JPH03233313A - 光学式微小変位測定装置 - Google Patents
光学式微小変位測定装置Info
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- JPH03233313A JPH03233313A JP2844290A JP2844290A JPH03233313A JP H03233313 A JPH03233313 A JP H03233313A JP 2844290 A JP2844290 A JP 2844290A JP 2844290 A JP2844290 A JP 2844290A JP H03233313 A JPH03233313 A JP H03233313A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 54
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 7
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 6
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、被測定物の微小変位や表面粗さを光学的手段
により測定する光学式微小変位測定装置に関する。
により測定する光学式微小変位測定装置に関する。
〈従来の技術〉
従来より、焦点ずれを検出して被測定物の微小変位や表
面粗さを測定する装置としては、例えば臨界角法会用い
たもの(特開昭59−90007号公報参照)、非点収
差法を用いたもの(特開昭60−186705号公報参
照)、あるいはフーコー法を用いたもの(光波術]ンタ
クトvo126. &11. 1988゜P773〜7
84)などが知られている。
面粗さを測定する装置としては、例えば臨界角法会用い
たもの(特開昭59−90007号公報参照)、非点収
差法を用いたもの(特開昭60−186705号公報参
照)、あるいはフーコー法を用いたもの(光波術]ンタ
クトvo126. &11. 1988゜P773〜7
84)などが知られている。
ここで、臨界角法は、プリズムの有する固有の臨界角近
傍に入射する光ビーム強度が微小な角度変化に対して急
激な変化を呈する性質を利用したものであり、かかる臨
界角法による従来の光学式微小変位測定装置の構成を第
3図に示す。同図中、101はレーザー光源、102は
コリメートレンズ、103はビーム整形プリズム、10
4は偏光ビームスプリッタ、105は1/4波長板、1
06は対物レンズ、107は被測定物、108はビーム
スプリッタ、109a、109bは臨界角プリズム、1
10m、110bは2分割受光素子、1lla、1ll
bはプリアンプであり、レーザー光源101からのレー
ザ光Cよコリメートレンズ102により平行光束に変換
されると共にビーム整形プリズム103により整形され
、Sga光で偏光ビームスプリッタ104を介して17
4波長板105へ導かれる。この1/4波長板105に
導かれたレーザ光は円偏光の光束に変換され7′:11
k、対物レンズ106を介して被測定物107の表面に
集光される。被測定物107で反射されたレーザ光は1
/4波長板105でP偏光にされた後、偏光ビームスプ
リッタ104を透過してビームスプリッタ108に導か
れ、分光される。分光された光はそれぞれ、反射面が臨
界角に設定されている臨界角プリズム109a109b
で反射され、それぞれ2分割受光素子110a、110
bに入射され、光量が検出される。
傍に入射する光ビーム強度が微小な角度変化に対して急
激な変化を呈する性質を利用したものであり、かかる臨
界角法による従来の光学式微小変位測定装置の構成を第
3図に示す。同図中、101はレーザー光源、102は
コリメートレンズ、103はビーム整形プリズム、10
4は偏光ビームスプリッタ、105は1/4波長板、1
06は対物レンズ、107は被測定物、108はビーム
スプリッタ、109a、109bは臨界角プリズム、1
10m、110bは2分割受光素子、1lla、1ll
bはプリアンプであり、レーザー光源101からのレー
ザ光Cよコリメートレンズ102により平行光束に変換
されると共にビーム整形プリズム103により整形され
、Sga光で偏光ビームスプリッタ104を介して17
4波長板105へ導かれる。この1/4波長板105に
導かれたレーザ光は円偏光の光束に変換され7′:11
k、対物レンズ106を介して被測定物107の表面に
集光される。被測定物107で反射されたレーザ光は1
/4波長板105でP偏光にされた後、偏光ビームスプ
リッタ104を透過してビームスプリッタ108に導か
れ、分光される。分光された光はそれぞれ、反射面が臨
界角に設定されている臨界角プリズム109a109b
で反射され、それぞれ2分割受光素子110a、110
bに入射され、光量が検出される。
このように、被測定物107が対物レンズ106の焦点
に位置している場合には、反射光は平行光となり、臨界
角プリズム109a。
に位置している場合には、反射光は平行光となり、臨界
角プリズム109a。
109bにおける反射率は全光束で一定となり、2分割
受光素子110a、110bに受光される光量は等しく
なる。しかし、被測定物107が対物レンズ106の焦
点より遠くに位置している場合には反射光は収束光とな
るので臨界角プリズム109a、109bに入る光束の
入射角はその光軸に対して臨界角プリズム109aで図
中上側、臨界角プリズム109bで図中右側は臨界角よ
り小さくなり、反射率が低下して、2分割受光素子11
0ap110bに受光される光量に差が生じる。かかる
光量の差はプリアンプ111aのA、 B及びプリアン
プ11bのC,Dの出力差により検出される。また、同
様に被測定物107が対物レンズ106の焦点より近い
地点に位■している場合には反射光は発散光となり、上
述した場合とは逆になり、2分割受光素子110a、1
10bに受光される光量に差が生じる。かかる光量の差
はプリアンプ1llaのA、B及びプリアンプ111b
のC,Dの出力差により検出されろ。そして、このよう
な光量の差から被測定物107の、対物レンズ106の
焦点位置からの変位を検出し、被測定物107の微小変
位や表面粗さを測定することができる。
受光素子110a、110bに受光される光量は等しく
なる。しかし、被測定物107が対物レンズ106の焦
点より遠くに位置している場合には反射光は収束光とな
るので臨界角プリズム109a、109bに入る光束の
入射角はその光軸に対して臨界角プリズム109aで図
中上側、臨界角プリズム109bで図中右側は臨界角よ
り小さくなり、反射率が低下して、2分割受光素子11
0ap110bに受光される光量に差が生じる。かかる
光量の差はプリアンプ111aのA、 B及びプリアン
プ11bのC,Dの出力差により検出される。また、同
様に被測定物107が対物レンズ106の焦点より近い
地点に位■している場合には反射光は発散光となり、上
述した場合とは逆になり、2分割受光素子110a、1
10bに受光される光量に差が生じる。かかる光量の差
はプリアンプ1llaのA、B及びプリアンプ111b
のC,Dの出力差により検出されろ。そして、このよう
な光量の差から被測定物107の、対物レンズ106の
焦点位置からの変位を検出し、被測定物107の微小変
位や表面粗さを測定することができる。
一方、非点収差法は、円筒レンズを用いて検出像に非点
収差を与え、測定対象物の位置の移動変位量を像の変形
に変換するものであり、この方法による微小変位測定装
置では、被測定物が対物レンズの合焦点位置の場合には
、受光ビームは円形状となるが、結像位置が近い場合に
は縦長な楕円形状になり、また、遠い場合には横長な楕
円形状となるので、これを4分割フォトダイオードで光
電変換し、縦方向、横方向のそれぞれの和を求め、更に
それらの差の出力信号を求め、被測定物の移動変位量に
比例した出力を得ろものである。
収差を与え、測定対象物の位置の移動変位量を像の変形
に変換するものであり、この方法による微小変位測定装
置では、被測定物が対物レンズの合焦点位置の場合には
、受光ビームは円形状となるが、結像位置が近い場合に
は縦長な楕円形状になり、また、遠い場合には横長な楕
円形状となるので、これを4分割フォトダイオードで光
電変換し、縦方向、横方向のそれぞれの和を求め、更に
それらの差の出力信号を求め、被測定物の移動変位量に
比例した出力を得ろものである。
また、フーコー法による微小変位測定装置は、光学的ナ
イフェツジ効果を持つ分割プリズムを用いて被測定物か
らの反射光束を2光束に分割し、2分割フォトダイオー
ドに入射させるものであり、対物レンズと被測定面との
距離が変化すると被測定物からの反射光束の広がり角が
変化するため、2分割フォトダイオードの受光量に差が
生ずるので、これにより被測定物の変位量を求めるもの
である。
イフェツジ効果を持つ分割プリズムを用いて被測定物か
らの反射光束を2光束に分割し、2分割フォトダイオー
ドに入射させるものであり、対物レンズと被測定面との
距離が変化すると被測定物からの反射光束の広がり角が
変化するため、2分割フォトダイオードの受光量に差が
生ずるので、これにより被測定物の変位量を求めるもの
である。
〈発明が解決しようとする課題〉
例えば第3図に示すような従来の光学式微小変位測定装
置では、光学ヘッド内に、光源としての半導体レーザ1
01及び受光部としての分割受光素子110m、110
bを配電している。そして、この場合、半導体レーザ1
01にはビーム整形プリズム103が、また、分割受光
素子110m、110bには受光による電流を安定な電
流にするためのプリアンプ1lla、1llbがそれぞ
れ必要となる。さらに、プリアンプ1lla、1llb
からの電気的な配線も必要となる。
置では、光学ヘッド内に、光源としての半導体レーザ1
01及び受光部としての分割受光素子110m、110
bを配電している。そして、この場合、半導体レーザ1
01にはビーム整形プリズム103が、また、分割受光
素子110m、110bには受光による電流を安定な電
流にするためのプリアンプ1lla、1llbがそれぞ
れ必要となる。さらに、プリアンプ1lla、1llb
からの電気的な配線も必要となる。
このように従来の光学式微小変位測定装置では、光学ヘ
ッドの小型化には限界がある。
ッドの小型化には限界がある。
ところで、最近、非常に狭い空間において微小変位測定
装置を使用するという用途があるが、上述したような従
来の装置では対応できない場合が多い。
装置を使用するという用途があるが、上述したような従
来の装置では対応できない場合が多い。
本発明はこのような事情に鑑み、狭い空間におけろ微小
変位測定をも行うことができる光学式微小変位測定装置
を提供することを目的とする。
変位測定をも行うことができる光学式微小変位測定装置
を提供することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
前記目的を達成する本発明に係る光学式微小変位測定装
置は、光源からの光束を被測定物体に照射する照明光学
系と、被測定物体からの反射光束による焦点誤差を受光
素子での受光量の分布として検出する焦点属差検出光学
系とを有する光学式微小変位測定装置であって、上記焦
点属差検出光学系が反射光束を上記受光素子へ導く光フ
ァイバを備えろことを特徴とし、さらに上記照明光学系
が光源からの光束を被測定物体に向けて導く光ファイバ
を備えることを特徴とする。
置は、光源からの光束を被測定物体に照射する照明光学
系と、被測定物体からの反射光束による焦点誤差を受光
素子での受光量の分布として検出する焦点属差検出光学
系とを有する光学式微小変位測定装置であって、上記焦
点属差検出光学系が反射光束を上記受光素子へ導く光フ
ァイバを備えろことを特徴とし、さらに上記照明光学系
が光源からの光束を被測定物体に向けて導く光ファイバ
を備えることを特徴とする。
く作 用〉
前記構成では、被測定物体に近接して配置される光学ヘ
ッド内には受光素子及びプリアンプ、又はさらに光源及
びビーム整形プリズムを設ける必要がなく、これら受光
素子及びプリアンプ又はさらに光源及びビーム整形プリ
ズム等は光ファイバを介して当該光学ヘッドと接続され
る装置本体に設ければよい。
ッド内には受光素子及びプリアンプ、又はさらに光源及
びビーム整形プリズムを設ける必要がなく、これら受光
素子及びプリアンプ又はさらに光源及びビーム整形プリ
ズム等は光ファイバを介して当該光学ヘッドと接続され
る装置本体に設ければよい。
これにより光学ヘッド内の部品点数が減少すると共に光
学ヘッド内の電気的配線が不必要となる。
学ヘッド内の電気的配線が不必要となる。
〈実 施 例〉
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
第1図には臨界角法による一実施例に係る光学式微小変
位測定装置の構成を示す。
位測定装置の構成を示す。
第1図中、11は対物レンズ、12は1/4波長板、1
3は偏光ビームスプリッタ、14はビームスプリッタ、
15a、15bは臨界角プリズムで、これらの配置は従
来の臨界角法(第3図参照)と同様であり、これらは全
て光学ヘッド本体16に配設されている。そして、本実
施例では光219t17並びに受光素子18 a、 1
8 b、 18 c、 18 d及びプリアンプ19
a、 19 b、 19 c、 19 dは光学ヘッド
本体16の外部に配置されており、光源17と光学ヘッ
ド本体16とは投光用コリメートレンズ付き光ファイバ
20で、受光素子18a〜18dと光学ヘッド本体16
とは受光用2心光フアイバアレイ21a、21bで、そ
れぞれ連結される構成となっている。
3は偏光ビームスプリッタ、14はビームスプリッタ、
15a、15bは臨界角プリズムで、これらの配置は従
来の臨界角法(第3図参照)と同様であり、これらは全
て光学ヘッド本体16に配設されている。そして、本実
施例では光219t17並びに受光素子18 a、 1
8 b、 18 c、 18 d及びプリアンプ19
a、 19 b、 19 c、 19 dは光学ヘッド
本体16の外部に配置されており、光源17と光学ヘッ
ド本体16とは投光用コリメートレンズ付き光ファイバ
20で、受光素子18a〜18dと光学ヘッド本体16
とは受光用2心光フアイバアレイ21a、21bで、そ
れぞれ連結される構成となっている。
さらに評言すると、一端が光源17の半導体レーザに臨
む投光用コリメートレンズ付き光ファ・イバ20の投光
用コリメートレンズが設けられている他端は偏光ビーム
スプリッタ13に対向し且つ光軸を合せろように配設さ
れている。また、一端が受光素子18m、18b及び受
光素子18c、18dにそれぞれ接続されている受光用
2心光フアイバアレイ21a。
む投光用コリメートレンズ付き光ファ・イバ20の投光
用コリメートレンズが設けられている他端は偏光ビーム
スプリッタ13に対向し且つ光軸を合せろように配設さ
れている。また、一端が受光素子18m、18b及び受
光素子18c、18dにそれぞれ接続されている受光用
2心光フアイバアレイ21a。
21bの各他端は臨界プリズム15a、15bの出射側
面にその光軸と2心の境界とが一致するようにそれぞれ
配設されている。
面にその光軸と2心の境界とが一致するようにそれぞれ
配設されている。
このような構成において、光学ヘッド本体16を、その
対物レンズ11が被測定物10に対向するように配置す
ると、光源17からの光束は投光用コリメートレンズ付
き光ファイバ20に導かれて偏光ビームスプリッタ13
に入り、1/4波長板12.対物レンズ11を経て被測
定物10に照射されろ。そして、その反射光は一般の臨
界角法と同様に臨界角プリズム15a、15bに導かれ
、これら臨界角プリズム15a、15bからの出射光は
受光用2心光フアイバアレイ21a、21bに入る。こ
のとき、被測定物10の反射面が対物レンズ11の焦点
位置から変位すると、前述した臨界角法の原理により、
受光用2心光フアイバアレイ21m、21bの各々並設
された2心に入る光量のバランスがくずれ、両者の間に
差が生じる。この光量差を受光素子18a、18blQ
l、及び受光素子18c。
対物レンズ11が被測定物10に対向するように配置す
ると、光源17からの光束は投光用コリメートレンズ付
き光ファイバ20に導かれて偏光ビームスプリッタ13
に入り、1/4波長板12.対物レンズ11を経て被測
定物10に照射されろ。そして、その反射光は一般の臨
界角法と同様に臨界角プリズム15a、15bに導かれ
、これら臨界角プリズム15a、15bからの出射光は
受光用2心光フアイバアレイ21a、21bに入る。こ
のとき、被測定物10の反射面が対物レンズ11の焦点
位置から変位すると、前述した臨界角法の原理により、
受光用2心光フアイバアレイ21m、21bの各々並設
された2心に入る光量のバランスがくずれ、両者の間に
差が生じる。この光量差を受光素子18a、18blQ
l、及び受光素子18c。
18d間で検知することにより、被測定物10の微小変
位や表面粗さを検知することができる。
位や表面粗さを検知することができる。
第2図には非点収差法によろ一実施例に係る光学式微小
変位測定装置の構成を示す。
変位測定装置の構成を示す。
第2図において、31は対物レンズ、32は1/4波長
板、33は偏光ビームスプリッタ、34はビームスプリ
ッタであり、これらは基本的には臨界角法とほぼ同様な
作用をする。そして、本方法では臨界角プリズムの代り
に円柱レンズ35 a、 35 bを配置している。
板、33は偏光ビームスプリッタ、34はビームスプリ
ッタであり、これらは基本的には臨界角法とほぼ同様な
作用をする。そして、本方法では臨界角プリズムの代り
に円柱レンズ35 a、 35 bを配置している。
本実施例では以上の部品だけが光学ヘッド本体36に設
けられており、光源37並びに受光素子38a〜38h
及びプリアンプ39a〜39hは光学ヘッド本体36の
外部に配■されている。そして、一端が光源37に連結
されている投光用光ファイバ40の他端は偏光ビームス
プリッタ33入射面に対向し且つ光軸が一致するように
配置されている。また、一端がそれぞれ4つの受光素子
38a〜38d及び受光素子38e〜38hに連続され
ている受光用4心光フアイバアレイ41m、41bの各
他端はそれぞれ円柱レンズ35a、35bの出射側に対
向するように配置されている。
けられており、光源37並びに受光素子38a〜38h
及びプリアンプ39a〜39hは光学ヘッド本体36の
外部に配■されている。そして、一端が光源37に連結
されている投光用光ファイバ40の他端は偏光ビームス
プリッタ33入射面に対向し且つ光軸が一致するように
配置されている。また、一端がそれぞれ4つの受光素子
38a〜38d及び受光素子38e〜38hに連続され
ている受光用4心光フアイバアレイ41m、41bの各
他端はそれぞれ円柱レンズ35a、35bの出射側に対
向するように配置されている。
なお、受光用4心光フアイバアレイ41a。
41bの4心は2列に配置されて断面が略正方形状とな
っており、その中心が光軸と一致するように配置されて
いる。
っており、その中心が光軸と一致するように配置されて
いる。
このような構成において、光学ヘッド本体36を、その
対物レンズ31が被側定物10に対向するように配置す
ると、光源47からの光束は投光用光ファイバ40に導
かれて偏光ビームスプリッタ33に入り、174波長板
32、対物レンズ31を経て被側定物10に照射される
。そして、その反射光は偏光ビームスプリッタ33、ビ
ームスプリッタ34を経て円柱レンズ35 m、 3
5 bに導かれるのは一般の非点収差法と同様である。
対物レンズ31が被側定物10に対向するように配置す
ると、光源47からの光束は投光用光ファイバ40に導
かれて偏光ビームスプリッタ33に入り、174波長板
32、対物レンズ31を経て被側定物10に照射される
。そして、その反射光は偏光ビームスプリッタ33、ビ
ームスプリッタ34を経て円柱レンズ35 m、 3
5 bに導かれるのは一般の非点収差法と同様である。
そして、被測定物10の反射面が対物レンズ31の焦点
位置から変位すると、前述したように各円柱レンズ35
a、35bからの出射光は縦長又は横長の楕円形状とな
る。本実施例ではこれら出射光をそれぞれ受光用4心光
フアイバアレイ41a、41bの4心光フアイバで受光
し、各ファイバの受光量の差を受光素子38a 〜38
e及び受光素子38f 〜38hで検出し、これを解析
することにより、被測定物10の微小変位又は表面粗さ
を検出することができる。
位置から変位すると、前述したように各円柱レンズ35
a、35bからの出射光は縦長又は横長の楕円形状とな
る。本実施例ではこれら出射光をそれぞれ受光用4心光
フアイバアレイ41a、41bの4心光フアイバで受光
し、各ファイバの受光量の差を受光素子38a 〜38
e及び受光素子38f 〜38hで検出し、これを解析
することにより、被測定物10の微小変位又は表面粗さ
を検出することができる。
以上説明した2つの実施例では光学ヘッド内に光源及び
受光素子を配設せず、したがって光学ヘッド内にビーム
調整プリズムや電気的配線を設ける必要がないので、光
学ヘッドをかなり小型化することができろ。
受光素子を配設せず、したがって光学ヘッド内にビーム
調整プリズムや電気的配線を設ける必要がないので、光
学ヘッドをかなり小型化することができろ。
また、再実施例では、光源も光学ヘッドの外部を設ける
ようにしたが、光源は光学ヘッド内に設けて、受光素子
だけを外部に設けるようにしても従来に比べるとかなり
小型化できる。
ようにしたが、光源は光学ヘッド内に設けて、受光素子
だけを外部に設けるようにしても従来に比べるとかなり
小型化できる。
ここで、投光用ファイバとしては、光の直進性、S光を
考慮するとシングルモードファイバを用いるのが、また
、受光用ファイバとしては、より多くの光量を確保する
ために大口径のライトガイドを用いるのが望ましい。
考慮するとシングルモードファイバを用いるのが、また
、受光用ファイバとしては、より多くの光量を確保する
ために大口径のライトガイドを用いるのが望ましい。
また、再実施例では従来の分割受光素子の代りに、汎用
性のある通常の受光素子を用いることができるという効
果も奏する。これは受ける光を受光用光ファイバを用い
て光学ヘッドの外部へ導いたことによるものであり、調
整等が容易になる等の効果も得ることができる。なお、
勿論、分割受光素子を用いてもよいことは言うまでもな
い。
性のある通常の受光素子を用いることができるという効
果も奏する。これは受ける光を受光用光ファイバを用い
て光学ヘッドの外部へ導いたことによるものであり、調
整等が容易になる等の効果も得ることができる。なお、
勿論、分割受光素子を用いてもよいことは言うまでもな
い。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明に係る光学式微小変位測定
装置は、受光用や投光用に光ファイバを用いるようにし
て光学ヘッド外に受光素子や光源を設けるようにしたた
め、非常4 に小さな光学ヘッドを構成することが可能となる。した
がって、非常に狭い空間、例えば円筒内や球の内側の微
小変位の測定など好適である。
装置は、受光用や投光用に光ファイバを用いるようにし
て光学ヘッド外に受光素子や光源を設けるようにしたた
め、非常4 に小さな光学ヘッドを構成することが可能となる。した
がって、非常に狭い空間、例えば円筒内や球の内側の微
小変位の測定など好適である。
第1図は臨界角法による一実施例に係る光学式微小変位
測定装置を示す構成図、第2図は非点収差法による一実
施例に係る光学式微小変位測定装置を示す構成図、第3
図は従来技術に係る臨界角法の光学式微小変位測定装置
を示す構成図である。 図面中、 10は被測定物、 11.31は対物レンズ、 12.32は1/4波長板、 13.33は偏光ビームスプリッタ、 14.34はビームスプリッタ、 15a、15bは臨界角プリズム、 35a、35bは円柱レンズ、 16.36は光学ヘッド本体、 17.37は光源、 18a 〜18d、38a 〜38hは受光素子、19
a 〜19d、39a 〜39hはプリアンプ、20は
投光用コリメートレンズ付光ファイバ、40は投光用光
ファイバ、 21a、21bは受光用2心光フアイバアレイ、41a
、41bは受光用4心光フアイバアレイである。
測定装置を示す構成図、第2図は非点収差法による一実
施例に係る光学式微小変位測定装置を示す構成図、第3
図は従来技術に係る臨界角法の光学式微小変位測定装置
を示す構成図である。 図面中、 10は被測定物、 11.31は対物レンズ、 12.32は1/4波長板、 13.33は偏光ビームスプリッタ、 14.34はビームスプリッタ、 15a、15bは臨界角プリズム、 35a、35bは円柱レンズ、 16.36は光学ヘッド本体、 17.37は光源、 18a 〜18d、38a 〜38hは受光素子、19
a 〜19d、39a 〜39hはプリアンプ、20は
投光用コリメートレンズ付光ファイバ、40は投光用光
ファイバ、 21a、21bは受光用2心光フアイバアレイ、41a
、41bは受光用4心光フアイバアレイである。
Claims (2)
- (1)光源からの光束を被測定物体に照射する照明光学
系と、被測定物体からの反射光束による焦点誤差を受光
素子での受光量の分布として検出する焦点属差検出光学
系とを有する光学式微小変位測定装置であって、上記焦
点誤差検出光学系が反射光束を上記受光素子へ導く光フ
ァイバを備えることを特徴とする光学式微小変位測定装
置。 - (2)請求項1記載の光学式微小変位測定装置において
、照明光学系が光源からの光束を被測定物体へ向けて導
く光ファイバを備える光学式微小変位測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2844290A JPH03233313A (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | 光学式微小変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2844290A JPH03233313A (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | 光学式微小変位測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03233313A true JPH03233313A (ja) | 1991-10-17 |
Family
ID=12248794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2844290A Pending JPH03233313A (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | 光学式微小変位測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03233313A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05322561A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-07 | Olympus Optical Co Ltd | 焦点検出装置 |
-
1990
- 1990-02-09 JP JP2844290A patent/JPH03233313A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05322561A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-07 | Olympus Optical Co Ltd | 焦点検出装置 |
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