JPH0414458A - Layer-to-layer bonding of plate - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明はノズルを複数個有し、特にノズル径が微細であ
り、ノズル間ピッチが小さいプレートを多層接合するの
に有効な方法に関するものである。主にインクジェット
記録装置のヘッド構造体であるノズルプレートとノズル
の他にインク流路等も形成されたベースプレートとを接
合する方法に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field 1] The present invention relates to a method effective for multi-layer joining plates having a plurality of nozzles, particularly those having fine nozzle diameters and a small pitch between the nozzles. be. The present invention mainly relates to a method of joining a nozzle plate, which is a head structure of an inkjet recording device, to a base plate, in which ink channels and the like are formed in addition to nozzles.
従来の技術を特にインクジェット記録装置のヘッド構造
体であるノズルプレートと、ノズル、インク流路等を有
するベースプレートとの接合方法に関して述べる。The conventional technology will be described in particular with regard to a method of joining a nozzle plate, which is a head structure of an inkjet recording apparatus, and a base plate having nozzles, ink flow paths, and the like.
ノズルプレートとベースプレートとを接合する際の主た
る必要特性は以下の3点である。The following three main characteristics are required when joining the nozzle plate and the base plate.
第1に、ノズル内の目詰まりがないことである。第2に
、接合材料がシール剤の役割をすることによって、隣接
するノズル間でインクの流入がないことである。第3に
、ノズルプレートとベースプレートとは充分な接合強度
によって固定されていることである。First, there is no clogging in the nozzle. Second, since the bonding material acts as a sealant, no ink flows between adjacent nozzles. Thirdly, the nozzle plate and the base plate are fixed with sufficient bonding strength.
上記3点を満足させるため従来は以下の2通りの方法が
採られてきた。Conventionally, the following two methods have been adopted to satisfy the above three points.
第1の方法は、感光性樹脂を接合材料として用いる方法
である。−例を第2図に示す、第2図はノズルを有する
ベースプレート上にパターニングされた感光性樹脂の形
状を示したものである0図中1はベースプレート、2は
ノズル、3はバターニングされた感光性樹脂である。こ
の感光性樹脂3は、露光、現像、もしくは剥離という工
程を経て形成されたものである。The first method is to use a photosensitive resin as a bonding material. - An example is shown in Figure 2. Figure 2 shows the shape of photosensitive resin patterned on a base plate with nozzles. It is a photosensitive resin. This photosensitive resin 3 is formed through a process of exposure, development, or peeling.
第2の方法は、接着剤をスクリーン印刷によってパター
ニング印刷し、接合材料として用いる方法である6被印
刷対象は、ノズルプレートの場合とベースプレートの場
合とがあるが、ベースプレートの場合の方が印刷時の位
置ずれ等を考廖すると良い。The second method is to pattern-print the adhesive by screen printing and use it as a bonding material.6 The object to be printed can be a nozzle plate or a base plate, but the base plate is more suitable for printing. It is a good idea to consider possible misalignment of the
以上のごとく、第1の方法、第2の方法によりシール部
を形成した後にノズルプレートとベースプレートとを貼
合わせ、インクジェット記録装置用ヘッドのインク噴出
部が形成される。As described above, after the seal portion is formed by the first method and the second method, the nozzle plate and the base plate are bonded together to form the ink ejection portion of the head for an inkjet recording device.
[発明が解決しようとする課題]
以上述べてきた従来技術でのノズルプレートとベースプ
レートとを接合する方法においては、以下の課題を有す
る。[Problems to be Solved by the Invention] The conventional methods described above for joining a nozzle plate and a base plate have the following problems.
第1の感光性樹脂を用いたパターニング方法ではパター
ン精度の面では優位であるものの、加工のだめの工程が
多く複雑である。また、感光性樹脂の接着強度及び耐イ
ンク性を考虜すると、感光性樹脂の選定はかなりの制約
を受ける。Although the patterning method using the first photosensitive resin is superior in terms of pattern accuracy, it is complicated due to the large number of processing steps. Furthermore, when considering the adhesive strength and ink resistance of photosensitive resins, the selection of photosensitive resins is subject to considerable restrictions.
第2のスクリーン印刷を用いたバターニング方法では、
印刷時のバターニング位置精度及び接合材料の粘度や厚
みの管理に限界がある。特にノズルの隣接ピッチが10
0μm以下の場合、パターンの位置ずれ或は貼合わせ時
の接合材料の流れ出しから、ノズルの目詰まりを招き、
インクの安定した噴出性能を確保できなくなる。In the second method of buttering using screen printing,
There are limits to the control of patterning position accuracy and the viscosity and thickness of bonding materials during printing. Especially when the adjacent pitch of nozzles is 10
If it is less than 0 μm, it may cause nozzle clogging due to pattern misalignment or flow of bonding material during bonding.
Stable ejection performance of ink cannot be ensured.
本発明はこのような課題を解決するものであり、その目
的とするところは、ノズルプレートとベースプレートと
の接合方法を容易にすると同時に、接合のための接合材
料の選定を広範囲にし。The present invention is intended to solve these problems, and its purpose is to facilitate the method of joining a nozzle plate and a base plate, and at the same time, to allow a wide selection of joining materials for joining.
最終的には充分な接合強度と、インクの安定した噴出性
能を確保するところにある。The ultimate goal is to ensure sufficient joint strength and stable ink jetting performance.
[課題を解決するための手段]
複数のノズルが形成されてなるプレートを、少なくとも
2枚接合するプレートの多層接合方法において、前記プ
レートのうち少な(とも−枚のプレートの一面全面に接
合材料を塗布もしくは貼付した後、前記プレートの面上
に形成された前記接合材料の薄膜及び前記ノズル内に浸
透した前記接合材料を、光子エネルギーにより除去する
ことを特徴とする。[Means for Solving the Problems] In a multilayer joining method for joining at least two plates each having a plurality of nozzles formed therein, a joining material is applied to one entire surface of at least one of the plates. After being applied or pasted, the thin film of the bonding material formed on the surface of the plate and the bonding material that has penetrated into the nozzle are removed by photon energy.
〔実 施 例1
(実施例1)
第1図(a)(b)(c)に本発明の第一実施例として
、−ノズルプレートとベースプレートとの接合工程を順
を追って示す0本実施例においては接合材料として、フ
ィルム状熱硬化型接着剤を用いた。[Example 1 (Example 1) FIGS. 1(a), (b), and (c) show a first embodiment of the present invention. In this case, a film-like thermosetting adhesive was used as the bonding material.
図中(a)図はノズル2、インク流路(図示せず)が形
成されたベースプレート1の接合面1aにフィルム状の
接合材料3を貼付する工程を示している。この接合材料
3は膜厚が一定であり、強い接着性を有し、ホットプレ
スを用いることによって加圧力=: 1 kg/cm”
、加熱温度=80℃、加熱時間=2秒の条件にて短時
間で貼付可能である。予め、プレス加工等により、必要
とする形状、寸法に加工しておくと良い。Figure (a) in the figure shows the step of attaching a film-like bonding material 3 to the bonding surface 1a of the base plate 1 on which the nozzle 2 and the ink flow path (not shown) are formed. This bonding material 3 has a constant film thickness, has strong adhesive properties, and can be applied with a pressure of 1 kg/cm by using a hot press.
It can be pasted in a short time under the conditions of heating temperature = 80° C. and heating time = 2 seconds. It is advisable to process it into the required shape and dimensions in advance by press working or the like.
(b)図は本実施例のもっとも特徴とすべき工程であり
、ベースプレート1の接合面に接合材料3を貼付した後
、ベースプレート面のノズル2を塞いだ接合材料3を、
光子エネルギーとしてエキシマレーザ−5を照射するこ
とにより除去する工程を示している。この際、エキシマ
レーザ−5をノズル穴径のサイズまで絞りこんでl穴ず
つ除去することも可能であるが、ノズル穴径のサイズと
略同サイズの穴を複数個あけた金属製プレートをマスク
と−して用い、複数個同時に除去することによって、時
間短縮することも可能である。尚、次工程の接合におい
て、接合材料がノズル内に目詰まりすることを防止する
ために、接合材料の除去量をノズル穴径より大きめに設
定するとよい。この設定は、接合材料の厚み、物性、接
合荷重、接合温度、接合時間等の条件から最適値を見い
だし決めることができる。The figure (b) shows the most characteristic process of this embodiment, in which the bonding material 3 is pasted on the bonding surface of the base plate 1, and then the bonding material 3 is applied to the nozzle 2 on the base plate surface.
This shows a process of removing by irradiating with excimer laser 5 as photon energy. At this time, it is possible to narrow down the excimer laser 5 to the size of the nozzle hole diameter and remove one hole at a time, but it is also possible to remove one hole at a time by narrowing down the excimer laser 5 to the size of the nozzle hole diameter, but it is also possible to use a metal plate with multiple holes of approximately the same size as the nozzle hole diameter as a mask. It is also possible to shorten the time by removing multiple pieces at the same time. In addition, in order to prevent the bonding material from clogging the nozzle in the next step of bonding, it is preferable to set the removal amount of the bonding material to be larger than the nozzle hole diameter. This setting can be determined by finding the optimum value from conditions such as the thickness of the bonding material, physical properties, bonding load, bonding temperature, and bonding time.
(C)図は最後の上記ベースプレート1とノズルプレー
ト4との接合を行う工程を示している。The figure (C) shows the final step of joining the base plate 1 and nozzle plate 4.
接合前にベースプレートlとノズルプレート4とのノズ
ルの位置合わせを行った後に、前記ホットプレスを用い
ることによって加圧力= 2 kg/ cm”加熱温度
=100℃、加熱時間=10秒の条件にて短時間で接合
可能である。After aligning the nozzles between the base plate 1 and the nozzle plate 4 before joining, the hot press was used to apply pressure = 2 kg/cm" under the conditions of heating temperature = 100°C and heating time = 10 seconds. Can be joined in a short time.
以上の実施例において、接合材料3の貼付する面をベー
スプレートlの接合面ではなく、ノズルプレート4の接
合面4aにしても何ら問題はない。又、接合材料を上記
のような熱硬化型接着剤の他に感圧性接着剤にしても良
い。In the above embodiment, there is no problem even if the surface to which the bonding material 3 is attached is the bonding surface 4a of the nozzle plate 4 instead of the bonding surface of the base plate l. Furthermore, the bonding material may be a pressure-sensitive adhesive in addition to the thermosetting adhesive described above.
(実施例2)
次に、第2実施例として、ノズルプレートとベースプレ
ートとを接合材料を介して貼合わせた後に、ノズル内の
接合材料を除去する方法について述べる。この場合、先
ずノズルプレート、或はベスプレートどちらか一方に均
一な接着剤層を形成する。形成する方法としては、接合
材料がフィルム状接合材料である場合は実施例1と同様
である。熱硬化型樹脂、フォトレジスト、紫外線又は可
視光で硬化する感光性樹脂、硬化剤を用いた混合型接着
剤、嫌気性接着剤、シアノ系接着剤等の液状もしくは半
固形状接合材料である場合はスピナー法、スクリーン印
刷等が良好である。そして、ノズルプレート、ベースプ
レート両者を貼合わせ、それぞれの接合材料に応じた硬
化方法によって硬化させた後、ノズルプレート、或はベ
ースプレート側からノズル内に詰まった接合材料にエキ
シマレーザ−を照射することにより除去する。(Example 2) Next, as a second example, a method will be described in which a nozzle plate and a base plate are bonded together via a bonding material, and then the bonding material inside the nozzle is removed. In this case, first, a uniform adhesive layer is formed on either the nozzle plate or the base plate. The forming method is the same as in Example 1 when the bonding material is a film bonding material. Liquid or semi-solid bonding materials such as thermosetting resins, photoresists, photosensitive resins that cure with ultraviolet or visible light, mixed adhesives using curing agents, anaerobic adhesives, cyano adhesives, etc. The spinner method, screen printing, etc. are suitable. After the nozzle plate and base plate are bonded together and cured using a curing method suitable for each bonding material, the bonding material stuck in the nozzle is irradiated with an excimer laser from the nozzle plate or base plate side. Remove.
この際、エキシマレーザ−をノズル穴径のサイズまで絞
りこんでl穴ずつ除去することも可能であるが、ノズル
穴径と路間のサイズの穴を複数個あけた金属製プレート
をマスクとして用い、複数個同時に除去することによっ
て、時間短縮することも可能である。尚、ノズルプレー
トが金属製の場合、これをマスクとして使用可能である
ため、前記金属製プレートは必要ない。At this time, it is possible to narrow down the excimer laser to the size of the nozzle hole and remove one hole at a time, but it is also possible to use a metal plate with multiple holes the same size as the nozzle hole diameter as a mask. , it is also possible to reduce the time by removing a plurality of them at the same time. Note that if the nozzle plate is made of metal, it can be used as a mask, so the metal plate is not necessary.
以上述べてきたように、エキシマレーザ−等の光子エネ
ルギーによってノズルプレート面上及びノズル内の接合
材料を除去する方法を採ることによって、ノズルプレー
トとベースプレートとの接合方法が容易になると同時に
、接合のための接合材料の選定が広範囲になった。以下
ノズルプレートとベースプレートとを接合する際に用い
た接合材料を素状別、機能別に揚げる。As described above, by using a method of removing the bonding material on the nozzle plate surface and inside the nozzle using photon energy such as an excimer laser, the method of bonding the nozzle plate and the base plate becomes easy, and at the same time, the bonding process becomes easier. The selection of bonding materials for this has become wider. Below, the bonding materials used to bond the nozzle plate and base plate are classified by shape and function.
1)フィルム状接合材料
・熱硬化型接着剤
感圧性接着剤
2)液状もしくは半固形状接合材料
・熱硬化型樹脂
・フォトレジスト
・紫外線及び可視光で硬化する感光性樹脂・硬化剤を用
いる混合型接着剤
・嫌気性接着剤
・シアン系接着剤
[発明の効果]
以上述べたように1本発明によればノズルが形成された
プレートとの接合方法が容易になると同時に、接合のた
めの接合材料の選定が広範囲になる。したがって、特に
インクジェットヘッドに用いた場合には、充分な接合強
度と、インクの安定した噴出性能を確保することができ
る。1) Film bonding material, thermosetting adhesive, pressure sensitive adhesive 2) Liquid or semi-solid bonding material, thermosetting resin, photoresist, photosensitive resin that hardens with ultraviolet and visible light, mixture using a curing agent Mold adhesive, anaerobic adhesive, cyan adhesive [Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the method of joining with the plate on which the nozzle is formed becomes easy, and at the same time, the joining method for joining becomes easier. There is a wide range of materials to choose from. Therefore, especially when used in an inkjet head, sufficient bonding strength and stable ink jetting performance can be ensured.
第1図(a)(b)(c)は本発明の一実施例であるノ
ズルプレートとベースプレートとの接合方法を示す概略
図。
第2図は従来技術によって形成されたベースプレート面
上のシール形状の一例を示す概念図。
ベースプレート
ベースプレート内のノズル
接合材料
ノズルプレート
エキシマレーザ−
以上
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人 弁理士 鈴 木 喜三部(化1名)第1図
第2図FIGS. 1(a), 1(b), and 1(c) are schematic diagrams showing a method of joining a nozzle plate and a base plate according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a conceptual diagram showing an example of a seal shape on a base plate surface formed by a conventional technique. Base plate Nozzle bonding material in the base plate Nozzle plate excimer laser - Applicant Seiko Epson Corporation Representative Patent attorney Kisanbe Suzuki (1st name) Figure 1 Figure 2
Claims (5)
くとも2枚接合するプレートの多層接合方法において、
前記プレートのうち少なくとも一枚のプレートの一面全
面に接合材料を塗布もしくは貼付した後、前記プレート
の面上に形成された前記接合材料の薄膜及び前記ノズル
内に浸透した前記接合材料を、光子エネルギーにより除
去することを特徴とするノズルプレートの多層接合方法
。(1) In a multilayer joining method for joining at least two plates each having a plurality of nozzles formed therein,
After coating or pasting a bonding material on the entire surface of at least one of the plates, the thin film of the bonding material formed on the surface of the plate and the bonding material that has penetrated into the nozzle are exposed to photon energy. A multilayer bonding method for a nozzle plate, characterized by removing the nozzle plate with a multilayer bonding method.
とを特徴とする請求項1記載のプレートの多層接合方法
。(2) The method for joining multiple layers of plates according to claim 1, wherein all of the plates are made of plastic material.
らなることを特徴とする請求項1記載のプレートの多層
接合方法。(3) The multilayer joining method of plates according to claim 1, wherein at least one of the plates is made of a metal material.
ある熱硬化型樹脂、フォトレジスト、紫外線又は可視光
で硬化する感光性樹脂、硬化剤を用いた混合型接着剤、
嫌気性接着剤、シアノ系接着剤であることを特徴とする
請求項1又は2又は3記載のプレートの多層接合方法。(4) A thermosetting resin in which the bonding material is a liquid or semi-solid bonding material, a photoresist, a photosensitive resin that cures with ultraviolet or visible light, and a mixed adhesive using a curing agent;
4. The multilayer bonding method for plates according to claim 1, wherein the adhesive is an anaerobic adhesive or a cyano adhesive.
型接着剤、感圧性接着剤であることを特徴とする請求項
1又は2又は3記載のプレートの多層接合方法。(5) The multilayer bonding method for plates according to claim 1, 2 or 3, wherein the bonding material is a thermosetting adhesive or a pressure sensitive adhesive which is a film bonding material.
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-
1990
- 1990-05-08 JP JP11843490A patent/JP2867602B2/en not_active Expired - Fee Related
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JP2867602B2 (en) | 1999-03-08 |
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