JPH04127955U - 荷電粒子線装置用試料微動装置 - Google Patents
荷電粒子線装置用試料微動装置Info
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- JPH04127955U JPH04127955U JP3406491U JP3406491U JPH04127955U JP H04127955 U JPH04127955 U JP H04127955U JP 3406491 U JP3406491 U JP 3406491U JP 3406491 U JP3406491 U JP 3406491U JP H04127955 U JPH04127955 U JP H04127955U
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Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 5
- 206010044565 Tremor Diseases 0.000 title 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】荷電粒子線装置の試料微動装置において、試料
を傾斜させた時、傾斜台上部の機構に滑り落ちる力を発
生させないこと。 【構成】本装置は、傾斜テーブル8内に水平テーブル5
と同方向に移動できるおもり10を有する。水平テーブ
ル5とおもり10は連結線7によって連結され、その結
果、傾斜テーブル8を傾けた時、水平テーブル5に作用
する滑り落ちる力は、おもり10によって打ち消され
る。 【効果】試料を傾けても、試料を水平移動させる力は変
化しないため、小さい力で試料を移動できる。また正確
にしかも等速で試料を移動できる。
を傾斜させた時、傾斜台上部の機構に滑り落ちる力を発
生させないこと。 【構成】本装置は、傾斜テーブル8内に水平テーブル5
と同方向に移動できるおもり10を有する。水平テーブ
ル5とおもり10は連結線7によって連結され、その結
果、傾斜テーブル8を傾けた時、水平テーブル5に作用
する滑り落ちる力は、おもり10によって打ち消され
る。 【効果】試料を傾けても、試料を水平移動させる力は変
化しないため、小さい力で試料を移動できる。また正確
にしかも等速で試料を移動できる。
Description
【0001】
本考案は走査電子顕微鏡等、荷電粒子線装置における試料を傾斜し平行移動す
る試料微動装置に関する。
【0002】
従来の装置は特開昭61−220256号広報に記載のように試料を傾斜した時に、傾
斜台上部の水平移動台には、自重による滑り落ちる力が作用し、試料を昇る方向
に水平移動させるには、まずこの力を打ち消す力が必要となる。このため、余計
な力が必要となり正確な移動が困難となる。また移動する方向により加える力が
変わり等速移動が困難である。
【0003】
上記従来技術は試料を傾斜させた時に発生する滑り落ちる力について配慮がさ
れておらず、試料を傾斜方向に水平移動させるのに、滑り落ちる力を打ち消す余
計な力が必要となり、正確な動作が困難でまた等速移動が困難である問題があっ
た。
【0004】
本考案の目的は、試料を傾斜させても、傾斜台の上の機構に滑り落ちる力を発
生させないことにある。
【0005】
上記目的を達成するために、傾斜方向に水平移動する機構部と同等の質量のお
もりを傾斜テーブル中で傾斜方向に水平移動できるようにし、そして上記おもり
と傾斜方向に水平移動する機構部を連結し釣合いをとることにより、試料を傾斜
しても、傾斜方向に滑り落ちる力はおもりにより打ち消されるようにしたもので
ある。
【0006】
傾斜台を傾斜させると傾斜台上部の傾斜方向に水平移動する機構部に滑り落ち
る力が作用するが、同時に傾斜台中にあるおもりも傾斜し、おもりにも同等の力
が作用する。この時、上記機構部とおもりは連結されており、また互いに作用す
る力はそれぞれ逆方向のため、つり合いがとれ、その結果、傾斜方向に水平移動
する機構部には、滑り落ちる力は作用しない。
【0007】
以下、本考案の一実施例を図1により説明する。尚説明の都合上、電子ビーム
を用いた走査電子顕微鏡の例について説明する。これがオージェ装置であっても
イオン顕微鏡であっても同様に適用されることは言うまでもない。真空ポンプに
より高真空に保たれた試料室2には、電子線を細く絞り試料4に放射する電子光
学系1と、試料4より発生する二次電子を電気信号に変換する二次電子検出器3
が取り付いている。試料室2内では傾斜支持テーブル9が試料室2に固定され、
傾斜支持テーブル9に支持された傾斜テーブル8が傾斜することにより試料4を
傾斜することができる。傾斜テーブル8上部では、水平テーブル5が傾斜方向に
試料4を水平移動できる機構となっている。試料4は水平テーブル5に固定され
る。また傾斜テーブル8内には、傾斜方向に水平移動できるおもり10があり、
おもり10と水平テーブル5は、傾斜テーブル8に固定されたプーリ6を介して
連結線7によって連結されている。以上より構成されている。
【0008】
図2は図1の試料4を傾斜及び水平移動させる傾斜支持テーブル9より上部の
機構部を表しており、プーリ6,連結線7の代りにピニオンとラックを用いた場
合の例である。傾斜支持台9aに支持された傾斜台8aは、ウォームギア9cの
回転により傾斜台8aに固定された円弧ギア9bが回転し、傾斜する。傾斜台
8a上部には傾斜方向に水平移動する水平移動台5aがあり、両端を固定台8c
で支持されたおくりネジ8dが回転すると移動ガイド8eが移動し、接続金具
8fで連結された水平移動台5aは水平移動する。試料4は水平移動台5a上部
に固定される。傾斜台8aには突き抜いた穴があり、そこでおもり本体10aが
傾斜方向に水平移動できるようになっている。おもり本体10a上部にはおもり
ラック10bが取り付いており、傾斜台8aに固定され回転するピニオン8aに
より水平移動台5aに固定された移動台ラック5bの水平移動をおもり本体10a
に伝達する。
【0009】
図1より傾斜テーブル8を傾けて試料4を傾けた場合、傾斜テーブル8上部の
水平テーブル5も傾くため、滑り落ちる力が作用するが、同時に傾斜テーブル8
内のおもり10も同様の力が作用し、水平テーブル5とおもり10は連結線7に
より連結されているため、お互いに打ち消し合い、水平テーブル5は傾斜しても
常に滑り落ちる力が作用しない状態となる。
【0010】
本実施例によれば、試料4を傾斜しても水平テーブル5には滑り落ちる力が作
用しないため、試料4を傾斜させても試料4を水平方向に移動させる力は常に一
定となり、そのため滑り落ちる力が作用する時と比べて水平移動させる力は少な
く、また余計な力が作用しないため試料4を正確にしかも等速で移動できる効果
がある。
【0011】
図2はプーリ6,連結線7の代りに歯車を使用した実施例である。ウォームギ
ア9cを回すと傾斜台8aは傾斜をする。この時傾斜台8a上の水平移動台5a
には滑り落ちる力が作用するが同時に傾斜台8a内のおもり本体10aにも同様
の力が作用する。これらの力はそれぞれに取り付いている移動台ラック5b、お
もりラック10bがピニオン8bを介して打ち消しあうため水平移動台5aには
作用しなくなる。この実施例では、逆方向へ傾斜しても同様な効果を得ることが
でき、また構造的にプーリ6,連結線7を用いた時より簡単で小さくできる効果
がある。
【0012】
本考案によれば、試料を傾斜しても傾斜台上の水平移動台には、滑り落ちる力
が作用しないため、試料を平行移動させる力は少なく、また試料を正確にしかも
等速に移動できる効果がある。また、傾斜した時に力が作用しないので、この水
平移動台を動かす駆動力も最小の力で達成することができる。
【図1】本考案の一実施例を示すもので、走査電子顕微
鏡の試料室の断面図である。
鏡の試料室の断面図である。
【図2】他の実施例における走査電子顕微鏡の試料微動
装置の詳細図である。
装置の詳細図である。
1…電子光学系、2…試料室、3…二次電子検出器、4
…試料、5…水平テーブル、5a…水平移動台、5b…
移動台ラック、6…プーリ、7…連結線、8…傾斜テー
ブル、8a…傾斜台、8b…ピニオン、8c…固定台、
8d…おくりネジ、8e…移動ガイド、8f…接続金
具、9…傾斜支持テーブル、9a…傾斜支持台、9b…
円弧ギア、9c…ウォームギア、10…おもり、10a
…おもり本体、10b…おもりラック。
…試料、5…水平テーブル、5a…水平移動台、5b…
移動台ラック、6…プーリ、7…連結線、8…傾斜テー
ブル、8a…傾斜台、8b…ピニオン、8c…固定台、
8d…おくりネジ、8e…移動ガイド、8f…接続金
具、9…傾斜支持テーブル、9a…傾斜支持台、9b…
円弧ギア、9c…ウォームギア、10…おもり、10a
…おもり本体、10b…おもりラック。
Claims (1)
- 【請求項1】試料を水平に移動する手段を有し、該移動
手段の下部に試料を傾斜する手段を有する荷電粒子線装
置用試料微動装置において、試料を傾斜させた時に生ず
る試料を水平に移動する手段に作用する力を打ち消す手
段を有することを特徴とする荷電粒子線装置用試料微動
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3406491U JPH04127955U (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 荷電粒子線装置用試料微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3406491U JPH04127955U (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 荷電粒子線装置用試料微動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04127955U true JPH04127955U (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=31916562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3406491U Pending JPH04127955U (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 荷電粒子線装置用試料微動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04127955U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011165635A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Daiwa Techno Systems:Kk | 角度変更機能を有する小型試料台 |
-
1991
- 1991-05-15 JP JP3406491U patent/JPH04127955U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011165635A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Daiwa Techno Systems:Kk | 角度変更機能を有する小型試料台 |
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