JPH038345Y2 - - Google Patents
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- JPH038345Y2 JPH038345Y2 JP1985163155U JP16315585U JPH038345Y2 JP H038345 Y2 JPH038345 Y2 JP H038345Y2 JP 1985163155 U JP1985163155 U JP 1985163155U JP 16315585 U JP16315585 U JP 16315585U JP H038345 Y2 JPH038345 Y2 JP H038345Y2
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- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 23
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 20
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims description 20
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims description 20
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 19
- 238000007670 refining Methods 0.000 claims description 12
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 10
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 7
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 81
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本考案は、原料ガスの供給路に接続した精製系
列に、原料ガス中の不純ガスを除去する充填物を
内蔵させ、その充填物に対する再生用ガスの供給
路を前記精製系列に接続し、前記精製系列に原料
ガスと再生用ガスを選択供給する切換弁装置を前
記両供給路に設け、精製ガスの回収路と再生排ガ
スの回収路を前記精製系列に接続し、前記両回収
路に、それらを選択的にガス回収状態にする切換
弁装置を設けたガス精製装置、詳しくは、精製系
列をガス精製状態と再生状態に切換える手段の改
良に関する。 〔従来の技術〕 従来、原料ガスや再生用ガスの供給路並びに精
製ガスや再生排ガスの回収路に設けた切換弁装置
は空気圧作動式であり、原料ガスを充填物で精製
する工程と、充填物を再生用ガスで再生する工程
の切換えを遠隔操作で又は自動的に行えるように
構成していた。 〔考案が解決しようとする問題点〕 しかし、切換弁装置の可動部周辺はリーク発生
の可能性が最も高く、切換弁装置におけるリーク
に起因して不純物である空気が供給路や回収路に
流入する危険性が大であり、例えば半導体製造工
業等の精密プロセスで使用される不純物がPPbオ
ーダーの超高純度ガスを製造する場合、微量の空
気混入であつても致命的な不純物濃度となるた
め、殊に切換弁装置でのリークが大きな問題にな
つていた。 本考案の目的は、極めて簡単かつ合理的な改造
でもつて、たとえ切換弁装置の可動部周りでリー
クが生じたとしても、精製ガスの不純物濃度を極
めて低くできるようにする点にある。 〔問題点を解決するための手段〕 本考案の特徴構成は、原料ガスや再生ガスの供
給路並びに精製ガスや再生排ガスの回収路に設け
た切換弁装置がガス圧駆動式であり、それら切換
弁装置に駆動用ガスとして原料ガスを供給する操
作用管路を設けたことにあり、その作用効果は次
の通りである。 〔作用〕 つまり、切換弁装置の可動部分であるベローズ
等にピンホールができたとしても、駆動用ガスと
して供給している原料ガスが供給路や回収路に流
入するだけで、供給路や回収路への空気流入は原
料ガスの作用で確実に阻止される。 そして、一般に原料ガス中の不純物の濃度は空
気中の不純物の濃度よりもはるかに低く、一例を
下記表に示す。
列に、原料ガス中の不純ガスを除去する充填物を
内蔵させ、その充填物に対する再生用ガスの供給
路を前記精製系列に接続し、前記精製系列に原料
ガスと再生用ガスを選択供給する切換弁装置を前
記両供給路に設け、精製ガスの回収路と再生排ガ
スの回収路を前記精製系列に接続し、前記両回収
路に、それらを選択的にガス回収状態にする切換
弁装置を設けたガス精製装置、詳しくは、精製系
列をガス精製状態と再生状態に切換える手段の改
良に関する。 〔従来の技術〕 従来、原料ガスや再生用ガスの供給路並びに精
製ガスや再生排ガスの回収路に設けた切換弁装置
は空気圧作動式であり、原料ガスを充填物で精製
する工程と、充填物を再生用ガスで再生する工程
の切換えを遠隔操作で又は自動的に行えるように
構成していた。 〔考案が解決しようとする問題点〕 しかし、切換弁装置の可動部周辺はリーク発生
の可能性が最も高く、切換弁装置におけるリーク
に起因して不純物である空気が供給路や回収路に
流入する危険性が大であり、例えば半導体製造工
業等の精密プロセスで使用される不純物がPPbオ
ーダーの超高純度ガスを製造する場合、微量の空
気混入であつても致命的な不純物濃度となるた
め、殊に切換弁装置でのリークが大きな問題にな
つていた。 本考案の目的は、極めて簡単かつ合理的な改造
でもつて、たとえ切換弁装置の可動部周りでリー
クが生じたとしても、精製ガスの不純物濃度を極
めて低くできるようにする点にある。 〔問題点を解決するための手段〕 本考案の特徴構成は、原料ガスや再生ガスの供
給路並びに精製ガスや再生排ガスの回収路に設け
た切換弁装置がガス圧駆動式であり、それら切換
弁装置に駆動用ガスとして原料ガスを供給する操
作用管路を設けたことにあり、その作用効果は次
の通りである。 〔作用〕 つまり、切換弁装置の可動部分であるベローズ
等にピンホールができたとしても、駆動用ガスと
して供給している原料ガスが供給路や回収路に流
入するだけで、供給路や回収路への空気流入は原
料ガスの作用で確実に阻止される。 そして、一般に原料ガス中の不純物の濃度は空
気中の不純物の濃度よりもはるかに低く、一例を
下記表に示す。
【表】
その結果、切換弁装置の可動部周りでのリーク
に起因する精製ガスの致命的な品質劣化を防止で
きると共に、各流路で切換弁装置による安定した
切換を確実に行えるから、切換えの際に再生ガス
等の不純物が精製ガス中に流入しにくくなり精製
ガスの良好な品質を維持でき、殊に超高純度ガス
の精製に有利な装置を提供できるようになつた。 〔実施例〕 次に、図面により実施例を示す。 窒素やアルゴン等の不活性ガスに微量の不純ガ
スが混入して成る原料ガスを貯留するガスホルダ
ー１に、夫々触媒筒２と吸着筒３から成る第１及
び第２精製系列Ａ及びＢを原料ガスの供給路４で
並列接続し、精製ガスを消費する消費設備５を回
収路６で両精製系列Ａ，Ｂに接続し、不純ガス中
のO2を酸化物として除去すると共にCOを吸着す
るニツケル系の触媒を触媒筒２内に、かつ、不純
ガス中のCO，CO2，H2O等を吸着除去する合成
ゼオライト等の吸着剤３ａを吸着筒３内に内蔵さ
せてある。 第１及び第２精製系列Ａ及びＢに原料ガスを択
一供給するためのガス圧駆動式第１切換弁装置
V1を供給路４に設け、第１及び第２精製系列Ａ
及びＢの一方から精製ガスを回収するためのガス
圧駆動式第２切換弁装置V2を回収路６に設け、
第１及び第２切換弁装置V1，V2の操作によつて、
いずれか一方の精製系列Ａ又はＢにおいてかつ交
互に原料ガスを精製して、精製ガスを消費設備５
に送るように構成してある。 高温（300〜400℃）の再生用水素を給気装置７
から供給する供給路８、並びに、再生排ガスを排
気設備９に送る回収路１０を第１及び第２精製系
列Ａ及びＢに接続し、第１及び第２精製系列Ａ及
びＢに再生用水素を択一供給するためのガス圧駆
動式第３切換弁装置V3を供給路８に設け、第１
及び第２精製系列Ａ及びＢのいずれか一方から再
生排ガスを排気設備９に取出すためのガス圧駆動
式第４切換弁装置V4を回収路１０に設け、第３
及び第４切換弁装置V3，V4の操作によつて、第
１及び第２精製系列Ａ及びＢの一方においてかつ
交互に、触媒２ａを水素で還元して再生すると共
に、吸着剤３ａを不純ガスの脱着で再生するよう
に構成してある。 第１ないし第４切換弁装置V1ないしV4の全て
に駆動用ガスとしてガスホルダー１からの原料ガ
スを供給する操作用管路１１を設け、その管路１
１に、第１ないし第４切換弁装置V1ないしV4を
各別操作する電磁式操作弁CV1ないしCV8を設
け、それら操作弁CV1ないしCV8の遠隔操作や自
動操作によつて、第１精製系列Ａでガス精製をか
つ第２精製系列Ｂで再生を夫々行わせる状態と、
第１精製系列Ａで再生をかつ第２精製系列Ｂでガ
ス精製を夫々に行わせる状態が交互に得られて、
ガス精製を連続して行えるように構成してある。 〔別実施例〕 次に別の実施例を説明する。 原料ガスの種類は適当に変更でき、また、原料
ガスの供給源や精製ガスの用途及び送り先は不問
である。 精製系列Ａ，Ｂの設置数は、１個又は３個以上
と自由に変更でき、また、精製系列Ａ，Ｂの具体
構成は、原料ガスや不純ガスの種類に見合つて適
宜選定でき、例えば、前述の触媒筒２及び吸着筒
３の一方だけを設けてもよい。また、触媒２ａや
吸着剤３ａに代えて適当な不純ガス除去用物質を
利用でき、それらを充填物２ａ，３ａと総称す
る。 再生用水素に代えて、充填物２ａ，３ａや不純
ガスに見合つた適当なガスを利用でき、それらを
再生用ガスと総称する。また、再生排ガスの処理
方式は不問である。 精製系列Ａ，Ｂに原料ガスと再生ガスを選択供
給する手段、及び、回収路６，１０を選択的にガ
ス回収状態にする手段は、精製系列Ａ，Ｂの設置
数等に応じて適当に選択でき、それら手段を切換
弁装置V1，V3及び切換弁装置V2，V4と称する。 操作用管路１１からの原料ガスによつて両切換
弁装置V1，V3及びV2，V4を操作する手段は、両
切換弁装置V1，V3及びV2，V4の具体構成等に応
じて適当に選択できる。 両切換弁装置V1，V3及びV2，V4以外の弁を、
ガス圧駆動式に形成して、原料ガスで操作するよ
うに構成することが望ましい。 なお、本発明は消費設備５でも使用可能であ
り、さらに、経済性を無視すれば、駆動用ガスと
して精製されたガスを用いることも可能である。
に起因する精製ガスの致命的な品質劣化を防止で
きると共に、各流路で切換弁装置による安定した
切換を確実に行えるから、切換えの際に再生ガス
等の不純物が精製ガス中に流入しにくくなり精製
ガスの良好な品質を維持でき、殊に超高純度ガス
の精製に有利な装置を提供できるようになつた。 〔実施例〕 次に、図面により実施例を示す。 窒素やアルゴン等の不活性ガスに微量の不純ガ
スが混入して成る原料ガスを貯留するガスホルダ
ー１に、夫々触媒筒２と吸着筒３から成る第１及
び第２精製系列Ａ及びＢを原料ガスの供給路４で
並列接続し、精製ガスを消費する消費設備５を回
収路６で両精製系列Ａ，Ｂに接続し、不純ガス中
のO2を酸化物として除去すると共にCOを吸着す
るニツケル系の触媒を触媒筒２内に、かつ、不純
ガス中のCO，CO2，H2O等を吸着除去する合成
ゼオライト等の吸着剤３ａを吸着筒３内に内蔵さ
せてある。 第１及び第２精製系列Ａ及びＢに原料ガスを択
一供給するためのガス圧駆動式第１切換弁装置
V1を供給路４に設け、第１及び第２精製系列Ａ
及びＢの一方から精製ガスを回収するためのガス
圧駆動式第２切換弁装置V2を回収路６に設け、
第１及び第２切換弁装置V1，V2の操作によつて、
いずれか一方の精製系列Ａ又はＢにおいてかつ交
互に原料ガスを精製して、精製ガスを消費設備５
に送るように構成してある。 高温（300〜400℃）の再生用水素を給気装置７
から供給する供給路８、並びに、再生排ガスを排
気設備９に送る回収路１０を第１及び第２精製系
列Ａ及びＢに接続し、第１及び第２精製系列Ａ及
びＢに再生用水素を択一供給するためのガス圧駆
動式第３切換弁装置V3を供給路８に設け、第１
及び第２精製系列Ａ及びＢのいずれか一方から再
生排ガスを排気設備９に取出すためのガス圧駆動
式第４切換弁装置V4を回収路１０に設け、第３
及び第４切換弁装置V3，V4の操作によつて、第
１及び第２精製系列Ａ及びＢの一方においてかつ
交互に、触媒２ａを水素で還元して再生すると共
に、吸着剤３ａを不純ガスの脱着で再生するよう
に構成してある。 第１ないし第４切換弁装置V1ないしV4の全て
に駆動用ガスとしてガスホルダー１からの原料ガ
スを供給する操作用管路１１を設け、その管路１
１に、第１ないし第４切換弁装置V1ないしV4を
各別操作する電磁式操作弁CV1ないしCV8を設
け、それら操作弁CV1ないしCV8の遠隔操作や自
動操作によつて、第１精製系列Ａでガス精製をか
つ第２精製系列Ｂで再生を夫々行わせる状態と、
第１精製系列Ａで再生をかつ第２精製系列Ｂでガ
ス精製を夫々に行わせる状態が交互に得られて、
ガス精製を連続して行えるように構成してある。 〔別実施例〕 次に別の実施例を説明する。 原料ガスの種類は適当に変更でき、また、原料
ガスの供給源や精製ガスの用途及び送り先は不問
である。 精製系列Ａ，Ｂの設置数は、１個又は３個以上
と自由に変更でき、また、精製系列Ａ，Ｂの具体
構成は、原料ガスや不純ガスの種類に見合つて適
宜選定でき、例えば、前述の触媒筒２及び吸着筒
３の一方だけを設けてもよい。また、触媒２ａや
吸着剤３ａに代えて適当な不純ガス除去用物質を
利用でき、それらを充填物２ａ，３ａと総称す
る。 再生用水素に代えて、充填物２ａ，３ａや不純
ガスに見合つた適当なガスを利用でき、それらを
再生用ガスと総称する。また、再生排ガスの処理
方式は不問である。 精製系列Ａ，Ｂに原料ガスと再生ガスを選択供
給する手段、及び、回収路６，１０を選択的にガ
ス回収状態にする手段は、精製系列Ａ，Ｂの設置
数等に応じて適当に選択でき、それら手段を切換
弁装置V1，V3及び切換弁装置V2，V4と称する。 操作用管路１１からの原料ガスによつて両切換
弁装置V1，V3及びV2，V4を操作する手段は、両
切換弁装置V1，V3及びV2，V4の具体構成等に応
じて適当に選択できる。 両切換弁装置V1，V3及びV2，V4以外の弁を、
ガス圧駆動式に形成して、原料ガスで操作するよ
うに構成することが望ましい。 なお、本発明は消費設備５でも使用可能であ
り、さらに、経済性を無視すれば、駆動用ガスと
して精製されたガスを用いることも可能である。
図面は本考案の実施例を示すフローシートであ
る。 ２ａ，３ａ……充填物、４……原料ガスの供給
路、６……精製ガスの回収路、８……再生用ガス
の供給路、１０……再生排ガスの回収路、１１…
…操作用管路、Ａ……第１精製系列、Ｂ……第２
精製系列、V1，V3及びV2，V4……切換弁装置。
る。 ２ａ，３ａ……充填物、４……原料ガスの供給
路、６……精製ガスの回収路、８……再生用ガス
の供給路、１０……再生排ガスの回収路、１１…
…操作用管路、Ａ……第１精製系列、Ｂ……第２
精製系列、V1，V3及びV2，V4……切換弁装置。
Claims (1)
- 原料ガスの供給路４に接続した精製系列Ａ，Ｂ
に、原料ガス中の不純ガスを除去する充填物２
ａ，３ａを内蔵させ、その充填物２ａ，３ａに対
する再生用ガスの供給路８を前記精製系列Ａ，Ｂ
に接続し、前記精製系列Ａ，Ｂに原料ガスと再生
用ガスを選択供給する切換弁装置V1，V3を前記
両供給路４，８に設け、精製ガスの回収路６と再
生排ガスの回収路１０を前記精製系列Ａ，Ｂに接
続し、前記両回収路６，１０に、それらを選択的
にガス回収状態にする切換弁装置V2，V4を設け
たガス精製装置であつて、前記両切換弁装置V1，
V3及びV2，V4がガス圧駆動式であり、それら両
切換弁装置V1，V3及びV2，V4に駆動用ガスとし
て原料ガスを供給する操作用管路１１を設けてあ
るガス精製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985163155U JPH038345Y2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985163155U JPH038345Y2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6272125U JPS6272125U (ja) | 1987-05-08 |
| JPH038345Y2 true JPH038345Y2 (ja) | 1991-02-28 |
Family
ID=31091091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985163155U Expired JPH038345Y2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH038345Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5133929B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-01-30 | 大陽日酸株式会社 | 超高純度窒素ガスの製造方法及び製造装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5541300U (ja) * | 1979-09-04 | 1980-03-17 |
-
1985
- 1985-10-24 JP JP1985163155U patent/JPH038345Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5541300U (ja) * | 1979-09-04 | 1980-03-17 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6272125U (ja) | 1987-05-08 |
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