JPH0332038A - ボンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はインナーリードボンダ、アウターリードボンダ
、バンブ転写ボンダ、ペレットボンダ等に係り、特にツ
ール保持機構に関する。

［従来の技術］ ボンダ用ツール保持機構は、ツールが固定されたツール
ホルダと、このツールホルダが取付けられボンダのツー
ル保持部に固定される取付体とを備えている。

ところで、ボンダにおいては、ツールの下面全体が試料
のボンディング面に均一に当ることが好ましい。

従来のボンダ用ツール保持機構として、例えば特開昭８
３−１８９７３０号公報及び特開昭６３−１６９７３１
号公報のように自動倣い手段を設けたもの（以下、公知
例２という）が知られている。この構造は、ツールホル
ダと取付体とをスプリングを介して結合している。従っ
て、試料にツールを圧接させた場合、スプリングがたわ
んで試料のボンディング面にツールの下面が倣う。

［発明が解決しようとする課Ｗ！１ 上記従来技術は、弾性を有する試料のリードに、ツール
をスプリングを介して圧着するので、圧着時にスベリが
発生することがあり、ポンディング精度及びボンダビリ
ティが悪くなるという問題があった。

本発明の目的は、短時間に平行出しが行えると共に、圧
着不良が防止できるボンダ用ツール保持機構を備えたボ
ンダを提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的は、ツールが固定されたツールホルダと、この
ツールホルダが取付けられボンダのツール保持部に固定
される取付体と、前記ツールホルダを前記取付体に首振
り可能に取付ける首振り手段と、前記ツールの下面をポ
ンドステージに接触させた状態で前記取付体を介して前
記ツールホルダに荷重を加えることにより、ツールがポ
ンドステージに接触した状態を保って前記ツールホルダ
と前記取付体とを固定させる固定手段とを備えた構成に
より達成される。

［作用］ ツールホルダは取付体に首振り手段によって首振り可能
に設けられているので、ツールの下面を任意の方向に傾
けることができる。そこで、取付体に荷重を加えてツー
ルをポンドステージ面上に圧接させると、ツール下面は
ポンドステージ面に倣うので、その状態で固定手段によ
ってツールホルダを取付体に固定する。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第５図により説明
する０図示しない平面駆動手段で平面上のＸＹ力方向移
動させられる移動体１には、図示しない上下駆動手段で
上下動させられる上下ブロック２が軸受３を介して上下
動可能に設けられており、上下ブロック２には絶縁板４
を介して取付体５が固定されている。取付体５には、下
方が開放した円筒状の盲穴５ａが形成され、この盲穴５
ａの下端側にはねじ部５ｂが形成されている。

取付体５の盲穴５ａ内の上部には受座６がねじ７で固定
されており、受座６の下面には中心点８を中心とした半
径とする凹状の球面部６ａが形成されている。受座６の
球面部６ａには、回転支点座９が設けられており１回転
支点座９には前記球面部６ａに対応した面に該球面部６
ａと同一の中心点８を中心とした半径よりなる凸状の球
面１９ａが形成されている。

回転支点座９はツールホルダｌＯに挿入され、また回転
支点座９とツールホルダ１０間にはスラスト軸受１１が
介在されている。ツールホルダｌＯは上部につば部１０
ａを有し、このつば部ｌＯａの一部はカットされて平面
部１０ｂが形成されている。この平面部１０ｂには取付
体５に螺合された２本のθ調整用ねじ１２の先端が当接
しており、θ調整用ねじ１２にはロックねじ１３が螺合
されている。またツールホルダｌＯの下端にはツール１
４が挿入されるツール挿入穴１０ｃが形成され、このツ
ール挿入穴１０ｃの部分は弾性を有するように割り１ｌ
Ｏｄが形成されていると共に、外周は下方が先細りのテ
ーパＦＡ１０　ｅとなっており、更にテーパ部１０ａの
上部にはねじ部ｌＯｆが形成されている。

ツールホルダ１０にはあおり用球座１５がつば部１０ａ
に当接するように挿入されており、あおり用球座１５の
下端側には前記中心点８を中心とした半径の凸状の球面
部１５ａが形成され、あおり用球座１５の上端側は一部
が弾性を有するように縦溝１５ｂと横溝１５ｃとが形成
されている。

あおり用球座１５の縦溝１５ｂに対応した部分には固定
ねじ１６が螺合されている。従って、固定ねじ１６を締
付けると、あおり用球座１５はツールホルダｌＯに固定
される。

前記取付体５のねじ部５ｂには球座用固定ホルダ２０が
螺合されており、球座用固定ホルダ２０には、あおり用
球座１５の球面部１５ａに対応した部分に該球面部１５
ａと同一半径の凹状の球面部２０ａが形成されている。

従って、球座用固定ホルダ２０を締付けると、あおり用
球座１５、ツールホルダ１０を介して回転支点座９は受
座６に圧接させられ、ツールホルダ１０は取付体５に一
体に固定される。

前記ツールホルダｌＯのねじ部１０ｆにはツール固定ホ
ルダ２１が螺合されており、ツール固定ホルダ２１には
前記テーパ部１０ｅを押圧するテパ部２１ａが形成され
ている。従って、ツール１４をツールホルダ１０のツー
ル挿入穴１０　ｃに抽入し、ツール固定ホルダ２１を締
付けると、ツールホルダ１０のテーパ部ｔｏｅは内側に
押圧され、ツール１４はツールホルダ１０に固定される
。

次にツール１４の下面の平行出し調整方法について説明
する０球座用固定ホルダ２０を緩めた状態で取付体５を
下降させ、ツール１４の下面をポンドステージ２２に当
接させる。これにより、ツール１４の下面がポンドステ
ージ２２に自動的に倣うように回転支点座９の球面部９
ａが受座６の球面部６ａに沿って動き、ＸＹ力方向自動
的に調整される。そこで、球座用固定ホルダ２０を締付
けると１球座用固定ホルダ２０の球面部２０ａがあおり
用球座１５の球面部１５ａを締上げ、ツルホルダ１０．
即ちツール１４は前記のように平行出しされた状態で固
定される。

即ち、ツールホルダ１０は取付体５に対して首振りする
首振り機構によって取付けられているので、ツール１４
の下面は任意の方向に動かすことができる。従って、前
記のようにツール１４に初期荷重を加えてポンドステー
ジ２２に圧接させ、その後に球座用固定ホルダ２０を締
付けるのみでツール１４の平行出しｇ４整が行えるので
、その作業は容易で、かつ短時間に行える。

なお、上記実施例は、取付体５と受座６とは別体よりな
るが、一体部品で構成してもよい、また回転支点座９、
ツールホルダ１０１あおり用球座１５も一体部品でもよ
い、また球面部６ａ、８ａ、１５ａ、２０ａの半径中心
点８は、球面部６ａと１５ａ間の位置に設けたが、球面
部６ａの上方位置又は球面部１５ａの下方位置に設けて
もよい、中心点８を球面部６ａの上方位置に設けた場合
には、球面部６ａは凸状となり、球面部９ａは凹状とな
る。また中心点８を球面部１５ａの下方位置に設けた場
合には、球面部１５ａは凹状となり１球面部２０ａは凸
状となる。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように１本発明によれば、ツー
ルの下面をポンドステージに接触させた状態で取付体を
介してツールホルダに荷重を加え、この状態で固定手段
によりツールホルダとを収付体とを固定させるのみでツ
ールの平行出しが行えるので、その作業は容易で、かつ
短時間に行える。また圧着時にスベリが発生しないので
、圧着不良が生じない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第２図のＢ−Ｂ線断面図
、第４図は第２図のＣ−Ｃ線断面図、第５図は分解斜視
説明図である。 ５：取付体、　　　　　６：受座、 ６ａ：球面部、　　　　　８：中心点。 ９：回転支点座、　　　９ａ：球面部、ｌＯ：ツールホ
ルダ、　１４：ツール、１５：あおり用球座、　　　１
５ａ：球面部。 ２０：球座用固定ホルダ、　　２０ａ：球面部、２１：
ツール固定ホルダ。 ２２：ポンドステー 第 １ 図 ２２：　Ｌ”ンド゛ステージ゛ 第 図 ６：＋座 ５：ああ・り用王未座 ０：ツールオ１Ｊレタ。 ２２：本°°ンＦステージ“

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ツールが固定されたツールホルダと、このツール
   ホルダが取付けられボンダのツール保持部に固定される
   取付体と、前記ツールホルダを前記取付体に首振り可能
   に取付ける首振り手段と、前記ツールの下面をボンドス
   テージに接触させた状態で前記取付体を介して前記ツー
   ルホルダに荷重を加えることにより、ツールがボンドス
   テージに接触した状態を保って前記ツールホルダと前記
   取付体とを固定させる固定手段とを備えたボンダ。
2. （２）前記首振り手段は、前記ツールホルダ及び前記取
   付体の一方を凸状の球面部とし、他方を前記凸状の球面
   部に接触する凹状の球面部より構成してなることを特徴
   とする請求項１記載のボンダ。