JPH04178542A - Through hole checking device - Google Patents

Through hole checking device

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JPH04178542A
JPH04178542A JP30608190A JP30608190A JPH04178542A JP H04178542 A JPH04178542 A JP H04178542A JP 30608190 A JP30608190 A JP 30608190A JP 30608190 A JP30608190 A JP 30608190A JP H04178542 A JPH04178542 A JP H04178542A
Authority
JP
Japan
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hole
light
printed board
pattern
component
Prior art date
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Pending
Application number
JP30608190A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoji Nishiyama
陽二 西山
Moritoshi Ando
護俊 安藤
Koji Oka
浩司 岡
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP30608190A priority Critical patent/JPH04178542A/en
Publication of JPH04178542A publication Critical patent/JPH04178542A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To easily detect a defect of a through hole even in the case of a printed board having a layer for shielding light at the bottom by illuminating a printed board from above, and detecting the leakage of fluorescence generated in the base material portion in a through hole. CONSTITUTION:Figs. (a) and (b) show the relation of the detection pattern of CCD cameras 16, 17 for a normal through hole to the detection signal level. Figs. (c) and (d) show the relation of the detection pattern of the cameras 16, 17 for a through hole having a defect to the detection signal level. In case of the camera 16 of Figs. (a) and (c), with respect to the luminance level of the base material portion, a metal portion A of the periphery of a through hole is relatively bright and the interior B of the through hole is relatively dark. By this pattern detection, the position of the through hole can be decided. On the other hand, with the CCD camera 17, in case of a through hole having a defect, fluorescence leaks into the interior B of the through hole through the defective portion, so that a more bright pattern can be detected in the interior B of the through hole as compared with the metal portion A of the periphery of the through hole.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 プリント板のスルーホールを検査する技術、特に、光学
的手段を用いてスルーホール内部に欠陥が有るか否かを
検査する装置の構成に関し、底部に光を遮蔽する層を有
するプリント板に対しても適用可能にすることを目的と
し、底部に光を遮蔽する層を有するプリント板に設けら
れたスルーホールの欠陥の有無を検査する装置であって
、前記プリント板の基材部から発生する蛍光の波長成分
を含まない光を該プリント板に対して上部から照射し、
該照射された領域を結像する光学系と、該結像された光
を反射光成分と蛍光成分に分離する手段と、該分離され
た反射光成分および蛍光成分を検出してそれぞれ光強度
に基づき第1および第2の検出パターンを生成する手段
と、該第1の検出パターンに基づいて前記スルーホール
の位置を決定すると共に、前記第2の検出パターンに基
づいて該スルーホールの位置に対応する領域のパターン
を抽出する手段と、該抽出されたパターンの輝度に基づ
き当該スルーホールに欠陥が有るか否かを判定する手段
とを具備し、それによって欠陥と判定されたスルーホー
ルの位置の情報を外部に出力するように構成する。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] The present invention relates to a technology for inspecting through-holes in printed circuit boards, particularly regarding the configuration of a device that uses optical means to inspect whether or not there are defects inside the through-holes. An apparatus for inspecting the presence or absence of defects in through-holes provided in a printed board having a light-shielding layer at the bottom, with the aim of making it applicable to printed boards having a light-shielding layer. Irradiating the printed board from above with light that does not contain fluorescence wavelength components generated from the base material of the printed board,
an optical system for forming an image of the irradiated area; a means for separating the imaged light into a reflected light component and a fluorescent component; means for generating first and second detection patterns based on the first detection pattern, determining the position of the through hole based on the first detection pattern, and corresponding to the position of the through hole based on the second detection pattern; and means for determining whether or not the through hole has a defect based on the brightness of the extracted pattern, thereby determining the position of the through hole determined to be defective. Configure to output information externally.

[産業上の利用分野] 本発明は、プリント板のスルーホールを検査する技術に
係り、特に、光学的手段を用いてスルーホール内部に欠
陥が有るか否かを検査する装置の構成に関する。
[Industrial Field of Application] The present invention relates to a technique for inspecting through holes in printed circuit boards, and particularly to the configuration of an apparatus that uses optical means to inspect whether or not there are defects inside the through holes.

〔従来の技術、および発明が解決しようとする課題〕[Prior art and problems to be solved by the invention]

第6図に従来のスルーホール検査装置の一構成例が示さ
れる。
FIG. 6 shows an example of the configuration of a conventional through-hole inspection device.

同図(a)において、30はプリント板、31.32は
スルーホール、33は該スルーホールを光から遮蔽する
ためのローラーマスク、34はスルーホールを通過した
光、あるいは該スルーホールから漏れる光を結像するた
めのレンズ、35.36はそれぞれスルーホール31.
32からの光を検出してその光強度に応じた信号を生成
する電荷結合素子(CCD)、37はCCD35の出力
信号を所定時間(スルーホール31から32にローラー
マスク33を移動させるのに要する時間)だけ遅延させ
る回路、そして38は該遅延回路の出力(スルーホール
位置信号)とCCD36の出力(漏光信号)に応答して
欠陥の有無を指示する信号を生成するアンドゲートを示
す。
In the same figure (a), 30 is a printed board, 31 and 32 are through holes, 33 is a roller mask for shielding the through holes from light, and 34 is light passing through the through holes or light leaking from the through holes. Lenses 35 and 36 for forming images are through holes 31. and 36, respectively.
A charge-coupled device (CCD) 37 detects light from 32 and generates a signal corresponding to the intensity of the light. 38 is an AND gate that generates a signal indicating the presence or absence of a defect in response to the output of the delay circuit (through-hole position signal) and the output of the CCD 36 (light leakage signal).

なお、同図(b)は上述した各信号とスルーホールの位
置関係をイメージ的に示した図である。
Note that FIG. 3B is a diagram conceptually showing the positional relationship between each of the above-mentioned signals and the through holes.

この形態では、スルーホール内部で生じたメ・ンキの「
途切れ」を検出するために以下の方法を用いる。
In this form, the "
The following method is used to detect "interruptions".

まず、プリント板30に対して底部から光を照射し、ス
ルーホール31からの通過光とプリント板の基材からの
透過光をCCD35で検出し、両者の光強度を比較して
当該スルーホールの位置を決定する(スルーホール位置
信号)。次いで、プリント板30の底部から光を照射し
たまま、ローラーマスク33を移動させてスルーホール
32の位置を遮蔽する。
First, the printed board 30 is irradiated with light from the bottom, and the CCD 35 detects the light passing through the through hole 31 and the light transmitted from the base material of the printed board, and compares the light intensity of the two to detect the light passing through the through hole 31. Determine the position (through-hole position signal). Next, the roller mask 33 is moved to block the position of the through hole 32 while the light is irradiated from the bottom of the printed board 30.

この時、遮蔽されたスルーホールの内部が正常にメツキ
されていれば(つまり、スルーホール内部に欠陥が無い
場合)、スルーホール32から漏れ出す光の量は極めて
少ない。これに対しスルーホール内部のメツキが一部で
も欠けていれば(つまり、スルーホール内部に欠陥が有
る場合)、基材部から当該「欠け」部を通してスルーホ
ール内に成る程度の量の光が漏れる。この漏光はCCD
36により検出される(漏光信号)。従って、両者の場
合における漏光の強度差を比較することにより、スルー
ホールに欠陥が有るか否かを検出することができる。
At this time, if the inside of the shielded through hole is properly plated (that is, if there is no defect inside the through hole), the amount of light leaking out from the through hole 32 is extremely small. On the other hand, if even a part of the plating inside the through hole is missing (in other words, there is a defect inside the through hole), a sufficient amount of light will pass from the base material through the "chipped" part and into the through hole. Leak. This leakage light is CCD
36 (light leakage signal). Therefore, by comparing the difference in intensity of light leakage in both cases, it is possible to detect whether or not there is a defect in the through hole.

ところがこの方法では、プリント板30を底部から照明
し、上部側で透過光を観測するようにしているため、プ
リント板30の基材には透過光が検出できる程度に光を
透過する性質が要求される。そのため、従来の検査方法
では、底部に金属層等、光を遮蔽する層を有するプリン
ト板には適用できないという欠点がある。
However, in this method, the printed board 30 is illuminated from the bottom and the transmitted light is observed from the top, so the base material of the printed board 30 is required to have the property of transmitting light to the extent that the transmitted light can be detected. be done. Therefore, the conventional inspection method has the disadvantage that it cannot be applied to printed boards that have a layer that blocks light, such as a metal layer, on the bottom.

本発明は、かかる従来技術における課題に鑑み創作され
たもので、底部に光を遮蔽する層を有するプリント板に
対しても適用可能なスルーホール検査装置を提供するこ
とを目的としている。
The present invention was created in view of the problems in the prior art, and an object of the present invention is to provide a through-hole inspection device that can be applied to printed boards that have a light-shielding layer on the bottom.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記課題を解決するため、本発明では、プリント板を上
部から照明し、それによって基材部で生じる蛍光がスル
ーホール内に漏れるか否かを検出している。つまり、ス
ルーホールに欠陥が有った場合の当該欠陥への蛍光の「
漏れ込み」を利用している。
In order to solve the above problems, in the present invention, a printed board is illuminated from above, and it is detected whether or not fluorescence generated in the base material part leaks into the through hole. In other words, if there is a defect in the through hole, the fluorescence to the defect
It uses "leakage".

従って、本発明によれば、底部に光を遮蔽する層を有す
るプリント板に設けられたスルーホールの欠陥の有無を
検査する装置であって、前記プリント板の基材部から発
生する蛍光の波長成分を含まない光を該プリント板に対
して上部がら照射し、該照射された領域を結像する光学
系と、該結像された光を反射光成分と蛍光成分に分離す
る手段と、該分離された反射光成分および蛍光成分を検
出してそれぞれ光強度に基づき第1および第2の検出パ
ターンを生成する手段と、該第1の検出パターンに基づ
いて前記スルーホールの位置を決定すると共に、前記第
2の検出パターンに基づいて該スルーホールの位置に対
応する領域のパターンを抽出する手段と、該抽出された
パターンの輝度に基づき当該スルーホールに欠陥が有る
か否かを判定する手段とを具備し、それによって欠陥と
判定されたスルーホールの位置の情報を外部に出力する
ようにしたことを特徴とするスルーホール検査装置が提
供される。
Therefore, according to the present invention, there is provided an apparatus for inspecting the presence or absence of defects in a through-hole provided in a printed board having a light-shielding layer at the bottom, the apparatus comprising: a wavelength of fluorescence generated from a base material portion of the printed board; an optical system that irradiates the printed board with component-free light from above and forms an image of the irradiated area; a means for separating the imaged light into a reflected light component and a fluorescent component; means for detecting the separated reflected light component and fluorescent component to generate first and second detection patterns based on the light intensity, respectively; and determining the position of the through hole based on the first detection pattern; , means for extracting a pattern in an area corresponding to the position of the through hole based on the second detection pattern, and means for determining whether or not the through hole has a defect based on the brightness of the extracted pattern. Provided is a through-hole inspection device characterized in that the information on the position of the through-hole determined to be defective is outputted to the outside.

〔作用〕[Effect]

上述した構成によれば、スルーホール内部から蛍光が検
出された場合に、当該スルーホール内部のメツキ部分に
「途切れ」が有る(つまり欠陥をもっている)と判定す
ることができる。つまり本発明では、従来形に見られた
ようにスルーホールを通過する光の量の多寡に応じて欠
陥の有無を検出するのではなく、プリント板の基材部か
ら発生する蛍光がスルーホール内部に漏れ込むか否かを
検出することで、欠陥の有無を判定している。
According to the above-described configuration, when fluorescence is detected from inside the through hole, it can be determined that there is an "interruption" (that is, a defect) in the plating portion inside the through hole. In other words, in the present invention, instead of detecting the presence or absence of a defect depending on the amount of light passing through the through hole as in the conventional type, the fluorescence generated from the base material of the printed board is detected inside the through hole. The presence or absence of a defect is determined by detecting whether or not it leaks into the surface.

蛍光は、プリント板の基材部に用いられる成る種の物質
(例えば、エポキシ、ポリイミド等)に紫外線等のよう
に波長の短い光線を照射した時に見られる現象であり、
照射された光線のエネルギーによって物質を構成する原
子が励起され、元の状態に戻る際に生じる可視光を指す
Fluorescence is a phenomenon that occurs when certain materials (e.g., epoxy, polyimide, etc.) used in the base material of printed circuit boards are irradiated with short wavelength light such as ultraviolet light.
This refers to the visible light produced when the atoms that make up a substance are excited by the energy of the irradiated light and return to their original state.

このように、従来の検査形態とは異なる原理に基づいて
スルーホールを検査するようにしているので、底部に光
を遮蔽する層を有するプリント板に対しても本装置を適
用することができる。
In this way, since through-holes are inspected based on a principle different from conventional inspection methods, the present apparatus can also be applied to printed boards that have a layer that blocks light at the bottom.

なお、本発明の他の構成上の特徴および作用の詳細につ
いては、添付図面を参照しつつ以下に記述される実施例
を用いて説明する。
Note that other structural features and details of the operation of the present invention will be explained using the embodiments described below with reference to the accompanying drawings.

〔実施例〕 第1図には本発明の一実施例としてのスルーホール検査
装置の構成が一部模式的に示される。
[Embodiment] FIG. 1 schematically shows a part of the configuration of a through-hole inspection apparatus as an embodiment of the present invention.

同図において、1はプリント板、2は該プリント板を構
成する基材、3はスルーホール、4はプリント板1の底
部に形成された金属層(光を遮蔽する層)を示す。また
、10は光源としての高圧水銀灯、11は光源工0から
の光を所定の位置に集光させるための凹面鏡の形態をも
つミラー、12は該ミラーで反射された光を平行光にす
るためのレンズ、13は該レンズを通して供給される光
のうち特定の波長成分をもつ光のみを透過する色フィル
タを示す。
In the figure, 1 is a printed board, 2 is a base material constituting the printed board, 3 is a through hole, and 4 is a metal layer (layer for blocking light) formed at the bottom of the printed board 1. Further, 10 is a high-pressure mercury lamp as a light source, 11 is a mirror in the form of a concave mirror for focusing the light from the light source 0 on a predetermined position, and 12 is for converting the light reflected by the mirror into parallel light. The lens 13 represents a color filter that transmits only light having a specific wavelength component among the light supplied through the lens.

この色フィルタ13は、第2図(a)に示されるように
、プリント板10基材部2から発生する蛍光の波長成分
をもつ光(蛍光波長帯域の光)を透過しないように、言
い換えると、レンズ12を通して供給される光から蛍光
成分を除いた光を透過するように波長特性が設定されて
いる。
As shown in FIG. 2(a), this color filter 13 is arranged so as not to transmit light having a fluorescence wavelength component (light in the fluorescence wavelength band) generated from the base material portion 2 of the printed board 10. , wavelength characteristics are set so that the light supplied through the lens 12, excluding the fluorescent component, is transmitted.

高圧水銀灯10、ミラー11、レンズ12および色フィ
ルタ13は、上述した特定の波長成分をもつ光がプリン
ト板lに対して上部から照射されるように配設されてい
る。また、14はプリント板1上の照射された領域を所
定の位置に結像するレンズ、15は該所定の位置に配設
されてその結像光を反射光成分と蛍光成分に分離する色
フィルタを示す。
The high-pressure mercury lamp 10, the mirror 11, the lens 12, and the color filter 13 are arranged so that the printed board 1 is irradiated with light having the above-mentioned specific wavelength component from above. Further, 14 is a lens that forms an image of the irradiated area on the printed board 1 at a predetermined position, and 15 is a color filter that is disposed at the predetermined position and separates the imaged light into a reflected light component and a fluorescent component. shows.

この色フィルタ15は、第2図(b) 、 (C)に示
されるように、蛍光波長帯域を除いた成分のみを透過し
且つ蛍光波長帯域の成分のみを反射するように波長特性
が設定されている。
As shown in FIGS. 2(b) and 2(C), this color filter 15 has wavelength characteristics set so as to transmit only components excluding the fluorescence wavelength band and reflect only components in the fluorescence wavelength band. ing.

16は色フィルタ15を透過した光(プリント板lから
の反射光)成分を検出してその光強度に応した信号(検
出パターン)を生成するCCDカメラ、17は色フィル
タ15で反射された光(プリント板1の基材部2から発
生する蛍光)成分を検出してその光強度に応じた信号(
検出パターン)を生成するCCDカメラを示す。なお、
10〜17の構成要素は本装置における光学系を構成し
ている。
16 is a CCD camera that detects the light component transmitted through the color filter 15 (reflected light from the printed board l) and generates a signal (detection pattern) corresponding to the intensity of the light; 17 is the light reflected by the color filter 15; (fluorescence generated from the base material 2 of the printed board 1) component is detected and a signal (
A CCD camera that generates a detection pattern) is shown. In addition,
Components 10 to 17 constitute an optical system in this device.

また、21.22はそれぞれCCDカメラ16.17で
検出されたパターン(画像データ)を−時的に格納して
おくための画像バッファ、23は画像バッファ21のデ
ータに基づいてスルーホールの位置を決定する回路、2
4は画像バッファ22のデータに基づいて当該スルーホ
ールの位置に対応する領域のパターンを抽出する回路、
そして25は該抽出されたパターンの輝度に基づいて当
該スルーホールに欠陥が有るか否かを判定する回路を示
し、この欠陥有無判定回路25によって欠陥と判定され
たスルーホールの位置の情報は、欠陥情報出力として外
部に出力される。なお、21〜25の構成要素は本装置
における画像処理系を構成している。
Further, 21 and 22 are image buffers for temporarily storing the patterns (image data) detected by the CCD cameras 16 and 17, respectively, and 23 is for determining the position of the through hole based on the data of the image buffer 21. Determining circuit, 2
4 is a circuit that extracts a pattern of an area corresponding to the position of the through hole based on the data of the image buffer 22;
Reference numeral 25 indicates a circuit that determines whether or not the through hole has a defect based on the brightness of the extracted pattern, and the information on the position of the through hole determined to be defective by the defect presence determination circuit 25 is as follows. It is output externally as defect information output. Note that components 21 to 25 constitute an image processing system in this apparatus.

第3図にはCCDカメラ16.17による(スルーホー
ル近傍の領域を含む)検出パターンとそれに対応する検
出信号レベルの関係が示される。
FIG. 3 shows the relationship between the detection pattern (including the area near the through hole) detected by the CCD camera 16, 17 and the corresponding detection signal level.

図中、(a) 、 (b)はそれぞれ正常なスルーホー
ルに対するCCDカメラ16.17の検出パターンと検
出信号レベルの関係を示し、一方、(c) 、 (d)
はそれぞれ欠陥をもつスルーホールに対するCCDカメ
ラ16.17の検出パターンと検出信号レベルの関係を
示す。
In the figure, (a) and (b) respectively show the relationship between the detection pattern of the CCD camera 16 and 17 and the detection signal level for normal through holes, while (c) and (d)
shows the relationship between the detection pattern of the CCD cameras 16 and 17 and the detection signal level for each defective through hole.

第3図(a) 、 (c)を参照すると、CCDカメラ
16では、スルーホールの欠陥の有無にかかわらず、基
材部2の輝度レベルに比してスルーホールの周囲の金属
部(メツキ部分)Aで相対的に明るく、スルーホール内
部Bで相対的に暗くなっているパターンが検出される。
Referring to FIGS. 3(a) and 3(c), in the CCD camera 16, the metal part (plated part ) A pattern is detected that is relatively bright at A and relatively dark at B inside the through hole.

このパターンの検出により、当該スルーホールの位置を
決定することができる。
By detecting this pattern, the position of the through hole can be determined.

一方、CCDカメラ17では、正常なスルーホールの場
合(第3図(b)参照)には、基材部2からの蛍光の「
漏れ込み」が無いので当該蛍光が検出されることはない
が、欠陥をもつスルーホールの場合(同図(d)参照)
には、当該欠陥部を通してスルーホール内部Bに蛍光が
漏れるので、スルーホール内部Bではスルーホール周囲
の金属部Aに比して明るくなっているパターンが検出さ
れる。
On the other hand, in the case of a normal through hole (see FIG. 3(b)), the CCD camera 17 detects the fluorescence from the base member 2.
Since there is no "leakage", the fluorescence is not detected, but in the case of a defective through hole (see figure (d))
In this case, fluorescence leaks into the inside B of the through hole through the defective part, so a pattern that is brighter in the inside B of the through hole than in the metal part A around the through hole is detected.

この両者のパターンの違い、すなわち輝度の違いから、
欠陥の有無を検出することができる。
Due to the difference in these two patterns, that is, the difference in brightness,
The presence or absence of defects can be detected.

このように本実施例では、従来形に見られたようにスル
ーホールを通過する光の量の多寡に応じて欠陥の有無を
検出するのではなく、プリント板1の基材部2から発生
する蛍光がスルーホール3内に漏れ込むか否かを検出す
ることで、欠陥の有無を判定している。そのため、本実
施例のように底部に光を遮蔽する層4を有するプリント
板1に対しても本装置を適用することができ、スルーホ
ール3の欠陥抽出を容易に行なえる。
In this way, in this embodiment, the presence or absence of a defect is not detected according to the amount of light passing through a through hole, as in the conventional type, but the presence or absence of a defect is detected from the base material portion 2 of the printed board 1. The presence or absence of a defect is determined by detecting whether or not fluorescence leaks into the through hole 3. Therefore, the present device can be applied to a printed board 1 having a light-shielding layer 4 at the bottom as in the present embodiment, and defects in through holes 3 can be easily extracted.

なお、上述した実施例では反射光と蛍光との分離を行う
ための手段として1つの色フィルタ15を用いた場合に
ついて説明したが、その分離手段を他の形態で代用して
もよい。その−例は第4図に示される。
In the above-described embodiment, a case was described in which one color filter 15 was used as a means for separating reflected light and fluorescence, but other forms of separating means may be used instead. An example thereof is shown in FIG.

図示の構成例では、反射光と蛍光の分離を行う手段は、
レンズ14を通して結像された光を2方向に分離するビ
ームスプリッタ18と、分離された一方の光を受光して
反射光成分のみを透過し、CCDカメラ16に供給する
色フィルタ19と、分離された他方の光を受光して蛍光
成分のみを透過し、CCDカメラ17に供給する色フィ
ルタ20とから構成されている。
In the illustrated configuration example, the means for separating reflected light and fluorescence is
A beam splitter 18 separates the light imaged through the lens 14 into two directions, and a color filter 19 receives one of the separated lights, transmits only the reflected light component, and supplies it to the CCD camera 16. The color filter 20 receives the other light, transmits only the fluorescent component, and supplies it to the CCD camera 17.

第5図(a) 、 (b)にはそれぞれ色フィルタ19
.20の波長に対する透過率の特性が示される。図示さ
れるように、色フィルタ19では蛍光波長帯域の光を透
過しないように、つまりレンズ14を通して結像された
反射光成分のみを透過するように波長特性が設定されて
おり、一方、色フィルタ20では蛍光波長帯域の成分の
みを透過するように波長特性が設定されている。
In FIGS. 5(a) and 5(b), color filters 19 are shown.
.. Transmittance characteristics for 20 wavelengths are shown. As shown in the figure, the wavelength characteristics of the color filter 19 are set so as not to transmit light in the fluorescence wavelength band, that is, to transmit only the reflected light component imaged through the lens 14. In No. 20, the wavelength characteristics are set so that only components in the fluorescence wavelength band are transmitted.

〔発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、底部に光を遮蔽す
る層を有するプリント板に対しても、そのスルーホール
の欠陥抽出を容易に行うことができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, defects in through-holes can be easily extracted even in a printed board having a light-shielding layer at the bottom.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例としてのスルーホール検査装
置の構成を一部模式的に示したブロック図、 第2図(a)〜(c)は第1図における色フィルタの波
長に対する透過率または反射率の特性を示すグラフ、 第3図(a)〜(d)は第1図におけるCCDカメラに
よる検出パターンとそれに対応する検出信号レベルの関
係を示す図、 第4図は本発明の他の実施例における光学系の構成を一
部模式的に示した図、 第5図(a)および(b)は第4図における色フィルタ
の波長に対する透過率の特性を示すグラフ、第6図(a
)および(b)は従来形の一例としてのスルーホール検
査装置の構成を示す斜視図、である。 (符号の説明) 1・・・プリント板、2・・・基材部、3・・・スルー
ホール、4・・・光を遮蔽する層、10・・・光源(高
圧水銀灯)、11・・・ミラー、12・・・レンズ、1
3・・・色フィルタ、14・・・レンズ、15・・・色
フィルタ、16.17・・・CCDカメラ、18・・・
ビームスプリッタ、19.20・・・色フィルタ、21
.22・・・画像バッファ、23・・・スルーホール位
置決定回路、24・・・パターン抽出回路、25・・・
欠陥有無判定回路。 位置                 位置CCDカ
メラ(16)             CCDカメラ
(17)(a)                 (
b)位置                 位置CO
Dカメラ(16)            CCDカメ
ラ(17)(c)                 
 (d)第3図 色フィルタ (19) (b) 第5図 従来形の一例としてのスルーホール 第6 30・・・プリント板 31 、32・・・スルーホール 33・・・ローラーマスク jし検査装置の構成を示す斜視図 因 34・・・レンズ 35 、36・・・COD
FIG. 1 is a block diagram partially schematically showing the configuration of a through-hole inspection device as an embodiment of the present invention. FIGS. 3(a) to 3(d) are graphs showing the relationship between the detection pattern by the CCD camera in FIG. 1 and the corresponding detection signal level. FIG. Figures 5(a) and 5(b) are graphs showing the transmittance characteristics with respect to wavelength of the color filter in Figure 4; Figure 6 is a diagram partially schematically showing the configuration of an optical system in another embodiment; (a
) and (b) are perspective views showing the configuration of a through-hole inspection device as an example of a conventional type. (Explanation of symbols) 1... Printed board, 2... Base material part, 3... Through hole, 4... Light blocking layer, 10... Light source (high pressure mercury lamp), 11...・Mirror, 12... Lens, 1
3... Color filter, 14... Lens, 15... Color filter, 16.17... CCD camera, 18...
Beam splitter, 19.20... Color filter, 21
.. 22... Image buffer, 23... Through hole position determination circuit, 24... Pattern extraction circuit, 25...
Defect detection circuit. Position Position CCD camera (16) CCD camera (17) (a) (
b) Position Position CO
D camera (16) CCD camera (17) (c)
(d) Figure 3 Color filter (19) (b) Figure 5 Through holes as an example of conventional type No. 6 30...Printed board 31, 32...Through holes 33...Roller mask inspection Perspective diagram showing the configuration of the device 34... Lenses 35, 36... COD

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.底部に光を遮蔽する層(4)を有するプリント板(
1)に設けられたスルーホール(3)の欠陥の有無を検
査する装置であって、 前記プリント板の基材部(2)から発生する蛍光の波長
成分を含まない光を該プリント板に対して上部から照射
し、該照射された領域を結像する光学系(10〜14)
と、 該結像された光を反射光成分と蛍光成分に分離する手段
(15;18〜20)と、 該分離された反射光成分および蛍光成分を検出してそれ
ぞれ光強度に基づき第1および第2の検出パターンを生
成する手段(16,17)と、該第1の検出パターンに
基づいて前記スルーホールの位置を決定すると共に、前
記第2の検出パターンに基づいて該スルーホールの位置
に対応する領域のパターンを抽出する手段(23,24
)と、該抽出されたパターンの輝度に基づき当該スルー
ホールに欠陥が有るか否かを判定する手段(25)とを
具備し、それによって欠陥と判定されたスルーホールの
位置の情報を外部に出力するようにしたことを特徴とす
るスルーホール検査装置。
1. Printed board with a light-shielding layer (4) on the bottom (
1) is a device for inspecting the presence or absence of defects in the through hole (3) provided in the printed board, the device for inspecting the presence or absence of defects in the through-hole (3) provided in the printed board, which directs light that does not include wavelength components of fluorescence generated from the base material portion (2) of the printed board to the printed board. an optical system (10 to 14) that illuminates the irradiated area from above and forms an image of the irradiated area;
and means (15; 18 to 20) for separating the imaged light into a reflected light component and a fluorescent component; means (16, 17) for generating a second detection pattern; determining the position of the through hole based on the first detection pattern; and determining the position of the through hole based on the second detection pattern; Means for extracting the pattern of the corresponding area (23, 24
) and a means (25) for determining whether or not the through hole has a defect based on the brightness of the extracted pattern, and thereby transmitting information on the position of the through hole determined to be defective to the outside. A through-hole inspection device characterized by outputting.
2.前記反射光成分と蛍光成分に分離する手段は、反射
光成分を透過し且つ蛍光成分を反射する特性またはその
逆の特性を有する色フィルタ(15)を具備することを
特徴とする請求項1に記載のスルーホール検査装置。
2. 2. The means for separating the reflected light component and the fluorescent component comprises a color filter (15) having a property of transmitting the reflected light component and reflecting the fluorescent component, or vice versa. The through-hole inspection device described.
3.前記反射光成分と蛍光成分に分離する手段は、前記
結像された光を2方向に分離するビームスプリッタ(1
8)と、該分離された一方の光に対して反射光成分のみ
を透過する色フィルタ(19)と、該分離された他方の
光に対して蛍光成分のみを透過する色フィルタ(20)
とを具備することを特徴とする請求項1に記載のスルー
ホール検査装置。
3. The means for separating the reflected light component and the fluorescent component includes a beam splitter (1) that separates the imaged light into two directions.
8), a color filter (19) that transmits only the reflected light component of one of the separated lights, and a color filter (20) that transmits only the fluorescent component of the other separated light.
The through-hole inspection device according to claim 1, comprising: a through-hole inspection device;
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007528490A (en) * 2004-03-05 2007-10-11 オーボテック リミテッド System and method for inspecting electrical circuits utilizing reflective and fluorescent images

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