JPH04240044A - Correction method for working error and machine tool - Google Patents

Correction method for working error and machine tool

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JPH04240044A
JPH04240044A JP253791A JP253791A JPH04240044A JP H04240044 A JPH04240044 A JP H04240044A JP 253791 A JP253791 A JP 253791A JP 253791 A JP253791 A JP 253791A JP H04240044 A JPH04240044 A JP H04240044A
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straightness error
straightness
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machine tool
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潔 小川
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Abstract

PURPOSE:To correct the straightness error of an X, Z axial each table at real time, by measuring the straightness error of one part of the table to the rectilinear direction of the other part of the table, and superposing by the straightness error quantity on the positional command of the other part of the table. CONSTITUTION:A 1st straightness error detector 27 which measures the displacement in a Z axial direction of an X axial table 23 and a 2nd straightness error detector 29 which measures the displacement in the X axial direction of a Z axial table 24 are provided. Then, the respective straightness error signal obtained during the work is transmitted to an NC device, and the straightness errors of the X, Z axial both tables 23, 24 under working are corrected at real time, with their being superposed on the NC command of the other part of the table via an interface.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は2軸同時制御可能な工作
機械及びその加工誤差補正方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a machine tool that can control two axes simultaneously and a method for correcting machining errors therefor.

【0002】0002

【従来の技術】高加工精度が要求される多軸同時制御工
作機械の一つに超精密旋盤が挙げられる。
2. Description of the Related Art An ultra-precision lathe is one of the multi-axis simultaneous control machine tools that requires high machining accuracy.

【0003】図1は超精密旋盤の実施例である。X、Z
軸各テーブルは石定盤(16)上に直交して配置されて
いる。X軸テーブル(13)は刃物台(12)を搭載し
主軸回転半径方向に直進し、Z軸テーブル(14)は工
作物(15)を回転させる主軸スピンドル(10)を搭
載し主軸回転軸方向に直進する。夫々のテーブルの位置
をNC装置(20)によってNCデータに従い同時2軸
制御し、工作物(15)を球面・非球面の回転形状に旋
削加工することが可能である。
FIG. 1 shows an embodiment of an ultra-precision lathe. X, Z
Each axis table is arranged perpendicularly on a stone surface plate (16). The X-axis table (13) is equipped with a tool post (12) and moves straight in the direction of the spindle's rotation radius, and the Z-axis table (14) is equipped with a spindle (10) that rotates the workpiece (15) and moves straight in the direction of the spindle's rotation axis. Go straight to. The position of each table is simultaneously controlled on two axes by the NC device (20) according to NC data, and it is possible to turn the workpiece (15) into a spherical or aspherical rotating shape.

【0004】図5はこの超精密旋盤のテーブルの位置決
め制御にレーザ干渉位置フィードバックシステムを用い
た例である。石定盤(56)上に設置されたレーザ発振
器(57)から出たレーザ光はビームスプリッタ(58
)で直交する2本のレーザ光に分けられ、レーザ干渉計
(59)に入射して夫々のテーブルの直進方向に曲げら
れ、各テーブル上にある反射鏡(60)に入射する。レ
ーザ光は反射鏡(60)とレーザ干渉計(59)の間を
往復してレーザ干渉計(59)に再入射し干渉光を形成
する。干渉光はレシーバ(61)に入射し内蔵された光
電素子により各テーブルの位置を検出する。得られた位
置信号を各テーブルの位置制御部にフィードバックする
ことにより夫々のテーブルは位置決めされる。
FIG. 5 shows an example in which a laser interference position feedback system is used to control the positioning of the table of this ultra-precision lathe. The laser beam emitted from the laser oscillator (57) installed on the stone surface plate (56) is sent to the beam splitter (58).
), the beam is split into two orthogonal laser beams, which enter a laser interferometer (59), are bent in the straight direction of each table, and enter a reflecting mirror (60) on each table. The laser light travels back and forth between the reflecting mirror (60) and the laser interferometer (59) and enters the laser interferometer (59) again to form interference light. The interference light enters a receiver (61), and the position of each table is detected by a built-in photoelectric element. Each table is positioned by feeding back the obtained position signal to the position control section of each table.

【0005】このような超精密旋盤におけるX、Z軸両
テーブルの直進運動は真直度が要求される。しかし、実
際にはテーブル案内面の方式、テーブルの加工精度、工
作物やテーブルへの外乱のため真直度誤差を有する。例
えば図4及び図6で示すように、刃先をP点に位置制御
した場合、上記の理由によりX軸テーブルがZ軸方向に
ΔZ、Z軸テーブルがX軸方向にΔXだけの真直度誤差
を生ずるとすれば、実際にはP点から
[0005] Straightness is required for the linear movement of both the X- and Z-axis tables in such an ultra-precision lathe. However, in reality, there is a straightness error due to the method of the table guide surface, the machining accuracy of the table, and disturbances to the workpiece and table. For example, as shown in Figures 4 and 6, when the position of the cutting edge is controlled to point P, the X-axis table has a straightness error of ΔZ in the Z-axis direction, and the Z-axis table has a straightness error of ΔX in the X-axis direction due to the above reasons. If it occurs, it actually starts from point P.

【0006】だけ離れたQ点に刃先は位置決めされる。 このような真直度誤差を放置すれば、図7において点線
で示す理想形状(NC指令)に対し実線で示すような誤
差を有する形状に加工されることになってしまう。即ち
、レーザ干渉位置フィードバックシステム等を用いて夫
々のテーブルの位置決め精度を向上するだけでは、テー
ブルの真直度誤差に伴う位置決め誤差が残存するので、
高精度加工を行うことはできない。
The cutting edge is positioned at point Q, which is separated by . If such straightness errors are left unaddressed, the ideal shape (NC command) shown by the dotted line in FIG. 7 will be machined into a shape having an error as shown by the solid line. In other words, if the positioning accuracy of each table is simply improved using a laser interference position feedback system or the like, positioning errors due to table straightness errors will remain.
High-precision machining cannot be performed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、X、Z軸各
テーブルの加工中における真直度誤差をリアルタイムで
補正することにより理想形状の加工を可能とする加工誤
差補正方法及びその方法を具備する工作機械を提供する
ことを目的とする。
[Problems to be Solved by the Invention] The present invention provides a machining error correction method and method that enables machining of an ideal shape by correcting straightness errors during machining of each X-axis and Z-axis table in real time. The purpose is to provide machine tools that

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、X、Z軸夫々
のテーブルに他方の軸方向の真直度誤差を、その誤差量
だけ対向するテーブルのNC指令に重畳することによっ
て真直度誤差を補償し、上記目的を達成しようとする加
工誤差補正方法である。
[Means for Solving the Problems] The present invention eliminates the straightness error by superimposing the straightness error in the direction of the other axis on each table of the X and Z axes by the amount of the error on the NC command of the opposing table. This is a processing error correction method that attempts to compensate and achieve the above objective.

【0009】また本発明は、X軸テーブルのZ軸方向の
変位を測定する第1の真直度誤差検出器とZ軸テーブル
のX軸方向の変位を測定する第2の真直度誤差検出器を
設け、加工中に得られた夫々の真直度誤差信号をNC装
置に伝達し、インターフェースを介して他方のテーブル
のNC指令に重畳することによって上記目的を達成しよ
うとする工作機械である。
The present invention also provides a first straightness error detector that measures the displacement of the X-axis table in the Z-axis direction, and a second straightness error detector that measures the displacement of the Z-axis table in the X-axis direction. This machine tool attempts to achieve the above object by transmitting each straightness error signal obtained during machining to an NC device and superimposing it on the NC command of the other table via an interface.

【0010】0010

【作用】このような加工誤差補正方法を採用することに
より、加工中のX、Z両軸テーブルの真直度誤差をリア
ルタイムで補正でき、従って工作機械はNC指令に対し
理想形状の加工が可能となる。
[Function] By adopting this machining error correction method, the straightness errors of both the X and Z axis tables during machining can be corrected in real time, and therefore the machine tool can process the ideal shape in response to NC commands. Become.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0012】図2は図1の超精密旋盤に真直度誤差検出
器を設置した一実施例である。X軸テーブル(23)の
刃物台(22)にはX軸テーブル(23)のストローク
以上の長さのターゲット(26)が長手方向がZ軸と直
交するように固定されている。X軸テーブル(23)の
直進運動中の真直度誤差ΔZはターゲット(26)に対
向して石定盤上に設置された真直度誤差検出器(27)
によってX軸からの変位として検出される。同様にZ軸
テーブル(24)にはZ軸テーブル(24)のストロー
ク以上の長さのターゲット(28)が長手方向がX軸と
直交するように固定されており、Z軸テーブル(24)
の真直度誤差ΔXはターゲット(28)に対向して設置
された真直度誤差検出器(29)により検出される。真
直度誤差検出器(27、29)には例えばレーザ干渉測
長系を用い、ターゲット(26、28)として反射鏡を
各テーブル上に軸と平行に固定すれば、高精度真直度誤
差測定が可能である。これらの真直度誤差検出器(27
、29)はその測定値ΔX、ΔZを加工中にリアルタイ
ムで出力する機能を有する。
FIG. 2 shows an embodiment in which a straightness error detector is installed in the ultra-precision lathe shown in FIG. A target (26) having a length longer than the stroke of the X-axis table (23) is fixed to the tool rest (22) of the X-axis table (23) so that its longitudinal direction is orthogonal to the Z-axis. The straightness error ΔZ during the linear movement of the X-axis table (23) is measured by a straightness error detector (27) installed on a stone surface plate facing the target (26).
is detected as a displacement from the X axis. Similarly, a target (28) with a length longer than the stroke of the Z-axis table (24) is fixed to the Z-axis table (24) so that its longitudinal direction is perpendicular to the X-axis.
The straightness error ΔX is detected by a straightness error detector (29) installed opposite the target (28). For example, if a laser interferometric measurement system is used as the straightness error detector (27, 29), and a reflecting mirror is fixed on each table parallel to the axis as a target (26, 28), high-precision straightness error measurement can be performed. It is possible. These straightness error detectors (27
, 29) has a function of outputting the measured values ΔX and ΔZ in real time during processing.

【0013】図3は本実施例の誤差補正システムのブロ
ック図である。破線内は一般のNC装置の構成であり、
これは位置指令部(31)からの命令をX、Z軸テーブ
ル各位置制御部に分配することにより2軸を同時制御し
、各テーブルの位置を測定する位置検出器(36)から
の位置信号を各軸の位置制御部(33,34)にフィー
ドバックして位置制御する。本実施例では、これに対し
さらに各テーブルの真直度誤差検出器と、得られた真直
度誤差信号をNC装置(30)に伝達するインターフェ
ース(38)を有する。いま、加工プログラムを紙テー
プあるいは内部メモリ等より与えると、NC装置(30
)はこれに応じた位置指令をX軸、Z軸の各位置制御部
(33,34)に伝達して各々のテーブルの駆動モータ
(35)を駆動する。ここで、位置検出器(36)によ
って得られた各テーブルの位置検出信号を各々の位置制
御部(33,34)にフィードバックして連続的に位置
制御する。このとき、刃物台上のターゲットに対向する
真直度誤差検出器(37)により測定されるX軸テーブ
ルのZ軸方向真直度誤差ΔZ、及びZ軸テーブル上のタ
ーゲットに対向する真直度誤差検出器(37)により測
定されるZ軸テーブルのX軸方向真直度誤差ΔXはイン
ターフェース(38)に伝達される。インターフェース
(38)からは、X軸テーブルへの位置指令に対し−Δ
X、Z軸テーブルへの位置指令に対し−ΔZなる補正信
号が伝達される。従って、補正信号と位置指令とが重畳
された指令値が各テーブルの位置制御部に入力される。
FIG. 3 is a block diagram of the error correction system of this embodiment. Inside the broken line is the configuration of a general NC device,
This controls the two axes simultaneously by distributing commands from the position command unit (31) to the X and Z axis table position control units, and receives position signals from the position detector (36) that measures the position of each table. is fed back to the position control section (33, 34) of each axis for position control. In contrast, this embodiment further includes a straightness error detector for each table and an interface (38) for transmitting the obtained straightness error signal to the NC device (30). Now, when a machining program is given from a paper tape or internal memory, the NC device (30
) transmits corresponding position commands to the X-axis and Z-axis position control units (33, 34) to drive the drive motors (35) of each table. Here, the position detection signal of each table obtained by the position detector (36) is fed back to each position control section (33, 34) to continuously control the position. At this time, the Z-axis direction straightness error ΔZ of the X-axis table measured by the straightness error detector (37) facing the target on the tool rest, and the straightness error detector (37) facing the target on the Z-axis table The X-axis direction straightness error ΔX of the Z-axis table measured by (37) is transmitted to the interface (38). From the interface (38), -Δ is given to the position command to the X-axis table.
A correction signal of -ΔZ is transmitted in response to position commands to the X and Z axis tables. Therefore, a command value in which the correction signal and the position command are superimposed is input to the position control section of each table.

【0014】図4は本実施例による刃先の軌跡を示す図
である。位置指令部からは破線で示す理想面の命令を位
置制御部に伝達する。X、Z軸各テーブルは上述のごと
く真直度誤差を有するため、各々のテーブルの位置制御
を行うのみでは、刃先は実線で示す誤差を有する軌跡を
描いてしまう。そこで本発明では、各テーブルの位置指
令(X,Z)に真直度誤差(−ΔX,−ΔZ)を重畳す
ることにより刃先位置を理想面に補償する。この結果超
精密旋削加工が可能となる。
FIG. 4 is a diagram showing the locus of the cutting edge according to this embodiment. The position command section transmits a command for the ideal plane shown by the broken line to the position control section. Since each of the X- and Z-axis tables has a straightness error as described above, if only the position control of each table is performed, the cutting edge will draw a trajectory having an error as shown by the solid line. Therefore, in the present invention, the position of the blade edge is compensated for the ideal plane by superimposing the straightness errors (-ΔX, -ΔZ) on the position commands (X, Z) of each table. As a result, ultra-precision turning becomes possible.

【0015】本実施例は同時2軸制御の超精密旋盤の加
工誤差補正方法に係るものであるが、直交する2軸テー
ブル(コラムヘッド)を同時制御する工作機械であれば
、同様の効果が得られる。
Although this embodiment relates to a machining error correction method for an ultra-precision lathe with simultaneous two-axis control, the same effect can be achieved with any machine tool that simultaneously controls orthogonal two-axis tables (column heads). can get.

【0016】また、テーブルの位置決め誤差の検出器に
はレーザ干渉位置フィードバックシステムを用いたが、
高精度の測定が可能な測定装置であれば、接触式・非接
触式を問わず適用可能である。例えば静電容量形、差動
トランス形、渦電流形変位計であってもよい。
[0016]Also, a laser interference position feedback system was used as a detector for positioning errors of the table; however,
Any measuring device capable of highly accurate measurement can be applied regardless of whether it is a contact type or a non-contact type. For example, a capacitance type, a differential transformer type, or an eddy current type displacement meter may be used.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、X
、Z軸各テーブルの真直度誤差をリアルタイムで補正可
能な加工誤差補正方法及び高形状精度加工が可能な工作
機械を提供できる。
[Effects of the Invention] As detailed above, according to the present invention, X
, it is possible to provide a machining error correction method capable of correcting straightness errors of each Z-axis table in real time, and a machine tool capable of high shape precision machining.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】超精密旋盤の概略図(斜視図)である。FIG. 1 is a schematic diagram (perspective view) of an ultra-precision lathe.

【図2】本発明の実施例の加工誤差検出系を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing a machining error detection system according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施例の誤差補正システムのブロック
図である。
FIG. 3 is a block diagram of an error correction system according to an embodiment of the present invention.

【図4】加工誤差ベクトルのX、Z成分及びそれらの合
成ベクトルを示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing the X and Z components of a machining error vector and their composite vector.

【図5】超精密旋盤上にレーザ干渉位置フィードバック
システムを設置した概略図(上面図)である。
FIG. 5 is a schematic diagram (top view) of a laser interference position feedback system installed on an ultra-precision lathe.

【図6】X、Z軸テーブルの真直度誤差発生を示す図で
ある。
FIG. 6 is a diagram showing the occurrence of straightness errors in the X and Z axis tables.

【図7】真直度誤差により生ずる工作物の加工誤差を示
す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a machining error of a workpiece caused by a straightness error.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…主軸スピンドル、11…刃物、12…刃物台、1
3…X軸テーブル、14…Z軸テーブル、15…工作物
、16…石定盤、17…NC装置、18…除振台、20
…主軸スピンドル、21…刃物、23…X軸テーブル、
24…Z軸テーブル、25…工作物、26…ターゲット
、27…真直度誤差検出器、28…ターゲット、29…
真直度誤差検出器、30…NC装置、31…位置指令部
、32…パルス分配部、33…X軸位置制御部、34…
Z軸位置制御部、35…テーブル駆動モータ、36…位
置検出器、37…真直度誤差検出器、38…インターフ
ェース、50…主軸スピンドル、51…刃物、53…X
軸テーブル、54…Z軸テーブル、55…工作物、56
…石定盤、57…レーザ発振器、58…ビームスプリッ
タ、59…レーザ干渉計、60…反射鏡、61…レシー
バ。
10...Main shaft spindle, 11...Cutter, 12...Turret, 1
3...X-axis table, 14...Z-axis table, 15...workpiece, 16...stone surface plate, 17...NC device, 18...vibration isolation table, 20
...Main shaft spindle, 21...Cutter, 23...X-axis table,
24... Z-axis table, 25... Workpiece, 26... Target, 27... Straightness error detector, 28... Target, 29...
Straightness error detector, 30... NC device, 31... Position command section, 32... Pulse distribution section, 33... X-axis position control section, 34...
Z-axis position control unit, 35...Table drive motor, 36...Position detector, 37...Straightness error detector, 38...Interface, 50...Main shaft spindle, 51...Cutter, 53...X
Axis table, 54... Z-axis table, 55... Workpiece, 56
... Stone surface plate, 57 ... Laser oscillator, 58 ... Beam splitter, 59 ... Laser interferometer, 60 ... Reflector, 61 ... Receiver.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  直交する2軸テーブルを同時制御する
工作機械の加工誤差補正方法において、一方のテーブル
の他方のテーブルの直進方向に対する真直度誤差を測定
し、その真直度誤差量だけ他方のテーブルの位置指令に
重畳することによって補償することを特徴とする加工誤
差補正方法。
Claim 1: In a machining error correction method for a machine tool that simultaneously controls orthogonal two-axis tables, the straightness error of one table with respect to the linear direction of the other table is measured, and the straightness error of the other table is adjusted by the amount of the straightness error. A machining error correction method characterized by compensating by superimposing it on a position command.
【請求項2】  工作物を回転させる主軸を載せ主軸の
回転方向に直進するZ軸テーブルと前記Z軸テーブルと
直交して設置され刃物を固定し主軸の回転半径方向に直
進するX軸テーブルとを同時NC制御することにより回
転形状に旋削加工することが可能な工作機械において、
X軸テーブルのZ軸方向に対する真直度誤差を検出する
第1の真直度誤差検出器と、Z軸テーブルのX軸方向に
対する真直度誤差を検出する第2の真直度誤差検出器と
、上記各検出器によって検出された真直度誤差信号をN
C装置へ伝達するインターフェースと、このインターフ
ェースからの真直度誤差信号を各テーブルの位置指令に
重畳させる手段とを有することを特徴とする工作機械。
2. A Z-axis table on which a spindle for rotating a workpiece is mounted, which moves straight in the direction of rotation of the spindle; and an X-axis table, which is installed orthogonally to the Z-axis table, fixes a cutter, and moves straight in the direction of the rotation radius of the spindle. In a machine tool that can turn into a rotating shape by simultaneous NC control,
a first straightness error detector that detects a straightness error of the X-axis table in the Z-axis direction; a second straightness error detector that detects a straightness error of the Z-axis table in the X-axis direction; The straightness error signal detected by the detector is N
A machine tool comprising: an interface for transmitting a signal to a C device; and means for superimposing a straightness error signal from the interface on a position command for each table.
JP3002537A 1991-01-14 1991-01-14 Machining error correction method and machine tool Expired - Lifetime JP2539097B2 (en)

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