JPH04120541A - Production of polymer, photosensitive resin composition and photosensitive element using same - Google Patents

Production of polymer, photosensitive resin composition and photosensitive element using same

Info

Publication number
JPH04120541A
JPH04120541A JP24053890A JP24053890A JPH04120541A JP H04120541 A JPH04120541 A JP H04120541A JP 24053890 A JP24053890 A JP 24053890A JP 24053890 A JP24053890 A JP 24053890A JP H04120541 A JPH04120541 A JP H04120541A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin composition
photosensitive resin
general formula
photosensitive
copolymer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24053890A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideo Nakasaki
中崎 日出夫
Tatsuya Ichikawa
立也 市川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP24053890A priority Critical patent/JPH04120541A/en
Publication of JPH04120541A publication Critical patent/JPH04120541A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To attain development with high resolution in a short time with an aq. weak alkali soln. and to enable removal in a short time by polymerizing a mixed soln. contg. two kinds of specified monomers in the presence of a chain transfer agent. CONSTITUTION:A mixed soln. contg. a monomer represented by general formula I and a monomer represented by general formula II is polymerized in the presence of a chain transfer agent. In the formulae I, II, R1 is H or methyl, R2 is 1-8C alkylene or a benzene ring, R3 is 1-5C alkylene, R4 is H or methyl and n is an integer of 1-10. A copolymer having superior adhesion and alkali etching resistance as well as satisfactory removability and flexibility is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、重合体の製造法、感光性樹脂組成物及びこれ
を用いた感光性エレメント(以下、単に「感光性フィル
ム」と称する)に関する。
Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for producing a polymer, a photosensitive resin composition, and a photosensitive element using the same (hereinafter simply referred to as a "photosensitive film"). .

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、印刷配線板の製造、金属の精密加工等の分野にお
いて、エツチング、めっき等に用いられるレジスト材料
としては、感光性樹脂組成物及びこれを用いて得られる
感光性フィルムが広く用いられている。この感光性フィ
ルムには、塩素系有機溶剤を用いて現像する溶剤現°像
型感光性フィルムと、アルカリ水溶液を用いて現像する
アルカリ現像型感光性フィルムとがあるが、コスト、作
業環境等の面からアルカリ現像型感光性フィルムが多く
使用されている。
Conventionally, photosensitive resin compositions and photosensitive films obtained using the same have been widely used as resist materials for etching, plating, etc. in the fields of printed wiring board manufacturing, metal precision processing, etc. . There are two types of photosensitive films: solvent-developable photosensitive films that are developed using chlorinated organic solvents and alkaline-developable photosensitive films that are developed using alkaline aqueous solutions. For this reason, alkali-developable photosensitive films are often used.

しかし、このアルカリ現像型感光性フィルムは従来の有
機溶剤現像型感光性フィルムに比べてエツチング、特に
、アルカリエツチングに対する耐性が低いため処理に制
約が多く、使用に際して問題となることが多かった。エ
ツチング液には大別して2種類あり、■酸性エツチング
液、例えば、塩化第2銅、塩化第2鉄、■アルカリ性エ
ツチング液、例えば、アンモニアをベースとしたアルカ
リエツチング液が多く使用されている。従来の有機溶剤
現像型感光性フィルムは、この2種のエツチング液に対
して同等の耐性を示すか、アルカリ現像型感光性フィル
ムは、フィルム性付与ポリマーにカルボキシル基を多く
含有した高分子量体を用いているため弱アルカリ性の現
像液に対しては耐性があるが、エツチング液である比較
的強いアルカリエツチング液に対し、耐性が十分でな(
、アルカリエツチング液のpH1温度、エツチング時間
等に極めて敏感であり、作業条件の裕度が非常に狭いこ
とが問題であった。
However, this alkali-developable photosensitive film has lower resistance to etching, especially alkali etching, than conventional organic solvent-developable photosensitive films, and therefore has many limitations in processing and often poses problems when used. There are two types of etching liquids: (1) acidic etching liquids, such as cupric chloride and ferric chloride; and (2) alkaline etching liquids, such as ammonia-based alkaline etching liquids, which are often used. Conventional organic solvent-developable photosensitive films show equivalent resistance to these two types of etching solutions, or alkaline-developable photosensitive films use a high molecular weight material containing a large number of carboxyl groups in the polymer that imparts film properties. Although it is resistant to weakly alkaline developers, it is not sufficiently resistant to relatively strong alkaline etching solutions.
The problem is that it is extremely sensitive to the pH 1 temperature of the alkaline etching solution, the etching time, etc., and the tolerance for working conditions is very narrow.

また、アルカリ現像型感光性フィルムは、有機溶剤現1
像型・感光性樹脂組成物に比べてエツチング又はメツキ
によるパターン形成後のレジストの剥離性が劣っている
ことも問題とされていた。すなわち、有機溶剤現像型感
光性フィルムを使用した場合、そのレジストの剥離は一
般的に塩化メチレンのような溶剤で行われ、剥離片が細
片となり、印刷配線板の洗浄が容易で剥離液又は剥離機
のメンテナンスが簡単である。一方、アルカリ現像型感
光性フィルムを使用した場合、そのレジストの剥離は一
般的に加温した水酸化す) IJウム水溶液又は水酸化
カリウム水溶液によって行われるが、剥離片は細分化せ
ず、いわゆる”ワカメ”状となり印刷配線板に再付着し
、また、剥離液の濾過による再生が困難であることが作
業上大きな問題となっている。
In addition, alkaline developable photosensitive films can be developed using organic solvents.
Another problem has been that the removability of the resist after pattern formation by etching or plating is inferior to image-type photosensitive resin compositions. That is, when an organic solvent-developable photosensitive film is used, the resist is generally removed using a solvent such as methylene chloride, and the peeled pieces become small pieces, making it easy to clean the printed wiring board and using a stripping solution or Maintenance of the peeling machine is easy. On the other hand, when an alkali-developable photosensitive film is used, the resist is generally removed using a heated aqueous solution of hydroxide or potassium hydroxide; This becomes a "seaweed" shape and re-adheres to the printed wiring board, and it is difficult to regenerate by filtering the stripping solution, which poses a major problem in work.

特公昭46−12714号公報(結合剤は、例えばメタ
クリル酸メチル/メタクリル酸共重合体である)、特公
昭54 34827号公報(結合剤は、例えばメタクリ
ル酸メチル/メタクリル酸2−エチルヘキシル/メタク
リル酸の三元共重合体である)、特公昭55−3898
1号公報(結合剤は、例えばスチレン/マレイン酸モノ
−n −ブチルエステル共重合体である)、特公昭56
−33418号公報(結合剤は、例えばメタクリル酸エ
チル/アクリル酸エチル/メタクリル酸の三元共重合体
である)、特公昭54−25957号公報(結合剤は、
例えばスチレン/メタクリル酸メチル/アクリル酸エチ
ル/メタクリル酸の四元共重合体である)、特開昭52
−99810号公報(結合剤は、例えばメタクリル酸ベ
ンジル/メタクリル酸共重合体である)、特公昭581
2577号公報(結合剤は、例えばアクリロニトリル/
メタクリル酸2−エチルヘキシル/メタクリル酸の三元
共重合体である)、特公昭55−6210号公報(結合
剤は、例え、ばメタクリル酸メチル/アクリル酸エチル
/アクリル酸の三元共重合体とイソプロパツールで一部
分エステル化したスチレン/マレイン酸無水物共重合体
の2種である)、特公昭6Q−159743号公報(結
合剤は、例えばベンジルメタクリレート/メタクリル酸
メチル/メタクリル酸の三元共重合体である)、特公昭
61−292815号公報、特公昭62−292816
号公報(結合剤は、例えばアクリル酸2−フェノキシエ
チル/メタクリル酸/メタクリル酸メチルの三元共重合
体である)には、種々の結合剤を使用したアルカリ現像
型感光性樹脂組成物が記載されている。しかしながら、
これらはアルカリエツチングの耐性、現像時間、剥離性
、銅との密着性、コールドフロー、可どう性のすべての
特性を同時に満足することができないのが現状である。
Japanese Patent Publication No. 46-12714 (the binder is, for example, methyl methacrylate/methacrylic acid copolymer), Japanese Patent Publication No. 54-34827 (the binder is, for example, methyl methacrylate/2-ethylhexyl methacrylate/methacrylic acid) ), Japanese Patent Publication No. 55-3898
No. 1 (the binder is, for example, a styrene/maleic acid mono-n-butyl ester copolymer), Japanese Patent Publication No. 56
-33418 (the binder is, for example, a ternary copolymer of ethyl methacrylate/ethyl acrylate/methacrylic acid), Japanese Patent Publication No. 54-25957 (the binder is
For example, a quaternary copolymer of styrene/methyl methacrylate/ethyl acrylate/methacrylic acid), JP-A-52
99810 (the binder is, for example, benzyl methacrylate/methacrylic acid copolymer), Japanese Patent Publication No. 581
No. 2577 (the binder is, for example, acrylonitrile/
(a terpolymer of 2-ethylhexyl methacrylate/methacrylic acid), Japanese Patent Publication No. 55-6210 (the binder is, for example, a terpolymer of methyl methacrylate/ethyl acrylate/acrylic acid) The binder is, for example, a ternary copolymer of benzyl methacrylate/methyl methacrylate/methacrylic acid, as disclosed in Japanese Patent Publication No. 6Q-159743. Polymer), Japanese Patent Publication No. 61-292815, Japanese Patent Publication No. 62-292816
No. 3, in which the binder is, for example, a terpolymer of 2-phenoxyethyl acrylate/methacrylic acid/methyl methacrylate, describes alkali-developable photosensitive resin compositions using various binders. has been done. however,
Currently, these materials cannot simultaneously satisfy all of the characteristics of alkali etching resistance, development time, releasability, adhesion to copper, cold flow, and flexibility.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

本発明の目的は、従来のアルカリ現像型感光性樹脂組成
物及びこれを用いた感光性フィルムの上述した問題点を
克服し、アルカリ現像型感光性樹脂組成物用の結合剤と
して有用な多元共重合体の製造法を提供するとともに、
アルカリエツチングに対し強い耐性を有し、弱アルカリ
水溶液を用いて短時間で解像度よく現像でき、短時間で
剥離でき、かつ剥)離片が小さ(、感光性フィルムとし
て基板に積層するに十分な可どう性を持ち、そしてその
基板に対して強い密着力を有し、また、コールドフロー
の少ない感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィ
ルムを提供することにある。
It is an object of the present invention to overcome the above-mentioned problems of conventional alkali-developable photosensitive resin compositions and photosensitive films using the same, and to provide a multicomponent compound useful as a binder for alkali-developable photosensitive resin compositions. In addition to providing a method for producing a polymer,
It has strong resistance to alkaline etching, can be developed with high resolution in a short time using a weak alkaline aqueous solution, can be peeled off in a short time, and has small peeling pieces (sufficient to be laminated to a substrate as a photosensitive film). The object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that has flexibility, strong adhesion to its substrate, and less cold flow, and a photosensitive film using the same.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は、一般式(I) Ri 〔式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は炭
素原子数1〜8のアルキレン基又はベンゼン環を表す〕
で示される単量体及び一般式(I[)〔式中、Riは前
記のものを表し、R3は炭素原子数1〜5のアルキレン
基を表し、R4は水素原子又はメチル基を表し、nは1
〜lOの整数を表す〕で示される単量体を含む混合液を
連鎖移動剤の存在下で重合することを特徴とする多元共
重合体の製造法並びに(i)該製造法で製造された多元
共重合体、(ii)ビニル単量体及び0足)光開始剤を
含有する感光性樹脂組成物に関する。
The present invention relates to the general formula (I) Ri [wherein R1 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R2 represents an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms or a benzene ring]
Monomers represented by the general formula (I[) [wherein Ri represents the above, R3 represents an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms, R4 represents a hydrogen atom or a methyl group, and n is 1
A method for producing a multicomponent copolymer, characterized by polymerizing a mixture containing a monomer represented by [representing an integer of ~10] in the presence of a chain transfer agent, and (i) a method for producing a multicomponent copolymer, which is characterized by polymerizing a mixture containing a monomer represented by The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a multicomponent copolymer, (ii) a vinyl monomer, and (ii) a photoinitiator.

本発明は、さらに、上記感光性樹脂組成物を支持フィル
ム上に積層してなる感光性フィルムに関する。
The present invention further relates to a photosensitive film formed by laminating the above photosensitive resin composition on a support film.

以下、本発明を詳述する。The present invention will be explained in detail below.

まず、本発明における多元共重合体を製造するのに使用
される単量体成分について説明する。
First, the monomer components used to produce the multi-component copolymer of the present invention will be explained.

前記一般式(1)で示される単量体は、多元弁体を構成
するのに使用される単量体成分中に必須成分として含ま
れる。
The monomer represented by the general formula (1) is included as an essential component in the monomer components used to construct the multi-valve body.

一般式(1)におけるR2は炭素原子数1〜8のアルキ
レン基であるが、炭素原子数が9以上のものは共重合性
が劣る。
R2 in the general formula (1) is an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms, but those having 9 or more carbon atoms have poor copolymerizability.

一般式(I)で示される単量体としては、例えば、β−
アクリロイルオキシエチルハイドロジエンサクシネート
、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジエンサク
シネート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジ
エンフタレート等を挙げることができる。これらのうち
、β−アクリロイルオキシエチルハイドロジエンサクシ
ネート及びβ−メタクリロイルオキシエチルハイドロジ
エンサクシネートが好ましい。
Examples of the monomer represented by general formula (I) include β-
Examples include acryloyloxyethyl hydrogen succinate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, and β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate. Among these, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate and β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate are preferred.

これらの単量体は、新中村化学工業社等から商業的に入
手可能であるが、二官能性化合物を不純物として含んで
いることが多く、この場合には、共重合体の製造時にし
ばしばゲル化を起こすことがあることに注意すべきであ
る。
These monomers are commercially available from Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., etc., but they often contain difunctional compounds as impurities, and in this case, gels are often added during the production of copolymers. It should be noted that this may cause oxidation.

一般式(1)で示される単量体は、多元共重合体を構成
するのに使用される全単量体中に10〜40重量%の範
囲で含まれることが好ましい。
The monomer represented by general formula (1) is preferably contained in an amount of 10 to 40% by weight in the total monomers used to constitute the multi-component copolymer.

10重量%未満では現像性が悪化する傾向があり、40
重量%を超えると、コールドフローが起こる傾向がある
If it is less than 10% by weight, developability tends to deteriorate;
% by weight, cold flow tends to occur.

一般式(TL”)で示される単量体は、多元共重合体を
構成するのに使用される単量体成分中に必須成分として
含まれる。
The monomer represented by the general formula (TL'') is included as an essential component in the monomer components used to constitute the multi-component copolymer.

一般式(II)におけるnは1〜10である。n=0の
ものは入手困難であり、nが11以上のものは共重合性
が劣る。また、一般式(II)におけるR8は炭素原子
数が1〜5のアルキレン基を示す。炭素原子数が6以上
のものは共重合性が劣る。
n in general formula (II) is 1-10. Those with n=0 are difficult to obtain, and those with n of 11 or more have poor copolymerizability. Moreover, R8 in general formula (II) represents an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms. Those having 6 or more carbon atoms have poor copolymerizability.

一般式(II)で示される単量体としては、例えば、ア
クリル酸2−フェノキシエチル、メタクリル酸2−フェ
ノキシエチル、アクリル酸2−フェノキシプロピル、ア
クリル酸3−フェノキシプロピル、アクリル酸フェノキ
シジェトキシ、アクリル酸フェノキシトリエトキシ、ア
クリル酸フェノキシジブロポキン、メタクリル酸2−フ
ェノキシプロピル、メタクリル酸3−フェノキシプロピ
ル、メタクリル酸フェノキシジェトキシ、メタクリル酸
フェノキシトリエトキシ、メタクリル酸フエノキシジブ
ロポキン等を挙げることができる。アクリル酸2−フェ
ノキシエチル及びメタクリル酸2フエノキシエチルが好
ましい。これらのうち、アクリル酸2−フェノキシエチ
ル及びメタクリル酸2−フェノキシエチル等は商業的に
入手可能であるが、二官能性化合物を不純物として含ん
でいることもあり、この場合は共重合体の製造時にゲル
化等を起こすことがあるので、注意する必要がある。
Examples of the monomer represented by general formula (II) include 2-phenoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl methacrylate, 2-phenoxypropyl acrylate, 3-phenoxypropyl acrylate, phenoxyjethoxy acrylate, Phenoxytriethoxy acrylate, phenoxydibropoquine acrylate, 2-phenoxypropyl methacrylate, 3-phenoxypropyl methacrylate, phenoxyjethoxy methacrylate, phenoxytriethoxy methacrylate, phenoxydibropoquine methacrylate, etc. I can do it. 2-phenoxyethyl acrylate and 2-phenoxyethyl methacrylate are preferred. Among these, 2-phenoxyethyl acrylate and 2-phenoxyethyl methacrylate are commercially available, but they may contain difunctional compounds as impurities, and in this case, it is difficult to produce a copolymer. Care must be taken as gelation may sometimes occur.

一般式(n)で示される単量体は、全単量体中に5〜6
0重量%の範囲で含まれることが好ましい。5重量%未
満では耐アルカリエツチング性か悪化する傾向があり、
60重量%を超えると、現像性が劣る傾向がある。
The monomer represented by general formula (n) contains 5 to 6 monomers in the total monomers.
It is preferably contained in a range of 0% by weight. If it is less than 5% by weight, the alkali etching resistance tends to deteriorate;
If it exceeds 60% by weight, developability tends to be poor.

上記の一般式(1)及び(II)で示される単量体と共
に他の単量体を、特性を悪化させない範囲で必要に応じ
て用いることができる。
In addition to the monomers represented by the above general formulas (1) and (II), other monomers can be used as needed within a range that does not deteriorate the properties.

他の単量体としては、例えば、メチルメタクリレート、
メチルアクリレート、エチルメタクリレート、エチルア
クリレート、n−プロピルメタクリレート、n−プロピ
ルアクリレート、シクロへキシルメタクリレート、シク
ロへキシルアクリレート等を挙げることができ、メチル
アクリレート及びメチルメタクリレートが好ましい。
Other monomers include, for example, methyl methacrylate,
Examples include methyl acrylate, ethyl methacrylate, ethyl acrylate, n-propyl methacrylate, n-propyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, and cyclohexyl acrylate, with methyl acrylate and methyl methacrylate being preferred.

他の単量体は、多元共重合体を構成するのに使用される
全単量体中に5〜40重量%の範囲で含まれることが好
ましい。他の単量体の含有量が多い場合、コールドフロ
ー等の特性が悪化しやすい。
The other monomers are preferably contained in an amount of 5 to 40% by weight in the total monomers used to constitute the multi-component copolymer. When the content of other monomers is large, properties such as cold flow tend to deteriorate.

他の単量体を使用すると、価格、可どう性等の点で有効
である。
The use of other monomers is advantageous in terms of cost, availability, etc.

多元共重合体を構成するのに使用される単量体成分は、
一般式(I)の単量体が10〜40重量%、一般式(I
I)の単量体が5〜60重量%及び他の単量体が5〜4
0重量%であって、かつ全単量体の総量が100重量%
となるように含有されているものが好ましい。
The monomer components used to construct the multi-component copolymer are:
The monomer of the general formula (I) is 10 to 40% by weight, the monomer of the general formula (I
5 to 60% by weight of monomer I) and 5 to 4% of other monomers
0% by weight, and the total amount of all monomers is 100% by weight
It is preferable that the content is as follows.

本発明においては、多元共重合体は、以上に示した単量
体を用いて溶液重合法、懸濁重合法、乳化重合法、塊状
重合法等の公知の重合技術によって容易に製造すること
ができる。しかしながら、重合時に連鎖移動剤を用いな
いと、重合中に多元共重合体の粘度が異常に上昇したり
、分子量分布が異常(例えば、高分子量領域にショルダ
ーを有するか又はピークを二つ有する等)になったり、
ひいてはゲル化を引き起こすことがある。これは多元共
重合体の重合時に用いる一般式(1)で示される単量体
又は一般式(II)で示される単量体に含まれる不純物
の二官能性化合物に起因するものと考えられる。
In the present invention, the multi-component copolymer can be easily produced by known polymerization techniques such as solution polymerization, suspension polymerization, emulsion polymerization, and bulk polymerization using the monomers shown above. can. However, if a chain transfer agent is not used during polymerization, the viscosity of the multi-component copolymer may abnormally increase during polymerization, or the molecular weight distribution may be abnormal (for example, it may have a shoulder in the high molecular weight region or have two peaks, etc.). ) or
This may even cause gelation. This is considered to be due to the impurity bifunctional compound contained in the monomer represented by general formula (1) or the monomer represented by general formula (II) used during polymerization of the multi-component copolymer.

本発明は、上記問題を解決し、常に安定な多元共重合体
を製造するため、連鎖移動剤の存在下において重合反応
を行うものである。
The present invention solves the above problems and performs a polymerization reaction in the presence of a chain transfer agent in order to always produce a stable multicomponent copolymer.

重合反応温度は、60℃〜130℃であることが好まし
く、70℃〜100℃であることがより好ましく、75
℃〜85°Cであることが特に好ましい。60℃未満の
温度では、重合開始剤の分解速度が遅く、合成時間が長
くなり、生産性が悪くなる傾向がある。一方、130°
Cを超える温度で合成すると、開始剤の分解速度が速す
ぎるため、反応温度のコントロールが難しく、また反応
温度が使用する溶媒の沸点より高(なるときには、常圧
で反応させることが困難となる。
The polymerization reaction temperature is preferably 60°C to 130°C, more preferably 70°C to 100°C, and 75°C
It is particularly preferred that the temperature is between 85°C and 85°C. At temperatures below 60° C., the decomposition rate of the polymerization initiator is slow, the synthesis time becomes long, and productivity tends to deteriorate. On the other hand, 130°
When synthesized at a temperature exceeding C, the decomposition rate of the initiator is too fast, making it difficult to control the reaction temperature, and when the reaction temperature is higher than the boiling point of the solvent used, it becomes difficult to carry out the reaction at normal pressure. .

連鎖後−動剤としては、例えば、2−エチルへキシルチ
オ−n−プロピオネート、t−ドデシルメルカプタン、
n−ドデシルメルカプタン、メチルメルカプタン、トリ
メチロールプロパントリチオプロピネート、ジフェニル
ジスルフィド、4,4ジフエニルジスルフイドアニリン
、フェノール、チオフェノールなどが挙げられる。2−
エチルへキシルチオ−n−プロピオネート、t−ドデシ
ルメルカプタン、トリメチロールプロパントリチオプロ
ピネートが特性的に好ましい。これらのうち2−エチル
へキシルチオ−n−プロピオネートが臭気もな(、より
好ましい。
Post-chaining agents include, for example, 2-ethylhexylthio-n-propionate, t-dodecylmercaptan,
Examples include n-dodecyl mercaptan, methyl mercaptan, trimethylolpropane trithiopropinate, diphenyl disulfide, 4,4 diphenyl disulfide aniline, phenol, thiophenol and the like. 2-
Ethylhexylthio-n-propionate, t-dodecylmercaptan, and trimethylolpropane trithiopropinate are preferable in terms of characteristics. Among these, 2-ethylhexylthio-n-propionate is more preferred because it has no odor.

開始剤としては、例えば、2,2′−アゾビスブチロニ
トリル(アブビスイソブチロニトリル)、2.2−アゾ
ビス−2,4−ジメチルバレロニトリル、ジメチル−2
,2゛−アゾビスブチレート、1,1 −アゾビスシク
ロヘキサンカルボニトリル、1. 1 −アゾビス(1
−シクロヘキサンカルボニトリル)、2.2’−アゾビ
ス(2゜4.41−リメチルベンタン)、2.2°−ア
ゾビス(2−メチルプロパン)等のアブ化合物、を−ブ
チルヒドロペルオキシド、ジ−t−ブチルペルオキシド
、2,5−ジメチルヘキサン−2,5ジヒドロペルオキ
シド、シクロヘキサンペルオキシド、アセチルアセトン
ペルオキシド等の有機過酸化物などが挙げられる。分解
温度が高すぎないこと、残存モノマーが少ないことなど
の利点からアゾビスイソブチロニトリルが最も好ましい
Examples of the initiator include 2,2'-azobisbutyronitrile (abbisisobutyronitrile), 2,2-azobis-2,4-dimethylvaleronitrile, dimethyl-2
, 2'-azobisbutyrate, 1,1-azobiscyclohexanecarbonitrile, 1. 1-Azobis(1
Ab compounds such as -cyclohexanecarbonitrile), 2.2'-azobis(2゜4.41-limethylbentane), 2.2°-azobis(2-methylpropane), -butyl hydroperoxide, di-t Examples include organic peroxides such as -butyl peroxide, 2,5-dimethylhexane-2,5 dihydroperoxide, cyclohexane peroxide, and acetylacetone peroxide. Azobisisobutyronitrile is most preferred because of its advantages such as not having a too high decomposition temperature and having little residual monomer.

連鎖移動剤の量及び開始剤の量は、多元共重合体の重量
平均分子量(GPCによるポリスチレン換算)が10.
000〜500,000の範囲、分散度(Mw/Mn 
)3.0以下の範囲になるようにコントロールすること
が好ましい。具体的には、連鎖移動剤を全単量体の総量
に対して、0.05〜0.3重量%の範囲となるように
して使用することが好ましく、その時、開始剤を全単量
体の総量に対して、0.1〜0.5重量%の範囲となる
ようにして使用することが好ましい。
The amount of the chain transfer agent and the amount of the initiator are such that the weight average molecular weight of the multi-component copolymer (as calculated by GPC in terms of polystyrene) is 10.
Range of 000 to 500,000, dispersity (Mw/Mn
) It is preferable to control it so that it is within the range of 3.0 or less. Specifically, it is preferable to use the chain transfer agent in an amount of 0.05 to 0.3% by weight based on the total amount of all monomers, and at that time, the initiator is used in an amount of 0.05 to 0.3% by weight based on the total amount of all monomers. It is preferable to use it in an amount of 0.1 to 0.5% by weight based on the total amount.

こうして得られた多元共重合体は、感光性樹脂組成物に
おける結合剤として有用であり、本発明の感光性・樹−
脂組成物は、前記のように(i)上記多元共重合体、(
五)ビニル単量体及び(ii)光開始剤を含むものであ
る。
The multicomponent copolymer thus obtained is useful as a binder in a photosensitive resin composition, and is useful as a binder in a photosensitive resin composition.
As described above, the fat composition comprises (i) the above multi-component copolymer, (
5) It contains a vinyl monomer and (ii) a photoinitiator.

本発明の感光性樹脂組成物に用いる多元共重合体の分散
度は、3.0以下が好ましく、2.8以下がより好まし
く、2.5以下が特に好ましい。分散度が3.0を超え
ると、低分子量のポリマーを比較的多量に含むため、該
組成物を積層して感光性フィルムとして使用する際に剥
離性が低下する傾向がある。
The degree of dispersion of the multicomponent copolymer used in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 3.0 or less, more preferably 2.8 or less, particularly preferably 2.5 or less. When the degree of dispersion exceeds 3.0, since the composition contains a relatively large amount of low molecular weight polymer, peelability tends to decrease when the composition is laminated and used as a photosensitive film.

多元共重合体の重量平均分子量は、10,000〜50
0,000の範囲であることが好ましい。
The weight average molecular weight of the multi-component copolymer is 10,000 to 50
Preferably, it is in the range of 0,000.

10.000未満では、耐現像液性が低くなる傾向があ
り、また500,000を超えると、現像性が劣る傾向
がある。
If it is less than 10,000, developer resistance tends to be low, and if it exceeds 500,000, developability tends to be poor.

また、多元共重合体は、酸価が60〜200mgKOH
/gの範囲であることが好ましく、60〜100mgK
OH/gの範囲であることがより好ましく、65〜85
mgKOH/Hの範囲であることが特に好ましい。酸価
が小さすぎると現像性が劣る傾向があり、酸価が大きす
ぎると、耐アルカリエツチング性が劣る傾向がある。
In addition, the multi-component copolymer has an acid value of 60 to 200 mgKOH.
/g is preferably in the range of 60 to 100 mgK
OH/g is more preferably in the range of 65 to 85
A range of mgKOH/H is particularly preferred. If the acid value is too low, developability tends to be poor, and if the acid value is too high, alkali etching resistance tends to be poor.

次に、本発明における(i)多元共重合体として用いら
れる重合体を第工表として例示する。これらは、例えば
、2−エチルへキシルチオ−n−プロビオネートを連鎖
移動剤として用い、アゾビスイソブチロニトリルを重合
開始剤として、ラジカル溶液重合法で得ることができる
。また、連鎖移動剤を用いなかった重合体を第2表に例
示する。
Next, the polymers used as the (i) multicomponent copolymer in the present invention are illustrated as Table 1. These can be obtained, for example, by a radical solution polymerization method using 2-ethylhexylthio-n-probionate as a chain transfer agent and azobisisobutyronitrile as a polymerization initiator. Further, Table 2 shows examples of polymers in which no chain transfer agent was used.

本発明の感光性樹脂組成物に用いられる(ii)ビニル
単量体としては、例えば、多価アルコールにα、β−不
飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、例えば、
ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート(アク
リレート又はメタクリレートを意味する。以下同様)(
エチレン基の数が2〜14のもの)、トリメチロールプ
ロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパ
ントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン
エトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプ
ロパンプロポキシトリ (メタ)アクリレート、テトラ
メチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメ
チロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ポリプロ
ピレングリコールジ(メタ)アクリレート(プロピレン
基の数が2〜14のもの)、ジペンタエリスリトールペ
ンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサ(メタ)アクリレート等、ビスフェノールAポリオ
キジエチレンジ(メタ)アクリレート、例えば、ビスフ
ェノールAジオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、
ビスフェノールAトリオキシエチレンジ(メタ)アクリ
レート、ビスフェノールAデカオキジエチレンジ(メタ
)アクリレート等、グリシジル基含有化合物にα、β−
不飽和カルポン酸を付加して得られる化合物、例えば、
トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリア
クリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ
アクリレート等、多価カルボン酸、例えば、無水フタル
酸等と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する物質、例
えば、β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等と
のエステル化物、アクリル酸若しくはメタクリル酸のア
ルキルエステル、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエ
ステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)
アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エ
チルヘキシルエステル、トリレンジイソシアネートと2
−ヒドロキシエチル(メタ)アクリル酸エステルとの反
応物やトリメチルへキサメチレンジイソシアネートとシ
クロヘキサンジメタツールと2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリル酸エステルとの反応物のウレタン(メタ)
アクリレート、前記一般式(I)及び一般式(II)で
示される単量体などが挙げられる。これらは、2種以上
を混合して用いることができる。
As the vinyl monomer (ii) used in the photosensitive resin composition of the present invention, for example, a compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α,β-unsaturated carboxylic acid, for example,
Polyethylene glycol di(meth)acrylate (means acrylate or methacrylate. The same applies hereinafter) (
(having 2 to 14 ethylene groups), trimethylolpropane di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, trimethylolpropane ethoxytri(meth)acrylate, trimethylolpropanepropoxytri(meth)acrylate, Tetramethylolmethane tri(meth)acrylate, tetramethylolmethanetetra(meth)acrylate, polypropylene glycol di(meth)acrylate (with 2 to 14 propylene groups), dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol Bisphenol A polyoxyethylene di(meth)acrylate, such as hexa(meth)acrylate, e.g. bisphenol A dioxyethylene di(meth)acrylate,
α-, β-
Compounds obtained by adding unsaturated carboxylic acids, e.g.
Trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, bisphenol A diglycidyl ether diacrylate, etc., a polycarboxylic acid such as phthalic anhydride, and a substance having a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group, such as β-hydroxyethyl (meth) Esterified products with acrylates, etc., alkyl esters of acrylic acid or methacrylic acid, such as (meth)acrylic acid methyl ester, (meth)acrylic acid ethyl ester, (meth)acrylic acid ethyl ester,
Acrylic acid butyl ester, (meth)acrylic acid 2-ethylhexyl ester, tolylene diisocyanate and 2
-Urethane (meth) of a reaction product with hydroxyethyl (meth)acrylic acid ester or a reaction product of trimethylhexamethylene diisocyanate, cyclohexane dimetatool, and 2-hydroxyethyl (meth)acrylic acid ester
Examples include acrylates, monomers represented by the general formula (I) and general formula (II), and the like. These can be used in combination of two or more types.

本発明の感光性樹脂組成物に用いられる(iii)光開
始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、N。
Examples of the photoinitiator (iii) used in the photosensitive resin composition of the present invention include benzophenone and N.

N−テトラメチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン
(ミヒラーケトン) 、N、N’−テトラメチル−4,
4°−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4°−
ジメチルアミノベンゾフェノン、2−エチルアントラキ
ノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、ベンゾ
インメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベン
ゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチ
ルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、β(
アクリジン−9−イル)アクリル酸のジエステル化合物
、9−フェニルアクリジン、9−ピリジルアクリジン等
のアクリジン化合物、2−(o−クロロフェニル)−4
,5−ジフェニルイミダゾールニ量体、2−(o−クロ
ロフェニル)−4゜5−ジ(m−メトキシフェニル)イ
ミダゾールニ量体、2−(o−フルオロフェニル)−4
,5−ジフェニルイミダゾールニ量体、2−(0−メト
キシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾールニ量
体、2−(p−メトキシフェニル)−4゜5−ジフェニ
ルイミダゾールニ量体、2,4−ジ(p−メトキシフェ
ニル)−5−フェニルイミダゾールニ量体、2−(2,
4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダ
ゾールニ量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)
−4,5−ジフェニルイミダゾールニ量体等の2. 4
. 5−トリアリールイミダゾールニ量体などが挙げら
れる。これらは、2種以上を混合して用いることができ
る。
N-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), N,N'-tetramethyl-4,
4°-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4°-
Aromatic ketones such as dimethylaminobenzophenone, 2-ethylanthraquinone, and phenanthrenequinone; benzoin ethers such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin phenyl ether; benzoin such as methylbenzoin and ethylbenzoin;
acridin-9-yl) diester compounds of acrylic acid, acridine compounds such as 9-phenylacridine and 9-pyridyl acridine, 2-(o-chlorophenyl)-4
, 5-diphenylimidazole dimer, 2-(o-chlorophenyl)-4゜5-di(m-methoxyphenyl)imidazole dimer, 2-(o-fluorophenyl)-4
, 5-diphenylimidazole dimer, 2-(0-methoxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2-(p-methoxyphenyl)-4°5-diphenylimidazole dimer, 2,4 -di(p-methoxyphenyl)-5-phenylimidazole dimer, 2-(2,
4-dimethoxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2-(p-methylmercaptophenyl)
-4,5-diphenylimidazole dimer, etc. 2. 4
.. Examples include 5-triarylimidazole dimer. These can be used in combination of two or more types.

(i)多元共重合体の使用量は、20〜90重量部とす
ることが好ましく、50〜80重量部とすることがより
好ましく、65〜75重量部とすることが特に好ましい
。また、(ii)ビニル単量体の使用量は、10〜80
重量部とすることが好ましく、20〜50重量部とする
ことがより好ましい。(i)多元共重合体及び(ii)
ビニル単量体の使用量は、上記の範囲内で(i)多元共
重合体及び(ii)ビニル単量体の総量が100重量部
になるように決定する。(ii)ビニル単量体の使用量
が少なすぎると、光硬化物(露光されたレジスト)が脆
く、充分な物性が得られず、多すぎると、充分な光感度
が得られないことがある。
(i) The amount of the multicomponent copolymer used is preferably 20 to 90 parts by weight, more preferably 50 to 80 parts by weight, and particularly preferably 65 to 75 parts by weight. In addition, (ii) the amount of vinyl monomer used is 10 to 80
The amount is preferably 20 to 50 parts by weight, more preferably 20 to 50 parts by weight. (i) multi-component copolymer and (ii)
The amount of vinyl monomer used is determined within the above range so that the total amount of (i) multi-component copolymer and (ii) vinyl monomer is 100 parts by weight. (ii) If the amount of vinyl monomer used is too small, the photocured product (exposed resist) will be brittle and sufficient physical properties may not be obtained; if it is too large, sufficient photosensitivity may not be obtained. .

(iii)光開始剤の使用量は、(i)多元共重合体及
び(ii)ビニル単量体の総量100重量部に対して0
.03〜20重量部とすることが好ましく、0.05〜
10重量部とすることがより好ましい。
(iii) The amount of photoinitiator used is 0 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of (i) multi-component copolymer and (ii) vinyl monomer.
.. It is preferable to set it as 03-20 parts by weight, and 0.05-20 parts by weight.
More preferably, the amount is 10 parts by weight.

この使用量が少なすぎると、充分な光感度が得られず、
多すぎると、露光の際に組成物の表面での光吸収が増加
して内部の光硬化が不充分となることがある。
If the amount used is too small, sufficient photosensitivity will not be obtained,
If the amount is too large, light absorption at the surface of the composition increases during exposure, and the internal photocuring may become insufficient.

本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて可塑剤、
熱重合禁止剤、染料、顔料、充填剤、密着性付与剤等を
配合することができる。
The photosensitive resin composition of the present invention may optionally contain a plasticizer,
A thermal polymerization inhibitor, dye, pigment, filler, adhesion imparting agent, etc. can be blended.

本発明の感光性樹脂組成物は、金属面、例えば銅、ニッ
ケル、クロム、好ましくは銅の上に、液状レジストとし
て塗布して乾燥後、保護フィルムを被覆して用いるか、
又は感光性フィルムとして用いられる。感光性樹脂組成
物層の厚みは用途により異なるが、乾燥後の厚みで10
〜100μm程度である。液状レジストとした場合は、
保護フィルムとしてポリエチレン、ポリプロピレン等の
不活性なポリオレフィンフィルムが用いられる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be used by applying it as a liquid resist onto a metal surface, such as copper, nickel, or chromium, preferably copper, and then coating it with a protective film after drying.
Or used as a photosensitive film. The thickness of the photosensitive resin composition layer varies depending on the application, but the thickness after drying is 10
It is about 100 μm. When using liquid resist,
An inert polyolefin film such as polyethylene or polypropylene is used as the protective film.

感光性フィルムは、ポリエステル等の支持フィルム上に
感光性樹脂組成物を塗布、乾燥してその層を積層し、必
要によりポリエチレン等の保護フィルムを積層して得ら
れる。感光性樹脂組成物は必要に応じて他の溶剤と混合
して溶液として塗布してもよい。
The photosensitive film is obtained by coating a photosensitive resin composition on a support film such as polyester, drying and laminating the layers, and, if necessary, laminating a protective film such as polyethylene. The photosensitive resin composition may be mixed with other solvents and applied as a solution, if necessary.

前記の感光性樹脂組成物層は、アートワークあるいはネ
ガフィルムと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通
して活性光線が照射された後、現像液で現像され、レジ
ストパターンとされる。この際用いられる活性光線とし
ては、例えばカーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水
銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するもの
が用いられる。
The photosensitive resin composition layer is irradiated with actinic rays through a negative or positive mask pattern called artwork or negative film, and then developed with a developer to form a resist pattern. As the active light rays used at this time, those that effectively emit ultraviolet rays, such as carbon arc lamps, ultra-high pressure mercury lamps, high pressure mercury lamps, and xenon lamps, are used.

現像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好な
ものが用いられ、その具体的な例としては、水酸化リチ
ウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリ
ウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カ
リウム、ケイ酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、メタケ
イ酸ナトリウム等の水溶液が挙げられる。特に、炭酸ナ
トリウムの1〜2%水溶液が好ましい。
The developer used is one that is safe, stable, and has good operability; specific examples include lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, and sodium hydrogen carbonate. , potassium hydrogen carbonate, sodium silicate, sodium phosphate, sodium metasilicate, and the like. Particularly preferred is a 1-2% aqueous solution of sodium carbonate.

現像の方法には、デイツプ方式、パドル方式、スプレ一
方式等があり、高圧スプレ一方式が解像度向上のために
は最も適している。
Development methods include a dip method, a paddle method, a spray method, etc., and a high-pressure spray method is most suitable for improving resolution.

〔実施例〕〔Example〕

次に、実施例によって本発明を説明する。 Next, the present invention will be explained by examples.

〔多元共重合体の合成例〕[Example of synthesis of multicomponent copolymer]

撹拌機、温度計、還流冷却器及び窒素ガス導入管を装着
した21の4つ目フラスコに、エチレングリコールモノ
メチルエーテル/トルエン(重量比6/4)の重合溶媒
としての混合溶媒(以下混合溶媒人とする)900gを
投入し、80’Cに加温し、80℃で1時間保温後、ア
クリル酸2−フェノキシエチル210g、β−メタクリ
ロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネー)180
g。
A mixed solvent (hereinafter referred to as mixed solvent) as a polymerization solvent of ethylene glycol monomethyl ether/toluene (weight ratio 6/4) was placed in a fourth flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, and a nitrogen gas inlet tube. 2-phenoxyethyl acrylate 210g, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate) 180
g.

メタクリル酸メチル210g、アゾビスイソブチロニト
リル24g及び連鎖移動剤として2−エチルへキシルチ
オ−n−プロピオネート1.2gを混合溶媒A120g
に溶解した溶液を温度80℃に保ち、フラスコ内を撹拌
しながら、4時間かけてフラスコ内に滴下した。滴下終
了後、混合溶媒Aを60g添加し、80℃で4時間保温
後冷却し、重合体1の溶液を得た。この重合体1の重量
平均分子量をGPCで測定したところ90,000(ポ
リスチレン換算)であった。また酸価は73(mgKO
H/g)であった。
Mixed solvent A: 120 g of 210 g of methyl methacrylate, 24 g of azobisisobutyronitrile, and 1.2 g of 2-ethylhexylthio-n-propionate as a chain transfer agent.
The solution was added dropwise into the flask over 4 hours while keeping the temperature at 80° C. and stirring the flask. After the dropwise addition was completed, 60 g of mixed solvent A was added, kept warm at 80° C. for 4 hours, and then cooled to obtain a solution of polymer 1. The weight average molecular weight of this Polymer 1 was measured by GPC and was 90,000 (in terms of polystyrene). Also, the acid value is 73 (mgKO
H/g).

重合体1の合成と同様にして前記第1表に示した重合体
4、重合体7及び重合体10を合成した。
Polymer 4, Polymer 7, and Polymer 10 shown in Table 1 above were synthesized in the same manner as in the synthesis of Polymer 1.

また、重合体1の合成と同様にして次の第3表の本発明
の範囲外の比較用の重合体である重合体17、重合体1
8、重合体19及び重合体20を合成した。
In addition, in the same manner as in the synthesis of Polymer 1, Polymer 17 and Polymer 1, which are comparative polymers outside the scope of the present invention, shown in Table 3 below.
8, Polymer 19 and Polymer 20 were synthesized.

実施例1〜4及び比較例1〜4 実施例1〜4は第1表記載の重合体1.4.7及び10
を、また比較例1〜4は第3表記載の重合体17.13
、19及び20を使用した。
Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4 Examples 1 to 4 are polymers 1.4.7 and 10 listed in Table 1.
and Comparative Examples 1 to 4 are polymers 17 and 13 listed in Table 3.
, 19 and 20 were used.

〔感光性樹脂組成物の溶液の調製〕[Preparation of solution of photosensitive resin composition]

合成例で得られた重合体の溶液182g(固形分65g
);)リブロモフェニルスルホン0.8 g、ロイコク
リスタルバイオレット1g1マラカイトグリーンo、 
s g ;光開始剤としてのN、 N’−テトラエチル
−4,4゛−ジアミノ−ベンゾフェノン0.15g、ベ
ンゾフェノン&ig、p−ジメチルアミノ安息香酸エチ
ルエステル&5g;メチルエチルケトン25g1メタノ
ール3g;ビニル単量体としてのBPE−10(新中村
化学工業■製商品名、ビスフェノールAポリオキジエチ
レンジメタクリレ−))25g、MECHPP (大阪
有機化学工業物腰商品名、γ−クロローβ−ヒドロキシ
プロピル=β゛−メタクリロイルオキシエチル−〇−フ
タレート)10gを配合して感光性樹脂組成物の溶液を
得た。
182 g of the polymer solution obtained in the synthesis example (solid content 65 g)
);) 0.8 g of ribromophenyl sulfone, 1 g of leuco crystal violet, 1 g of malachite green,
s g ; N, N'-tetraethyl-4,4゛-diamino-benzophenone 0.15 g as photoinitiator, benzophenone &ig, p-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester &5 g; methyl ethyl ketone 25 g 1 methanol 3 g; as vinyl monomer 25 g of BPE-10 (trade name, manufactured by Shin Nakamura Chemical Co., Ltd., bisphenol A polyoxydiethylene dimethacrylate), MECHPP (trade name, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd., γ-chloroβ-hydroxypropyl = β゛-methacryloyloxy) 10 g of ethyl 〇-phthalate) was blended to obtain a solution of a photosensitive resin composition.

〔特性評価用試料の作成〕[Preparation of samples for characteristic evaluation]

前記感光性樹脂組成物の溶液を208℃厚のポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、100℃
の熱風対流式乾燥機で約10分間乾燥して感光性フィル
ムを得た。感光性樹脂組成物の乾燥後の膜厚は40μm
であった。
The solution of the photosensitive resin composition was uniformly applied onto a 208°C thick polyethylene terephthalate film, and the solution was heated at 100°C.
The film was dried for about 10 minutes in a hot air convection dryer to obtain a photosensitive film. The film thickness of the photosensitive resin composition after drying is 40 μm
Met.

一方、銅はく(厚さ35μm)を両面に積層したガラス
エポキシ材である銅張り積層板(日立化成工業社製、M
CL−E−61)の銅表面を#800のサンドベーパー
で研磨し、水洗し、空気流で乾燥し、得られた銅張り積
層板を60℃に加温し、その銅面上に前記感光性樹脂組
成物層を、120℃に加熱しながらラミネートし、特性
評価用試料を得た。
On the other hand, a copper-clad laminate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., M
The copper surface of CL-E-61) was polished with a #800 sand vapor, washed with water, and dried with an air stream. The resulting copper-clad laminate was heated to 60°C, and the photosensitive layer was applied on the copper surface. The resin composition layer was laminated while being heated to 120° C. to obtain a sample for characteristic evaluation.

この特性評価用試料を用いて以下の(a−1)、(a−
2)及び(a−3)を示したようにして種々の特性を評
価した。
Using this characteristic evaluation sample, the following (a-1) and (a-
Various properties were evaluated as shown in 2) and (a-3).

(a−1) 特性評価用試料に、ネガフィルムを適用し、3KW高圧
水銀灯(オーク製作新製、HMW−201B)で100
mJ/carの露光を行った。この際光感度を評価でき
るように、光透過量が段階的に少なくなるように作られ
たネガフィルム(光学密度0.05を1段目とし、1段
ごとに光学密度が0.15ずつ増加する21段のステッ
プタブレット)を用いた。
(a-1) A negative film was applied to the sample for characteristic evaluation, and a 3KW high-pressure mercury lamp (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., HMW-201B) was used to
Exposure was performed at mJ/car. At this time, in order to evaluate the photosensitivity, a negative film made so that the amount of light transmission decreases in stages (the first stage has an optical density of 0.05, and the optical density increases by 0.15 with each stage) A 21-step step tablet) was used.

次いで、ポリエチレンテレフタレートフィルムを除去し
、30℃で1%炭酸ナトリウム水溶液を50〜120秒
間スプレーすることにより、未露光部分を除去した。ま
た、ここで120秒間スプレーしても未露光部が除去で
きないサンプルは、第5表現′像性の評価を×として(
それ以外の良好なサンプルは○とした)。さらに、銅張
り積層板上に形成された光硬化膜のステップタブレット
の段数を測定することるより、感光性樹脂組成物の光感
度を評価した。その結果を第6表に示す。光感度はステ
ップタブレットの段数で示され、このステップタブレッ
トの段数が高いほど光感度が高いことを示している。解
像度は、解像できる最小のライン幅と間隔をμm単位で
示したもので、数字が小さいほど解像度が良好なことを
示している。
The polyethylene terephthalate film was then removed and the unexposed areas were removed by spraying a 1% aqueous sodium carbonate solution at 30°C for 50 to 120 seconds. In addition, for samples whose unexposed areas cannot be removed even after spraying for 120 seconds, the evaluation of imageability in the 5th expression is set as × (
Other good samples were marked as ○). Furthermore, the photosensitivity of the photosensitive resin composition was evaluated by measuring the number of step tablets of the photocured film formed on the copper-clad laminate. The results are shown in Table 6. The photosensitivity is indicated by the number of steps on the step tablet, and the higher the number of steps on the step tablet, the higher the photosensitivity. Resolution indicates the minimum resolvable line width and interval in μm, and the smaller the number, the better the resolution.

次いで、現像したものを、アルカリエツチングを行い、
その後二つの評価法で耐アルカリエツチング性を調べた
。まず、密着性を調べるため、光硬化膜にセロテープを
貼り、これを垂直方向にすばや(引き剥がして(90’
 ビールオフ試験)光硬化膜の剥がれの有無を調べた。
Next, the developed material is subjected to alkali etching,
Thereafter, the alkali etching resistance was examined using two evaluation methods. First, in order to check the adhesion, we applied cellophane tape to the photocured film and quickly peeled it off in the vertical direction (90'
Beer-off test) The presence or absence of peeling of the photocured film was examined.

また、電子顕微鏡にて光硬化膜のリフティング(銅はく
と光硬化膜が密着しておらず、両者間に隙間があり、光
硬化膜が銅は(から浮き上がって見える現象)の有無を
観察した。その結果を第5表に示す。なお、アルカリエ
ツチングは、ミルテックス社製のAプロセスをアルカリ
エツチング液として用い、50℃、125秒でエツチン
グした。
In addition, using an electron microscope, we observed the presence or absence of lifting of the photocured film (a phenomenon in which the copper foil and the photocured film are not in close contact with each other, there is a gap between them, and the photocured film appears to be lifted from the copper). The results are shown in Table 5. The alkaline etching was performed at 50° C. for 125 seconds using Process A manufactured by Miltex as the alkaline etching solution.

(a−2) 特性評価用試料に5anX7anの長方形の開口部(光
透過部)を有するネガフィルムを適用して(a −1,
)と同様にして露光し、(a−1)と同様にして現像し
た。次いで、50℃の2%の水酸化ナトリウム水溶液を
入れたビーカーに現像後の試料を浸漬し、レジスト(光
硬化膜J[りを剥離し、剥離片の大きさと、剥離終了ま
でに要した剥離終了時間(秒)を測定した。剥離片の大
きさの評価基準を第4表に示した。
(a-2) A negative film having a rectangular opening (light transmitting part) of 5an x 7an was applied to the sample for characteristic evaluation (a-1,
), and developed in the same manner as (a-1). Next, the developed sample was immersed in a beaker containing a 2% aqueous sodium hydroxide solution at 50°C, and the resist (photocured film J) was peeled off, and the size of the peeled piece and the amount of peeling required to complete the peeling were measured. The completion time (seconds) was measured. Table 4 shows the evaluation criteria for the size of peeled pieces.

第4表 (a −8) 特性評価用試料にネガフィルムを適用せずにベタで(即
ち前面に)(a−1)と同様にして露光しく 100 
mJ/ci) 、その後(a−1)と同様にして現像し
た。次いでJIS−に5400の方法で、 クロスカット性を評価した。
Table 4 (a-8) The sample for characteristic evaluation was exposed solidly (i.e. on the front) in the same manner as in (a-1) without applying a negative film. 100
mJ/ci) and then developed in the same manner as (a-1). Next, cross-cutting properties were evaluated using the JIS-5400 method.

評価基準を第5 表に示した。The fifth evaluation criterion Shown in the table.

第 表 クロスカッ ト性の評価点数が高いものは、 可と う性及び密着性に優れる。No. table cross cut Items with high evaluation scores for Possible Excellent porosity and adhesion.

(注1)120秒間未満のスプレーにより未露光部が除
去できたもの・・・0 120秒間未満のスプレーしても未露光部が除去できな
いもの・・・× (注2)リフティングなし・・・○ 若干のリフティングあり・・・△ リフティングあり・・・× 第6表の結果から本発明の感光性樹脂組成物は、下地金
属(銅は()への密着性が良好で耐アルカリエツチング
性、剥離性及びクロスカット性に優れていることがわか
った。
(Note 1) Unexposed areas can be removed by spraying for less than 120 seconds...0 Unexposed areas cannot be removed by spraying for less than 120 seconds...× (Note 2) No lifting... ○ Slight lifting...△ Lifting...× From the results in Table 6, the photosensitive resin composition of the present invention has good adhesion to the base metal (copper (), good alkali etching resistance, It was found that the peelability and cross-cutting properties were excellent.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の製造法で製造された多元共重合体は、感光性樹
脂組成物用の結合剤として好適であり、この多元共重合
体を含む感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィ
ルムは、良好な光感度及び解像度を有しており、コール
ドフローも少な(、また、金属、特に印刷配線板に用い
られる銅張り積層板に対し優れた密着性を有し、剥離性
及び可どう性(クロスカット性)も良好であり、耐アル
カリエツチング性に極めて優れ、銅は(の厚さが比較的
厚い銅張り積層板(銅はくの薄いものに比べてエツチン
グ時間が長い)におけるアルカリエツチング工法にも好
適に使用できるものである。
The multi-component copolymer produced by the production method of the present invention is suitable as a binder for photosensitive resin compositions, and photosensitive resin compositions containing this multi-component copolymer and photosensitive films using the same are , has good photosensitivity and resolution, and has low cold flow (also has excellent adhesion to metals, especially copper-clad laminates used for printed wiring boards, and has excellent peelability and flexibility). (Cross-cutting properties) are also good, and the alkali etching resistance is extremely excellent. It can also be suitably used in construction methods.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) 〔式中、R_1は水素原子又はメチル基を表し、R_2
は炭素原子数1〜8のアルキレン基又はベンゼン環を表
す〕で示される単量体及び一般式(II)▲数式、化学式
、表等があります▼(II) 〔式中、R_1は前記のものを表し、R_3は炭素原子
数1〜5のアルキレン基を表し、R_4は水素原子又は
メチル基を表し、nは1〜10の整数を表す〕で示され
る単量体を含む混合液を連鎖移動剤の存在下で重合する
ことを特徴とする多元共重合体の製造法。 2、連鎖移動剤が2−エチルヘキシルチオ−n−プロピ
オネート、t−ドデシルメルカプタン及びトリメチロー
ルプロパントリチオプロピオネートからなる群より選ば
れる少なくとも1種である請求項1記載の多元共重合体
の製造法。 3、(i)請求項1記載の製造法で製造された多元共重
合体、 (ii)ビニル単量体及び (iii)光開始剤 を含む感光性樹脂組成物。 4、多元共重合体が10,000〜500,000の重
量平均分子量を有するものである請求項3記載の感光性
樹脂組成物。 5、多元共重合体が酸価60〜200mgKOH/gの
ものである請求項3又は4記載の感光性樹脂組成物。 6、請求項3、4又は5記載の感光性樹脂組成物を支持
フィルム上に積層してなる感光性エレメント。
[Claims] 1. General formula (I) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼(I) [In the formula, R_1 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R_2
represents an alkylene group or benzene ring having 1 to 8 carbon atoms] Monomers and general formula (II) ▲ Numerical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ (II) [In the formula, R_1 is the above-mentioned one] , R_3 represents an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms, R_4 represents a hydrogen atom or a methyl group, and n represents an integer of 1 to 10]. A method for producing a multi-component copolymer, characterized by polymerizing in the presence of an agent. 2. Production of the multi-component copolymer according to claim 1, wherein the chain transfer agent is at least one selected from the group consisting of 2-ethylhexylthio-n-propionate, t-dodecylmercaptan, and trimethylolpropane trithiopropionate. Law. 3. A photosensitive resin composition comprising: (i) a multicomponent copolymer produced by the production method according to claim 1; (ii) a vinyl monomer; and (iii) a photoinitiator. 4. The photosensitive resin composition according to claim 3, wherein the multi-component copolymer has a weight average molecular weight of 10,000 to 500,000. 5. The photosensitive resin composition according to claim 3 or 4, wherein the multi-component copolymer has an acid value of 60 to 200 mgKOH/g. 6. A photosensitive element obtained by laminating the photosensitive resin composition according to claim 3, 4 or 5 on a support film.
JP24053890A 1990-09-11 1990-09-11 Production of polymer, photosensitive resin composition and photosensitive element using same Pending JPH04120541A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24053890A JPH04120541A (en) 1990-09-11 1990-09-11 Production of polymer, photosensitive resin composition and photosensitive element using same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24053890A JPH04120541A (en) 1990-09-11 1990-09-11 Production of polymer, photosensitive resin composition and photosensitive element using same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04120541A true JPH04120541A (en) 1992-04-21

Family

ID=17061025

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24053890A Pending JPH04120541A (en) 1990-09-11 1990-09-11 Production of polymer, photosensitive resin composition and photosensitive element using same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04120541A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000347391A (en) * 1999-03-29 2000-12-15 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and photosensitive element using same, manufacture of resist pattern and printed circuit board
US6555290B1 (en) 1995-04-19 2003-04-29 Hitachi Chemical Co., Ltd. Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP2005053996A (en) * 2003-08-07 2005-03-03 Daito Chemix Corp Resin

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6555290B1 (en) 1995-04-19 2003-04-29 Hitachi Chemical Co., Ltd. Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP2000347391A (en) * 1999-03-29 2000-12-15 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and photosensitive element using same, manufacture of resist pattern and printed circuit board
JP2005053996A (en) * 2003-08-07 2005-03-03 Daito Chemix Corp Resin
JP4583008B2 (en) * 2003-08-07 2010-11-17 ダイトーケミックス株式会社 resin

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5344034B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, resist pattern forming method, and printed wiring board manufacturing method
KR101040475B1 (en) The photosensitive resin composition, the photosensitive element, the formation method of a resist pattern, and the manufacturing method of a printed wiring board using the same
JP2000231190A (en) Photopolymerizable composition
JP5793924B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element, method for producing resist pattern, and method for producing printed wiring board
KR101775206B1 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using same, resist pattern formation method and printed circuit board manufacturing method
JP4230227B2 (en) Photopolymerizable resin composition
JP4240282B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, resist pattern manufacturing method, and printed wiring board manufacturing method
JP2548016B2 (en) Photopolymerizable laminate
JPH04120541A (en) Production of polymer, photosensitive resin composition and photosensitive element using same
JP3933459B2 (en) Photosensitive resin composition and laminate
JP4569700B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element, resist pattern forming method and printed wiring board manufacturing method
JP3469066B2 (en) Photopolymerizable composition and photopolymerizable laminate
JPH07140650A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive film using the same
JP4316227B2 (en) Photosensitive resin composition and use thereof
JP4033423B2 (en) Photopolymerizable resin composition and laminate
JP2004294553A (en) Photosensitive resin composition, and photosensitive element, method for forming resist pattern and method for manufacturing printed wiring board using same
WO2022085366A1 (en) Photosensitive resin multilayer body
JP4002657B2 (en) Resist pattern forming method
WO2005076080A1 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element comprising the same, process for producing resist pattern, and process for producing printed wiring board
WO2021095784A1 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive resin multilayer body
JP3634216B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, resist pattern manufacturing method, and printed wiring board manufacturing method
JP2009053388A (en) Photosensitive resin composition
JPH03221956A (en) Photosensitive resin composition and laminate using same
JP2008209880A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element, resist pattern forming method, and method for manufacturing printed wiring board
JPS6234149A (en) Image forming material