JPH0329316A - 半導体薄膜の形成方法 - Google Patents
半導体薄膜の形成方法Info
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- JPH0329316A JPH0329316A JP16342989A JP16342989A JPH0329316A JP H0329316 A JPH0329316 A JP H0329316A JP 16342989 A JP16342989 A JP 16342989A JP 16342989 A JP16342989 A JP 16342989A JP H0329316 A JPH0329316 A JP H0329316A
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、半導体薄膜の形成方法に係り、より詳細には
、たとえばTPT (薄膜トランジスタ)等の半導体装
置を高性能に作り得る、大粒径かっ粒界位置の制御され
た半導体薄膜の形成方法に関する。
、たとえばTPT (薄膜トランジスタ)等の半導体装
置を高性能に作り得る、大粒径かっ粒界位置の制御され
た半導体薄膜の形成方法に関する。
[従来の技術コ
従来、大粒径の多結晶Si半導体gi膜形成に関する技
術としては、非晶質Si薄膜を固相成長させ、大粒径の
多結晶Si薄膜を形成し、薄膜トランジスタに供する技
術が報告されている(TNoguchi, T.Ohs
hima & T.Hayashi : Polysi
liconFilms and Interfaces
, Boston, 1987, Mater,Res
, Soc, Symp, Proc, Vol, 1
06, p.293(Elsecier Scienc
e Publishing, New York,19
88 )). その詳細を以下に述べる。
術としては、非晶質Si薄膜を固相成長させ、大粒径の
多結晶Si薄膜を形成し、薄膜トランジスタに供する技
術が報告されている(TNoguchi, T.Ohs
hima & T.Hayashi : Polysi
liconFilms and Interfaces
, Boston, 1987, Mater,Res
, Soc, Symp, Proc, Vol, 1
06, p.293(Elsecier Scienc
e Publishing, New York,19
88 )). その詳細を以下に述べる。
この技術においては、まず、基板上に非晶買Si層を形
成する。なお、非晶質Si層の形成技術としては、多結
晶St層にSiイオンを注入して非晶質化する方法、化
学気相法でSiH4を熱分解して非晶質Si層を形成す
る方法、あるいは、電子ビーム蒸着法でSiを室温に保
った基板上に堆積する方法等が知られている。
成する。なお、非晶質Si層の形成技術としては、多結
晶St層にSiイオンを注入して非晶質化する方法、化
学気相法でSiH4を熱分解して非晶質Si層を形成す
る方法、あるいは、電子ビーム蒸着法でSiを室温に保
った基板上に堆積する方法等が知られている。
その後、該非晶質Si層をN2雰囲気中、600℃で数
時間から数十時間熱処理を施すと、非晶質Si層中に結
晶核が発生し、熱処理時間とともにその大きさが増大し
、結晶粒が互いに衝突するまで成長し、そこに粒界が形
成される。例えば、1000入ほどのSiイオン注入に
よって作成された非晶質stNは、600℃,100時
間のN2雰囲気中の熱処理によってその粒径は5μm程
にも成長する。
時間から数十時間熱処理を施すと、非晶質Si層中に結
晶核が発生し、熱処理時間とともにその大きさが増大し
、結晶粒が互いに衝突するまで成長し、そこに粒界が形
成される。例えば、1000入ほどのSiイオン注入に
よって作成された非晶質stNは、600℃,100時
間のN2雰囲気中の熱処理によってその粒径は5μm程
にも成長する。
かかる大きな粒径の多結晶Si層上に作成された薄膜ト
ランジスタのキャリア移動度は100cm’/vsec
を越えるものが観測され、素子作成上きわめて有月な粒
径拡大方法である。
ランジスタのキャリア移動度は100cm’/vsec
を越えるものが観測され、素子作成上きわめて有月な粒
径拡大方法である。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、前記従来例を実際に追試し、つぶさに検討する
と、以下の問題点が存在することを本発明者は解明した
. (1)600℃未満の温度では、非晶買Si層は結晶化
せず、低温化が困難である。例えば、550℃で200
0時間熱処理しても、非晶質のままで、結晶核の発生は
皆無である。600℃という温度は、一般に、非晶買S
i薄膜トランジスタに用いられるガラスの耐熱温度を越
えており、従って、耐熱性に優れた高価な石英ガラスを
用いざるを得ない。
と、以下の問題点が存在することを本発明者は解明した
. (1)600℃未満の温度では、非晶買Si層は結晶化
せず、低温化が困難である。例えば、550℃で200
0時間熱処理しても、非晶質のままで、結晶核の発生は
皆無である。600℃という温度は、一般に、非晶買S
i薄膜トランジスタに用いられるガラスの耐熱温度を越
えており、従って、耐熱性に優れた高価な石英ガラスを
用いざるを得ない。
(2)熱処理を開始し、完全に多結晶化するのに数十時
間もの長時間を必要とする.これは、熱処理を開始して
から、結晶核が発生するまでの潜伏時fis’J (
Induction period)が十時間にも及ぶ
こと、また、結晶核から結晶粒が増大する成長速度がき
わめて遅いためと考えられる。例えば、St”イオン注
入で作成した非晶質Siは、600℃で10時間程度の
( Inductioh period)が観察されて
おり、さらに、完全に膜全体が結晶化を完了するには、
熱処理を開拍してから、100時間もの長時間を必要と
する。
間もの長時間を必要とする.これは、熱処理を開始して
から、結晶核が発生するまでの潜伏時fis’J (
Induction period)が十時間にも及ぶ
こと、また、結晶核から結晶粒が増大する成長速度がき
わめて遅いためと考えられる。例えば、St”イオン注
入で作成した非晶質Siは、600℃で10時間程度の
( Inductioh period)が観察されて
おり、さらに、完全に膜全体が結晶化を完了するには、
熱処理を開拍してから、100時間もの長時間を必要と
する。
以上2つの問題は、工業的に生産する場合、生産効率を
高め、製造コストを低減するという意味できわめて重要
な障害であり、克服するべきものであることは自明であ
る。
高め、製造コストを低減するという意味できわめて重要
な障害であり、克服するべきものであることは自明であ
る。
(3)更に、非晶買Si中の核形成はランダムな位置に
発生し、核の成長の後に粒同志が衝突して粒界が生ずる
が、その粒界位置も当然のことながらランダムな位置と
なり制御されるものではない.事実、Si″注入を行い
、多結晶Si層を非晶質化したのち600℃程度の熱処
理を行うと、最大5μmもの大粒径の多結晶層が得られ
るが、その粒径分布は広く1μm〜5μmに分布してお
り、素子作製上この分布は、素子特性のバラッキとなっ
て表出することになり、実用上多犬の困難となる。
発生し、核の成長の後に粒同志が衝突して粒界が生ずる
が、その粒界位置も当然のことながらランダムな位置と
なり制御されるものではない.事実、Si″注入を行い
、多結晶Si層を非晶質化したのち600℃程度の熱処
理を行うと、最大5μmもの大粒径の多結晶層が得られ
るが、その粒径分布は広く1μm〜5μmに分布してお
り、素子作製上この分布は、素子特性のバラッキとなっ
て表出することになり、実用上多犬の困難となる。
たとえば、チャンネル長10μmの電界効果型トランジ
スターを4インチ基板の該大粒径多結晶Si層に作製し
た際には、電子易動度は110cm2/v−secに対
して±10cm2/v・secのバラツキがあり、更に
そのしきい値は±0.5V以上のバラツキとなり、!#
結晶Si基板上に作製したものに比べてバラッキが著し
く大きく、集積化して回路を構成する上で大きな障害と
なる. 本発明は、上記従来例の有する3つの問題点を解決する
ものであり、本発明の目的は 固相再結晶化後の粒径分
布を低減させるために、固相中における核発生位置を制
御し、なおかつ再結晶化過程の高速化・低温化を同時に
行うことができ、その結果、高性能デバイスを作製しう
る結晶Si半導体薄膜を堤供することにある。
スターを4インチ基板の該大粒径多結晶Si層に作製し
た際には、電子易動度は110cm2/v−secに対
して±10cm2/v・secのバラツキがあり、更に
そのしきい値は±0.5V以上のバラツキとなり、!#
結晶Si基板上に作製したものに比べてバラッキが著し
く大きく、集積化して回路を構成する上で大きな障害と
なる. 本発明は、上記従来例の有する3つの問題点を解決する
ものであり、本発明の目的は 固相再結晶化後の粒径分
布を低減させるために、固相中における核発生位置を制
御し、なおかつ再結晶化過程の高速化・低温化を同時に
行うことができ、その結果、高性能デバイスを作製しう
る結晶Si半導体薄膜を堤供することにある。
[課題を解決するための手段コ
本発明の半導体薄膜の形成方法は、Snを含有する非晶
質Si膜の所望の位置に、結晶戒長して単結晶となる核
が唯一形成され得るに充分微小な領域であって、該領域
とは異る該非晶質Si膜におげるSn原子密度よりもS
n原子密度の高い領域を設け、 前記領域には単一の核より成長した結晶体が形成され該
領域とは異なる前記非晶質Si@では核が発生しない温
度で熱処理を行い、 前記結晶体を基に前記非晶質Si膜を固相にて結晶成長
させることを特徴とする。
質Si膜の所望の位置に、結晶戒長して単結晶となる核
が唯一形成され得るに充分微小な領域であって、該領域
とは異る該非晶質Si膜におげるSn原子密度よりもS
n原子密度の高い領域を設け、 前記領域には単一の核より成長した結晶体が形成され該
領域とは異なる前記非晶質Si@では核が発生しない温
度で熱処理を行い、 前記結晶体を基に前記非晶質Si膜を固相にて結晶成長
させることを特徴とする。
本発明における下地材料としては、必ずしも高い耐熱性
を必要とせず、例えば安価なガラスを用いることができ
る。
を必要とせず、例えば安価なガラスを用いることができ
る。
Snを添加した非晶質Si半導体膜の形成方法としては
、たとえば、S i H4の熱化学気相法で600℃に
て微細な粒径(<500人)を有する多結晶層を下地材
料上に堆積し、この多結晶層に例えばイオン注入法によ
りSnイオンを注入する方法、あるいは電子ビーム蒸着
、グロー放電法、スバッタ7去等があげられる. 本発明では、Snを添加した非晶買Si半導体膜を熱処
理することにより多結晶化する。熱処理はSnを添加し
た非晶質Si半導体膜の融点以下の固相領域における温
度で行なう。
、たとえば、S i H4の熱化学気相法で600℃に
て微細な粒径(<500人)を有する多結晶層を下地材
料上に堆積し、この多結晶層に例えばイオン注入法によ
りSnイオンを注入する方法、あるいは電子ビーム蒸着
、グロー放電法、スバッタ7去等があげられる. 本発明では、Snを添加した非晶買Si半導体膜を熱処
理することにより多結晶化する。熱処理はSnを添加し
た非晶質Si半導体膜の融点以下の固相領域における温
度で行なう。
なお、Snの添加量としては、IX1022原子cm−
3以下が好ましい。IXIO”原子cm−’を超えると
熱処理後β一Snが析出することがあり、半導体装置を
設ける場合好ましくないからである。Snの添加量の下
限としては、IXIO”原子cm−’が好ましい。それ
以下では本発明に示す様な効果は発現しないことがある
。
3以下が好ましい。IXIO”原子cm−’を超えると
熱処理後β一Snが析出することがあり、半導体装置を
設ける場合好ましくないからである。Snの添加量の下
限としては、IXIO”原子cm−’が好ましい。それ
以下では本発明に示す様な効果は発現しないことがある
。
[作 用]
以下に本発明の作用を本発明をなすに際して得た知見と
ともに説明する。
ともに説明する。
本発明者は、前記課題を解決するために、すなわち、低
温化と成長速度の増速とを達成するために、非晶XSi
層に不純物を添加することを試みた。Siの結晶成長に
影響を与える不純物としては、P,B,As等の一般に
電気的特性を変え得るドナー、アクセブター不純物が知
られている。
温化と成長速度の増速とを達成するために、非晶XSi
層に不純物を添加することを試みた。Siの結晶成長に
影響を与える不純物としては、P,B,As等の一般に
電気的特性を変え得るドナー、アクセブター不純物が知
られている。
特に、Pが異常粒成長を促進することは周知のことであ
る。(Y.Wada & S.Nishimatsu,
J.Electro−chemi, Sac, Vo
l, 125, No.9, p.1499).しかし
、本発明者は長期間鋭意研究を重ねあらゆる種類の不純
物を試験した結果、上記のドナー、アクセブター不純物
は、その固溶限に近いほど、濃く導入したときにのみ結
晶化速度の増大が観察され、その場合には、半導体活性
層としては不適なn+あるいはp0層となってしまい、
素子作成は困難であることを見い出した。
る。(Y.Wada & S.Nishimatsu,
J.Electro−chemi, Sac, Vo
l, 125, No.9, p.1499).しかし
、本発明者は長期間鋭意研究を重ねあらゆる種類の不純
物を試験した結果、上記のドナー、アクセブター不純物
は、その固溶限に近いほど、濃く導入したときにのみ結
晶化速度の増大が観察され、その場合には、半導体活性
層としては不適なn+あるいはp0層となってしまい、
素子作成は困難であることを見い出した。
そこで、本発明者が注目したのはいわゆる中性不純物(
■族不純物)である。しかし、単に中性不純物であると
いうだけでは不十分であり、その融点が低く、Siに対
して高い固溶限界を持ち、また、Siのバンドギャップ
中にドーバントレベルを作らないことはもとより、深い
再結合単位も作らず、キャリア寿命が充分長いことが必
要である。
■族不純物)である。しかし、単に中性不純物であると
いうだけでは不十分であり、その融点が低く、Siに対
して高い固溶限界を持ち、また、Siのバンドギャップ
中にドーバントレベルを作らないことはもとより、深い
再結合単位も作らず、キャリア寿命が充分長いことが必
要である。
以上の要件を満足する不純物を本発明者は鋭意探究した
ところ、Snが好ましいのではないかと考え、Snにつ
いて各種実験を重ねたところ、結晶化開始温度を低減し
得、また短時間に大粒径の多結晶膜を形成できた. 更に結晶化開始温度は、Snの添加量に依存することを
発見し、該現象を利用し局所的にSi中のSn濃度を変
化させ、核発生箇所を制御することができた。
ところ、Snが好ましいのではないかと考え、Snにつ
いて各種実験を重ねたところ、結晶化開始温度を低減し
得、また短時間に大粒径の多結晶膜を形成できた. 更に結晶化開始温度は、Snの添加量に依存することを
発見し、該現象を利用し局所的にSi中のSn濃度を変
化させ、核発生箇所を制御することができた。
第1図に、Snイオンを多結晶Si層に注入し非晶質化
した場合の結晶化温度(結晶化開始温度)の注入量依存
性を示す。Si層の厚みはtooo入、Snの注入エネ
ルギーは110kevでSi層のほぼ中央にその飛程が
位置する様にした。Sn注入量をI X 1 015c
m−2から1x 1 0 ”c m−”へ増大させた場
合、Sn注入によって非晶買化したSi層中に結晶核が
出現する温度は600℃から500℃へ100℃低減ざ
れる。この温度は熱処理後の透過電子顕微鏡による観察
によって確認された,Sn注入量を1×1 0 17c
m−’以上にすると、注入時にβ一Snの微結晶が析
出してしまうため、注入量は1×1 0 17c m−
’未満が好ましい。
した場合の結晶化温度(結晶化開始温度)の注入量依存
性を示す。Si層の厚みはtooo入、Snの注入エネ
ルギーは110kevでSi層のほぼ中央にその飛程が
位置する様にした。Sn注入量をI X 1 015c
m−2から1x 1 0 ”c m−”へ増大させた場
合、Sn注入によって非晶買化したSi層中に結晶核が
出現する温度は600℃から500℃へ100℃低減ざ
れる。この温度は熱処理後の透過電子顕微鏡による観察
によって確認された,Sn注入量を1×1 0 17c
m−’以上にすると、注入時にβ一Snの微結晶が析
出してしまうため、注入量は1×1 0 17c m−
’未満が好ましい。
第2図に、局所的Sn高濃度領域形成による核発生箇所
の制御を示す。
の制御を示す。
下地材料上にSn添加された非晶質Si層を形成し、そ
の膜内に局所的にSn濃度が高い領域を所望の間隔を置
いて形成する(第2図(A))。
の膜内に局所的にSn濃度が高い領域を所望の間隔を置
いて形成する(第2図(A))。
この基体を固相で熱処理し固相再結晶させる際、Sn低
濃度領域が結晶化する温度よりも低いSn高濃度領域の
みが結晶化する温度で熱処理を施すと、Si核がSn高
濃度領域にのみ発生し、更に熱処理を経続すると核発生
のないSn低濃度領域にまで結晶が伸長し、しまいには
隣接するSn高濃度領域から発生した結晶粒と中間で衝
突し、非晶質Si領域は消失し、衝突位置に粒界が形成
される(第2図(B))。
濃度領域が結晶化する温度よりも低いSn高濃度領域の
みが結晶化する温度で熱処理を施すと、Si核がSn高
濃度領域にのみ発生し、更に熱処理を経続すると核発生
のないSn低濃度領域にまで結晶が伸長し、しまいには
隣接するSn高濃度領域から発生した結晶粒と中間で衝
突し、非晶質Si領域は消失し、衝突位置に粒界が形成
される(第2図(B))。
Stの結晶核{よ、Sn高密度部より発生し、低密度部
まで結晶は車−のドメインを維持して成長する。これは
一たび発生した結晶核が成長する活性化エネルギーは、
表面エネルギー不利を乗り越えて核発生するための活性
化エネルギーより低いためである。
まで結晶は車−のドメインを維持して成長する。これは
一たび発生した結晶核が成長する活性化エネルギーは、
表面エネルギー不利を乗り越えて核発生するための活性
化エネルギーより低いためである。
[実施例コ
ガラス基板上に減圧化学気相法(CVD)によりSiH
4の熱分解で多結晶Si薄膜を1000人堆積した。形
成温度は620℃であり、その粒径は500人以下であ
った。
4の熱分解で多結晶Si薄膜を1000人堆積した。形
成温度は620℃であり、その粒径は500人以下であ
った。
Snイオン注入は2回行った。まず、全面にSn”を、
注入it x 1 0 ”c m−’、注入エネルギー
1 1 0keyで注入し前記多結晶Si薄膜全体を非
晶質化した。更にレジストを塗付し通常のりソグラフィ
を用いて1μm径の穴を5μm、10μmlaJ隔に格
子点状に配した。該バターニングされたレジストをマス
クにして2回目のSnイオン注入を行った。注入量はI
X 1 0l6cm−”注入エネルギーは50kev
とした.レジストマスクをハクリした後、N2中500
℃で50時間熱処理を行ったところ、1000人の平坦
な膜のまま、結晶粒界がほぼ5μm、10μm間隔の格
子状に整列し、粒径の分布は平均5μm、10μmに対
して、±1μmであることが透過電子顕微鏡観察によっ
て判明した,500℃、50時間という熱処理では、2
回目のSni加しないSi非晶質層は全く結晶核が発生
せず、本実施例においてSn添加によって核発生のため
の潜伏時間の短縮と成長速度の増大が威されていた。
注入it x 1 0 ”c m−’、注入エネルギー
1 1 0keyで注入し前記多結晶Si薄膜全体を非
晶質化した。更にレジストを塗付し通常のりソグラフィ
を用いて1μm径の穴を5μm、10μmlaJ隔に格
子点状に配した。該バターニングされたレジストをマス
クにして2回目のSnイオン注入を行った。注入量はI
X 1 0l6cm−”注入エネルギーは50kev
とした.レジストマスクをハクリした後、N2中500
℃で50時間熱処理を行ったところ、1000人の平坦
な膜のまま、結晶粒界がほぼ5μm、10μm間隔の格
子状に整列し、粒径の分布は平均5μm、10μmに対
して、±1μmであることが透過電子顕微鏡観察によっ
て判明した,500℃、50時間という熱処理では、2
回目のSni加しないSi非晶質層は全く結晶核が発生
せず、本実施例においてSn添加によって核発生のため
の潜伏時間の短縮と成長速度の増大が威されていた。
出発材料のSi層は、堆積されたままで非晶質であって
ももちろん良い.減圧CVD法により550℃で、ある
いはグロー放電法による水素を含んだ非晶質Siを出発
材料としても同等の効果がある。イオン注入は集束イオ
ン注入法を用いマスクレスにて行っても良い。
ももちろん良い.減圧CVD法により550℃で、ある
いはグロー放電法による水素を含んだ非晶質Siを出発
材料としても同等の効果がある。イオン注入は集束イオ
ン注入法を用いマスクレスにて行っても良い。
本発明によって、4インチガラス基板上に5μm,±1
μmの粒径分布をもつSn添加Si薄膜に通常のICプ
ロセスを用いて多数個のチャンネル長3μmの電界効果
トランジスターを100個作製したところ、電子易勤度
200±10cm2/v・sec,しきい値のバラツキ
は1.5±0.2Vであった。トランジスタのチャネル
部分には、粒界が存在しない様に配置することが可能な
ため(あらかじめ粒界位置が判っている)素子特性の高
性能化、狭分布が実現された。
μmの粒径分布をもつSn添加Si薄膜に通常のICプ
ロセスを用いて多数個のチャンネル長3μmの電界効果
トランジスターを100個作製したところ、電子易勤度
200±10cm2/v・sec,しきい値のバラツキ
は1.5±0.2Vであった。トランジスタのチャネル
部分には、粒界が存在しない様に配置することが可能な
ため(あらかじめ粒界位置が判っている)素子特性の高
性能化、狭分布が実現された。
[発明の効果]
局所的にSn添加非晶質Si中に高濃度Sn添加領域を
形成することによって、平坦、薄膜のまま粒界位置制御
され、粒径分布の少ないSi結晶薄膜が低温でかつ生産
性良く形成される。あらかじめ粒界位置を設定できるた
め、デバイスの性能に悪影響を与える粒界を回避してデ
バイスを作製できるため、素子特性の高性能化、バラツ
キの狭小化が可能となった。
形成することによって、平坦、薄膜のまま粒界位置制御
され、粒径分布の少ないSi結晶薄膜が低温でかつ生産
性良く形成される。あらかじめ粒界位置を設定できるた
め、デバイスの性能に悪影響を与える粒界を回避してデ
バイスを作製できるため、素子特性の高性能化、バラツ
キの狭小化が可能となった。
第1図はsb注入量と結晶化塩度との関係を示すグラフ
である。第2図は本発明の実施態様例を示す概念図であ
る。 第 図 Sn a入1(c12i 第2図
である。第2図は本発明の実施態様例を示す概念図であ
る。 第 図 Sn a入1(c12i 第2図
Claims (5)
- (1)Snを含有する非晶質Si膜の所望の位置に、結
晶成長して単結晶となる核が唯一形成され得るに充分微
小な領域であって、該領域とは異る該非晶質Si膜にお
けるSn原子密度よりもSn原子密度の高い領域を設け
、 前記領域には単一の核より成長した結晶体が形成され該
領域とは異なる前記非晶質Si膜では核が発生しない温
度で熱処理を行い、 前記結晶体を基に前記非晶質Si膜を固相にて結晶成長
させることを特徴とする半導体薄膜の形成方法。 - (2)前記Sn原子密度の高い領域を有する前記非晶質
Si膜は、多結晶Si膜全面にイオン注入を行うことに
より多結晶Si膜を非晶質化し、次いで前記微小領域の
みにイオン注入を行って形成することを特徴とする請求
項1記載の半導体薄膜の形成方法。 - (3)非晶質Si膜が下地材料上に形成され、1回目の
イオン注入は、下地材料と非晶質Si膜との界面に打込
イオン濃度が極大となる投影飛程が来るように高エネル
ギーで行い、2回目のイオン注入は局所的に非晶質Si
膜の膜厚方向中央部に投影飛程が来るように低エネルギ
ーで行うことを特徴とする請求項2記載の半導体薄膜の
形成方法。 - (4)前記Sn原子密度の高い領域を単数設ける請求項
1乃至請求項3のいずれか1項に記載の半導体薄膜の形
成方法。 - (5)前記Sn原子密度の高い領域を複数設ける請求項
1乃至請求項3のいずれか1項に記載の半導体薄膜の形
成方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16342989A JPH0329316A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 半導体薄膜の形成方法 |
DE69033153T DE69033153T2 (de) | 1989-03-31 | 1990-03-30 | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterdünnschicht und damit hergestellte Halbleiterdünnschicht |
EP90303480A EP0390608B1 (en) | 1989-03-31 | 1990-03-30 | Method for forming semiconductor thin-film and resulting semiconductor thin-film |
US08/241,678 US5531182A (en) | 1989-03-31 | 1994-05-12 | Method of making a semiconductor thin-film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16342989A JPH0329316A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 半導体薄膜の形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0329316A true JPH0329316A (ja) | 1991-02-07 |
Family
ID=15773732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16342989A Pending JPH0329316A (ja) | 1989-03-31 | 1989-06-26 | 半導体薄膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0329316A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03155124A (ja) * | 1989-11-14 | 1991-07-03 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 半導体膜の製造方法 |
US5424015A (en) * | 1992-09-29 | 1995-06-13 | Yamashita Rubber Kabushiki Kaisha | Method and device for manufacturing rubber bend pipe |
KR100291970B1 (ko) * | 1993-06-22 | 2001-09-17 | 야마자끼 순페이 | 반도체디바이스및그제조방법 |
US6713330B1 (en) | 1993-06-22 | 2004-03-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating a thin film transistor |
US7547915B2 (en) | 1994-06-09 | 2009-06-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having SiOxNy film |
JP2015156430A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | 国立大学法人名古屋大学 | 半導体結晶の製造方法、半導体結晶及び半導体デバイス |
-
1989
- 1989-06-26 JP JP16342989A patent/JPH0329316A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03155124A (ja) * | 1989-11-14 | 1991-07-03 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 半導体膜の製造方法 |
US5424015A (en) * | 1992-09-29 | 1995-06-13 | Yamashita Rubber Kabushiki Kaisha | Method and device for manufacturing rubber bend pipe |
KR100291970B1 (ko) * | 1993-06-22 | 2001-09-17 | 야마자끼 순페이 | 반도체디바이스및그제조방법 |
US6319761B1 (en) | 1993-06-22 | 2001-11-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating a thin film transistor |
US6713330B1 (en) | 1993-06-22 | 2004-03-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating a thin film transistor |
US7547915B2 (en) | 1994-06-09 | 2009-06-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having SiOxNy film |
US8330165B2 (en) | 1994-06-09 | 2012-12-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for forming the same |
JP2015156430A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | 国立大学法人名古屋大学 | 半導体結晶の製造方法、半導体結晶及び半導体デバイス |
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