message indicating that the bender mirror 30 should be replaced or cleaned is displayed on the display device 39 in accordance with the detected output loss, so that the operator can easily know when it is time to clean the bender mirror 30 or to clean it. It also has the advantage of knowing when to replace it.

【0022】尚、上記実施例では、可視光レーザビーム
の照度を2個の照度検出センサ36,37により検出し
て光学系31における反射率から間接的に出力損失を検
出するようにしたが、検出手段として、例えば照度検出
センサ36,37に換えて可視光レーザビームの出力を
直接検出できる出力検知センサを設けるようにしても良
く、また、加工用のレーザビームBの出力を直接検出す
るセンサを設けるようにしても良い。その他、本発明は
上記実施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しな
い範囲内で種々の変更が可能である。
In the above embodiment, the illuminance of the visible laser beam is detected by the two illuminance detection sensors 36 and 37, and the output loss is indirectly detected from the reflectance in the optical system 31. As the detection means, for example, an output detection sensor that can directly detect the output of the visible laser beam may be provided in place of the illuminance detection sensors 36 and 37, or a sensor that directly detects the output of the laser beam B for processing. may be provided. In addition, the present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the scope of the invention.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上の説明にて明らかなように、本発明
のレーザ加工装置によれば、光学系におけるレーザビー
ムの出力損失を検出する手段と、この検出手段の検出に
基づいて加工条件を補正する制御手段とを設けたので、
光学系におけるレーザビームの出力損失の度合いが変化
することがあっても、常に最適な出力値にてレーザ加工
を行うことができるという優れた効果を奏する。
Effects of the Invention As is clear from the above description, the laser processing apparatus of the present invention includes a means for detecting the output loss of a laser beam in an optical system, and a processing condition that can be adjusted based on the detection by the detection means. Since a control means for correction is provided,
Even if the degree of output loss of the laser beam in the optical system changes, the excellent effect is that laser processing can always be performed at the optimum output value.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の一実施例を示すレーザ加工装置の全体
構成を概略的に示す図
FIG. 1 is a diagram schematically showing the overall configuration of a laser processing device showing an embodiment of the present invention.

【図2】従来例を示す図1相当図[Figure 2] A diagram equivalent to Figure 1 showing a conventional example

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21はレーザ加工装置、22は移動テーブル、27は被
加工物、28は加工ヘッド、29はレーザ発振器、30
はベンダーミラー、31は光学系、34は数値制御装置
、35は可視光レーザ発振器、36は第1の照度検出セ
ンサ、37は第2の照度検出センサ、38加工条件演算
補正装置、39は表示装置を示す。
21 is a laser processing device, 22 is a moving table, 27 is a workpiece, 28 is a processing head, 29 is a laser oscillator, 30
is a bender mirror, 31 is an optical system, 34 is a numerical control device, 35 is a visible light laser oscillator, 36 is a first illuminance detection sensor, 37 is a second illuminance detection sensor, 38 is a processing condition calculation correction device, and 39 is a display. Show the device.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  レーザ発振器と、このレーザ発振器か
ら出力されたレーザビームを加工点に導くための光学系
とを備え、予め設定された加工条件に基づいて被加工物
にレーザビームを照射してその加工を行うようにしたも
のにおいて、前記光学系におけるレーザビームの出力損
失を検出する手段と、この検出手段の検出に基づいて前
記加工条件を補正する制御手段とを設けたことを特徴と
するレーザ加工装置。
Claim 1: A laser oscillator and an optical system for guiding a laser beam outputted from the laser oscillator to a processing point, and irradiating the workpiece with the laser beam based on preset processing conditions. The processing is characterized in that it is provided with means for detecting an output loss of the laser beam in the optical system, and a control means for correcting the processing conditions based on the detection by the detection means. Laser processing equipment.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019145042A (en) * 2018-02-23 2019-08-29 株式会社安川電機 Product quality control system and product quality control method

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