JPH04182223A - 真空室内磁気浮上搬送装置 - Google Patents
真空室内磁気浮上搬送装置Info
- Publication number
- JPH04182223A JPH04182223A JP30858590A JP30858590A JPH04182223A JP H04182223 A JPH04182223 A JP H04182223A JP 30858590 A JP30858590 A JP 30858590A JP 30858590 A JP30858590 A JP 30858590A JP H04182223 A JPH04182223 A JP H04182223A
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- JP
- Japan
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- upper plate
- levitation
- wafer
- magnetic
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- Pending
Links
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- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、真空の搬送室内を磁気浮上により搬送台を非
接触で移動させる真空室内磁気浮上搬送装置に関する。
接触で移動させる真空室内磁気浮上搬送装置に関する。
［従来の技術］
かかる装置は知られており、特に半導体製造における工
程間のウェハの搬送に用いられている。
程間のウェハの搬送に用いられている。
［発明が解決しようとする課題］
かかる装置においては、浮上制御用の電磁石やリニアモ
ータなどの磁界や、発熱により、搬送台側にエネルギが
供給されてしまい、一般に熱エネルギの形で保有される
。この熱エネルギは、真空室内では非常に放出（放熱）
され難いので、搬送台に蓄積されてしまい、例えば１−
時間位で７００Ｃ上昇することもある。その結果、該搬
送台に載置された被搬送物に影響を及ぼすことがある。
ータなどの磁界や、発熱により、搬送台側にエネルギが
供給されてしまい、一般に熱エネルギの形で保有される
。この熱エネルギは、真空室内では非常に放出（放熱）
され難いので、搬送台に蓄積されてしまい、例えば１−
時間位で７００Ｃ上昇することもある。その結果、該搬
送台に載置された被搬送物に影響を及ぼすことがある。
本発明は、搬送台の温度上昇を防止するようにした真空
室内搬送装置を提供することを目的としている。
室内搬送装置を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明の真空室内磁気浮上搬送装置は、真空の搬送室内
を磁気浮上により搬送台を非接触で移動させる真空室内
磁気浮上搬送装置において、前記搬送台の浮上案内部を
除いた第１の部分をセラミック材で形成すると共に、該
第１−の部分の前記浮上案内部にかかわる第２の部分を
除いた主体部分と前記第２の部分との間に断熱部材を介
装してぃる。
を磁気浮上により搬送台を非接触で移動させる真空室内
磁気浮上搬送装置において、前記搬送台の浮上案内部を
除いた第１の部分をセラミック材で形成すると共に、該
第１−の部分の前記浮上案内部にかかわる第２の部分を
除いた主体部分と前記第２の部分との間に断熱部材を介
装してぃる。
本発明の真空室内磁気浮上搬送装置においては、半導体
製品の原材料のウェハのみならず、その他種々の物品が
搬送台上に載置され搬送されるのが好ましい。
製品の原材料のウェハのみならず、その他種々の物品が
搬送台上に載置され搬送されるのが好ましい。
［作用］
上記のように構成された本発明の真空室内磁気浮上搬送
装置においては、搬送台の第１の部分はセラミック材で
構成され、また、主体部分は断熱部材により第２の部分
から断熱されているので、ウェハを載置する主体部分の
温度上昇が防止される。すなわち、本発明によれば、磁
界によりエネルギが供給され、それを熱エネルギの形で
保有する部分と、ウェハを載置する主体部分との間には
断熱材から成る部材か介装される構成となっている。そ
のためウェハに熱が伝導されることが防止され、ウェハ
の加熱による悪影響は生じないのである。
装置においては、搬送台の第１の部分はセラミック材で
構成され、また、主体部分は断熱部材により第２の部分
から断熱されているので、ウェハを載置する主体部分の
温度上昇が防止される。すなわち、本発明によれば、磁
界によりエネルギが供給され、それを熱エネルギの形で
保有する部分と、ウェハを載置する主体部分との間には
断熱材から成る部材か介装される構成となっている。そ
のためウェハに熱が伝導されることが防止され、ウェハ
の加熱による悪影響は生じないのである。
［実施例］
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
図において、真空の搬送トンネル１の両側には、それぞ
れリニアモータ２．２が設けられ、底部中央には、搬送
レール３が設けられている。
れリニアモータ２．２が設けられ、底部中央には、搬送
レール３が設けられている。
その搬送レール３の両側下部には、それぞれ吊り上げ浮
上用電磁石４．４と吊り下げ浮上用電磁石５．５とが対
向して設けられ、両側上部には、それぞれ案内用電磁石
６．６が設けられ、頂部中央には、それぞれブレーキ用
電磁石７．７が設けられている。そして、吊り下げ浮上
用電磁石５には、浮上位置検出用センサ８が設けられ、
案内用電磁石６には、案内位置検出用センサ９が設けら
れている。
上用電磁石４．４と吊り下げ浮上用電磁石５．５とが対
向して設けられ、両側上部には、それぞれ案内用電磁石
６．６が設けられ、頂部中央には、それぞれブレーキ用
電磁石７．７が設けられている。そして、吊り下げ浮上
用電磁石５には、浮上位置検出用センサ８が設けられ、
案内用電磁石６には、案内位置検出用センサ９が設けら
れている。
他方、全体を符号１０で示す搬送台には、ウェハＷを載
置する上板１１−と、その上板１１の両端から下方に延
びる側板１２．１２とが設けられている。そして、上板
１−１の中央には、ブレーキ用電磁石７．７用の磁性体
１３が垂設され、側板１２の上部には、それぞれ案内用
電磁石６用の磁性体１４が設けられ、側板１−２の下部
には、それぞれ浮上用電磁石４．５用の磁性体１，５が
水平に突設されている。
置する上板１１−と、その上板１１の両端から下方に延
びる側板１２．１２とが設けられている。そして、上板
１−１の中央には、ブレーキ用電磁石７．７用の磁性体
１３が垂設され、側板１２の上部には、それぞれ案内用
電磁石６用の磁性体１４が設けられ、側板１−２の下部
には、それぞれ浮上用電磁石４．５用の磁性体１，５が
水平に突設されている。
そして、搬送体１０の浮上案内部すなわち磁性体１３．
１４．１５を除いた第１の部分Ａすなわち上板１１と側
板１２．１２とは、セラミック材で構成され、また、磁
性体１３．１４．１５にかかわる第２の部分すなわち側
板１２．１２と、第１の部分Ａから第２の部分である側
板１−２．１２を除いた主体部分すなわち上板１１との
間には、断熱部材である断熱板１６．１６が介装されて
いる。
１４．１５を除いた第１の部分Ａすなわち上板１１と側
板１２．１２とは、セラミック材で構成され、また、磁
性体１３．１４．１５にかかわる第２の部分すなわち側
板１２．１２と、第１の部分Ａから第２の部分である側
板１−２．１２を除いた主体部分すなわち上板１１との
間には、断熱部材である断熱板１６．１６が介装されて
いる。
したがって、セラミック材製の側板１２．１２及び断熱
板１６．１６により、磁性体１４．１５の熱が上板１１
へ伝導（伝熱）されることが大＋ｊ＋に低減される。ま
た、磁性体１３の熱が、セラミック材製の上板１１へ伝
導される度合も小さい。
板１６．１６により、磁性体１４．１５の熱が上板１１
へ伝導（伝熱）されることが大＋ｊ＋に低減される。ま
た、磁性体１３の熱が、セラミック材製の上板１１へ伝
導される度合も小さい。
したがって、ウェハＷを載置する上板１１−の断熱性は
、大ｒ１月こ向上され、温度上昇が防止されてウェハに
及ぼす磁性体１３．１４．１５の温度の影響が避けられ
る。
、大ｒ１月こ向上され、温度上昇が防止されてウェハに
及ぼす磁性体１３．１４．１５の温度の影響が避けられ
る。
［発明の効果］
本発明は、以上説明したように構成されているので、ウ
ェハを載置する上板の断熱性を向上して温度の上昇を防
止し、ウェハへの熱の影響を防止することができる。
ェハを載置する上板の断熱性を向上して温度の上昇を防
止し、ウェハへの熱の影響を防止することができる。
また、セラミック材を使用することにより、搬送台を軽
量化し且つ磁気浮上及び移動の動力を低減して省エネル
ギを実現することができる。
量化し且つ磁気浮上及び移動の動力を低減して省エネル
ギを実現することができる。
図は本発明の一実施例を示す搬送方向に直交する断面図
である。 １・・・搬送トンネル ３・・・搬送レール］−〇・
・・搬送台 １１・・・上板 １２・・・側板
１３．１４．１−５・・・磁性体１−６・・・断熱板
である。 １・・・搬送トンネル ３・・・搬送レール］−〇・
・・搬送台 １１・・・上板 １２・・・側板
１３．１４．１−５・・・磁性体１−６・・・断熱板
Claims (1)
- 真空の搬送室内を磁気浮上により搬送台を非接触で移動
させる真空室内磁気浮上搬送装置において、前記搬送台
の浮上案内部を除いた第１の部分をセラミック材で形成
すると共に、該第１の部分の前記浮上案内部にかかわる
第２の部分を除いた主体部分と前記第２の部分との間に
断熱部材を介装したことを特徴とする真空室内磁気浮上
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30858590A JPH04182223A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 真空室内磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30858590A JPH04182223A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 真空室内磁気浮上搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04182223A true JPH04182223A (ja) | 1992-06-29 |
Family
ID=17982805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30858590A Pending JPH04182223A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 真空室内磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04182223A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5669652A (en) * | 1995-08-16 | 1997-09-23 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for gripping a flat substrate |
-
1990
- 1990-11-16 JP JP30858590A patent/JPH04182223A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5669652A (en) * | 1995-08-16 | 1997-09-23 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for gripping a flat substrate |
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