JPH032725A - 液晶装置 - Google Patents

液晶装置

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JPH032725A
JPH032725A JP13681589A JP13681589A JPH032725A JP H032725 A JPH032725 A JP H032725A JP 13681589 A JP13681589 A JP 13681589A JP 13681589 A JP13681589 A JP 13681589A JP H032725 A JPH032725 A JP H032725A
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JP
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glass
substrate
liquid crystal
glass substrate
metal plating
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Yoichi Momose
洋一 百瀬
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分骨コ 本発明は液晶装置の構造に関する。
[従来の技術] 従来の透明電極上に金属メッキ層を有する液晶装置の構
造を第2図に示す。11.12はガラス。
基板、15.16は透明電極であり、17.18は配向
膜である。19.20は金属メッキ層でありN1等が多
(用いられる。また、13.i4はパッシベーション層
であり一般に8102膜を用いる。その際、片側のパッ
シベーション層13はガラス基板表面に形成されるが、
他方のパツシベ゛−ション層14は上下の透明電極間で
のショートを防止する目的も兼ね透明電極及び金属メッ
キ層の上に形成されるというのが一般的であった。
[発明が解決しようとする課題] しかし、前述の従来技術では、透明電極上に部分的に金
属メッキ層を形成する場合、透明電極上全体にメッキを
施した後、部分的にメッキ層を剥離するという方法を用
い、その際、強酸及び強アルカリ内にガラス基板を浸す
ためガラスが脆(なり、パネル製作工程でガラス基板を
切断するときに歩留シが著しく低下してしまうという問
題点を有する。
そこで本発明はこの様な課題を解決するもので、その目
的とするところは、上記の理由による歩留シの低下を防
止した液晶装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明の液晶装置は、透明電極を有する一対の基板間に
液晶層を挾持し、かつ、その一対の基板の少なくとも一
方の基板の透明電極上に金属メッキ部を有する液晶装置
において、該金属メッキ部を有する側の基板の両表面上
にパッシベーション層を有することを特徴とする。
[作用コ 前述の方法にて透明電極上に金属メッキ層を形成した場
合、ガラス基板が脆くなるという詳しいメカニズムはよ
(解らないが、両表面にバッジベージコン層を有するガ
ラス基板を用いることにより、ガラス表面が直接強酸及
び強アルカリに接することがな(なるためガラスが脆(
なるのを防止することができ、パネル製作工程において
ガラス基板を切断する際の留歩シの低下を防止すること
ができる。
[実施例] (実施例1) 本実施例では両面にSiO□を厚さ500Xでスパッタ
し、その片側の表面に工Toを蒸着することにより透明
電極を形成した基板を用いた。
この基板に下記の方法でニッケルメッキを行った。
1) 20%のK OH溶液の中で常温で10分間浸漬
させ脱脂を行う。
2) 5%のHOI溶液に常温で5分間浸漬させ中和さ
せる。
3) 工TO表面上に無電解メッキを開始させるパラジ
ウムを付着させる。これは、15%HO1溶液中に日立
増感剤MS−101Bを7%混合し常温で10分間浸漬
させることによって行った4) ニッケルメッキ液の中
にガラス基板を浸漬させlTo上にニッケルメッキを行
った。この際、メッキ液はPl(=7.液温80℃であ
った。
この様な方法でニッケルメッキを1TO全面ば行った後
、下記の方法により部分的にエツチングを行った。
5) レジストを塗布、露光後、現像を行う。
6) 硝酸10%、リン酸10%溶液中に1分間浸漬す
ることによりレジストの無い部分のニッケルメッキをエ
ツチングする。
7) 20%KOH溶液中に5分間浸漬することにより
レジストを剥離する。
この様な方法により、第1図に示されるパターンを形成
した。使用したガラス基板1は厚さ1.1順のソーダガ
ラスであり、その大きさは、10crn角である。
この基板の透明電極2の無い側で、第1図中AA/に相
当する部分にガラス切シを用いて圧力2tを加え傷を入
れた。その後、透明電極2側より圧を加えガラスを切断
した。
従来の表面にバッジベージコン層を有さないガラス基板
を用いた場合、ニッケルメッキ、及びパターニイング工
程によりガラスが脆くなってしまうため、A−A/通り
に切断できた基板は、S。
O4中247枚であり歩留りは49.4%であったしか
し、基板の両表面にパッシベーション膜を有するガラス
基板を用いた場合、工程によりガラスが脆(なることは
な(、A −A ’通りに切断できたガラスは500枚
中4?6枚で歩留シは992%と非常に良好であった。
(実施例2) また、実施例1ではガラス基板を切断した場合の歩留シ
について報告しているが、液晶セルを形成した後切断す
る場合も同様に効果があることも認められている。
(実施例3) 上記実施例1ではスパッタによりパッジページ1ン層を
形成したが、蒸着法、液法によって形成した場合、も同
様な効果を有する。
また、実施例1ではニッケルメッキラ行ってぃるが、銅
、金、銀等をメッキする場合も同等な効果を有する。
[発明の効果コ 以上述べたように本発明は、透明電極上の少なくとも一
部に金属メッキ部を有する液晶装置において、両表面に
パッシベーション層を設けたガラス基板を用いることに
より、メッキ部形成時にガラス基板が脆くなるのを防止
し、パネル製作工程でガラス基板を切断する際の歩留シ
の低下を防止するという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例で使用したガラス基板のパター
ンを示す図。 第2図は従来の透明電極上に金属メッキ部を有する液晶
装置の構造を示す断面図。 1・・・・・・・・・・・・・・・ガラス基板2・・・
・・・・・・・・・・・・透明電極6・・・・・・・・
・・・・・・・ニッケルメッキ1.12・・・・・・ガ
ラス基板 3.14・・・・・・パッシペーショ 5.16・・・・・・透明電極 7.18・・・・・・配向膜 9.20・・・・・・金属メッキ層 1・・・・・・・・・・・・・・・シール材2・・・・
・・・・・・・・・・・、液晶層ン層 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木喜三部(他1名)第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 透明電極を有する一対の基板間に液晶層を挾持し、かつ
    、該一対の基板の少なくとも一方の基板の透明電極上に
    金属メッキ部を有する液晶装置において、該金属メッキ
    部を有する側の基板の両表面上にパッシベーション層を
    有することを特徴とする液晶装置。
JP1136815A 1989-05-30 1989-05-30 液晶装置の製造方法 Expired - Lifetime JP3047183B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009082264A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Sammy Corp 駆動ユニット及び遊技機

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JPS50140150A (ja) * 1974-04-26 1975-11-10
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JPS57118217A (en) * 1981-01-14 1982-07-23 Seiko Epson Corp Production of electrode for liquid crystal display panel

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