JPH0371841U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0371841U JPH0371841U JP13124689U JP13124689U JPH0371841U JP H0371841 U JPH0371841 U JP H0371841U JP 13124689 U JP13124689 U JP 13124689U JP 13124689 U JP13124689 U JP 13124689U JP H0371841 U JPH0371841 U JP H0371841U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle shaft
- vibration
- vibration sensor
- rotational
- dicing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
第１図ないし第３図は本考案によるスピンドル
軸の回転異常検知装置の一実施例を示す図であり
、第１図はその全体構成図、第２図は作動手順を
示すフローチヤート、第３図はモニタ波形図であ
る。 １……スピンドル軸、１ａ……フランジ部、２
……ダイシングブレード、３……本体、４……低
摩擦ブロツク、５，６……空気軸受、８……回転
駆動部、８ａ……コイル、８ｂ……マグネツト、
１０……スピンドル構造、１２……振動センサ、
１３……センサホルダ、１３ａ……貫通孔、１５
……ボルト、１７……振動伝達軸、１７ａ……フ
ランジ部、１８……バネ、２０……異常判別回路
（異常判別手段）、Ｗ……ワーク。
軸の回転異常検知装置の一実施例を示す図であり
、第１図はその全体構成図、第２図は作動手順を
示すフローチヤート、第３図はモニタ波形図であ
る。 １……スピンドル軸、１ａ……フランジ部、２
……ダイシングブレード、３……本体、４……低
摩擦ブロツク、５，６……空気軸受、８……回転
駆動部、８ａ……コイル、８ｂ……マグネツト、
１０……スピンドル構造、１２……振動センサ、
１３……センサホルダ、１３ａ……貫通孔、１５
……ボルト、１７……振動伝達軸、１７ａ……フ
ランジ部、１８……バネ、２０……異常判別回路
（異常判別手段）、Ｗ……ワーク。
Claims (1)
- 一端部にダイシングブレードを取付け、空気軸
受により支持されて回転するスピンドル軸を備え
たダイシング装置において、前記スピンドル軸に
接触して振動を直接接触により検知するように設
けられ、回転時のスピンドル軸の振動を直接検知
する振動センサと、この振動センサからの信号に
より前記スピンドル軸の回転状態が異常か否かを
判別する異常判別手段とを設けたことを特徴とす
るスピンドル軸の回転異常検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124689U JPH0753877Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | スピンドル軸の回転異常検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124689U JPH0753877Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | スピンドル軸の回転異常検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0371841U true JPH0371841U (ja) | 1991-07-19 |
| JPH0753877Y2 JPH0753877Y2 (ja) | 1995-12-13 |
Family
ID=31678765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13124689U Expired - Fee Related JPH0753877Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | スピンドル軸の回転異常検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0753877Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08314516A (ja) * | 1995-05-22 | 1996-11-29 | Fanuc Ltd | Ｃｎｃの軸制御方式 |
| JP2007061919A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Asahi Kasei Homes Kk | レンチソケットとそのアタッチメント、及びこれを用いたボルト・ナットの締結方法 |
| JP2016159409A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2018134730A (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | ミーレ カンパニー インコーポレイテッド | ガラスパネルエッジ研磨装置 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP13124689U patent/JPH0753877Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08314516A (ja) * | 1995-05-22 | 1996-11-29 | Fanuc Ltd | Ｃｎｃの軸制御方式 |
| JP2007061919A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Asahi Kasei Homes Kk | レンチソケットとそのアタッチメント、及びこれを用いたボルト・ナットの締結方法 |
| JP4673704B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2011-04-20 | 旭化成ホームズ株式会社 | レンチソケットとそのアタッチメント、及びこれを用いたボルト・ナットの締結方法 |
| JP2016159409A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2018134730A (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | ミーレ カンパニー インコーポレイテッド | ガラスパネルエッジ研磨装置 |
| CN108466174A (zh) * | 2017-02-23 | 2018-08-31 | 韩商未来股份有限公司 | 玻璃板边缘磨削装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0753877Y2 (ja) | 1995-12-13 |
Similar Documents
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |