JPH0381287U - - Google Patents

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JPH0381287U
JPH0381287U JP14221289U JP14221289U JPH0381287U JP H0381287 U JPH0381287 U JP H0381287U JP 14221289 U JP14221289 U JP 14221289U JP 14221289 U JP14221289 U JP 14221289U JP H0381287 U JPH0381287 U JP H0381287U
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air blowing
blowing nozzle
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laser
dust collector
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による第１の実施例を示す集塵
装置の主要部の断面図、第２図は真空吸着により
セラミツク基板をＸＹテーブルに搭載した状態を
示す断面図、第３図は本考案による第２の実施例
を示す集塵装置の主要部の断面図、第４図は穴の
明いたセラミツク基板をＸＹテーブルに搭載した
状態を示す断面図、第５図は従来の一例を示す集
塵装置の主要部の断面図である。 １，１ａ……セラミツク基板、２……空気吸い
込みノズル、３……空気吹き出しノズル、４……
集光レンズ、５……空気の流れ、６……導入口、
７……排出口、７，７ｂ，７ｃ……配管、８……
開放口、９……固定ねじ、１０……Ｏリング、１
１……ダンパー、１２……ＸＹテーブル、１３…
…位置決めピン、１４……マグネツト、１５……
ベロー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. セラミツク基板上に電子部品及び導体パターン
    による電子回路形成領域が複数個形成され、これ
    ら領域を切断分割するときに発生する加工屑を収
    集するレーザ加工機用集塵装置において、レーザ
    光軸と同軸に配置された空気吹き出しノズルと、
    この空気吹き出しノズルと同軸であるとともに前
    記空気吹き出しノズルの周囲を包合する前記加工
    屑を収集する空気吸い込みノズルと、この空気吸
    い込みノズルの吸入量を調節するダンパーとを備
    えることを特徴とするレーザ加工機用集塵装置。
JP14221289U 1989-12-08 1989-12-08 Pending JPH0381287U (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007069249A (ja) * 2005-09-07 2007-03-22 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置
JP2011092961A (ja) * 2009-10-28 2011-05-12 Tottori Institute Of Industrial Technology アタッチメント
JP2016018756A (ja) * 2014-07-11 2016-02-01 株式会社豊田自動織機 電極体製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5458651A (en) * 1977-10-19 1979-05-11 Hitachi Ltd Welding method by laser
JPS6233087A (ja) * 1985-08-02 1987-02-13 Toyota Motor Corp レ−ザ加工装置

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